特許 7384090 エキシマランプ、光照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-11-13

(45)【発行日】2023-11-21

(54)【発明の名称】エキシマランプ、光照射装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 61/35 20060101AFI20231114BHJP

   H01J 65/00 20060101ALI20231114BHJP

【ＦＩ】

H01J61/35 F

H01J65/00 C

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020055316

(22)【出願日】2020-03-26

(65)【公開番号】P2021157902

(43)【公開日】2021-10-07

【審査請求日】2022-09-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000102212

【氏名又は名称】ウシオ電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000729

【氏名又は名称】弁理士法人ユニアス国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】堀部 大輝

(72)【発明者】

【氏名】藤田 尚樹

【審査官】鳥居 祐樹

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２－０１１３４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０５６３０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－００６９９７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ６１／３５

Ｈ０１Ｊ ６５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

紫外光に対して透過性を有する長尺状の発光管と、
前記発光管の径方向に離間して設けられた一対の電極と、
前記発光管の内壁面に形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、
光照射対象領域に向けて光を出射する光出射面と対向する第一反射領域と、
前記発光管の周方向に関して前記光出射面とは異なる位置に設けられた採光部と対向する第二反射領域とを備えることを特徴とするエキシマランプ。

【請求項2】

前記採光部は、前記発光管の管軸方向に関し、前記発光管の前記光出射面側における有効発光領域とは異なる位置に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

【請求項3】

前記採光部は、前記光出射面とは前記発光管の管軸に対して反対側に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のエキシマランプ。

【請求項4】

前記反射膜は、前記第一反射領域を構成する第一反射膜と、前記第二反射領域を構成し、前記第一反射膜と離間した位置に形成された第二反射膜からなることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のエキシマランプ。

【請求項5】

前記第二反射膜は、前記発光管の管軸方向に関し、前記第一反射膜よりも前記発光管の端部側に形成されていることを特徴とする請求項４に記載のエキシマランプ。

【請求項6】

請求項１～５のいずれか一項に記載のエキシマランプと、
受光部を有し、前記受光部に入射した光を検知する光量センサとを備え、
前記光量センサは、前記受光部の受光可能領域が前記採光部に含まれるように配置されていることを特徴とする光照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エキシマランプ、及びエキシマランプを備えた光照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体や液晶パネルの製造や、空気清浄用のオゾンの生成に、紫外光が用いられている。紫外光を出射する光源として、例えば、下記特許文献１に記載されているようなエキシマランプが利用されている。下記特許文献１には、発光管から放射される紫外光を、効率よく照射対象物に照射するために、発光管の内壁面に反射膜を形成したエキシマランプが開示されている。

【0003】

半導体や液晶パネルの製造の際には、製品間での品質の差異を小さくするために、各照射対象物（ワーク）間で照度を均一化するのが好ましい。かかる観点から、特許文献２には、光照射装置から処理対象物への安定した照射を担保するため、内壁面の一部に光出射面とは異なる位置に採光口を設けて、光量を検知する構成が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００７－３３５３５０号公報

【文献】特開２０１０－２２５３４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、本発明者は、上記特許文献２に開示されたエキシマランプの構成を検討していたところ、以下のような課題が存在することを見出した。以下、図を参照しながら説明する。

【0006】

図１８は、従来構成のエキシマランプ１００の採光部１０５周辺の拡大斜視図である。図１８に示すエキシマランプ１００は、発光管１０１の外壁面１０１ａに対向するように設けられた一対の電極１０２と、図１８内における－Ｘ方向が光取り出し方向とされており、＋Ｘ方向に進行する紫外光Ｌ１の進行方向を－Ｘ方向に変換させるために、発光管１０１の壁面に形成された反射膜１０３とを有する。そして、図１８に示すように、従来のエキシマランプ１００は、この反射膜１０３の一部に光出射面１０４以外の場所から紫外光Ｌ１を取り出すための開口である採光部１０５が設けられていた。

【0007】

以下の説明においては、図１８に示すように、エキシマランプ１００の発光管１０１が延伸する方向（管軸方向）をＺ方向、電極１０２が対向する方向をＸ方向、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とする。そして、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｚ方向」、「－Ｚ方向」のように、正負の符号を付して記載され、正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｚ方向」と記載される。

