特許 7385812 ガラス物品及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-11-15

(45)【発行日】2023-11-24

(54)【発明の名称】ガラス物品及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   C03B 23/037 20060101AFI20231116BHJP

【ＦＩ】

C03B23/037

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2019179408

(22)【出願日】2019-09-30

(65)【公開番号】P2021054675

(43)【公開日】2021-04-08

【審査請求日】2022-05-31

(73)【特許権者】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100168550

【弁理士】

【氏名又は名称】友廣 真一

(72)【発明者】

【氏名】中島 一嘉

(72)【発明者】

【氏名】田中 宏和

【審査官】玉井 一輝

(56)【参考文献】

【文献】特開２０００－２０３８５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１１／１１１６２５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－１８８１６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１０４１７７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特公昭４７－０３６９３３（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】特開２００８－１３５３３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００９／１１９８２６（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０３Ｂ ２３／０３７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

幅方向中央部に第一薄肉部を有するとともに、幅方向端面を含む幅方向両端部のそれぞれに、前記第一薄肉部よりも厚みの大きい第一厚肉部を有するガラス母材を準備する準備工程と、
リドロー法を用いて前記ガラス母材を加熱炉内で加熱して軟化させながら延伸し、幅方向中央部に厚みが１０μｍ以下の第二薄肉部を有するとともに、幅方向端面を含む幅方向両端部のそれぞれに、前記第二薄肉部よりも厚みの大きい第二厚肉部を有するガラスリボンを成形する成形工程と、
前記ガラスリボンからガラス物品を得る物品形成工程とを備え、
前記成形工程では、軟化した前記ガラス母材を延伸するために、前記加熱炉の外側下方で前記ガラスリボンを下方に引っ張る延伸ローラを設け、前記延伸ローラが、前記ガラスリボンの前記第二厚肉部のみに接触することを特徴とするガラス物品の製造方法。

【請求項2】

前記ガラス母材は、厚み方向の両表面において、前記第一厚肉部が前記第一薄肉部よりも突出している請求項１に記載のガラス物品の製造方法。

【請求項3】

前記第一薄肉部が、前記ガラス母材を研削又はエッチングすることにより形成される請求項１又は２に記載のガラス物品の製造方法。

【請求項4】

前記物品形成工程では、前記ガラスリボンをロール状に巻き取る請求項１～３のいずれか１項に記載のガラス物品の製造方法。

【請求項5】

前記成形工程では、前記ガラス母材を支持する支持部を設け、前記支持部が、前記ガラス母材の前記第一厚肉部のみに接触する請求項１～４のいずれか１項に記載のガラス物品の製造方法。

【請求項6】

（前記ガラス母材の最大厚み）／（前記ガラス母材の最小厚み）が、１．１～２５である請求項１～５のいずれか１項に記載のガラス物品の製造方法。

【請求項7】

（前記ガラス母材の全幅）／（前記ガラス母材の最大厚み）が、２５～４０００である請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス物品の製造方法。

【請求項8】

前記第一薄肉部が、一定の厚みを有する薄肉平面部からなり、
前記第一厚肉部が、前記薄肉平面部よりも厚みの大きい一定の厚みを有する厚肉平面部からなり、
（それぞれの前記第一厚肉部の幅）／（前記第一薄肉部の幅）が、０．０２～４００００である請求項１～７のいずれか１項に記載のガラス物品の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス物品及びその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ用のガラス基板には、大型化と薄板化が推進されていることから、その成形方法としては、オーバーフローダウンドロー法が広く採用されている。

【0003】

一方、小型デバイスに使用されるガラス板では、小型化と同時に、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板よりもさらなる薄板化が要求される場合がある。このような分野では、ガラス板の成形方法として、リドロー法が採用される場合もある（例えば特許文献１）。リドロー法は、ガラス母材を再度加熱しながら延伸し、非常に薄い長尺なガラスリボンを成形する方法である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１５－４４７４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

リドロー法を用いて小型化及び薄板化されたガラス板は、デバイスの製造過程におけるハンドリング性が悪くなるという問題がある。

【0006】

つまり、ガラス板の非常に薄い薄肉部に支持部（例えばロボットや作業者の手指）を接触させると、容易に破損するおそれがある。また、ガラス板の薄肉部に支持部との接触により汚れが付着すると、洗浄によって除去するのが難しいという問題がある。

