特許 7382719 シート切断装置およびシート切断方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-11-09

(45)【発行日】2023-11-17

(54)【発明の名称】シート切断装置およびシート切断方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20231110BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2019011055

(22)【出願日】2019-01-25

(65)【公開番号】P2020120025

(43)【公開日】2020-08-06

【審査請求日】2021-11-22

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－１５８８７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－９１４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１３４４３８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

接着シート基材の面内で当該接着シート基材を支持する内側支持面を有する内側支持手段と、
前記内側支持面に対して所定の間隔の隙間を形成するように配置され、当該内側支持面からはみ出した前記接着シート基材部分を支持する外側支持面を有する外側支持手段と、
前記所定の間隔に沿って前記接着シート基材を切断し、当該接着シート基材から所定形状の接着シートを形成するシート切断手段とを備え、
前記外側支持手段は、前記接着シートが切り抜かれた切断済み接着シート基材における当該接着シートの切り抜き縁部を、当該接着シートの外縁から遠ざけるように変位させる変位手段を有し、
前記隙間内から前記切り抜き縁部に力を付与し、前記変位手段による切り抜き縁部の変位の補助および、前記切り抜き縁部が変位した状態の維持の少なくとも一方を行う変位補助手段をさらに備えていることを特徴とするシート切断装置。

【請求項2】

前記変位手段は、前記隙間に沿って前記外側支持面に形成された凹溝と、当該凹溝に引き込み力を付与する引き込み力付与手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート切断装置。

【請求項3】

接着シート基材の面内で当該接着シート基材を内側支持面で支持する内側支持工程と、
前記内側支持面に対して所定の間隔の隙間を形成するように配置され、当該内側支持面からはみ出した前記接着シート基材部分を外側支持面で支持する外側支持工程と、
前記所定の間隔内で前記接着シート基材を切断し、当該接着シート基材から所定形状の接着シートを形成するシート切断工程とを実施し、
前記外側支持工程では、前記接着シートが切り抜かれた切断済み接着シート基材における当該接着シートの切り抜き縁部を、当該接着シートの外縁から遠ざけるように変位させる変位工程を行い、
前記隙間内から前記切り抜き縁部に力を付与し、前記変位工程における切り抜き縁部の変位の補助および、前記切り抜き縁部が変位した状態の維持の少なくとも一方を行う変位補助工程をさらに実施することを特徴とするシート切断方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート切断装置およびシート切断方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、接着シート基材を切断して所定形状の接着シートを形成する際、接着シートと当該接着シートが切り抜かれた切断済み接着シート基材とが接触しないように、切断済み接着シート基材における接着シートの切り抜き縁部を、当該接着シートの外縁から遠ざけるように変位させる変位手段を備えたシート切断装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００２－１３４４３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載された従来の装置（シート切断装置）では、ダイボンドテープ３（接着シート基材）として、元の形状に戻ろうとする復元力が弱いものが採用されると、余剰ダイボンドテープ３ａ（切断済み接着シート基材）を吸引凹溝４０（凹溝）へ引き込んでも、余剰ダイボンドテープ３ａのくり貫かれた部分（切り抜き縁部）が立ち上がらない場合があり、半導体ウェーハ１に貼付されたダイボンドテープ３（接着シート）と、切断済み接着シート基材とが接触する不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、接着シート基材を切断して形成した接着シートと、当該接着シートが切り抜かれた切断済み接着シート基材とが接触することを防止することができるシート切断装置およびシート切断方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、変位補助手段（変位補助工程）を設けたので、接着シート基材を切断して形成した接着シートと、当該接着シートが切り抜かれた切断済み接着シート基材とが接触することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明のシート切断装置の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図１（Ｂ）～（Ｅ）は、図１（Ａ）と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印は省略する。