【0008】

当該構成では、採光部１０５から出射される紫外光Ｌ１は、発光管１０１から放射されて採光部１０５に向かって進行した紫外光Ｌ１のみであって、光出射面１０４から照射対象物に向かって照射される紫外光Ｌ１のように、反射膜１０３によって反射された光が含まれていなかった。つまり、従来構成のエキシマランプ１００では、採光部１０５から出射される光を光量センサによって計測しても、反射膜１０３の劣化状態等まで含めた光出力を検知できていなかった。

【0009】

また、発光管１０１には、放射される紫外光Ｌ１によって透過率に経時的な変化が現れるため、その変化量は、発光管１０１を形成する材料によっても異なる。さらに、発光管１０１や反射膜１０３に現れる経時的な変化は、使用環境等によっても異なり、一様な変化としては現れにくい。つまり、光出力と劣化状態との相関データ等を用いて、発光管１０１の特性の変化や劣化の状態を予測することも困難であった。

【0010】

本発明は、上記課題に鑑み、光出力状態を、より正確に検知することができるエキシマランプを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明のエキシマランプは、
紫外光に対して透過性を有する長尺状の発光管と、
前記発光管の径方向に離間して設けられた一対の電極と、
前記発光管の内壁面に形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、
光照射対象領域に向けて光を出射する光出射面と対向する第一反射領域と、
前記光出射面とは異なる位置に設けられた採光部と対向する第二反射領域とを備えることを特徴とする。

【0012】

光出射面から出射される光は、発光管の内部から放射され、光出射面に向かって進行する光と反射膜の第一反射領域によって光出射面に向かうように反射された光とを含む。採光部から出射される光は、発光管の内部から放射され、採光部に向かって進行する光と反射膜の第二反射領域によって採光部に向かうように反射された光とを含む。

【0013】

したがって、採光部から出射される光は、光出射面から出射される光と同様に、反射膜によって反射された光が含まれるため、エキシマランプの反射膜の劣化等を含めた経時的な光出力の変化を検知することができる。

【0014】

上記エキシマランプにおいて、
前記採光部は、前記発光管の管軸方向に関し、前記発光管の前記光出射面側における有効発光領域とは異なる位置に形成されていても構わない。

【0015】

長尺状の発光管で構成されるエキシマランプは、管軸方向において、端部側では中央部側と比較すると周囲からの照射量が少ないため、出射される光の強度が相対的に低くなってしまう。

【0016】

そこで、照射対象物に対して照射ムラが発生しないように、エキシマランプの多くは、照射対象物の幅（管軸方向と同方向に係る長さを指す。）よりも長い発光管で構成され、中央部側の所定の光強度以上の光が出射される領域のみを使用して照射処理が行われる。

【0017】

本明細書において「有効発光領域」とは、発光管の管軸方向に関し、所定の光強度が出力されて、照射対象物への照射に使用できる領域をいい、より詳細には、発光管の管軸に沿った光の強度分布において、ピーク値の６０％以上の光が出射されている領域をいう。

【0018】

上記構成とすることで、有効発光領域には、採光部や反射膜の第二反射領域が形成されず、照射対象物に対して、一様な強度分布の光を出射できる。

【0019】

上記エキシマランプにおいて、
前記採光部は、前記光出射面とは反対側に形成されていても構わない。

【0020】

エキシマランプは、上述したように、紫外光を出射するランプであり、光出射面付近は、光強度の高い紫外光に曝されることになる。紫外線は、可視光等に比べてエネルギーが高く、採光部から出射される光を計測する光量センサによっては、高い強度で照射されると、受光感度等が急速に劣化してしまうおそれがある。

【0021】

上記構成とすることで、光出射面から出射される強度の高い光（特に紫外光）に曝されることが少なくなるため、受光感度等が急速に劣化してしまうことを抑制することができる。

【0022】

上記エキシマランプにおいて、
前記反射膜は、前記第一反射領域を構成する第一反射膜と、前記第二反射領域を構成し、前記第一反射膜と離間した位置に形成された第二反射膜からなるものであっても構わない。

【0023】

上記エキシマランプにおいて、
前記第二反射膜は、前記発光管の管軸方向に関し、前記第一反射膜よりも前記発光管の端部側に形成されていても構わない。

【0024】

第一反射膜と第二反射膜とが管軸方向の一部において重複していると、当該重複部分において光が反射を繰り返してしまうため、光出射面や採光部の当該重複部分付近では、光強度が大きく変化する場合や、局所的に反射膜の劣化が急速に進んでしまう場合がある。