【0007】

本発明は、薄肉部を有するガラス物品のハンドリング性を高めることを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を解決するために創案された本発明に係るガラス物品の製造方法は、幅方向の異なる位置に、第一薄肉部と第一厚肉部とを有するガラス母材を準備する準備工程と、リドロー法を用いてガラス母材を加熱しながら下方へ延伸し、幅方向の異なる位置に、第二薄肉部と第二厚肉部とを有するガラスリボンを成形する成形工程と、ガラスリボンからガラス物品を得る物品形成工程とを備えることを特徴とする。

【0009】

このようにすれば、ガラス母材に予め第一薄肉部と第一厚肉部とが形成されるため、リドロー法を用いて成形されたガラスリボンに第二薄肉部と第二厚肉部とが確実に形成される。このガラスリボンからガラス物品（例えばガラス板やガラスロールなど）を得れば、ガラス物品においても、第二薄肉部と第二厚肉部とが形成された状態となる。したがって、第二薄肉部よりも厚みの大きな第二厚肉部を支持してガラス物品を取り扱うことができるため、ガラス物品のハンドリング性が良好になる。

【0010】

上記の構成において、ガラス母材は、幅方向中央部に第一薄肉部を有し、幅方向両端部に第一厚肉部を有することが好ましい。

【0011】

このようにすれば、ガラスリボンから得られるガラス物品においても、幅方向中央部に第二薄肉部が形成されると共に、幅方向両端部に第二厚肉部が形成される。つまり、二つの第二厚肉部の間に第二薄肉部が挟まれた形状になるため、第二薄肉部に他部材がより接触しにくく、ガラス物品のハンドリング性がより良好になる。

【0012】

上記の構成において、ガラス母材は、厚み方向の両表面において、第一厚肉部が第一薄肉部よりも突出していることが好ましい。

【0013】

このようにすれば、ガラスリボンから得られるガラス物品においても、厚み方向の両表面において、第二厚肉部が第二薄肉部よりも突出するため、第二薄肉部に他部材がより接触しにくく、ガラス物品のハンドリング性がより良好になる。

【0014】

上記の構成において、第一薄肉部が、ガラス母材を研削又はエッチングすることにより形成されることが好ましい。

【0015】

このようにすれば、ガラス母材に簡単かつ確実に第一厚肉部よりも薄い第一薄肉部を形成することができる。また、ガラス母材の第一薄肉部の加工精度や表面品位が向上するため、ガラスリボンやガラス物品における第二薄肉部の品質が安定するという利点もある。

【0016】

上記の構成において、物品形成工程では、ガラスリボンをロール状に巻き取ってもよい。

【0017】

このようにすれば、ガラス物品として、ガラスリボンをロール状に巻き取ったガラスロールが形成される。

【0018】

上記の構成において、成形工程では、ガラス母材を延伸するためにガラスリボンと接触する延伸ローラを設け、延伸ローラが、ガラスリボンの第二厚肉部のみに接触することが好ましい。

【0019】

このようにすれば、延伸ローラが、ガラスリボンの第二薄肉部と非接触となるため、ガラスリボンやガラス物品の第二薄肉部に傷が形成されたり汚れが付着したりしにくくなる。

【0020】

上記の構成において、成形工程では、ガラス母材を支持する支持部を設け、支持部が、ガラス母材の第一厚肉部のみに接触することが好ましい。

【0021】

このようにすれば、支持部が、ガラス母材の第一薄肉部と非接触となるため、ガラス母材の第一薄肉部に傷が形成されたり汚れが付着したりしにくくなる。つまり、ガラス母材から得られるガラスリボンやガラス部品の第二薄肉部に傷が形成されたり汚れが付着したりしにくくなる。