【0010】

本発明のシート切断装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢの面内で当該接着シート基材ＡＢを支持する内側支持面１１Ａを有する内側支持手段１０と、内側支持面１１Ａに対して所定の間隔ＤＴをおき、当該内側支持面１１Ａからはみ出した接着シート基材ＡＢ部分を支持する外側支持面２１Ａを有する外側支持手段２０と、所定の間隔ＤＴに沿って接着シート基材ＡＢを切断し、当該接着シート基材ＡＢから所定形状の接着シートＡＳを形成するシート切断手段３０と、変位手段２２による切り抜き縁部ＡＢＥの変位の補助および、切り抜き縁部ＡＢＥが変位した状態の維持の両方を行う変位補助手段４０とを備え、接着シート基材ＡＢを被着体ＷＫに貼付するシート貼付手段５０と、内側支持面１１Ａと外側支持面２１Ａとを相対移動させる移動手段６０と、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送手段７０とでシート貼付装置ＥＡ１を構成している。
なお、本実施形態では、内側支持手段１０は、被着体ＷＫを介して接着シート基材ＡＢをその面内で支持する構成となっている。

【0011】

内側支持手段１０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な内側支持面１１Ａを有する内側支持テーブル１１と、内側支持面１１Ａに形成された凹部１１Ｂ内に支持された駆動機器としての直動モータ１２と、その出力軸１２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能なリフト支持面１３Ａを有するリフト台１３とを備えている。

【0012】

外側支持手段２０は、上面が外側支持面２１Ａとされた外側支持テーブル２１と、接着シートＡＳが切り抜かれた切断済み接着シート基材ＡＢにおける当該接着シートＡＳの切り抜き縁部ＡＢＥを、当該接着シートＡＳの外縁ＡＳＥから遠ざけるように変位させる変位手段２２とを備えている。
変位手段２２は、所定の間隔ＤＴに沿って外側支持面２１Ａに形成された凹溝２２Ａと、当該凹溝２２Ａに引き込み力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の引き込み力付与手段２２Ｂとを備えている。
なお、本実施形態の場合、所定の間隔ＤＴは、内側支持テーブル１１を囲う全域に形成されている。また、引き込み力付与手段２２Ｂは、外側支持テーブル２１の内部に形成された平面視環状の第１環状通気路２１Ｄから、当該外側支持テーブル２１の側壁２１Ｂに連通した第１通気路２１Ｃおよび、第１環状通気路２１Ｄから凹溝２２Ａに連通した第２通気路２１Ｅによって、当該凹溝２２Ａに引き込み力を付与する構成となっている。

【0013】

シート切断手段３０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム３１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット３１と、ブラケット３２Ａを介して先端アーム３１Ａに着脱可能とされた切断部材としての切断刃３２とを備えている。

【0014】

変位補助手段４０は、所定の間隔ＤＴ内に吹出口４１Ａが配置されたノズル４１と、変位手段２２が切断済み接着シート基材ＡＢ部分を変位させる方向に、ノズル４１の吹出口４１Ａから単体ガスや複合ガス等のガスや大気等の気体を吹き出す加圧ポンプやタービン等の吹出力付与手段４２とを備えている。
なお、本実施形態の場合、吹出力付与手段４２は、外側支持テーブル２１の内部に形成された平面視環状の第２環状通気路２１Ｇから、当該外側支持テーブル２１の側壁２１Ｂに連通した第３通気路２１Ｆおよび、第２環状通気路２１Ｇからノズル４１の吹出口４１Ａに連通した第４通気路２１Ｈによって、当該ノズル４１から気体を吹き出す構成となっている。

