特許 7375827 保管装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-30

(45)【発行日】2023-11-08

(54)【発明の名称】保管装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/14 20060101AFI20231031BHJP

   H01L 21/67 20060101ALI20231031BHJP

【ＦＩ】

B65G1/14 B

H01L21/68 Z

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2021555915

(86)(22)【出願日】2020-09-10

(86)【国際出願番号】 JP2020034269

(87)【国際公開番号】W WO2021095341

(87)【国際公開日】2021-05-20

【審査請求日】2022-03-23

(31)【優先権主張番号】P 2019204470

(32)【優先日】2019-11-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(74)【代理人】

【識別番号】100183081

【弁理士】

【氏名又は名称】岡▲崎▼ 大志

(72)【発明者】

【氏名】徐 興会

(72)【発明者】

【氏名】大西 真司

(72)【発明者】

【氏名】稲田 研

【審査官】板澤 敏明

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－０１１１７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１１２１６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－２１９５３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０５５９２８８６（ＵＳ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０４８０１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ １／１４

Ｈ０１Ｌ ２１／６７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

それぞれ上下方向に延在し、第１方向に離間して並ぶ１対の支持部と、
前記１対の支持部のそれぞれの前記第１方向を向く面である側面に、軸部を有する固定部材を介してそれぞれ取り付けられる１対の取付部と、
前記１対の取付部に支持され、物品が載置される載置部と、
を備え、
前記１対の取付部は、前記１対の支持部の前記第１方向及び前記上下方向に沿った面であって、前記支持部に対して前記載置部が位置する向きの面である前面に当接する当接部を有し、
前記１対の取付部のそれぞれは、前記軸部が挿通される穴部を有し、
前記穴部の面積は、前記軸部の軸方向に直交する断面積よりも大きい、
保管装置。

【請求項2】

複数の前記穴部が、前記１対の取付部のそれぞれに設けられており、
前記複数の前記穴部のそれぞれの前記１対の取付部の回動方向に沿った幅は、前記当接部からの距離が遠いほど大きくなるように形成されている、請求項１に記載の保管装置。

【請求項3】

それぞれ上下方向に延在し、第１方向に並ぶ１対の支持部と、
前記１対の支持部のそれぞれに取り付けられる１対の取付部と、
前記１対の取付部に支持され、物品が載置される載置部と、
を備え、
前記１対の取付部のそれぞれは、
前記１対の支持部に取り付けられる支持取付面と、
前記支持取付面に接続され、前記１対の支持部に対して前記載置部が位置する向きに延在する延在面と、
前記延在面の上端部に接続され、前記載置部の底面を下から支持するように前記底面に沿って延在する載置取付面と、を有し、
前記延在面に対する前記載置取付面の角度を変化させるために必要な力は、前記載置部を変形させるために必要な力より小さい、
保管装置。

【請求項4】

前記載置取付面は、前記延在面の前記上端部全長の一部分から前記載置部の前記底面に沿って延在する、請求項３に記載の保管装置。

【請求項5】

前記１対の取付部のそれぞれは、前記載置部よりも薄い部材で構成される、請求項３又は４に記載の保管装置。

【請求項6】

前記物品は、底部に設けられた供給孔を介して内部にガスを供給可能な容器であり、
前記載置部は、前記供給孔を介して前記容器内に前記ガスを供給するガス供給部を有する、請求項１～５の何れか一項に記載の保管装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、保管装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体基板を収容する容器を被保管物として保管する保管棚が知られている。例えば、特許文献１に記載の保管棚は、凹溝部が形成される１対の支柱と、支柱に固定され被保管物を載置する載置部を備える。載置部は、被保管物を支持する載置本体部と、支柱に固定される１対の取付板部と、を有する。１対の取付板部のそれぞれは、支柱の凹溝部に挿入されて固定されている。すなわち、特許文献１に記載の保管棚では、載置部は、凹溝部により、１対の支柱に対して位置決めされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－０３８６４７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記特許文献１に記載の保管棚では、載置部が支柱に対してしっかりと位置決めされるため、載置部に物品（被保管物）が載置されることによる取付板部の変位、又は支柱の凹溝部及び載置部の加工精度によって、載置本体部の平面度（平面形体の幾何学的に正しい平面からの狂いの大きさ）が大きくなる可能性があり、物品を安定して載置することができないおそれがある。また、特許文献１に記載の保管棚を利用する場合には、支柱の凹溝部及び載置部を精度良く加工する必要があるため、製造時に高い技量が要求される。

【0005】

そこで、本開示は、物品を載置する載置部の平面度を容易に調整することができる保管装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一側面に係る保管装置は、それぞれ上下方向に延在し、第１方向に離間して並ぶ１対の支持部と、１対の支持部のそれぞれの第１方向を向く面である側面に、軸部を有する固定部材を介してそれぞれ取り付けられる１対の取付部と、１対の取付部に支持され、物品が載置される載置部と、を備え、１対の取付部のそれぞれは、軸部が挿通される穴部を有し、穴部の面積は、１対の支持部の側面に沿って１対の取付部が回動可能な程度に、軸部の軸方向に直交する断面積よりも大きい。

