特許 7373268 個片体形成装置および個片体形成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-25

(45)【発行日】2023-11-02

(54)【発明の名称】個片体形成装置および個片体形成方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20231026BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20231026BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 V

H01L21/78 M

H01L21/68 N

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2018063687

(22)【出願日】2018-03-29

(65)【公開番号】P2019176039

(43)【公開日】2019-10-10

【審査請求日】2021-01-20

【審判番号】

【審判請求日】2022-10-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【合議体】

【審判長】瀧内 健夫

【審判官】松永 稔

【審判官】市川 武宜

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－０８６６１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１３２７１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０３３６３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１３－５４３２６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２０３７９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２６００８３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

H01L21/301, H01L21/683

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体を個片化して個片体を形成する個片体形成装置において、
前記被着体には、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加された接着シートが予め貼付されており、
前記被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を前記被着体に形成する改質部形成手段と、
前記被着体に外力を付与して前記改質部を起点として当該被着体に亀裂を形成し、当該被着体を個片化して前記個片体を形成する個片化手段とを備え、
前記個片化手段は、前記接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された接着シート部分に添加されている前記膨張性微粒子を膨張させ、当該接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて前記個片体を形成していきながら、前記エネルギーの付与を前記接着シートにおける前記被着体が貼付されている領域全体に行き渡らせて前記被着体を個片化することを特徴とする個片体形成装置。

【請求項2】

被着体を個片化して個片体を形成する個片体形成装置において、
前記被着体には、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加された接着シートが予め貼付されており、且つ、前記被着体には、改質部が形成され、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域が予め形成されており、
前記被着体に外力を付与して前記改質部を起点として当該被着体に亀裂を形成し、当該被着体を個片化して前記個片体を形成する個片化手段を備え、
前記個片化手段は、前記接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された接着シート部分に添加されている前記膨張性微粒子を膨張させ、当該接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて前記個片体を形成していきながら、前記エネルギーの付与を前記接着シートにおける前記被着体が貼付されている領域全体に行き渡らせて前記被着体を個片化することを特徴とする個片体形成装置。

【請求項3】

前記被着体と個片化手段とを相対移動させる移動手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の個片体形成装置。

【請求項4】

前記改質部は、第１方向に沿う第１改質部と、当該第１方向に交差する第２方向に沿う第２改質部とを含み、
前記個片化手段は、前記エネルギーを付与した位置に、当該エネルギーの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域を形成可能に設けられ、
前記移動手段は、前記ライン状付与領域を前記第１方向と平行となるように移動させ、さらに、前記ライン状付与領域を前記第２方向と平行となるように移動させることを特徴とする請求項３に記載の個片体形成装置。

【請求項5】

前記膨張性微粒子は、第１エネルギーで膨張する第１膨張性微粒子と、第２エネルギーで膨張する第２膨張性微粒子とを有し、
前記個片化手段は、前記第１エネルギーを付与する第１個片化手段と、前記第２エネルギーを付与する第２個片化手段とを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の個片体形成装置。

【請求項6】

前記個片化手段によって変位される前の被着体部分が変位することを抑制する変位抑制手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の個片体形成装置。

【請求項7】

被着体を個片化して個片体を形成する個片体形成方法において、
前記被着体には、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加された接着シートが予め貼付されており、
前記被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を前記被着体に形成する改質部形成工程と、
前記被着体に外力を付与して前記改質部を起点として当該被着体に亀裂を形成し、当該被着体を個片化して前記個片体を形成する個片化工程とを実施し、
前記個片化工程では、前記接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された接着シート部分に添加されている前記膨張性微粒子を膨張させ、当該接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて前記個片体を形成していきながら、前記エネルギーの付与を前記接着シートにおける前記被着体が貼付されている領域全体に行き渡らせて前記被着体を個片化することを特徴とする個片体形成方法。