【0025】

上記構成とすることで、第一反射膜と第二反射膜は、管軸方向において重複する部分が形成されず、第一反射膜と第二反射膜との間で何度も光が反射を繰り返すことがないため、光出射面及び採光部から出射される光において、光強度分布の局所的に大きく変化してしまうことを抑制することができる。

【0026】

本発明の光照射装置は、
上記エキシマランプと、
受光部を有し、前記受光部に入射した光を検知する光量センサとを備え、
前記光量センサは、前記受光部の受光可能領域が前記採光部に含まれるように配置されていることを特徴とする。

【0027】

上記構成とすることで、エキシマランプの採光部から出射される光を、光量センサで計測することができ、エキシマランプの光出射面から出射される光の変化量や劣化量を検知することができる。

【発明の効果】

【0028】

本発明によれば、光出力状態を、より正確に検出することができるエキシマランプが実現される。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】光照射装置の一実施形態をＹ方向に見たときの模式的な図面である。

【図2】エキシマランプの一実施形態をＹ方向に見たときの模式的な断面図である。

【図3】図２のエキシマランプの採光部周辺の拡大斜視図である。

【図4】図２のエキシマランプをＸ方向に見たときの模式的な図面である。

【図5】図２のエキシマランプをＺ方向に見たときの模式的な断面図である。

【図6】図２のエキシマランプを＋Ｘ側から見たときの模式的な図面と、光出射面から出射される紫外線の強度分布を示すグラフである。

【図7】図１の光照射装置をＺ方向に見たときの模式的な断面図である。

【図8】図１の光照射装置を＋Ｘ側から見たときの模式的な図面である。

【図9A】準備した発光管の採光部周辺をＹ方向に見たときの断面図である。

【図9B】図９Ａの発光管の内壁面にマスキングテープを貼り付けた状態を示す断面図である。

【図9C】図９Ｂの発光管の内壁面に反射膜を形成する懸濁液を塗布した状態を示す断面図である。

【図9D】図９Ｃの発光管からマスキングテープを除去した状態を示す断面図である。

【図10】エキシマランプに別実施形態をＹ方向に見たときの断面図である。

【図11】図１０のエキシマランプの採光部周辺の拡大斜視図である。

【図12A】エキシマランプの別実施形態をＺ方向に見たときの模式的な断面図ある。

【図12B】図１２ＡのエキシマランプをＹ方向に見たときの模式的な断面図ある。

【図13A】エキシマランプの別実施形態をＺ方向に見たときの模式的な断面図ある。

【図13B】図１３ＡのエキシマランプをＹ方向に見たときの模式的な断面図ある。

【図14】エキシマランプの別実施形態をＹ方向に見たときの模式的な断面図ある。

【図15】エキシマランプの別実施形態をＹ方向に見たときの模式的な断面図ある。

【図16】エキシマランプの別実施形態をＹ方向に見たときの模式的な断面図ある。

【図17】エキシマランプの別実施形態の採光部周辺の拡大斜視図である。

【図18】従来構成のエキシマランプの採光部周辺の拡大斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

以下、本発明のエキシマランプ及び光照射装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図面は、いずれも模式的に図示されたものであり、図面上の寸法比や個数は、実際の寸法比や個数と必ずしも一致していない。

【0031】

図１は、光照射装置１の一実施形態をＹ方向に見たときの模式的な図面である。図１に示すように、光照射装置１は、エキシマランプ２と、光量センサ３と、照射対象物Ｗ１を載置する搬送機構４とを備える。

【0032】

なお、以下の説明においては、図１に示すように、エキシマランプ２の延伸する方向（管軸方向）をＺ方向、エキシマランプ２の光出射面１２に平行な面をＸ方向及びＹ方向によって規定されるＸＹ平面とする。そして、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｚ方向」、「－Ｚ方向」のように、正負の符号を付して記載され、正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｚ方向」と記載される。

【0033】

まず、エキシマランプ２の構成について説明する。エキシマランプ２は、照射対象物Ｗ１に対して紫外光を照射するように、光出射面１２が搬送機構４と対向するように配置されている。