【0007】

この保管装置では、載置部が１対の取付部により支持される。１対の取付部は、穴部に挿通される固定部材を介して、１対の支持部に取り付けられている。そして、穴部の面積は、軸部の軸方向に直交する断面積より大きいため、１対の取付部のそれぞれは、支持部の側面に沿って回動することができる。このような１対の取付部の回動により、１対の取付部に支持された載置部の平面度を修正することができる。よって、この保管装置によれば、物品を載置する載置部の平面度を容易に調整することができる。

【0008】

１対の取付部のそれぞれは、１対の支持部の第１方向及び上下方向に沿った面であって、支持部に対して載置部が位置する向きの面である前面に当接する当接部を有してもよい。これによれば、１対の取付部のそれぞれは、当接部を支点として安定して回動することができる。よって、この保管装置によれば、より安定した状態で載置部の平面度を容易に調整することができる。

【0009】

複数の穴部が、１対の取付部のそれぞれに設けられており、複数の穴部のそれぞれの１対の取付部の回動方向に沿った幅は、当接部からの距離が遠いほど大きくなるように形成されていてもよい。これによれば、穴部における１対の取付部の回動方向に沿った幅が当接部から遠いほど大きくなるため、複数の穴部が設けられた場合であっても、当接部を支点として１対の取付部のそれぞれを回動させることができる。また、穴部における１対の取付部の回動方向に沿った幅が当接部から近いほど小さくなるため、穴部内における固定部材の位置ずれが生じにくくなり、１対の取付部を適切な位置で安定して取り付けることができる。

【0010】

本開示の他の側面に係る保管装置は、それぞれ上下方向に延在し、第１方向に並ぶ１対の支持部と、１対の支持部のそれぞれに取り付けられる１対の取付部と、１対の取付部に支持され、物品が載置される載置部と、を備え、１対の取付部のそれぞれは、１対の支持部に取り付けられる支持取付面と、支持取付面に接続され、１対の支持部に対して載置部が位置する向きに延在する延在面と、延在面の上端部に接続され、載置部の底面を下から支持するように底面に沿って延在する載置取付面と、を有し、延在面に対する載置取付面の角度を変化させるために必要な力は、載置部を変形させるために必要な力より小さい。

【0011】

この保管装置では、載置部が１対の取付部により支持される。１対の取付部は、支持取付面を介して支持部に取り付けられている。また、載置取付面は、延在面の上端部から載置部の底面に沿って延在している。そして、延在面に対する載置取付面の角度を変化させるために必要な力は、載置部を変形させるために必要な力より小さい。このため、例えば一対の載置取付面同士が載置部の取付前において互いに平行となっていない場合（すなわち、一対の載置取付面の間にずれがある場合）等において、載置部が取り付けられることで当該ずれに起因して載置部が変形してしまう前に、一対の載置取付面が当該ずれを小さくする方向に角度を変化させることになる。これにより、載置部の平面度が小さく維持される。よって、この保管装置によれば、物品を載置する載置部の平面度を容易に調整することができる。

【0012】

載置取付面は、延在面の上端部全長の一部分から載置部の底面に沿って延在してもよい。これによれば、載置取付面を延在面の上端部の一部にのみ設けるといった簡易な構成により、延在面に対する載置取付面の角度を変化させるために必要な力を、載置部を変形させるために必要な力より小さくすることができる。

【0013】

１対の取付部のそれぞれは、載置部よりも薄い部材で構成されてもよい。これによれば、１対の取付部のそれぞれの厚みを載置部よりも薄くするといった簡易な構成により、延在面に対する載置取付面の角度を変化させるために必要な力を、載置部を変形させるために必要な力より小さくすることができる。

【0014】

物品は、底部に設けられた供給孔を介して内部にガスを供給可能な容器であり、載置部は、供給孔を介して容器内にガスを供給するガス供給部を有してもよい。これによれば、載置部の平面度が調整されることにより、容器の供給孔とガス供給部との密着性が保たれるため、容器内に適切にガスを供給させることができる。

【発明の効果】

【0015】

本開示によれば、物品を載置する載置部の平面度を容易に調整することができる保管装置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】図１は、一実施形態の保管装置の斜視図である。

【図2】図２は、一実施形態の保管装置の側面図である。

【図3】図３は、図１に示される保管装置の取付部の斜視図である。

【図4】図４は、図２に示される保管装置の一部を拡大した側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。以下の説明では、説明の便宜上、３次元空間の直交座標系における各軸方向をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向という。Ｘ方向及びＹ方向（第１方向の一例）は水平面に沿った方向であり、Ｚ方向は上下方向（鉛直方向）である。

【0018】

図１及び図２に示されるように、一実施形態の保管装置１は、物品の一例である容器５を保管する。容器５は、例えば、１又は複数の半導体ウェハ等が収容される箱状の筐体（例えば、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod））である。容器５は、半導体ウェハを内部に保持し、半導体ウェハを保護する。容器５の底部５ａには、容器５の内部と容器５の外部とを連通する供給孔５ｂが設けられている。容器５の内部には、底部５ａに形成された供給孔５ｂを通じてパージガス（例えば、窒素ガス）が供給される。