【0022】

上記の構成において、（第一厚肉部の厚み）／（第一薄肉部の厚み）が、１．１～２５であることが好ましい。

【0023】

このようにすれば、寸法精度の優れたガラス物品を安定して得ることができる。

【0024】

上記の構成において、（ガラス母材の全幅）／（第一厚肉部の厚み）が、２５～４０００であることが好ましい。

【0025】

このようにすれば、寸法精度の優れたガラス物品を安定して得ることができる。

【0026】

上記の構成において、（第一厚肉部の幅）／（第一薄肉部の幅）が、０．０２～４００００であることが好ましい。

【0027】

このようにすれば、寸法精度の優れたガラス物品を安定して得ることができる。

【0028】

上記の課題を解決するために創案された本発明に係るガラス物品は、幅方向の異なる位置に、薄肉部と厚肉部とを有し、厚肉部の厚みが、薄肉部の厚みの１．１倍以上であり、薄肉部および厚肉部の表面が火造り面からなることを特徴とする。

【0029】

このようにすれば、薄肉部よりも厚みの大きな厚肉部を支持してガラス部品を取り扱うことができるため、ガラス物品のハンドリング性が良好になる。また、薄肉部および厚肉部の表面が火造り面であれば、破損の原因となる欠陥（例えばマイクロクラック）が形成されにくくなることに加え、火造り面となる過程で表面に形成される角部が丸みを帯びる。そのため、ガラス物品の強度が向上する。

【0030】

上記の構成において、薄肉部が幅方向中央部に形成されると共に、厚肉部が幅方向両端部に形成され、薄肉部の表面は平坦面および／または凹曲面により構成されていることが好ましい。

【0031】

このようにすれば、薄肉部の幅方向両側には厚肉部が形成されるため、薄肉部に他部材がより接触しにくく、ガラス物品のハンドリング性がより良好になる。また、薄肉部の表面が平坦面および／または凹曲面に構成されるため、薄肉部の強度も確保しやすくなる。

【0032】

上記の構成において、厚み方向の両表面において、厚肉部が薄肉部よりも突出していることが好ましい。

【0033】

このようにすれば、薄肉部に他部材がより接触しにくく、ガラス物品のハンドリング性がより良好になる。

【0034】

上記の構成において、（ガラス物品の全幅）／（厚肉部の厚み）が、１．１～２５であることが好ましい。

【0035】

上記の構成において、（厚肉部の幅）／（薄肉部の幅）が、０．０２～４００００であることが好ましい。

【0036】

上記の構成において、薄肉部の厚みが、１０μｍ以下であり、ガラス物品の全幅（ガラス物品の最大幅）が０．５～４０ｍｍであることが好ましい。

【0037】

上記の構成において、ガラス物品は、厚肉部と薄肉部とを有するガラスリボンをロール状に巻き取ったガラスロールであってもよい。

【0038】

ガラスロールの場合、半径方向に対向するガラスリボンの間に保護シートが介在しており、保護シートが、ガラスリボンの厚み方向の少なくとも一方の表面において、厚肉部のみと接触することが好ましい。

【0039】

このようにすれば、保護シートが、ガラスリボンの厚み方向の少なくとも一方の表面において、薄肉部と非接触となるため、保護シートとの接触により、薄肉部に傷が形成されたり汚れが付着したりするのを抑制できる。

【発明の効果】

【0040】

本発明によれば、薄肉部を有するガラス物品のハンドリング性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】第一実施形態に係るガラス物品の製造方法を示す側面図である。

【図2】図１のガラス母材を示す斜視図である。

【図3】図１のガラス母材を示す断面図である。

【図4】図１のガラスリボンを示す断面図である。

【図5】図１のＡ－Ａ断面図である。

【図6】図１のＢ－Ｂ断面図である。

【図7】図１のＣ－Ｃ断面図である。

【図8】第二実施形態に係るガラス物品の製造方法を示す側面図である。

【図9】ガラス母材の変形例を示す断面図である。

【図10】ガラス母材の変形例を示す断面図である。

【図11】ガラス母材の変形例を示す断面図である。

【図12】ガラス母材の変形例を示す断面図である。

【図13】ガラス母材の変形例を示す断面図である。

【図14】ガラス母材の変形例を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0042】

以下、本発明の実施形態に係るガラス物品及びその製造方法について、図面を参照しながら説明する。なお、図中のＸＹＺは直交座標系である。Ｘ方向及びＹ方向は水平方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。

【0043】

（第一実施形態）
図１～図３に示すように、第一実施形態に係るガラス物品の製造方法は、ガラス母材１を準備する準備工程（図２及び図３を参照）と、リドロー法を用いてガラス母材１を加熱しながら下方へ延伸し、ガラスリボン２を成形する成形工程（図１を参照）と、ガラスリボン２からガラス物品としてのガラスロール３を得る物品形成工程（図１を参照）とを備えている。