【0015】

シート貼付手段５０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、支持ローラ５１から繰り出された原反ＲＳを案内する案内手段５２と、シート切断装置ＥＡの自動運転が行われている間、案内手段５２との間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ５３と、被着体ＷＫに貼付される前の接着シート基材ＡＢが当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に対して傾斜した姿勢を維持する傾斜姿勢維持手段であって駆動機器としてのリニアモータ５４と、リニアモータ５４のスライダ５４Ａに支持され、そのスライダ５５Ａで案内手段５２を支持し、被着体ＷＫに貼付される接着シート基材ＡＢの張力を所定の値に維持する張力維持手段であって駆動機器としてのリニアモータ５５と、原反ＲＳに繰出力を付与する繰出力付与手段５６と、接着シート基材ＡＢを被着体に押圧して貼付する押圧手段５７とを備えている。
案内手段５２は、駆動機器としての直動モータ５２Ａの出力軸５２Ｂに支持され、原反ＲＳを案内するガイドローラ５２Ｃとの間に原反ＲＳを挟み込む押付部材５２Ｄと、原反ＲＳが掛け回され、接着シートＡＳの張力を検知可能な張力検知手段としてのロードセル５２Ｅの検知軸５２Ｆに回転可能に支持された張力検知ローラ５２Ｇと、剥離縁５２Ｈで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板５２Ｊと、駆動機器としての回動モータ５２Ｋの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５２Ｌとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ５２Ｍと、上記の各部材５２Ａ～５２Ｍを直接的または間接的に支持する案内フレーム５２Ｎとを備えている。
繰出力付与手段５６は、駆動機器としてのリニアモータ５６Ａの第１スライダ５６Ｂに支持された繰出フレーム５６Ｃと、繰出フレーム５６Ｃに支持された駆動機器としてのリニアモータ５６Ｄと、そのスライダ５６Ｅに支持された駆動機器としての回動モータ５６Ｆと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５６Ｇとで接着シート基材ＡＢを挟み込む駆動ローラ５６Ｈと、繰出フレーム５６Ｃに支持され、シート切断装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ５６Ｇとの間に存在する接着シート基材ＡＢに常に所定の張力を付与し、当該接着シート基材ＡＢを回収する回収手段としての回収ローラ５６Ｊとを備えている。
押圧手段５７は、繰出力付与手段５６と共用されるリニアモータ５６Ａと、その第２スライダ５６Ｋに支持された駆動機器としてのリニアモータ５７Ａと、そのスライダ５７Ｂに回転自在に支持された押圧ローラ５７Ｃとを備えている。

【0016】

移動手段６０は、外側支持テーブル２１の凹部２１Ｊに支持され、その出力軸６１Ａで内側支持テーブル１１を支持する駆動機器としての直動モータ６１を備えている。

【0017】

被着体搬送手段７０は、シート切断手段３０と共用される多関節ロボット３１と、先端アーム３１Ａに着脱可能とされ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）で吸着保持が可能な吸着保持面７１Ａを有する平面視Ｙ形状の搬送アーム７１とを備え、収容ケースＣＣに収容されて搬入台ＤＳ上に搬入された被着体ＷＫを内側支持手段１０に搬送する構成となっている。

【0018】

以上のシート切断装置ＥＡが採用されたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段５０が直動モータ５２Ａを駆動し、図１（Ｂ）に示すように、押付部材５２Ｄとガイドローラ５２Ｃとで原反ＲＳを挟み込んだ後、回動モータ５６Ｆを駆動し、ガイドローラ５２Ｃと駆動ローラ５６Ｈとの間に存在する接着シート基材ＡＢ部分である貼付前シート基材ＡＢ１が弛まない程度に張力を付与する。次いで、シート貼付手段５０が回動モータ５６Ｆの駆動を停止し、駆動ローラ５６Ｈが回転しないように当該回動モータ５６Ｆをロック状態とした後、リニアモータ５５を駆動し、案内手段５２を左右方向に移動させ、ロードセル５２Ｅの検知結果を基に、貼付前シート基材ＡＢ１に所定の張力を付与する。なお、案内手段５２内で原反ＲＳが繰り出されると、シート貼付手段５０が回動モータ５２Ｋを駆動し、剥離板５２Ｊで接着シート基材ＡＢから剥離された剥離シートＲＬに所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを回収ローラ５３方向に送る（以降も同じ）。