【0019】

保管装置１は、それぞれＺ方向に延在する１対の支柱１０（支持部の一例）と、１対の支柱１０に取り付けられる１対のブラケット３０（取付部の一例）と、１対のブラケット３０に支持され、容器５が載置される棚板２０（載置部の一例）と、各ブラケット３０を各支柱１０に固定する複数のボルト４０（固定部材の一例）とを備えている。棚板２０は、１対の支柱１０に対してＸ方向の一方側に位置している。以下、Ｘ方向の一方側（すなわち、１対の支柱１０に対して棚板２０が配置される側）を前方と定義し、Ｘ方向の他方側を後方と定義する。また、以下、Ｙ方向において、１対の支柱１０の内側を単に内側といい、１対の支柱１０の外側を単に外側と定義する。

【0020】

１対の支柱１０は、例えば、Ｙ方向に沿って所定間隔だけ離間して並ぶように設けられる。各支柱１０は、上面視においてＬ字状の部材である。具体的には、各支柱１０は、前方側を向いた面（Ｙ方向及びＺ方向に沿った面）である前面１０ａ、及び前面１０ａに交差する面（外側を向く面）である側面１０ｂを有する。前面１０ａは、支柱１０に対して後述の棚板２０が位置する方向の面である。図１に示されるように、本実施形態では、各支柱１０の側面１０ｂは、前面１０ａのＹ方向における外側の端部から後方へと延在している。各支柱１０の側面１０ｂには、ボルト４０が挿通される挿通穴１２が設けられる。挿通穴１２は、Ｙ方向において貫通している。挿通穴１２は、後述の穴部３４の個数及び位置に応じて設けられる。挿通穴１２には、穴部３４に挿通されたボルト４０が挿通されてナット（図示省略）により固定される。

【0021】

棚板２０は、容器５を支持する部材である。すなわち、棚板２０には、容器５が載置される。棚板２０は、１対のブラケット３０を介して１対の支柱１０に取り付けられる。棚板２０は、例えば板状を呈する。棚板２０の上面２０ａによって、容器５の底部５ａが支持される。棚板２０の底面２０ｂには、１対のブラケット３０が取り付けられる。

【0022】

本実施形態では一例として、棚板２０は、Ｙ方向の中央部において前方側の端部から後方側に窪んだ凹部２０ｃを有しており、上面視において略Ｕ字状に形成されている。凹部２０ｃによって、Ｚ方向に貫通すると共に前方側に開口する開口領域Ｓが形成されている。棚板２０は、１対の支柱１０に対して複数設けられてもよい。例えば、１対の支柱１０の間には、Ｚ方向に複数段の棚板２０が設けられてもよい。この場合、Ｚ方向に隣り合う棚板２０の設置間隔は、容器５の高さ（Ｚ方向の長さ）よりも大きく設定される。

【0023】

なお、開口領域Ｓの奥行（Ｘ方向における長さ）及び幅（Ｙ方向における長さ）は、容器５の構造、容器５を取り出す装置の構造等に合わせて適宜設定される。また、開口領域Ｓ（すなわち、凹部２０ｃ）は、必ずしも設けられなくてもよい。

【0024】

棚板２０は、ガス供給部２１をさらに有する。ガス供給部２１は、ガス管（図示省略）及びガスボンベ（図示省略）に連通し、パージガスを通気する。ガス供給部２１は、例えば、棚板２０の上面２０ａから突出した円柱状を呈するノズルである。ガス管は、ガス供給部２１とガスボンベとを連通する管路である。棚板２０の上面２０ａ上に容器５が載置されるとき、容器５は、底部５ａに設けられた供給孔５ｂとガス供給部２１とが係合可能なように位置決めされる。パージガスが、容器５の供給孔５ｂ、ガス供給部２１及びガス管を介して容器５の内部に供給されることにより、容器５は、パージ処理される。ガス供給部２１は、容器５の供給孔５ｂの数、大きさ及び形状に合わせて適宜設けられる。

【0025】

図１及び図２に示されるように、１対のブラケット３０は、棚板２０を支持する部材である。各ブラケット３０は、各支柱１０の側面１０ｂに取り付けられる。図１、図２及び図３に示されるように、各ブラケット３０は、各支柱１０の側面１０ｂに対向する支持取付部３１と、支持取付部３１に接続されている延在部３２と、延在部３２に接続されている当接部３３と、延在部３２の上端部３２ｂに接続されている載置取付部３５とを有する。支持取付部３１、延在部３２、当接部３３及び載置取付部３５は、例えば、それぞれ板状を呈する。

【0026】

支持取付部３１は、各支柱１０の側面１０ｂに、ボルト４０を介して取り付けられる。支持取付部３１は、Ｘ方向及びＺ方向に延在している。支持取付部３１のＸ方向及びＺ方向の長さ及び形状は、各支柱１０の側面１０ｂの大きさに合わせて適宜設定される。本実施形態では一例として、支持取付部３１は、各支柱１０の外側の側面１０ｂ（すなわち、Ｙ方向において互いに反対側を向く面）に設けられる。

