技術分野
メモリ素子を有する半導体装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
SGTを用いたメモリ装置でキャパシタを無くした、1個のトランジスタ型のDRAM(ゲインセル)では、ワード線とフローティング状態のSGTのボディとの容量結合カップリングが大きく、データ読み出し時や書き込み時にワード線の電位を振幅させると、直接SGTボディへのノイズとして、伝達されてしまう問題点があった。この結果、誤読み出しや記憶データの誤った書き換えの問題を引き起こし、キャパシタを無くした1トランジスタ型のDRAM(ゲインセル)の実用化が困難となっていた。そして、問題を解決すると共に、メモリセルと、同一基板上に、メモリセルを駆動するための周辺回路を高密度で、且つ低コストで形成する必要がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
の課題を解決するために、本発明に係るメモリ装置は、
基板に対して、中心軸が垂直方向、又は水平方向にある第1の半導体母体と、
前記第1の半導体母体の両端に繋がる第1の不純物層と、第2の不純物層と、
前記第1の半導体母体の一部を囲こむ、前記第1の不純物層側の第1のゲート絶縁層と、
前記第1のゲート絶縁層と、前記第2の不純物層と、の間の前記第1の半導体母体を囲こむ、前記第2の不・・・ 続きを
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
第1ダイナミック フラッシュメモリ装置の構造を示す図である。
【図2】
第1ダイナミック フラッシュメモリ装置の消去動作メカニズムを説明するための図である。
【図3】
第1ダイナミック フラッシュメモリ装置の書込み動作メカニズムを説明するための図である。
【図4A】
第1ダイナミック フラッシュメモリ装置の読出し動作メカニズムを説明するための図である。
【図4B】
第1ダイナミック フラッシュメモリ装置の読出し動作メカニズムを説明するための図である。
【図5】
第2ダイナミック フラッシュ メモリセルの構造を説明するための図である。
【図6】
第3ダイナミック フラッシュ メモリセルの構造を説明するための図である。
【図7】
従来例のキャパシタを有しない、DRAMメモリセルの書込み動作を示す図である。
【図8】
従来例のキャパシタを有しない、DRAMメモリセルの動作上の問題点を説明するための図である。
【図9】
従来例のキャパシタを有しない、DRAMメモリセルの読出し動作を示す図である。
1 基板
20 P層
2、22a、22b、22c、22d Si柱
3a、3b、21、23a、23b、23c、23d N+層
4a 第1のゲート絶縁層
4b 第2のゲート絶縁層
5a 第1のゲート導体層
5b 第2のゲート導体層
5c 第3のゲート導体層
6 絶縁層
7 チャネル領域
7a 第1のチャネル層
7b 第2のチャネル層
11 正孔群
12a、12b 反転層
13 ピンチオフ点
SL ソース線
PL1 第1のプレート線
PL2 第2のプレート線
WL ワード線
BL ビット線
27a、27b HfO2層
28a1、28a2、28b1、28b2、28A1、28B1,28A2、36a、36b TiN層
26、33、37 SiO2層
40a、40b 配線金属層
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