しかしながら、保護機能は、高周波電源装置におけるフィードバック制御によって実現されている。このため、応答速度は進行波電力が一定の場合のフィードバック制御よりも遅くなることが一般的である。また、リニア方式の電力増幅器を搭載した高周波電源装置の応答速度に比べ、スイッチング方式の電力増幅器を搭載した高周波電源装置の応答速度はさらに遅くなってしまう。特に、進行波電力や反射波電力が急激に変化する負荷急変が発生した場合には、出力抑制制御が十分に働かないことがあり、高周波電源装置内部の部品に多大な電気的ストレスを与えることがある。さらに、不要な進行波電力の急増は、高周波電源装置に接続されるプラズマ装置（負荷）へのダメージを引き起こす可能性がある。このような負荷急変対策として、例えば、特許文献１では、直流電源部の平滑用コンデンサに対して並列にコンデンサ放電用スイッチと電流制限用抵抗器とを設け、負荷インピーダンスの過渡的な変化検出時に瞬時に放電させることにより、負荷に供給されるエネルギーを抑制することが開示されている。

課題を解決するために、本接続される負荷に対して高周波出力を供給する高周波電源装置であって、少なくとも２つの電力増幅器と、少なくとも１つの電力合成部と、電力合成部から出力され、負荷に供給する進行波電力信号と、負荷からの反射波電力信号と、を検出する高周波電力検出部と、検出した進行波電力信号および反射波電力信号の変化量によって、負荷急変を検出し、負荷急変を検出した場合に電力増幅器の・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る