【0027】

支持取付部３１は、外側の面である支持取付面３１ａを有する。支持取付面３１ａは、各支柱１０の側面１０ｂに取り付けられ、側面１０ｂに沿っている面である。支持取付部３１には、穴部３４が設けられている。穴部３４の詳細は後述する。

【0028】

延在部３２は、支持取付部３１の前方側の端部に接続され、各支柱１０に対して棚板２０が位置する向き（前方側）に、各支柱１０の側面１０ｂに沿って延在する。延在部３２は、下方に収納される容器５の大きさ及び形状に合わせて適宜設定される。本実施形態では一例として、延在部３２は、支柱１０の前面１０ａから、棚板２０の前方側の端部よりも後方の位置まで延在している。すなわち、Ｙ方向から見て、棚板２０の前端は、延在部３２の前端よりも前方に突出している。例えば、延在部３２は、Ｘ方向において最も前方側に設けられたガス供給部２１の位置まで延在する。延在部３２は、外側の面である延在面３２ａを有する。延在面３２ａは、各支柱１０の側面１０ｂに沿って延在している面であり、支持取付面３１ａに接続されている。本実施形態では、支持取付面３１ａと延在面３２ａとは、連続しており、同一平面を形成している。延在部３２（延在面３２ａ）は、Ｘ方向に沿った上端部３２ｂを有する。また、延在部３２は、前方側に向かうにつれて上方へと移動する下端部３２ｃを有する。これにより、延在部３２は、前方側に向かうにつれてＺ方向の長さ（すなわち、上端部３２ｂと下端部３２ｃとの距離）が小さくなる形状を有している。

【0029】

当接部３３は、例えば鉤状を呈する。当接部３３は、例えば、下端部３２ｃの後方側の部分（各支柱１０の近傍部分）に接続されている。当接部３３は、下端部３２ｃから下方に延在する部分である第１延在部３３ａと、第１延在部３３ａの下端部から棚板２０の底面２０ｂに沿うように内側に向かって延在する第２延在部３３ｂとを有する。第１延在部３３ａ及び第２延在部３３ｂは、Ｘ方向から見て略Ｌ字状に形成されている。第２延在部３３ｂの少なくとも一部は、後方側に、すなわち各支柱１０の前面１０ａに向かって突出する。図２に示されるように、第２延在部３３ｂにおける各支柱１０の前面１０ａ側の先端部３３ｃは、各ブラケット３０が各支柱１０に取り付けられた状態において、各支柱１０の前面１０ａに当接するように形成されている。なお、第１延在部３３ａは、省略されてもよい。すなわち、第２延在部３３ｂは、延在部３２の下端部３２ｃに直接接続されてもよい。

【0030】

穴部３４は、Ｙ方向において支持取付部３１を貫通している。支持取付部３１は、穴部３４に挿通されたボルト４０を介して各支柱１０の側面１０ｂに取り付けられる。まず、ボルト４０の詳細を説明する。穴部３４に挿通されたボルト４０は、各支柱１０の側面１０ｂに設けられた挿通穴１２に挿通する。挿通穴１２に挿通されたボルト４０は、内側においてナット（図示省略）により各支柱１０に固定される。ボルト４０は、軸状を呈する。ボルト４０は、穴部３４の個数及び位置に応じて設けられる。ボルト４０は、支持取付部３１の支持取付面３１ａに近接又は接触する頭部４０ａ、及び、穴部３４及び挿通穴１２に挿通される軸部４０ｂを有する。頭部４０ａ及び軸部４０ｂは、例えば円柱状を呈する。

【0031】

頭部４０ａは、軸部４０ｂの軸方向（Ｙ方向）に直交する断面積、及び穴部３４の面積よりも大きい断面積を有する。穴部３４の面積とは、Ｙ方向から見た穴部３４の面積を指す。ボルト４０が１対のブラケット３０を各支柱１０の側面１０ｂに取り付けた状態において、頭部４０ａにおける内側の面と支持取付部３１の支持取付面３１ａとが当接することにより、支持取付部３１の外側への移動が規制される。軸部４０ｂは、支持取付部３１の厚み（Ｙ方向における長さ）より長く、Ｙ方向に延在する。