【0019】

その後、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない運搬手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫが収容された収容ケースＣＣを搬入台ＤＳ上に載置すると、被着体搬送手段７０が多関節ロボット３１を駆動し、先端アーム３１Ａで搬送アーム７１を支持する。次に、被着体搬送手段７０が多関節ロボット３１を駆動し、収容ケースＣＣ内の被着体ＷＫの下面に搬送アーム７１の吸着保持面７１Ａを当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該吸着保持面７１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。そして、内側支持手段１０が直動モータ１２を駆動し、リフト台１３を上昇させた後、被着体搬送手段７０が多関節ロボット３１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、吸着保持面７１Ａで吸着保持している被着体ＷＫの下面をリフト支持面１３Ａに当接させる。次いで、内側支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、リフト支持面１３Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始すると、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着保持面７１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。その後、被着体搬送手段７０が多関節ロボット３１を駆動し、搬送アーム７１を初期位置に復帰させ、先端アーム３１Ａでの当該搬送アーム７１の支持を解除すると、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、先端アーム３１Ａで切断刃３２を支持する。次に、内側支持手段１０が直動モータ１２を駆動し、リフト台１３を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段を駆動し、内側支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。この際、リフト支持面１３Ａと内側支持面１１Ａとが同一平面内に位置し、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１と外側支持面２１Ａとが同一平面内に位置する。

【0020】

そして、シート貼付手段５０がリニアモータ５６Ｄ、５７Ａを駆動し、図１（Ｂ）に示すように、駆動ローラ５６Ｈおよび押圧ローラ５７Ｃを下降させ、当該駆動ローラ５６Ｈおよび押圧ローラ５７Ｃで外側支持面２１Ａに接着シート基材ＡＢを所定の押圧力で押圧する。次いで、シート貼付手段５０がリニアモータ５６Ａを駆動し、押圧ローラ５７Ｃを右方へ移動させ、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１および外側支持面２１Ａに接着シート基材ＡＢを所定の押圧力で押圧して貼付する。この際、シート貼付手段５０がリニアモータ５４を駆動し、押圧ローラ５７Ｃの移動距離と案内手段５２の移動距離とが比例関係となるように、当該案内手段５２を下降させるとともに、リニアモータ５５を駆動し、ロードセル５２Ｅの検知結果を基に、貼付前シート基材ＡＢ１に所定の張力が付与されるように案内手段５２を左右方向に移動させる。その後、図１（Ｂ）に示すように、押圧ローラ５７Ｃが外側支持テーブル２１の右方所定位置に到達すると、シート貼付手段５０がリニアモータ５４、５６Ａの駆動を停止する。

【0021】

次に、外側支持手段２０および変位補助手段４０が引き込み力付与手段２２Ｂおよび吹出力付与手段４２を駆動し、凹溝２２Ａに引き込み力を付与するとともに、ノズル４１から気体を吹き出す。そして、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、切断刃３２を接着シート基材ＡＢに突き刺した後、当該切断刃３２を所定の間隔ＤＴに沿って移動させ、当該接着シート基材ＡＢから被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを形成し、被着体ＷＫに接着シートＡＳが貼付された一体物ＵＰを形成する。ここで、切断刃３２の移動によって接着シートＡＳが形成されていくと、図１（Ｃ）に示すように、切り抜き縁部ＡＢＥ近傍の接着シート基材ＡＢ部分が、引き込み力付与手段２２Ｂの引き込み力によって凹溝２２Ａに引き込まれ、切り抜き縁部ＡＢＥが接着シートＡＳの外縁ＡＳＥから遠ざかるように変位する。この際、接着シート基材ＡＢとして、元の形状に戻ろうとする復元力が弱いものが採用されると、切り抜き縁部ＡＢＥ近傍の接着シート基材ＡＢ部分を凹溝２２Ａへ引き込んでも、切り抜き縁部ＡＢＥが立ち上がらず、当該切り抜き縁部ＡＢＥが接着シートＡＳの外縁ＡＳＥに接着してしまう場合がある。また、切り抜き縁部ＡＢＥが立ち上がったとしても、経時によって当該切り抜き縁部ＡＢＥが垂れ下がり、当該切り抜き縁部ＡＢＥが接着シートＡＳの外縁ＡＳＥに接着してしまう場合もある。しかし、シート切断装置ＥＡが採用されたシート貼付装置ＥＡ１の場合、変位補助手段４０によってノズル４１から気体を吹き出しているので、復元力が弱い接着シート基材ＡＢが採用されていたとしても、切り抜き縁部ＡＢＥが立ち上がらず、当該切り抜き縁部ＡＢＥが接着シートＡＳの外縁ＡＳＥに接着してしまうことはない。また、経時によって切り抜き縁部ＡＢＥが垂れ下がり、当該切り抜き縁部ＡＢＥが接着シートＡＳの外縁ＡＳＥに接着してしまうこともない。