【請求項8】

被着体を個片化して個片体を形成する個片体形成方法において、
前記被着体には、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加された接着シートが予め貼付されており、且つ、前記被着体には、改質部が形成され、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域が予め形成されており、
前記被着体に外力を付与して前記改質部を起点として当該被着体に亀裂を形成し、当該被着体を個片化して前記個片体を形成する個片化工程を備え、
前記個片化工程では、前記接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された接着シート部分に添加されている前記膨張性微粒子を膨張させ、当該接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて前記個片体を形成していきながら、前記エネルギーの付与を前記接着シートにおける前記被着体が貼付されている領域全体に行き渡らせて前記被着体を個片化することを特徴とする個片体形成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、個片体形成装置および個片体形成方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、被着体に形成した改質部を起点とし、当該被着体を個片化して個片体を形成する個片体の製造方法に用いる個片体形成装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１５－２１１０８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載された従来の個片体形成装置では、半導体ウエハ４（被着体）に貼付されたダイシングテープ１（接着シート）を引っ張って、改質領域４１（改質部）を起点にして当該被着体を個片化し、ダイボンド用チップ（個片体）を形成するため、装置が複雑化するという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、装置が複雑化することを防止することができる個片体形成装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、添加されている膨張性微粒子を膨張させることで、個片化予定領域を変位させて個片体を形成するので、装置が複雑化することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｄ）は、本発明の実施形態に係る個片体形成装置の説明図。

【図2】（Ａ）～（Ｃ）は、本発明の変形例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

本発明の個片体形成装置ＥＡは、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを個片化して個片体としての半導体チップ（以下、単に「チップ」ともいう）ＣＰを形成する装置であって、ウエハＷＦに改質部ＭＴを形成し、当該改質部ＭＴで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰをウエハＷＦに形成する改質部形成手段１０と、ウエハＷＦに外力を付与して改質部ＭＴを起点として当該ウエハＷＦに亀裂ＣＫを形成し、当該ウエハＷＦを個片化してチップＣＰを形成する個片化手段２０と、ウエハＷＦと個片化手段２０とを相対移動させる移動手段３０と、個片化手段２０によって変位される前のウエハＷＦ部分が変位することを抑制する変位抑制手段４０とを備え、ウエハＷＦを支持するウエハ支持手段５０の近傍に配置されている。
なお、ウエハＷＦには、所定のエネルギーとしての赤外線ＩＲが付与されることで膨張する膨張性微粒子ＳＧが添加された接着シートＡＳが予め貼付されている。また、本実施形態では、接着シートＡＳは、基材ＢＳと接着剤層ＡＬとを備え、当該接着剤層ＡＬのみに膨張性微粒子ＳＧが添加されたものが採用されている。

【0011】

改質部形成手段１０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端のアーム１１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット１１と、先端のアーム１１Ａに支持され、ウエハＷＦにレーザＬＳを照射し、改質部ＭＴを形成するレーザ照射機１２とを備え、第１方向としてのＹ軸方向に沿う第１改質部ＭＴＹと、Ｙ軸方向に交差する第２方向としてのＸ軸方向に沿う第２改質部ＭＴＸとを形成し、第１改質部ＭＴＹと第２改質部ＭＴＸとで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰを形成するように構成されている。なお、多関節ロボット１１は、例えば、特開２０１６－８１９７４に例示されている多関節ロボット１１１等が例示できる。

【0012】

個片化手段２０は、移動手段３０に支持された光源ボックス２１と、光源ボックス２１内に支持され、赤外線ＩＲを発光する発光源２２と、当該発光源２２で発光した赤外線ＩＲを集光させる集光板２３とを備え、赤外線ＩＲを付与した位置に、当該赤外線ＩＲの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域ＬＧを形成可能に設けられ、接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与し、当該赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている膨張性微粒子ＳＧを膨張させ、当該接着シート部分ＡＳＰに貼付されている個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成する構成となっている。

【0013】

移動手段３０は、駆動機器としての回動モータ３１と、その出力軸３１Ａに支持され、光源ボックス２１をそのスライダ３２Ａで支持する駆動機器としてのリニアモータ３２とを備え、個片化手段２０が形成したライン状付与領域ＬＧをＹ軸方向と平行となるように移動させ、さらに、ライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させる構成となっている。

