100 システム 102 カメラ 104 照明 106 第1のステージ構造 108 第2のステージ構造 110 軌道、直線的な案内部 112 第1のマニピュレータ構造 114 第1のマニピュレータアーム 116 第2のマニピュレータ構造 118 第2のマニピュレータアーム 120 第1の入れ子構造 122 第2の入れ子構造 124、126、128、130、132、134 モータ 136 制御回路、制御装置 138 機械学習アルゴリズム 140 記憶装置 142 表示装置 148 第1の真空ポンプ 149 真空配管 150 第2の真空ポンプ 151 真空配管 152 線 302 マニピュレータアーム 304 入れ子構造 306 軸受要素 307 軸 309 軸 402 第1のステージ構造 404 第2のステージ構造 406 第1の入れ子構造 408 第2の入れ子構造 410 レール、直線的な案内部 412 軸受要素 501 軸 502 第1の入れ子構造 504 第1のマニピュレータアーム 506 第2の入れ子構造 508 第2のマニピュレータアーム 520 軸受要素 700 検査システム 702 第1のステージ構造 704 第1の入れ子構造 705 第2のステージ構造 706、710、714、716、718 モータ 707 第1のマニピュレータ構造 708 伝達要素、ベルト 709 第2のマニピュレータ構造 712 第2の入れ子構造 713 第1のマニピュレータアーム 715 第2のマニピュレータアーム 717 真空管 720 軸受要素 722 軌道、直線的な案内部 750 開口