【0022】

次いで、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、切断刃３２を初期位置に復帰させ、先端アーム３１Ａでの当該切断刃３２の支持を解除すると、被着体搬送手段７０が多関節ロボット３１を駆動し、先端アーム３１Ａで搬送アーム７１を支持する。その後、移動手段６０が直動モータ６１を駆動し、図１（Ｄ）に示すように、内側支持テーブル１１を上昇させる。次に、被着体搬送手段７０が多関節ロボット３１を駆動し、図１（Ｄ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳ上に搬送アーム７１の吸着保持面７１Ａを当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該吸着保持面７１Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を開始する。そして、内側支持手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、内側支持面１１Ａおよびリフト支持面１３Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除すると、被着体搬送手段７０が多関節ロボット３１を駆動し、吸着保持面７１Ａで吸着保持している一体物ＵＰを内側支持テーブル１１から取り上げる。次いで、外側支持手段２０および変位補助手段４０が引き込み力付与手段２２Ｂおよび吹出力付与手段４２の駆動を停止し、凹溝２２Ａへの引き込み力の付与および、ノズル４１からの気体の吹き出しを停止する。その後、被着体搬送手段７０が多関節ロボット３１を駆動し、吸着保持面７１Ａで吸着保持している一体物ＵＰを収容ケースＣＣの所定の位置に載置した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着保持面７１Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を解除する。

【0023】

次に、被着体搬送手段７０が多関節ロボット３１を駆動し、搬送アーム７１を初期位置に復帰させると、移動手段６０が直動モータ６１を駆動し、内側支持テーブル１１を初期位置に復帰させる。そして、シート貼付手段５０がリニアモータ５６Ａおよび回動モータ５６Ｆを駆動し、図１（Ｅ）に示すように、駆動ローラ５６Ｈを転動させながら、ピンチローラ５６Ｇおよび駆動ローラ５６Ｈを右方へ移動させ、外側支持面２１Ａから切断後の接着シート基材ＡＢを剥離する。次いで、切断後の接着シート基材ＡＢが外側支持面２１Ａから剥離されると、シート貼付手段５０がリニアモータ５６Ａおよび回動モータ５６Ｆの駆動を停止した後、リニアモータ５６Ｄ、５７Ａを駆動し、ピンチローラ５６Ｇ、駆動ローラ５６Ｈおよび押圧ローラ５７Ｃを上昇させる。その後、シート貼付手段５０が直動モータ５２Ａを駆動し、押付部材５２Ｄとガイドローラ５２Ｃとでの原反ＲＳの挟み込みを解除するとともに、駆動ローラ５６Ｈが回転しないように回動モータ５６Ｆをロック状態とする。次に、シート貼付手段５０がリニアモータ５４およびリニアモータ５６Ａを駆動し、案内手段５２を初期位置に復帰させるとともに、ピンチローラ５６Ｇ、駆動ローラ５６Ｈおよび押圧ローラ５７Ｃを初期位置に復帰させることで、支持ローラ５１から新たな原反ＲＳを繰り出し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0024】

以上のような実施形態によれば、変位補助手段４０（変位補助工程）を設けたので、接着シート基材ＡＢを切断して形成した接着シートＡＳと、当該接着シートＡＳが切り抜かれた切断済み接着シート基材ＡＢとが接触することを防止することができる。

【0025】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート切断手段は、所定の間隔に沿って接着シート基材を切断し、当該接着シート基材から所定形状の接着シートを形成可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0026】