【0044】

図２及び図３に示すように、準備工程では、幅方向（Ｙ方向）の異なる位置に、第一薄肉部１ａと、第一厚肉部１ｂとを有するガラス母材１を準備する。

【0045】

詳細には、ガラス母材１は、幅方向中央部に第一薄肉部１ａを有すると共に、幅方向両端部に第一厚肉部１ｂを有する。本実施形態では、第一薄肉部１ａ及び第一厚肉部１ｂのそれぞれは、厚みが一定となる平面部を有する。

【0046】

さらに、ガラス母材１は、厚み方向（Ｘ方向）の両表面において、第一厚肉部１ｂが第一薄肉部１ａよりも突出している。換言すれば、ガラス母材１は、厚み方向の両表面において、第一薄肉部１ａに対応する位置に凹部１ｃが形成されている。

【0047】

なお、本実施形態では、ガラス母材１のＸＹ平面における断面は、厚み方向の中心を通る厚み方向中心線Ｐ及び幅方向の中心を通る幅方向中心線Ｑのそれぞれに対して線対称である。もちろん、ガラス母材１の断面形状は、このような対称性を有する場合に限定されない。

【0048】

第一薄肉部１ａ（凹部１ｃ）は、例えば、直方体をなすガラス母材１を研削又はエッチングすることにより形成される。特にエッチングの場合には、フォトリソグラフィ等により、第一薄肉部１ａ（凹部１ｃ）が形成される前の直方体をなすガラス母材１の主表面にマスクを生成し、ウェットエッチング又はドライエッチングにより所望の第一薄肉部１ａを得る方法を採用することが好ましい。第一薄肉部１ａが形成される前の直方体をなすガラス母材１は、例えば、オーバーフローダウンドロー法、スロットダウンドロー法、リドロー法などのダウンドロー法や、フロート法などにより成形できる。ガラス母材１としては、例えば無アルカリガラス（例えば日本電気硝子株式会社製のＴｙｐｅ－Ｄ）が利用できる。なお、ガラス母材１の第一薄肉部１ａの形成方法は、特に限定されるものではなく、例えば型成形などの他の方法を利用してもよい。

【0049】

図１に示すように、成形工程では、ガラス母材１の上端部を支持部４で支持すると共に、支持部４を下降させながらガラス母材１を加熱炉５の内部に供給する。加熱炉５の内部では、ガラス母材１が、ヒータ５ａによって加熱されて軟化する。加熱炉５の下方には、軟化したガラス母材１に連続するガラスリボン２の両表面と接触する一対の延伸ローラ６が設けられている。この一対の延伸ローラ６によってガラスリボン２を下方に引っ張ることで、軟化したガラス母材１が延伸される。これにより、ガラス母材１から厚みが薄いガラスリボン２が成形される。

【0050】

図４に示すように、ガラスリボン２は、ガラス母材１の第一薄肉部１ａに対応した第二薄肉部２ａと、ガラス母材１の第一厚肉部１ｂに対応した第二厚肉部２ｂとを有する。つまり、ガラスリボン２は、幅方向中央部に第二薄肉部２ａを有し、幅方向両端部に第二厚肉部２ｂを有する。図示例では、第二薄肉部２ｂの表面は、幅方向に沿って延びる平坦面から構成されているが、例えば、第二薄肉部２ｂの表面は、凹曲面から構成されていてもよいし、平坦面および凹曲面から構成されていてもよい。さらに、ガラスリボン２は、厚み方向の両表面において、第二厚肉部２ｂが第二薄肉部２ａよりも突出している。換言すれば、ガラスリボン２は、厚み方向の両表面において、第二薄肉部２ａに対応する位置に凹部２ｃが形成されている。ガラス母材１は、ガラスリボン２の第二薄肉部２ａの厚みｔ６が、例えば１～５０μｍ（好ましくは１～３０μｍ）になるように延伸される。