【0034】

図２は、エキシマランプ２の一実施形態をＹ方向に見たときの模式的な断面図である。図３は、図２のエキシマランプ２の採光部１３周辺の拡大斜視図である。図２に示すように、エキシマランプ２は、発光管１０と、一対の電極１１と、光出射面１２と、採光部１３と、第一反射膜１４ａ及び第二反射膜１４ｂとを備える。なお、図３においては、第二反射膜１４ｂの形状を把握しやすいように、第二反射膜１４ｂよりも－Ｚ側は、図示していない。ここで、エキシマランプ２が光照射装置１に組み込まれた状態で図１による方向の定義と対応するように、以下の説明においては、図２及び図３に示すように、エキシマランプ２の発光管１０が延伸する方向（管軸方向）をＺ方向、電極１１が対向する方向をＸ方向、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とする。

【0035】

発光管１０は、光（特に、紫外光）に対して透過性を有する材料（例えば、石英ガラス）で形成されており、図２に示すように、長尺状で内側に発光ガスＧ１が封入される発光空間１０ｃが設けられ、発光空間１０ｃ内で発生した紫外光Ｌ１を外側に向かって放射する。

【0036】

図４は、図２のエキシマランプ２をＸ方向に見たときの模式的な図面である。電極１１は、図４に示すように、発光管１０の外壁面１０ａにメッシュ状に形成されており、複数の開口によって、発光管１０の発光空間１０ｃから放射される光を取り出すための光取り出し部１１ｈを構成している。電極１１に対して、発光に必要な電圧が印加されると、発光空間１０ｃ内で放電が発生し、光取り出し部１１ｈから紫外光Ｌ１が放射される。

【0037】

図５は、図２のエキシマランプ２をＺ方向に見たときの断面図である。図５に示すように、本実施形態の発光管１０は、ＸＹ平面で切断したときの断面が、矩形状を呈するように形成されており、互いに対向する平坦な外壁面１０ａに、一対の電極１１が形成されている。しかし、発光管１０の断面形状は、円形状や楕円形状等でもよく、六角形や八角形等の他の多角形状であっても構わない。

【0038】

光出射面１２（図２及び図３参照）は、発光管１０の発光空間１０ｃから放射された紫外光Ｌ１を照射対象物Ｗ１に向かって照射する発光管１０の壁面の一部の領域である。発光空間１０ｃから放射された紫外光Ｌ１のうち、光出射面１２に向かって進行する紫外光Ｌ１は、そのまま電極１１の光取り出し部１１ｈを通過して、発光管１０の外側に向かって出射される。

【0039】

発光空間１０ｃから放射された紫外光Ｌ１のうち、光出射面１２とは反対側、すなわち＋Ｘ方向に向かって進行する紫外光Ｌ１は、第一反射膜１４ａによって、光出射面１２側、すなわち－Ｘ方向に向かうように反射されて、電極１１の光取り出し部１１ｈを通過して、発光管１０の外側に向かって出射される。

【0040】

採光部１３は、発光管１０の発光空間１０ｃから放射された紫外光Ｌ１の光量を光量センサ３で計測するために発光管１０の壁面に形成される紫外光Ｌ１の出射窓である。発光空間１０ｃから放射された紫外光Ｌ１のうち、採光部１３に向かって進行する紫外光Ｌ１は、そのまま電極１１の光取り出し部１１ｈを通過して、発光管１０の外側に向かって出射される。

【0041】

発光空間１０ｃから放射された紫外光Ｌ１のうち、採光部１３とは反対側の－Ｘ方向に向かって進行する紫外光Ｌ１は、第二反射膜１４ｂによって、採光部１３側の＋Ｘ方向に向かうように反射されて、電極１１の光取り出し部１１ｈを通過して、発光管１０の外側に向かって出射される。

【0042】

第二反射膜１４ｂは、図２に示すように、第一反射膜１４ａよりも発光管１０の端部側に形成されている。そして、図３に示すように、第一反射膜１４ａと第二反射膜１４ｂは、Ｚ方向に見たときには、対向するように形成されている。

【0043】

ここで、上述した有効発光領域と採光部との位置関係について説明する。有効発光領域は、Ｚ方向に関し、所定の光強度が出力されて、照射対象物Ｗ１への照射に使用できる領域をいい、より詳細には、Ｚ方向の強度分布において、ピーク値の６０％以上の光が出射されている領域をいう。