【0032】

図４に示されるように、穴部３４は、支持取付部３１に複数設けられる。各穴部３４の形状は、例えば、Ｙ方向から見て円形である。穴部３４の面積は、各支柱１０の側面１０ｂに沿って１対のブラケット３０が回動可能な程度に、ボルト４０の軸部４０ｂのＹ方向に直交する断面積よりも大きい。すなわち、穴部３４の径は、軸部４０ｂの径よりも大きい。このため、支持取付部３１が各支柱１０の側面１０ｂにボルト４０により取り付けられ、且つ、各支柱１０の側面１０ｂにおいてボルト４０及びナットによる支持取付部３１の固定が解除されている（或いは緩められている）場合、各ブラケット３０は当接部３３の先端部３３ｃを中心に回動方向Ｒに沿って回動することができる。各支柱１０の側面１０ｂに対する支持取付部３１の固定度合いは、ナットの締め付け度合いを調整することによって調整することができる。なお、回動方向Ｒとは、各支柱１０の側面１０ｂに沿った平面において、当接部３３の先端部３３ｃを中心とする円の円周方向である。すなわち、Ｙ方向から見て当接部３３の先端部３３ｃと各支柱１０の前面１０ａとの接触位置は、各ブラケット３０の回動中心位置Ｐを構成する。したがって、第１延在部３３ａのＺ方向の長さを適切に設計し、当該接触位置を設定することで、各ブラケット３０の回動中心位置Ｐ及び回動方向Ｒを調整することができる。

【0033】

各穴部３４において、回動方向Ｒに沿った幅ｗは、当接部３３の先端部３３ｃからの距離が遠いほど大きくなるように形成されている。本実施形態では一例として、穴部３４を円形に形成し、穴部３４の径を適切に設計することにより、上記構成が実現されている。すなわち、各穴部３４の径は、回動中心位置Ｐから当該穴部３４までの距離ｄが遠いほど大きくなるように設計されている。

【0034】

載置取付部３５は、例えば、延在部３２の上端部３２ｂから上方に延在する部分である第３延在部３５ａと、第３延在部３５ａから棚板２０の底面２０ｂに沿うように内側に向かって延在する第４延在部３５ｂとを有する。第４延在部３５ｂは、棚板２０の底面２０ｂの少なくとも一部を下から支持するように接合する。棚板２０及び載置取付部３５は、例えばピン及びナットにより接合されている。なお、第３延在部３５ａは、省略されてもよい。すなわち、第４延在部３５ｂは、延在部３２の上端部３２ｂに直接接続されてもよい。

【0035】

載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂ全長の一部分に設けられている。また、載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂの複数（本実施形態では２つ）の互いに分離された部分に設けられている。以下、本実施形態において、載置取付部３５の一例として、Ｘ方向の前方側に位置する載置取付部３５を第１載置取付部３５Ａとし、Ｘ方向の後方側に位置する載置取付部３５を第２載置取付部３５Ｂとする。第１載置取付部３５Ａは、第２載置取付部３５Ｂより、当接部３３の先端部３３ｃからのＸ方向の距離が大きいため、当接部３３の先端部３３ｃを中心としたモーメントが大きい。このため、本実施形態では、第１載置取付部３５ＡのＸ方向の長さを第２載置取付部３５ＢのＸ方向の長さよりも長くすることにより、延在部３２におけるモーメントの偏りが抑制されている。

【0036】

載置取付部３５（第１載置取付部３５Ａ及び第２載置取付部３５Ｂ）は、延在部３２の上端部３２ｂに接続され、棚板２０の底面２０ｂを下から支持するように底面２０ｂに沿って延在する載置取付面３５ｃを有する。載置取付面３５ｃは、例えば第４延在部３５ｂの上面である。載置取付面３５ｃは、例えば、当接部３３の第２延在部３３ｂに略平行である。載置取付面３５ｃの少なくとも一部は、棚板２０の底面２０ｂと接合する。載置取付部３５（載置取付面３５ｃ）は、例えば、Ｘ方向において棚板２０に設けられたガス供給部２１に近接した位置に設けられる。ガス供給部２１には、棚板２０に載置される容器５の荷重又は容器５の載置時における衝撃が加わり、棚板２０が変形するおそれがある。載置取付部３５がガス供給部２１に近接した位置に設けられることで、載置取付部３５は、棚板２０に加わる力を受け持つことができる。容器５の載置に伴い棚板２０に加わる力は、載置取付部３５を介して延在部３２、支持取付部３１及び各支柱１０に分散できる。これにより、Ｘ方向において載置取付部３５が取り付けられていない棚板２０の部位にかかる力を抑えられ、棚板２０が変形する量を小さくすることができる。

【0037】

延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるために必要な力は、棚板２０を変形させるために必要な力より小さい。すなわち、棚板２０及び１対のブラケット３０の強度は、上記関係が成立するように調整されている。つまり、１対のブラケット３０上に載置された棚板２０が撓んだり折れ曲がったりする前に、１対のブラケット３０の少なくとも一方が先に変形するようになっている。例えば、棚板２０の一部を下方に湾曲させて平面度を大きくするために必要な力より、載置取付部３５の第４延在部３５ｂが第３延在部３５ａに対して下方に折れ曲がるために必要な力の方が小さい。ここで、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させることは、第３延在部３５ａに対する第４延在部３５ｂの角度を変化させることを含む。例えば、第３延在部３５ａと第４延在部３５ｂとの境界において、第４延在部３５ｂ全体が第３延在部３５ａに対して折れ曲がる、又は第４延在部３５ｂの一部分が第３延在部３５ａに対して折れ曲がることで、第３延在部３５ａに対する第４延在部３５ｂの角度が変化する。このとき、第３延在部３５ａがＺ方向に対して屈曲してもよい。

