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公報発行日 2023年11月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7379764 ログイン済みの方はこのURLへ
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【課題】高純度酸素液中の不揮発性不純物を低減あるいは除去する方法を提供する。
【解決手段】高純度酸素液中の不揮発性不純物を低減あるいは除去する方法は、高純度酸素液を製造する空気分離装置における高純度酸素精留塔から得られる高純度酸素液を蒸発させる酸素蒸発工程と、前記酸素徐発工程で蒸発された酸素ガスを再凝縮する酸素再凝縮工程と、を含む。前記方法は、前記酸素再凝縮工程で得られた凝縮液を取り出す高純度酸素液取出工程を含んでいてもよい。
【選択図】図1
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