【0044】

図６は、エキシマランプ２を＋Ｘ側から見たときの模式的な図面と、光出射面１２から出射される紫外光Ｌ１の強度分布を示すグラフである。図６に示すように、有効発光領域Ａ１は、第一反射膜１４ａの中央部側、すなわち、第一反射膜１４ａと対向する光出射面１２の中央部側の一部の領域である。なお、図６においては、発光管１０の内部の構造を確認しやすいように、電極１１が図示されておらず、光出射面１２は、第一反射膜１４ａによって隠されている。

【0045】

上記のように構成とすることで、採光部１３は、光出射面１２の有効発光領域Ａ１とは異なる位置に形成される。なお、光出射面１２が複数形成されているエキシマランプ２の場合、採光部１３は、それぞれの有効発光領域Ａ１と異なる位置に形成される。

【0046】

なお、採光部１３から出射される紫外光Ｌ１は、光出射面１２と同じ反射膜で反射された紫外光Ｌ１を検知できることが期待されるため、第一反射膜１４ａと第二反射膜１４ｂは、同じ材料で形成されていることが好ましい。

【0047】

第一反射膜１４ａ及び第二反射膜１４ｂの構成材料は、例えば、粒子状のシリカ（ＳｉＯ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等が含まれる懸濁液等を塗布し、焼成することで形成されたものを採用し得る。

【0048】

上記構成とすることで、採光部１３から出射される紫外光Ｌ１は、発光管１０の発光空間１０ｃから放射され、採光部１３に向かって進行する紫外光Ｌ１と第二反射膜１４ｂによって採光部１３に向かうように反射された紫外光Ｌ１とが含まれることになる。したがって、エキシマランプ２の反射膜の劣化等を含めた経時的な光出力の変化を検知することができる。

【0049】

さらに、上記実施形態によれば、Ｚ方向に関して、第二反射膜１４ｂが第一反射膜１４ａよりも端部側に形成されているため、第一反射膜１４ａと第二反射膜１４ｂとの間で何度も光が反射を繰り返すことがなくなる。したがって、光出射面１２及び採光部１３から出射される光強度分布において、局所的に大きく変化してしまうことを抑制することができる。

【0050】

次に、光照射装置１のエキシマランプ２以外の構成について説明する。図７は、図１の光照射装置１をＺ方向に見たときの模式的な断面図である。図８は、図１の光照射装置１を＋Ｘ側から見たときの模式的な図面である。光量センサ３は、構成や、受光部３ａとして用いられる装置やそれらを構成する材料にもよるが、図７及び図８に示すように、特定の受光可能領域３ｓを有する。

【0051】

図７及び図８に示すように、光量センサ３は、受光部３ａにおいて、エキシマランプ２の採光部１３から出射される紫外光を十分に受光できるように、受光可能領域３ｓがエキシマランプ２の採光部１３に含まれるように配置されている。なお、光量センサ３が取り込んだ光を受光部３ａに導光する導光部材を備えており、当該導光部材によって光を取込むことができる領域が採光部１３に含まれるように配置されていても構わない。つまり、光量センサ３は、採光部１３と対向して配置されていなくても構わない。

【0052】

光量センサ３は、例えば、シリコンフォトダイオードを採用し得る。光量センサ３は、採光部１３から出射される光をシリコンフォトダイオードで直接観測する構成でも構わない。また、光量センサ３は、シリコンフォトダイオードによって測定可能な範囲と、採光部１３から出射される光の波長とが異なる場合には、蛍光物等によって測定可能な範囲の波長の光に変換して計測する構成としても構わない。

【0053】

搬送機構４は、載置された照射対象物Ｗ１を搬送し、照射対象物Ｗ１にエキシマランプ２の光照射対象領域を通過させて、光出射面１２から出射される紫外光を照射させるように構成されている。また、本実施形態において、搬送機構４は、照射対象物Ｗ１をＹ方向に搬送するように構成されている。

【0054】

本実施形態の搬送機構４は、個別に離間して配置された複数のローラで構成されているが、ベルト状のコンベア等、エキシマランプ２と照射対象物Ｗ１との離間距離を維持しつつ、照射対象物Ｗ１を所定の方向に向かって搬送できるものであれば、どのような構成であっても構わない。