内側支持手段１０は、平面視において、被着体ＷＫの外縁と同じ大きさを有している内側支持面１１Ａで被着体ＷＫを支持してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも大きな外縁を有している内側支持面１１Ａで被着体ＷＫを支持してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも小さな外縁を有している内側支持面１１Ａで被着体ＷＫを支持してもよいし、円形、楕円形または三角形以上の多角形等どのような形状の内側支持面１１Ａで被着体ＷＫを支持してもよいし、内側支持面１１Ａおよびリフト支持面１３Ａの少なくとも一方が、吸着保持ができなくてもよいし、直動モータ１２やリフト台１３が備わっていなくてもよいし、被着体ＷＫを支持した際、当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１と外側支持面２１Ａとが同一平面内に位置しなくてもよい。
内側支持手段１０は、シート貼付手段５０以外の装置や人手で、外縁からはみ出すように接着シート基材ＡＢが貼付された被着体ＷＫを支持してもよいし、被着体ＷＫを介することなく接着シート基材ＡＢを直接支持してもよい。

【0027】

外側支持手段２０は、例えば、断面形状がＵ字形や上部開放四角形等の凹溝２２Ａを備えた変位手段が採用されてもよいし、外側支持テーブル２１の内部に形成された第１環状通気路２１Ｄや、第１、第２通気路２１Ｃ、２１Ｅを介さずに、例えば、エアホースや配管等の繋ぎ部材を介して引き込み力付与手段２２Ｂの引き込み力を凹溝２２Ａに付与する変位手段が採用されてもよいし、シャフトや気体の吹付等によって凹溝２２Ａの上方から接着シート基材ＡＢを当該凹溝２２Ａ内に押し込む引き込み力付与手段を備えた変位手段が採用されてもよいし、凹溝２２Ａを備えることなく、例えば、切断済み接着シート基材ＡＢを引っ張って接着シートＡＳの切り抜き縁部ＡＢＥを、当該接着シートＡＳの外縁ＡＳＥから遠ざけるように変位させる変位手段が採用されてもよい。

【0028】

シート切断手段３０は、切断部材として接着シート基材ＡＢを切断可能なものであればどのようなものが採用されてもよく、例えば、切断刃３２の延出方向（図１（Ａ）の状態におけるＺ軸方向）に対し、峰が平行で刃先が傾斜した切断刃３２が採用されてもよいし、切断刃３２の延出方向に対し、刃先が平行で峰が傾斜した切断刃３２が採用されてもよいし、切断刃３２の延出方向に対し、刃先および峰の両方が傾斜した切断刃３２が採用されてもよいし、本来峰となる側にも刃が存在する所謂両刃を備えた切断刃２２が採用されてもよいし、丸刃や鋸刃等のその他の形状の切断刃３２が採用されてもよいし、ニクロム線や金属線等の電熱線や、ワイヤやベルト等の線状刃物等が採用されてもよいし、ブラケット３２Ａに支持されていなくてもよいし、切込刃３２を移動させずにまたは移動させつつ、内側支持手段１０を移動させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、図１（Ｃ）に示すように、切断刃３２における切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向に当該切断刃３２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切先側が被着体ＷＫに接近する方向に当該切断刃３２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向にも接近する方向にも傾斜させることなく接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁と同形状となるように接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも被着体ＷＫから離れた位置で接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁の形状とは関係なく接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢのみを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢおよび被着体ＷＫの両方を切断してもよいし、切断刃３２を着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、切断刃３２の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、被着体搬送手段７０としての機能がなくてもよい。

【0029】

変位補助手段４０は、切り抜き縁部ＡＢＥが立ち上がった時点で吹出力付与手段４２の駆動を停止することで、切り抜き縁部ＡＢＥの変位の補助のみを行う構成でもよいし、変位手段２２の作用のみで切り抜き縁部ＡＢＥが立ち上がった後、吹出力付与手段４２を駆動することで、切り抜き縁部ＡＢＥが変位した状態の維持のみを行う構成でもよいし、外側支持テーブル２１の内部に形成された第２環状通気路２１Ｇや、第３、第４通気路２１Ｆ、２１Ｈを介さずに、例えば、エアホースや配管等の繋ぎ部材を介して吹出力付与手段４２から送られた気体をノズル４１の吹出口４１Ａから吹き出してもよいし、内側支持テーブル１１側にノズル４１を配置してもよいし、外側支持テーブル２１の凹部２１Ｊの底面から気体を吹き出してもよいし、駆動機器によりシャフトやブレードを移動させて切り抜き縁部ＡＢＥを立ち上げてもよい。

