特許7378769基板構造体、支持構造体、薄膜素子の応用デバイス、テラヘルツ帯域電磁波発振素子及びテラヘルツ帯域電磁波発振装置

発明の名称　基板構造体、支持構造体、薄膜素子の応用デバイス、テラヘルツ帯域電磁波発振素子及びテラヘルツ帯域電磁波発振装置

出願人　国立大学法人　筑波大学　（識別番号 504171134）

　　　　特許公開件数ランキング 695 位（18件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 471 位（28件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7378769

公報発行日　2023年11月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7378769

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