【0055】

本実施形態の光照射装置１は、光量センサ３が受光部３ａによってエキシマランプ２の採光部１３から出射された紫外光を受光し、光量を計測することで、エキシマランプ２の劣化具合等を把握することができる。

【0056】

ここで、本実施形態における、第一反射膜１４ａと第二反射膜１４ｂの形成方法について説明する。

【0057】

図９Ａは、準備した発光管１０の採光部１３周辺をＹ方向に見たときの断面図である。第一工程は、図９Ａに示すように、発光管１０を準備する工程である。

【0058】

図９Ｂは、図９Ａの発光管１０の内壁面１０ｂにマスキングテープ７０を貼り付けた状態を示す断面図である。第二工程は、図９Ｂに示すように、第一工程で準備した発光管１０の内壁面１０ｂのうち、反射膜を形成しない部分に、マスキングテープ７０を貼り付ける工程である。

【0059】

図９Ｃは、図９Ｂの発光管１０の内壁面１０ｂに反射膜を形成する懸濁液７１を塗布した状態を示す断面図である。懸濁液７１は、上述したように、粒子状のシリカ（ＳｉＯ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等によって生成され得る。第三工程は、図９Ｃに示すように、第二工程でマスキングテープ７０を貼り付けた発光管１０の内壁面１０ｂに、反射膜を形成するための懸濁液７１を塗布する工程である。なお、懸濁液７１を塗布する方法は、発光管１０の内側にノズルを挿入して掃引する方法や、発光管１０内に懸濁液７１を流し込む方法等を採用し得る。

【0060】

図９Ｄは、図９Ｃの発光管１０からマスキングテープ７０を除去した状態を示す断面図である。第四工程は、図９Ｄに示すように、第三工程で塗布された懸濁液７１が乾燥したところで、マスキングテープ７０を除去する工程である。

【0061】

第五工程は、発光管１０の内壁面１０ｂで乾燥した懸濁液７１を焼成して、反射膜を形成する工程である。

【0062】

以上の工程を経て、図３に示すような、第一反射膜１４ａと第二反射膜１４ｂが形成される。なお、Ｙ方向に対向する壁面については、本実施形態では、反射膜が形成されないので説明を省略したが、当該壁面に反射膜を形成する場合は、第二工程において、マスキングテープ７０を適当な形状で発光管１０の内壁面１０ｂに貼り付けて、懸濁液７１を塗布すればよい。

【0063】

第二反射膜１４ｂは、採光部１３と対向する位置に全体にわたって形成されていなくてもよく、光照射装置１に備えられたときに、光量センサ３の受光可能領域３ｓの範囲内において、受光可能領域３ｓの面積に対して５０％以上の範囲で形成されていることが好ましい。

【0064】

［別実施形態］
以下、別実施形態につき説明する。

【0065】

〈１〉 図１０は、エキシマランプ２の別実施形態をＹ方向に見たときの断面図である。図１１は、図１０のエキシマランプ２の採光部周辺の拡大斜視図である。図１０及び図１１に示すように、光出射面１２側に向かうように紫外光Ｌ１を反射する第一反射領域１４ｐと、採光部１３側に向かうように紫外光Ｌ１を反射する第二反射領域１４ｑとを備える一体の反射膜１４が形成されていても構わない。なお、図１１においては、反射膜１４の形状を把握しやすいように、第二反射領域１４ｑよりも－Ｚ側は、図示していない。

【0066】

図１０及び図１１に示すように、反射膜１４は、光出射面１２に対向する位置に第一反射領域１４ｐが形成され、採光部１３と対向する位置に第二反射領域１４ｑが形成され、それらの間は、発光管１０の側面を介して反射膜１４と同じ材料の部材で連絡されている。これは、上述した実施形態の構成に対応させると、第一反射膜１４ａと第二反射膜１４ｂが、いずれもが、発光管１０の管軸を中心とした周方向において、半周以上にわたってＸ方向に対向するように形成され、Ｚ方向において一部が重複するように形成されている構成である。