【0038】

延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を棚板２０に比べて変形させ易くするため、載置取付部３５は、例えば、棚板２０に比べて強度が弱くなるように形成されている。例えば、各ブラケット３０は、棚板２０よりも薄い部材で構成されていてもよい。なお、各ブラケット３０の全体の強度が一様に弱くされる必要はなく、少なくとも載置取付部３５が棚板２０よりも強度の弱い部材で構成されていてもよい。

【0039】

ここで、仮に、１対のブラケット３０の各々の載置取付面３５ｃが互いに平行になっておらず、且つ、載置取付部３５の強度が棚板２０の強度よりも大きい場合には、棚板２０が載置取付部３５によってバランス良く支持されず、棚板２０の一部に荷重（載置取付部３５又は容器５から受ける力）が集中して棚板２０が変形してしまうおそれがある。一方、本実施形態では、載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂの一部分から延在し、棚板２０よりも強度が弱くなるように形成されている。これにより、上述したように１対のブラケット３０の各々の載置取付面３５ｃが互いに平行になっていない場合であっても、載置取付部３５が棚板２０より先に変形することにより、棚板２０の平面度を小さく抑えることができる。例えば、載置取付部３５又は各ブラケット３０全体に加工誤差が生じていた場合であっても、棚板２０が当該加工誤差により変形する前に、載置取付部３５が加工誤差を収束させるように先に変形する。したがって、棚板２０の平面度に対する載置取付部３５又はブラケット３０の加工誤差による影響が小さくなる。以上のように、載置取付部３５が棚板２０より先に変形することにより、載置取付部３５又は容器５から棚板２０に作用する力によって棚板２０が変形することが抑えられ、平面度が小さくなる。

【0040】

次に、１対の支柱１０に棚板２０及び１対のブラケット３０を取り付ける方法を説明する。まず、１対のブラケット３０は、１対の支柱１０の側面１０ｂにボルト４０を介して接続される。ボルト４０は、各ブラケット３０における支持取付部３１に設けられた各穴部３４に挿通されると共に各支柱１０の各挿通穴１２に挿通され、図示しないナットが締められることによって固定される。支持取付部３１は、ボルト４０の頭部４０ａと各支柱１０の側面１０ｂとの間に挟まれるようにして固定される。このとき、各ブラケット３０の各支柱１０に対する回動角度θを調整する。回動角度θは、回動方向Ｒにおける各支柱１０の前面１０ａに対する載置取付面３５ｃ（第２延在部３３ｂ）の角度である。回動角度θは、例えば、載置取付面３５ｃが１対の支柱１０の接地面（図示省略）に水平になるように（平行度が小さくなるように）調整される。

【0041】

続いて、棚板２０を載置取付面３５ｃ上に設置する。棚板２０が図示しないピンとナットにより載置取付部３５と接合することによって、１対のブラケット３０からの水平方向への位置ずれが抑制される。棚板２０と１対のブラケット３０とが取り付けられることにより、上述した構成及び機能が得られる。

【0042】

次に、保管装置１に対して前方側から容器５を移載する場合において、保管装置１の各部位の作用を説明する。容器５は、後方（棚板２０から各支柱１０の前面１０ａへの方向）に向けて棚板２０の上面２０ａ上に載置される。このとき、容器５の供給孔５ｂとガス供給部２１とが係合する。Ｘ方向において、載置取付部３５はガス供給部２１に近接した位置に設けられるため、容器５による荷重を棚板２０を介して載置取付部３５の載置取付面３５ｃが受ける。これにより、容器５の荷重を載置取付部３５を介して延在部３２、支持取付部３１及び各支柱１０にかけることができるため、Ｘ方向において載置取付部３５が取り付けられていない棚板２０の部位にかかる力を抑えられ、棚板２０が変形する量を小さくすることができる。

【0043】

また、容器５を棚板２０の上面２０ａ上に載置する場合、棚板２０及び１対のブラケット３０に対して衝撃が加わる可能性がある。例えば、容器５がガス供給部２１と係合するときに容器５がガス供給部２１に衝突した場合、又は、勢いよく容器５が上面２０ａ上に載置された場合などに、棚板２０及び１対のブラケット３０に対して衝撃が加わる可能性がある。また、容器５を棚板２０の上面２０ａ上に載置する場合、棚板２０及び１対のブラケット３０に対して荷重がかかる。

【0044】

棚板２０及び１対のブラケット３０に対して、上記のような容器５の載置時の衝撃、又は容器５の荷重が加わった場合、棚板２０の平面度が大きくなる可能性がある。例えば、棚板２０の平面度が大きくなった場合、１対のブラケット３０において、回動角度θがそれぞれ異なる可能性がある。このとき、各ブラケット３０における支持取付部３１を、当接部３３の先端部３３ｃ（回動中心位置Ｐ）を支点として回動させることで、棚板２０の平面度を調整することができる。以下、詳細に説明する。