【0014】

変位抑制手段４０は、多関節ロボット１１と同等の図示しない駆動機器の先端のアームに支持された押え板４１を備えている。

【0015】

ウエハ支持手段５０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面５１Ａを有し、赤外線ＩＲを透過可能な支持テーブル５１を備えている。

【0016】

以上の個片体形成装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された個片体形成装置ＥＡに対し、当該個片体形成装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを同図に示すように支持テーブル５１上に載置する。すると、ウエハ支持手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面５１ＡでのウエハＷＦの吸着保持を開始する。次いで、改質部形成手段１０が多関節ロボット１１およびレーザ照射機１２を駆動し、レーザ照射機１２を前後方向に移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、ウエハＷＦに第１改質部ＭＴＹを形成した後、レーザ照射機１２を左右方向に移動させ、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、ウエハＷＦに第２改質部ＭＴＸを形成し、個片化予定領域ＷＦＰを形成する。

【0017】

その後、個片化手段２０および移動手段３０が発光源２２およびリニアモータ３２を駆動し、Ｙ軸方向に延びるライン状付与領域ＬＧを形成した後、図１（Ｃ）に示すように、光源ボックス２１を右方から左方に向けて移動させる。すると、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている膨張性微粒子ＳＧが同図に示すように次々に膨張し、接着剤層ＡＬに無数の凸部ＣＶが形成される。これにより、ウエハＷＦは、右方から左方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第１改質部ＭＴＹが起点となってＹ軸方向に延びる亀裂ＣＫＹが形成され、Ｙ軸方向に延びる短冊状のウエハＷＦＳとなる。このとき、変位抑制手段４０が図示しない駆動機器を駆動し、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板４１を配置させておく。これにより、変位する個片化予定領域ＷＦＰに追従して隣接する個片化予定領域ＷＦＰも一緒に変位することを抑制し、改質部ＭＴを起点とした亀裂ＣＫの形成ができなくなることを防止することができる。

【0018】

次に、光源ボックス２１がウエハＷＦの左端部の左方所定位置に到達すると、個片化手段２０および移動手段３０が発光源２２およびリニアモータ３２の駆動を停止する。なお、本実施形態では、上記のようにして亀裂ＣＫＹを形成する際、個片化手段２０は、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている個々の膨張性微粒子ＳＧが完全に膨張しないように、または、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている膨張性微粒子ＳＧ全てが膨張しないように赤外線ＩＲを照射するようになっている。

【0019】

そして、移動手段３０が回動モータ３１を駆動し、個片化手段２０をＸＹ平面内で９０度回転移動させる。次いで、個片化手段２０および移動手段３０が発光源２２およびリニアモータ３２を駆動し、Ｘ軸方向に延びるライン状付与領域ＬＧを形成した後、図１（Ｄ）に示すように、光源ボックス２１を前方から後方に向けて移動させる。すると、同図に示すように、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている個々の膨張性微粒子ＳＧが次々にさらに大きく膨張し、または、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている膨張性微粒子ＳＧのさらに多くが膨張し、接着剤層ＡＬに形成されていた無数の凸部ＣＶが拡大する。これにより、短冊状のウエハＷＦＳは、前方から後方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第２改質部ＭＴＸが起点となってＸ軸方向に延びる亀裂ＣＫＸが形成され、当該亀裂ＣＫＸと先に形成されていた亀裂ＣＫＹとで複数のチップＣＰとなる。このときも、変位抑制手段４０が図示しない駆動機器を駆動し、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰを押え板４１で押さえておくとよい。

【0020】

その後、光源ボックス２１がウエハＷＦの後端部の後方所定位置に到達すると、個片化手段２０が発光源２２の駆動を停止した後、移動手段３０がリニアモータ３２を駆動し、光源ボックス２１を初期位置に復帰させる。次に、ピックアップ装置や保持装置等の図示しないチップ搬送手段や使用者が、全てのチップＣＰまたは所定数のチップＣＰを接着シートＡＳから取り外し、当該チップＣＰを別の工程に搬送すると、ウエハ支持手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、使用者または図示しない搬送手段が支持テーブル５１上から接着シートＡＳを取り外し、以降上記同様の動作が繰り返される。
なお、接着シートＡＳは、無数の凸部ＣＶによってチップＣＰとの接着領域が減少するので、当該チップＣＰとの接着力が減少し、接着シートＡＳとしてチップＣＰ（ウエハＷＦ）との接着力が強力なものが採用された場合にでも、チップＣＰを簡単に接着シートＡＳから取り外すことができるようになっている。