【0067】

〈２〉 図１２Ａ及び図１３Ａは、エキシマランプ２の別実施形態をＺ方向に見たときの模式的な断面図ある。図１２Ｂは、図１２Ａのエキシマランプ２をＹ方向に見たときの模式的な断面図であり、図１３Ｂは、図１３Ａのエキシマランプ２をＹ方向に見たときの模式的な断面図である。図５を参照して上述したエキシマランプ２は、発光管１０がＺ方向に見たときの形状が矩形状を呈する、いわゆる扁平管形状と称される構成であった。しかし、エキシマランプ２はこれに限られず、図１２Ａに示すような、一重管と称される形状や、図１３Ａに示すような、二重管と称される形状の構成であっても構わない。

【0068】

図１３Ａに示すように、二重管形状のエキシマランプ２の場合、第二反射膜１４ｂは、発光管１０の内側に配置された管壁１０ｄ上に形成される。図１３Ａでは、第二反射膜１４ｂが発光管１０の内側の管壁１０ｄ上に、周方向に関して半周分だけ形成されているが、全周にわたって形成されていても構わない。

【0069】

なお、いずれの形状の構成においても、一対の電極１１が、発光管１０の管軸を中心として径方向に離間するように形成されている。また、図１２Ａ～図１３Ｂに示す、いずれの構成も、発光管１０の外壁面側に形成される電極１１は、金属線で形成された網状電極としたが、蒸着によって形成された金属膜や、金属板で構成された電極１１であっても構わない。また、図１２Ａに示す、発光管１０の発光空間１０ｃ内に配置された電極１１や、図１３Ａに示す、発光管１０の内側に形成された電極１１も同様に、図示された構成に限定されない。

【0070】

〈３〉 第一反射膜１４ａと第二反射膜１４ｂは、一つのエキシマランプ２において、複数形成されていても構わない。また、反射膜１４は、複数の第一反射領域１４ｐと第二反射領域１４ｑが形成されていても構わない。図１４～図１６は、エキシマランプ２の別実施形態をＹ方向に見たときの模式的な断面図ある。例えば、図１４及び図１５に示すように、採光部１３が二つ設けられ、第二反射膜１４ｂ、第二反射領域１４ｑが二つ形成されていても構わない。

【0071】

さらに、図１６に示すように、エキシマランプ２は、Ｚ方向において、第二反射膜１４ｂが、複数の第一反射膜１４ａの間に形成され、採光部１３が、発光管１０の中央部側に形成されていても構わない。なお、図示はしていないが、第一反射領域１４ｐと第二反射領域１４ｑに関しても同様に、第二反射領域１４ｑが複数の第一反射領域１４ｐに間に形成され、採光部１３が、発光管１０の中央部側に形成されていても構わない。

【0072】

〈４〉 図１７は、エキシマランプ２の別実施形態の採光部１３周辺の拡大斜視図である。上述した構成では、光出射面１２と採光部１３は、いずれもＸ方向に面するように構成されているが、図１７に示すように、光出射面１２がＸ方向に面するように形成され、採光部１３がＹ方向に面するように形成されていても構わない。なお、図１７においては、第二反射膜１４ｂの形状を把握しやすいように、第二反射膜１４ｂよりも－Ｚ側は、図示していない。

【0073】

〈５〉 上述した光照射装置１及びエキシマランプ２が備える構成は、あくまで一例であり、本発明は、図示された各構成に限定されない。

【符号の説明】

【0074】

１ ： 光照射装置
２ ： エキシマランプ
３ ： 光量センサ
３ａ ： 受光部
３ｓ ： 受光可能領域
４ ： 搬送機構
１０ ： 発光管
１０ａ ： 外壁面
１０ｂ ： 内壁面
１０ｃ ： 発光空間
１１ ： 電極
１１ｈ ： 光取り出し部
１２ ： 光出射面
１３ ： 採光部
１４ ： 反射膜
１４ａ ： 第一反射膜
１４ｂ ： 第二反射膜
１４ｐ ： 第一反射領域
１４ｑ ： 第二反射領域
７０ ： マスキングテープ
７１ ： 懸濁液
１００ ： エキシマランプ
１０１ ： 発光管
１０１ａ ： 外壁面
１０２ ： 電極
１０３ ： 反射膜
１０４ ： 光出射面
１０５ ： 採光部
Ｇ１ ： 発光ガス
Ｌ１ ： 紫外光
Ｗ１ ： 照射対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9A】

【図9B】

【図9C】

【図9D】

【図10】

【図11】

【図12A】

【図12B】

【図13A】

【図13B】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】