【0051】

図５に示すように、支持部４は、支持面が平坦面であり、ガラス母材１のうちの第一厚肉部１ｂのみと接触し、第一薄肉部１ａとは非接触となっている。また、図６に示すように、一対の延伸ローラ６は、径が一定の棒状のローラであり、ガラスリボン２のうちの第二厚肉部２ｂのみと接触し、第二薄肉部２ａとは非接触となっている。したがって、ガラス母材１の第一薄肉部１ａやガラスリボン２の第二薄肉部２ａに、傷が形成されたり汚れが付着したりするのを抑制できる。なお、支持部４及び／又は延伸ローラ６は、薄肉部１ａ，２ａと接触してもよい。

【0052】

図３に示すように、（ガラス母材１の第一厚肉部１ｂの厚みｔ３）／（ガラス母材１の第一薄肉部１ａの厚みｔ２）は、１．１～２５であることが好ましく、１．５～１２．５であることがより好ましく、２～１２．５であることがさらに好ましく、２～５であることが最も好ましい。

【0053】

（ガラス母材１の全幅ｗ１）／（ガラス母材１の第一厚肉部１ｂの厚みｔ３）は、２５～４０００であることが好ましく、５００～３０００であることがより好ましい。

【0054】

（ガラス母材１の第一厚肉部１ｂの幅ｗ３）／（ガラス母材１の第一薄肉部１ａの幅ｗ２）は、０．０２～４００００であることが好ましい。

【0055】

図４に示すように、（ガラスリボン２の第二厚肉部２ｂの厚みｔ６）／（ガラスリボン２の第二薄肉部２ａの厚みｔ５）は、１．１以上であることが好ましく、１．５～１２．５であることがより好ましく、２～１２．５であることがさらに好ましく、２～５であることが最も好ましい。

【0056】

（ガラスリボン２の全幅ｗ４）／（ガラスリボン２の第二厚肉部２ｂの厚みｔ６）は、１．１～２５であることが好ましく、１．５～１２．５であることがより好ましく、２～５であることが最も好ましい。

【0057】

（ガラスリボン２の第二厚肉部２ｂの幅ｗ６）／（ガラスリボン２の第二薄肉部２ａの幅ｗ５）は、０．０２～４００００であることが好ましい。

【0058】

ガラスリボン２の第二薄肉部２ａの厚みｔ６は、１０μｍ以下であることが好ましく、ガラスリボン２の全幅（ガラス物品の最大幅）ｗ４は、０．５～４０ｍｍであることが好ましい。

【0059】

ガラスリボン２は、表面が火造り面により形成される。つまり、第二薄肉部２ａ及び第二厚肉部２ｂの表面は、火造り面により形成される。ここで、火造り面とは、ガラスが溶融した後に、ローラなどの他部材と接触することなく固化した未研磨面を意味する。火造り面であれば、破損の原因となる欠陥（例えばマイクロクラック）が形成されにくくなることに加え、表面に形成される角部も溶融過程で丸みを帯び、面取りされたような状態となる。したがって、火造り面であれば、ガラスリボン２の強度（特に曲げ強度）が向上する。

【0060】

図１に示すように、物品形成工程では、ガラスリボン２を巻芯としての巻取ローラ７の周りにロール状に巻き取って、ガラス物品としてのガラスロール３を形成する。本実施形態では、巻取ローラ７の近傍に、保護シートロール８が配置されている。保護シートロール８から巻き出された保護シート９は、ガラスリボン２に重ねられ、ガラスリボン２と共に巻取ローラ７の周りに巻き取られる。つまり、図７に示すように、ガラスロール３の半径方向において、ガラスリボン２と保護シート９とが交互に積層される。なお、ガラスリボン２の傷や汚れを抑制する観点からは、ガラスロール３の最内層及び最外層は、保護シート９で形成されることが好ましい。

【0061】

ガラスリボン２は、幅方向中央部に第二薄肉部２ａを有すると共に、幅方向両端部に第二厚肉部２ｂを有し、かつ、厚み方向の両表面において、第二薄肉部２ａに対応する位置に凹部２ｃが形成されている。そのため、ガラスリボン２の厚み方向の両表面において、保護シート９がガラスリボン２の第二厚肉部２ｂのみと接触し、第二薄肉部２ａとは非接触となっている。したがって、保護シート９との接触により、ガラスリボン２の第二薄肉部２ａの厚み方向の両表面に傷が形成されたり汚れが付着したりするのを抑制できる。なお、保護シート９は第二薄肉部２ａと接触してもよい。例えば、ガラスリボン２の厚み方向の一方の表面のみで、第二薄肉部２ａに対応する位置に凹部２ｃが形成されている場合には、ガラスリボン２の厚み方向の他方の表面（凹部２ｃが形成されていない側の表面）では、保護シート９が第二薄肉部２ａと接触する。

