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特許7377848フォトレジスト組成物及びパターン形成方法
発明の名称 フォトレジスト組成物及びパターン形成方法
出願人 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ，エル．エル．シー． （識別番号 591016862）
特許公開件数ランキング 1036 位（7件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1425 位（5件）（共同出願を含む）
出願人 ローム・アンド・ハース電子材料株式会社 （識別番号 592165510）
特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7377848
公報発行日 2023年11月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7377848
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