【0045】

各ボルト４０において図示しない各ナットを緩めることで、各支柱１０に対する各ブラケット３０の固定が解除される（或いは緩められる）。穴部３４の面積は、各ブラケット３０が回動可能な程度に、ボルト４０の軸部４０ｂのＹ方向に直交する断面積より大きいため、支持取付部３１は、複数の穴部３４の形状に合わせて移動することができる。例えば、載置取付面３５ｃが調整前の状態より下方に位置するように調整したい場合、当接部３３の先端部３３ｃを中心として、Ｙ方向から見た各穴部３４の位置（Ｙ方向から見た中心位置）を回動方向Ｒにおける前方にずらすように回動させればよい。逆に、載置取付面３５ｃが調整前の状態より上方に位置するように調整したい場合、当接部３３の先端部３３ｃを中心として、Ｙ方向から見た各穴部３４の位置を回動方向Ｒにおける後方にずらすように回動させればよい。

【0046】

上記のように、１対のブラケット３０の少なくとも一方において載置取付面３５ｃの位置、すなわち、回動角度θを調整することで、棚板２０の平面度が小さくなるように調整することができる。また、１対のブラケット３０の少なくとも一方において載置取付面３５ｃの位置、すなわち、回動角度を調整することで、保管装置１の接地面に対して棚板２０が平行となるように（平行度が小さくなるように）調整することができる。

【0047】

以上のように、保管装置１では、棚板２０が１対のブラケット３０により支持される。１対のブラケット３０は、穴部３４に挿通されるボルト４０を介して、１対の支柱１０に取り付けられている。そして、穴部３４の面積は、ボルト４０（軸部４０ｂ）の軸方向（Ｙ方向）に直交する断面積より大きいため、各ブラケット３０は、各支柱１０の側面１０ｂに沿って回動することができる。つまり、穴部３４の径は、軸部４０ｂの径と対応する大きさ（すなわち、軸部４０ｂの径と略一致する大きさ）よりも大きく形成されている。これにより、軸部４０ｂが穴部３４に挿通された状態において、穴部３４の位置をＸＺ平面に沿って移動させることができ、穴部３４の移動に伴って各ブラケット３０を回動させることができる。このような１対のブラケット３０の回動により、１対のブラケット３０に支持された棚板２０の平面度を修正することができる。よって、保管装置１によれば、容器５（物品）を載置する棚板２０の平面度を容易に調整することができる。

【0048】

また、各ブラケット３０は、各支柱１０の前面１０ａに当接する当接部３３を有しているため、各ブラケット３０は、当接部３３を支点として安定して回動することができる。これにより、より安定した状態で棚板２０の平面度を容易に調整することができる。また、当接部３３を設けることによって、各ブラケット３０の回動中心位置Ｐを柔軟且つ容易に調整することができる。

【0049】

また、穴部３４における回動方向Ｒに沿った幅ｗが当接部３３からの距離ｄが遠いほど大きくなるため、複数の穴部３４が設けられた場合であっても、当接部３３の先端部３３ｃを支点として各ブラケット３０を回動させ、回動角度θを調整することができる。また、穴部３４における回動方向Ｒに沿った幅ｗが当接部３３から近いほど小さくなるため、穴部３４内におけるボルト４０の位置ずれが生じにくくなるため、１対のブラケット３０を適切な位置で安定して取り付けることができる。

【0050】

また、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるために必要な力は、棚板２０を変形させるために必要な力より小さい。このため、例えば一対の載置取付面３５ｃ同士が棚板２０の取付前において互いに平行となっていない場合（すなわち、一対の載置取付面３５ｃの間にずれがある場合）等において、棚板２０が取り付けられることで当該ずれに起因して棚板２０が変形してしまう前に、一対の載置取付面３５ｃが当該ずれを小さくする方向に角度を変化させることになる。これにより、棚板２０の平面度が小さく維持される。

【0051】

また、載置取付面３５ｃは、延在部３２の上端部３２ｂ全長の一部分（本実施形態では、２つの分離された領域）から棚板２０の底面２０ｂに沿って延在している。載置取付面３５ｃを上端部３２ｂの一部にのみ設けるといった簡易な構成により、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるために必要な力（つまり、曲げ変形に対する各ブラケット３０の強度）を、棚板２０を変形させるために必要な力より小さくすることができる。

【0052】

また、各ブラケット３０は、棚板２０よりも薄い部材で構成されている。各ブラケット３０の厚みを棚板２０よりも薄くするといった簡易な構成により、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるために必要な力を、棚板２０を変形させるために必要な力より適切に小さくすることができる。

【0053】

また、容器５に供給孔５ｂが設けられ、棚板２０がガス供給部２１を有する場合、棚板２０の平面度が調整されることにより、容器５の供給孔５ｂとガス供給部２１との密着性が保たれるため、容器５内に適切にガスを供給させることができる。また、特に、載置取付面３５ｃがＸ方向においてガス供給部２１に近接した位置に設けられることで、載置取付部３５は、棚板２０（ガス供給部２１）に加わる力を受け持つことができる。容器５の載置に伴い棚板２０に加わる力は、載置取付部３５を介して延在部３２、支持取付部３１及び各支柱１０に分散する。これにより、Ｘ方向において載置取付部３５が取り付けられていない棚板２０の部位にかかる力を抑え、棚板２０が変形する量を小さくすることができる。

