特許 7376594出願番号 特願 2021-529940
シャフト付きセラミックヒータ
出願人 日本碍子株式会社（識別番号 4064）
2026年 特許公開件数ランキング 248位 124件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 107位 207件（※）
公報発行日 2023年11月8
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7376594 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
シャフト付きセラミックヒータ
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
こうしたシャフト付きセラミックヒータにおいて、発熱体給電ロッドを覆う絶縁部材として絶縁スリーブなどを用いた場合、絶縁スリーブはある程度の厚みが必要になるため、複数の発熱体給電ロッドをセラミックシャフトの内部空間に収容しようとすると、セラミックシャフトの径を大きくする必要があった。しかしながら、セラミックシャフトの径を大きくすると、ウエハ載置面やウエハの均熱性が悪化したりセラミックシャフトとセラミックプレートとの接合界面における応力が大きくなったりするため、セラミックシャフトの径を大きくするには限界があった。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明のシャフト付きセラミックヒータは、
ＲＦ電極及び抵抗発熱体が埋設されたセラミックプレートと、
前記セラミックプレートのウエハ載置面とは反対側の面に設けられた中空のセラミックシャフトと、
前記セラミックシャフトの内部空間に収容され、前記セラミックプレートのウエハ載置面とは反対側の面から前記ＲＦ電極に接合されたＲＦ給電ロッドと、
前記セラミックシャフトの内部空間に収容され、・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本実施形態のシャフト付きセラミックヒータの縦断面図。
【図2】
シャフト付きセラミックヒータの横断面図。
【図3】
シャフト付きセラミックヒータの横断面図。
【図4】
従来のシャフト付きセラミックヒータの縦断面図。
代表図 図1本件の代表的な図
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