【0021】

以上のような実施形態によれば、添加されている膨張性微粒子ＳＧを膨張させることで、個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成するので、装置が複雑化することを防止することができる。

【0022】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、改質部形成手段は、被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を被着体に形成可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0023】

改質部形成手段１０は、レーザ照射機１２を移動させずにまたは移動させつつ、ウエハＷＦを移動させて当該ウエハＷＦに改質部ＭＴを形成してもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行な１本の改質部ＭＴを形成してもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行でない１本または複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に不等間隔な複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に平行または平行でない複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に交差しない複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に直交または斜交する複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、曲線状または折線状の１本または複数の改質部ＭＴを形成してもよく、そのような改質部ＭＴによって形成される個片化予定領域ＷＦＰやチップＣＰの形状は、円形、楕円形、三角形または四角形以上の多角形等、どのような形状でもよいし、第１、第２方向以外に、その他の１または２以上の方向それぞれに１本または複数の改質部ＭＴを形成してもよい。
改質部形成手段１０は、レーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等の付与によって、ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、ウエハＷＦを脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して改質部ＭＴを形成してもよく、このような改質部ＭＴは、膨張性微粒子ＳＧの膨張を外力とし、被着体を個片化して個片体を形成することができればどのようなものでもよい。
改質部ＭＴが予めウエハＷＦに形成されている場合、本発明の個片体形成装置ＥＡに改質部形成手段１０が備わっていなくてもよいし、備わっていてもよい。

【0024】

個片化手段２０は、図２（Ａ）に示すように、接着シートＡＳ全体に一括で赤外線ＩＲを付与可能な発光源２４と、当該発光源２４で発光した赤外線ＩＲを反射させる反射板２５と、反射板２５の上部の開口部２５Ａを開閉可能な開閉板２６とで構成し、開口部２５Ａを開閉板２６で全閉にした状態から当該開閉板２６を右方から左方に向けて徐々に移動させ、図２（Ａ－１）に示すように、右方から左方に向けて次々に亀裂ＣＫＹを形成し、Ｙ軸方向に延びる短冊状のウエハＷＦＳを形成する。次いで、個片化手段２０をＸＹ平面内で９０度回転移動させた後、開口部２５Ａを開閉板２６で全閉にした状態から当該開閉板２６を前方から後方に向けて徐々に移動させ、図２（Ａ－２）に示すように、前方から後方に向けて次々に亀裂ＣＫＸを形成し、亀裂ＣＫＸと亀裂ＣＫＹとでチップＣＰを形成してもよい。この場合、開閉板２６の代わりに、図２（Ｂ－１）、（Ｂ－２）に示すように、発光源２４が発光した赤外線ＩＲでライン状付与領域ＬＧを形成するスリット２７Ａを備えた開閉板２７を採用してもよい。なお、スリット２７Ａには、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよい。
個片化手段２０は、集光板２３や反射板２５がなくてもよいし、集光板２３の代わりにまたは集光板２３と併用し、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよいし、膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、接着シートＡＳに赤外線ＩＲを照射する時間を任意に決定することができるし、発光源２２、２４として、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよいし、エネルギーとしてレーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与するものを採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよく、膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意の構成を採用することができるし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものの場合、当該所定のエネルギーを被着体側から付与してもよいし、接着シートＡＳ側から付与してもよいし、被着体側と接着シートＡＳ側との両方から付与してもよい。
個片化手段２０は、例えば、赤外線ＩＲを付与する接着シート部分ＡＳＰを、任意の位置の個片化予定領域ＷＦＰの１つまたは複数の区画に対応するものだけとし、当該接着シート部分ＡＳＰに貼付されている１つまたは複数の区画からなる個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成してもよい。
個片化手段２０は、前記実施形態では、ライン状付与領域ＬＧを形成して接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与したが、赤外線ＩＲの付与領域が点状となる点状付与領域を形成して接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与したり、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応した面状付与領域または、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応していない面状付与領域を形成して接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与したりしてもよい。