【0054】

本開示は、上述した本実施形態に限定されない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。例えば、１対のブラケット３０は、１対の支柱１０の代わりに、Ｙ方向において対向する２つの側面１０ｂを有する１つの支持部材に取り付けられてもよい。

【0055】

支持取付面は、支持取付部３１の内側の面であってもよい。この場合、各支柱は、例えば、各支柱の側面が各支柱の前面のＹ方向における内側の端部から後方へと延在する構成を備えていればよい。すなわち、各支柱の側面は、内側を向き、互いに対向するように構成されればよい。このとき、支持取付部３１の外側の面が各支柱の側面に当接している。なお、このとき、延在面（すなわち、支持取付面と連続する面）は、延在部３２の内側の面となる。

【0056】

延在部３２は、棚板２０の前方側の端部まで延在していてもよい。また、延在面３２ａは、Ｘ方向及びＺ方向に延在する面でなくてもよい。この場合、延在部３２は、例えば、少なくともＸ方向に延在する部位であり、このときの延在部３２の一面が延在面３２ａであってもよい。延在面３２ａは、第３延在部３５ａの外側の面を含んでいてもよい。

【0057】

各ブラケット３０は、当接部３３を有さなくてもよい。この場合、１対のブラケット３０を当接部３３の先端部３３ｃを中心に回動方向Ｒに回動させることはできないが、ボルト４０の軸部４０ｂに対して穴部３４を相対的に移動させることで、１対のブラケット３０の回動角度を調整することができる。

【0058】

各ブラケット３０において、穴部３４は１つだけ設けられてもよい。また、複数の穴部３４のうちの１つの穴部３４に挿通される１つのボルト４０は、各ブラケット３０の回動の中心軸として機能してもよい。この場合、当該１つの穴部３４は、ボルト４０の軸部４０ｂが挿通可能な程度の大きさ、すなわち軸部４０ｂと略同径である。

【0059】

各穴部３４の形状は円形に限定されない。例えば、各穴部３４は、回動方向Ｒに沿って幅広に延在するアーチ状に形成されていてもよい。また、複数の穴部３４の形状は、すべて同一あってもよく、穴部３４毎に異なっていてもよい。また、複数の穴部３４は、必ずしも、回動方向Ｒに沿った幅ｗが当接部３３から遠いほど大きくなるように形成されていなくてもよい。

【0060】

上記実施形態では、載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂの一部に設けられたが、載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂの全域に亘って設けられてもよい。また、ブラケット３０の強度は、棚板２０の強度と同等又は棚板２０の強度よりも高くてもよい。載置取付部３５（載置取付面３５ｃ）は、延在部３２（延在面３２ａ）の上端部３２ｂの全部に（すなわち、上端部３２ｂの全域に亘って）設けられてもよい。また、保管装置１は、穴部３４の面積がボルト４０のＹ方向に直交する断面積より大きい構成（すなわち、各ブラケット３０を回動方向Ｒに沿って回動可能にする構成）、及び、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるのに必要な力が棚板２０を変形させるのに必要な力より小さい構成の少なくともいずれか一方を有していればよい。また、各ブラケット３０を回動方向Ｒに沿って回動させる構成を採用しない場合には、各ブラケットは、必ずしも各支柱１０の側面に取り付けられなくてもよい。例えば、各ブラケットに各支柱１０の前面１０ａに対向する面部を設け、当該面部と前面１０ａとを接合することにより、各ブラケットを各支柱１０に取り付けてもよい。

【0061】

挿通穴１２は、ボルト４０の軸部４０ｂと螺合する溝部が形成されていてもよい。この場合、ナットは省略され得る。なお、この場合、ボルト４０は、軸部４０ｂにおける各支柱１０の側面１０ｂから外側に突出した部分の長さを調整することにより、各支柱１０に対する支持取付部３１の固定を解除する（緩める）ことができる。

【符号の説明】

【0062】

１…保管装置、５…容器（物品）、５ａ…底部、５ｂ…供給孔、１０…支柱（支持部）、１０ａ…前面、１０ｂ…側面、１２…挿通穴、２０…棚板（載置部）、２０ａ…上面、２０ｂ…底面、２０ｃ…凹部、２１…ガス供給部、３０…ブラケット（取付部）、３１…支持取付部、３１ａ…支持取付面、３２…延在部、３２ａ…延在面、３２ｂ…上端部、３２ｃ…下端部、３３…当接部、３３ａ…第１延在部、３３ｂ…第２延在部、３３ｃ…先端部、３４…穴部、３５…載置取付部、３５ａ…第３延在部、３５ｂ…第４延在部、３５ｃ…載置取付面、４０…ボルト（固定部材）、４０ａ…頭部、４０ｂ…軸部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】