【0062】

ガラスロール３に含まれるガラスリボン２は、所定長さに切断されてガラス板とされ、デバイスに組み込まれる。ガラスリボン２又はガラス板は、ガラス母材１に準じた形状の第二薄肉部２ａと第二厚肉部２ｂとを有するため、デバイスの製造工程において、第二薄肉部２ａよりも厚みの大きな第二厚肉部２ｂを支持して、ガラスリボン２又はガラス板を取り扱うことができる。したがって、ガラスリボン２又はガラス板のハンドリング性が良好になる。なお、第二厚肉部２ｂは、デバイスの製造工程に含まれる所定の工程を経た後に切断除去し、第二薄肉部２ａのみをデバイスに組み込んでもよい。あるいは、第二厚肉部２ｂは、デバイスの製造工程で切断除去せずに、第二薄肉部２ａと共にデバイスに組み込んでもよい。第二厚肉部２ｂは、例えば曲げ応力を付与することで、簡単に折り割って除去することができる。

【0063】

ガラスロール３に含まれるガラスリボン２が適用されるデバイスとしては、例えば、ダイヤフラム装置、バイオフィルタ、ナノポアセンサ、プレパラート、その他試料容器、試料カバーなどが挙げられる。

【0064】

ダイヤフラム装置は、ダイヤフラムの変形を利用して流体を制御するデバイスであり、ダイヤフラムとして、ガラスリボン２を切断して得られるガラス板が利用される。ダイヤフラム装置の典型例としては、ダイヤフラムによって流路の開閉を行うダイヤフラムバルブや、流体を圧送するダイヤフラムポンプなどが挙げられる。

【0065】

バイオフィルタ及びナノポアセンサは、検査対象物の中からＤＮＡやタンパク質などの特定の微細物を選択的に抽出するためのデバイスである。バイオフィルタは、検査対象物（例えば血液）の中から特定の微細物（例えば癌由来のエクソソーム）を選択的に抽出するフィルタ部を備え、フィルタ部として、ガラスリボン２を切断して得られるガラス板が利用される。ナノポアセンサは、このフィルタ部に加え、選択的に抽出した微細物を検出（又は、検出及び分析）するセンサをさらに備える。フィルタ部として利用されるガラス板には、微細孔が形成される。ガラス板の微細孔は、バイオフィルタの場合は、例えば直径が１～５０μｍの円形開口部とされ、ナノポアセンサの場合は、例えば直径が１００～１０００ｎｍの円形開口部とされる。微細孔は、ガラスリボン２の状態で形成してもよいし、ガラスリボン２を切断して得られるガラス板の状態で形成してもよい。微細孔の加工方法は、特に限定されるものではないが、例えば、ドリル等による機械加工、レーザ加工、超音波加工、ＦＩＢ（イオンビーム）加工などが利用できる。微細孔がナノメートルサイズの場合には、ＦＩＢ加工を利用することが好ましい。

【0066】

（第二実施形態）
図８に示すように、第二実施形態に係るガラス物品の製造方法が、第一実施形態に係るガラス物品の製造方法と相違する点は、延伸ローラ６が、ガラス母材１に連続するガラスリボン２の一方の表面側のみに配置されている点である。

【0067】

つまり、一本の延伸ローラ６の外周面の周方向の一部領域にガラスリボン２が巻き掛けられ、ガラスリボン２の姿勢が縦姿勢（例えば鉛直姿勢）から横姿勢（例えば水平姿勢）に変更される。このような姿勢変換の過程で、一本の延伸ローラ６によってガラスリボン２を下方に引っ張ることで、加熱炉５の内部で軟化したガラス母材１が延伸される。これにより、ガラス母材１から厚みの薄いガラスリボン２が成形される。