【0025】

移動手段３０は、図２（Ｃ）に示すように、第１改質部ＭＴＹおよび第２改質部ＭＴＸに斜交するライン状付与領域ＬＧ（不図示）をウエハＷＦの一端から他端に向けて移動させることで、第１、第２改質部ＭＴＹ、ＭＴＸの両方を起点として亀裂ＣＫＹ、ＣＫＸを同時に形成し、チップＣＰを形成してもよい。なお、この場合の斜交角度は、例えば、Ｘ軸やＹ軸に対して１度、５度、１０度、４５度、６０度、８９度等、どのような角度でもよい。
移動手段３０は、個片化手段２０を移動させずにまたは移動させつつ、ウエハＷＦを移動させ、個片化手段２０に対してウエハＷＦをＸＹ平面内で９０度回転移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをＹ軸方向と平行となるように移動させたり、ライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させたりしてもよいし、ライン状付与領域ＬＧをＸ軸やＹ軸方向と平行とならないように移動させてもよいし、本発明の個片体形成装置ＥＡを構成する構成物として備わっていてもよいし、他の装置でウエハＷＦおよび個片化手段２０の少なくとも一方を移動させる場合、本発明の個片体形成装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

【0026】

変位抑制手段４０は、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板４１を当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、気体の吹き付けにより、個片化手段２０によって変位される前のウエハＷＦが変位することを抑制したり、プーリとベルトとで個片化手段２０によって変位される前のウエハＷＦが変位することを抑制したりする他の構成を採用してもよいし、本発明の個片体形成装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

【0027】

ウエハ支持手段５０は、基材ＢＳ側に鉄板や硝子板等の板状部材（保持部材）を貼付してウエハＷＦを支持する構成でもよいし、被着体が所定のエネルギーを透過不可能なものであれば、支持テーブル５１や板状部材として、当該所定のエネルギーを透過可能なもので構成すればよいし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものであれば、支持テーブル５１や板状部材として、当該所定のエネルギーを透過不可能なもので構成してもよいし、透過可能なもので構成してもよい。
ウエハ支持手段５０は、保持手段がなくてもよいし、本発明の個片体形成装置ＥＡを構成する構成物として備わっていてもよいし、他の装置でウエハＷＦを支持する場合、本発明の個片体形成装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

【0028】

例えば、膨張性微粒子ＳＧが、第１エネルギーとしての８０℃の熱で膨張する図示しない第１膨張性微粒子と、第２エネルギーとしての１００℃の熱で膨張する図示しない第２膨張性微粒子とを有し、個片化手段２０が、第１エネルギーとしての８０℃の熱を付与する図示しない第１個片化手段と、第２エネルギーとしての１００℃の熱を付与する図示しない第２個片化手段とを備えていてもよく、この場合、上記実施形態と同様の動作で、個片化手段２０が、８０℃の熱を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成した後、１００℃の熱を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成し、チップＣＰを形成することができる。なお、第１エネルギーや第２エネルギーは、何度の熱でもよいし、膨張性微粒子ＳＧが、第１、第２エネルギー以外の他の温度の熱で膨張する他の膨張性微粒子を有する場合、個片化手段２０は、他の温度の熱を付与する他の個片化手段を増設することができる。
また、膨張性微粒子ＳＧとして、第１エネルギーとしての赤外線で膨張する図示しない第１膨張性微粒子と、第２エネルギーとしての紫外線で膨張する図示しない第２膨張性微粒子とが添加されている接着シートＡＳを採用し、上記実施形態と同様の動作で、個片化手段２０が、赤外線を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成した後、紫外線を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成し、チップＣＰを形成してもよい。なお、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせは、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等、接着シートＡＳに添加されている第１、第２膨張性微粒子の組み合わせによってどのような組み合わせでもよいし、第１、第２エネルギー以外の他のエネルギーで膨張する他の膨張性微粒子が添加されている接着シートＡＳが採用された場合、当該他のエネルギーを付与する他の個片化手段を増設することができる。
さらに、前記実施形態では、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々にライン状付与領域ＬＧを移動させたが、改質部ＭＴが形成されている位置のみにライン状付与領域ＬＧが位置するように個片化手段２０を移動させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したり、発光源２２、２４を消灯させておき、改質部ＭＴが形成されている位置にライン状付与領域ＬＧが位置するように個片化手段２０やスリット２７Ａを移動させてから発光源２２、２４を駆動し、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したりしてもよい。
また、接着シートＡＳとして、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を所定のエネルギーとして膨張する膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよく、個片化手段２０は、それら膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該膨張性微粒子ＳＧを膨張させ、被着体を個片化して個片体を形成できればよい。

