特許7377659基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 49 位（157件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 56 位（131件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7377659

公報発行日　2023年11月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7377659

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