【0068】

なお、延伸ローラ６の抱き角αは、９０度以上であることが好ましく、９０～２２５度であることがより好ましい。

【0069】

本実施形態におけるその他の構成は、第一実施形態と同じである。本実施形態において、第一実施形態と共通する構成要素には、共通符号を付している。

【0070】

なお、本発明は、上記の実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0071】

上記の実施形態では、ガラス物品がガラスロール３である場合を例示したが、ガラス物品は、延伸ローラ６の下流側でガラスリボン２を所定長さで切断したガラス板であってもよい。ガラス物品がガラス板の場合も、上記の実施形態で例示した同様の製造工程が適用できる。

【0072】

上記の実施形態では、ガラス母材１及びガラスリボン２（あるいはガラス物品）において、幅方向中央部に薄肉部１ａ，２ａを有すると共に、幅方向両端部に厚肉部１ｂ，２ｂを有し、かつ、厚み方向の両表面において、互いに対称となる位置で、厚肉部１ｂ，２ｂが薄肉部１ａ，２ａよりも突出している場合を説明したが、ガラス母材１及びガラスリボン２の形状はこれに限定されない。つまり、ガラス母材１の第一厚肉部１ｂや第一薄肉部１ａの位置及び大きさを変更することで、ガラス母材１の形状に準じた種々の形状のガラスリボン２（あるいはガラス物品）を形成することができる。以下に、ガラス母材１及びガラスリボン２の変形例を例示する。

【0073】

図９に示すように、ガラス母材１は、幅方向中央部に第一薄肉部１ａを有すると共に、幅方向両端部に第一厚肉部１ｂを有し、かつ、厚み方向の両表面において、互いに異なる位置で、第一厚肉部１ｂが第一薄肉部１ａよりも突出していてもよい。換言すれば、凹部１ｃの幅方向位置が、厚み方向の両表面で僅かに異なっていてもよい。ただし、ガラス母材１の断面形状が、厚み方向の中心を通る厚み方向中心線や幅方向の中心を通る幅方向中心線に対して線対称でない場合には、成形過程で、ガラスリボン２に反りが生じるおそれがある。したがって、ガラス母材１の断面形状は、厚み方向の中心を通る厚み方向中心線と幅方向の中心を通る幅方向中心線のうちの少なくとも一方の中心線に対して線対称であることが好ましい。

【0074】

図１０に示すように、ガラス母材１は、幅方向一端部のみに第一厚肉部１ｂを有し、幅方向残部に第一薄肉部１ａを有し、かつ、厚み方向の両表面において、互いに対称となる位置で、第一厚肉部１ｂが第一薄肉部１ａよりも突出していてもよい。

【0075】

図１１に示すように、ガラス母材１は、幅方向中央部に第一厚肉部１ｂを有すると共に、幅方向両端部に第一薄肉部１ａを有し、かつ、厚み方向の両表面において、互いに対称となる位置で、第一厚肉部１ｂが第一薄肉部１ａよりも突出していてもよい。

【0076】

図１２に示すように、ガラス母材１は、幅方向中央部に第一薄肉部１ａを有すると共に、幅方向両端部に第一厚肉部１ｂを有し、かつ、厚み方向の一方の表面のみにおいて、第一厚肉部１ｂが第一薄肉部１ａよりも突出していてもよい。換言すれば、凹部１ｃが、ガラス母材１の厚み方向の一方の表面のみに形成されていてもよい。

【0077】

図１３に示すように、ガラス母材１は、幅方向一端部のみに第一厚肉部１ｂを有すると共に、幅方向残部に第一薄肉部１ａを有し、かつ、厚み方向の一方の表面のみにおいて、第一厚肉部１ｂが第一薄肉部１ａよりも突出していてもよい。

【0078】

図１４に示すように、ガラス母材１は、幅方向中央部に第一厚肉部１ｂを有すると共に、幅方向両端部に第一薄肉部１ａを有し、かつ、厚み方向の一方の表面のみにおいて、第一厚肉部１ｂが第一薄肉部１ａよりも突出していてもよい。

【符号の説明】

【0079】

１ ガラス母材
１ａ 第一薄肉部
１ｂ 第一厚肉部
１ｃ 凹部
２ ガラスリボン
２ａ 第二薄肉部
２ｂ 第二厚肉部
２ｃ 凹部
３ ガラスロール
４ 支持部
５ 加熱炉
６ 延伸ローラ
７ 巻取ローラ
８ 保護シートロール
９ 保護シート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】