【0029】

接着シートＡＳは、当該接着シートＡＳを構成する基材ＢＳのみに膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬと基材ＢＳとの両方に膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬと基材ＢＳとの中間に中間層が存在し、当該中間層、接着剤層ＡＬおよび基材ＢＳのうち少なくとも１つまたは少なくとも２つに膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、ウエハＷＦにおける回路が形成された面に貼付されていてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されていてもよいし、ウエハＷＦの両面に貼付されていてもよく、このように、ウエハＷＦの両面に接着シートＡＳが貼付されている場合、それら接着シートＡＳは、同一のものでもよいし、同一でないものでもよいし、一方の接着シートには、膨張性微粒子ＳＧが添加されていなくてもよい。
個片体は、チップＣＰに限らず、例えば、短冊状のウエハＷＦＳでもよく、この場合の個片化予定領域は、第１改質部ＭＴＹとウエハＷＦの外縁とで囲繞された領域となり、移動手段３０は、個片化手段２０が形成したライン状付与領域ＬＧを、Ｙ軸、Ｘ軸またはその他の方向と平行となるように移動させるだけでよい。
被着体が予め短冊状のウエハＷＦＳのようなものであれば、移動手段３０は、個片化手段２０が形成したライン状付与領域ＬＧを、Ｘ軸、Ｙ軸またはその他の方向と平行となるようにだけ移動させ、チップＣＰを形成してもよい。
膨張性微粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７－７３２３６、特開２０１３－１５９７４３、特開２０１２－１６７１５１、特開２００１－１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３－４７３２１、特開２００７－２５４５８０、特開２０１１－２１２５２８、特開２００３－２６１８４２等で開示されている膨張性微粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性微粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６－５３１１５、特開平７－２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
膨張性微粒子ＳＧは、所定のエネルギーとして、赤外線以外に、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等が付与されることで膨張するものでもよく、そのような膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じてエネルギー付与手段が選択されればよい。
ウエハＷＦは、一方の面および他方の面のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよい。

【0030】

本発明の個片体形成装置ＥＡは、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する公知のシート貼付手段が備わっていてもよいし、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する公知の研削（研磨）手段が備わっていてもよいし、チップＣＰを接着シートＡＳから取り外す公知のピックアップ手段が備わっていてもよいし、接着シートＡＳから取り外したチップＣＰを基板や載置台等の他の部材に接着する公知の接着手段が備わっていてもよい。

【0031】

本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層ＡＬだけの単層のもの、基材ＢＳと接着剤層ＡＬとの間に中間層を有するもの、基材ＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材ＢＳを接着剤層ＡＬから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0032】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。

【符号の説明】

【0033】

ＥＡ…個片体形成装置
１０…改質部形成手段
２０…個片化手段
３０…移動手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＰ…接着シート部分
ＣＫ…亀裂
ＣＰ…半導体チップ（個片体）
ＩＲ…赤外線（エネルギー）
ＬＧ…ライン状付与領域
ＭＴ…改質部
ＭＴＸ…第２改質部
ＭＴＹ…第１改質部
ＳＧ…膨張性微粒子
ＷＦ…半導体ウエハ（被着体）
ＷＦＰ…個片化予定領域

【図1】

【図2】