【0030】

シート貼付手段５０は、剥離シートＲＬに所定間隔をおき複数の接着シート基材が仮着された原反を採用し、当該接着シート基材を被着体ＷＫに貼付する構成でもよいし、支持ローラ５１やガイドローラ５２Ｃ等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、ピンチローラ５６Ｇおよび駆動ローラ５６Ｈを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ５１、案内手段５２、回収ローラ５３等を適宜移動させて接着シート基材ＡＢを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で接着シートＡＳを保持して繰り出してもよいし、リニアモータ５６Ａ以外の駆動機器で押圧ローラ５７Ｃを左右方向に移動させてもよいし、押圧ローラ５７Ｃを移動させずにまたは移動させつつ、被着体ＷＫおよび接着シート基材ＡＢを移動させ、当該被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付してもよいし、押圧ローラ５７Ｃを昇降させない構成としてもよいし、ピンチローラ５６Ｇおよび駆動ローラ５６Ｈを移動させずにまたは移動させつつ、内側支持手段１０を移動させて外側支持面２１Ａから切断後の接着シート基材ＡＢを剥離してもよいし、ピンチローラ５６Ｇおよび駆動ローラ５６Ｈを昇降させない構成としてもよいし、例えば、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で切断後の接着シート基材ＡＢを保持し、当該保持手段と内側支持手段１０とを相対移動させて外側支持面２１Ａから切断後の接着シート基材ＡＢを剥離する構成としてもよいし、本発明のシート切断装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0031】

移動手段６０は、接着シートＡＳを移動させずにまたは移動させつつ、切断後の接着シート基材ＡＢを移動させてもよいし、内側支持面１１Ａから被着体ＷＫに向かう方向に接着シートＡＳと切断後の接着シート基材ＡＢとを相対移動させる際、それら接着シートＡＳと切断後の接着シート基材ＡＢとを相対回転させてもよいし、本発明のシート切断装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0032】

被着体搬送手段７０は、シート切断手段３０と共用されることのない駆動機器で搬送アーム７１を支持し、被着体ＷＫを搬送してもよいし、搬送アーム７１を着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、搬送アーム７１の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、本発明のシート切断装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0033】

シート切断装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢを介して被着体ＷＫを支持する内側支持面１１Ａを有する内側支持手段１０が採用されてもよく、この場合、当該シート切断装置ＥＡにシート貼付手段５０が備わっていなくてもよく、例えば、シート貼付手段５０以外の装置や人手で、外縁からはみ出すように接着シート基材ＡＢが貼付された被着体ＷＫが、当該接着シート基材ＡＢが内側支持面１１Ａ側となるように内側支持手段１０上に載置されればよい。
シート切断装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、接着シートＡＳを積層するシート積層装置や接着シートＡＳに印字や塗布を行う印刷装置等の他の装置に用いられてもよいし、シート貼付装置ＥＡ１や他の装置等に用いられることなく、単独で用いられてもよい。
接着シート基材ＡＢは、剥離シートＲＬが仮着されていなくてもよい。

【0034】

本発明における接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0035】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0036】

ＥＡ シート切断装置
１０ 内側支持手段
１１Ａ 内側支持面
２０ 外側支持手段
２１Ａ 外側支持面
２２ 変位手段
２２Ａ 凹溝
２２Ｂ 引き込み力付与手段
３０ シート切断手段
４０ 変位補助手段
ＡＢ 接着シート基材
ＡＢＥ 切り抜き縁部
ＡＳ 接着シート
ＡＳＥ （接着シートの）外縁
ＤＴ 所定の間隔

【図1】