(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-11-17
(45)【発行日】2023-11-28
(54)【発明の名称】鋳造装置
(51)【国際特許分類】
B22D 17/22 20060101AFI20231120BHJP
B22D 17/00 20060101ALI20231120BHJP
B22C 9/06 20060101ALI20231120BHJP
C22C 21/02 20060101ALN20231120BHJP
【ＦＩ】
B22D17/22 S
B22D17/00 B
B22C9/06 H
C22C21/02
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2019167801
(22)【出願日】2019-09-14
(65)【公開番号】P2021045758
(43)【公開日】2021-03-25
【審査請求日】2022-06-08
(73)【特許権者】
【識別番号】000231350
【氏名又は名称】ジヤトコ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110004141
【氏名又は名称】弁理士法人紀尾井坂テーミス
(74)【代理人】
【識別番号】100148301
【弁理士】
【氏名又は名称】竹原 尚彦
(74)【代理人】
【識別番号】100176991
【弁理士】
【氏名又は名称】中島 由布子
(74)【代理人】
【識別番号】100217696
【弁理士】
【氏名又は名称】川口 英行
(72)【発明者】
【氏名】篠原 健
【審査官】藤長 千香子
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１１／０１８９２２（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００５－１５２９２４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１１－１７３４１５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１６８４４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－２０２８３４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１７１８２５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１６７４６５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１１８３１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－２２６７１３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２２Ｄ １５／００－１７／３２
Ｂ２２Ｃ ５／００－９／３０
Ｃ２２Ｃ ５／００－２５／００，
２７／００－２８／００，
３０／００－３０／０６，
３５／００－４５／１０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
固定型と可動型とを接合した型締め時に、鋳造品の形状に対応したキャビティが前記固定型と前記可動型との間に形成される鋳造金型と、アルミニウム合金の溶湯を、前記鋳造金型に設けた連絡路を介して、前記キャビティ内に射出する射出装置と、を備える鋳造装置であって、
前記鋳造金型では、前記キャビティの領域の下縁に前記連絡路との連通口が開口しており、
前記固定型側の前記キャビティの領域と、前記可動型側の前記キャビティの領域のうち、前記固定型と前記可動型との接合方向の深さが浅い方の金型の前記キャビティの領域では、前記下縁から所定の高さ範囲が、表面粗さが他の領域の表面粗さよりも粗い表面処理領域となっていることを特徴とする鋳造装置。
【請求項2】
前記接合方向の深さが深い前記キャビティの領域を持つ金型では、当該金型の下縁で、前記連通口が上方を向いて開口しており、前記接合方向の深さが浅い前記キャビティの領域を持つ金型では、前記キャビティの領域における前記下縁側の下部に、前記連通口の開口方向に沿う平坦な部位を有しており、
前記表面処理領域は、前記平坦な部位に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の鋳造装置。
【請求項3】
前記表面処理領域は、前記固定型側のキャビティの領域に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の鋳造装置。
【請求項4】
前記アルミニウム合金は、シリコンを８～３０質量％含有するハイシリコンアルミニウム合金であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の鋳造装置。
【請求項5】
前記鋳造品は、自動変速機用のバルブボディであり、前記表面処理領域は、前記バルブボディにおけるフランジ状に膨出した部位に対応する領域であることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の鋳造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、鋳造装置に関する。
【背景技術】
【0002】
シリコンを含有するアルミニウム合金の溶湯を、金型内のキャビティに射出して製品を鋳造するダイカスト鋳造法が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１８－６５１６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ダイカスト鋳造法により作製される鋳造品として、車両用の自動変速機のコントロールバルブボディが例示される。
コントロールバルブボディには、油圧制御回路を形成するための油路（油溝）や、スプール弁を進退移動可能に収容するスプール孔が形成されている。
コントロールバルブボディには、油圧制御回路を形成するための油路（油溝）や、スプール弁を進退移動可能に収容するスプール孔が形成されている。
【0005】
ここで、スプール孔の摩耗の抑制や、スプール孔の真円度の確保を目的として、シリコンの含有量が多いアルミニウム合金、いわゆるハイシリコンアルミニウム合金が、コントロールバルブボディ（鋳造品）の鋳造に用いられる。
【0006】
ハイシリコンアルミニウム合金の溶湯を用いて作製した鋳造品では、シリコンの分布が他の領域よりも多い領域（シリコン偏析領域）が生じることがある。
鋳造品におけるシリコン偏析領域は、他の領域よりも黒ずんで見えるので、製品の見栄えが悪くなる。さらに、シリコン偏析領域は、他の領域よりも脆いので、鋳造品の構成素材が剥離し易くなる傾向がある。
また、剥離した素材が、スプール孔の内部に侵入すると、侵入した素材が、スプール弁の移動を妨げる夾雑物となり、スプール弁の作動不良（バルブスティック）の原因となる。
鋳造品におけるシリコン偏析領域は、他の領域よりも黒ずんで見えるので、製品の見栄えが悪くなる。さらに、シリコン偏析領域は、他の領域よりも脆いので、鋳造品の構成素材が剥離し易くなる傾向がある。
また、剥離した素材が、スプール孔の内部に侵入すると、侵入した素材が、スプール弁の移動を妨げる夾雑物となり、スプール弁の作動不良（バルブスティック）の原因となる。
【0007】
そこで、シリコンの偏析を抑制することが求められている。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明のある態様は、
固定型と可動型とを接合した型締め時に、鋳造品の形状に対応したキャビティが前記固
定型と前記可動型との間に形成される鋳造金型と、
ハイシリコンアルミニウム合金の溶湯を、前記鋳造金型に設けた連絡路を介して、前記
キャビティ内に射出する射出装置と、を備える鋳造装置であって、
前記鋳造金型では、前記キャビティの領域の下縁に、前記連絡路との連通口が開口しており、
前記固定型側の前記キャビティの領域と、前記可動型側の前記キャビティの領域のうち、前記固定型と前記可動型との接合方向の深さが浅い方の金型の前記キャビティの領域では、前記下縁から所定の高さ範囲が、表面粗さが他の領域の表面粗さよりも粗い表面処理領域となっている構成の鋳造装置とした。
固定型と可動型とを接合した型締め時に、鋳造品の形状に対応したキャビティが前記固
定型と前記可動型との間に形成される鋳造金型と、
ハイシリコンアルミニウム合金の溶湯を、前記鋳造金型に設けた連絡路を介して、前記
キャビティ内に射出する射出装置と、を備える鋳造装置であって、
前記鋳造金型では、前記キャビティの領域の下縁に、前記連絡路との連通口が開口しており、
前記固定型側の前記キャビティの領域と、前記可動型側の前記キャビティの領域のうち、前記固定型と前記可動型との接合方向の深さが浅い方の金型の前記キャビティの領域では、前記下縁から所定の高さ範囲が、表面粗さが他の領域の表面粗さよりも粗い表面処理領域となっている構成の鋳造装置とした。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、シリコンの偏析を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、鋳造装置１を用いて作製される鋳造品が、車両用の自動変速機のバルブボディ１０である場合を例にあげて本発明の実施形態を説明する。
【0012】
図１は、鋳造装置１の構成を説明する模式図である。なお、図１では、固定型３と可動型４とを型締めした状態が示されている。
図２は、鋳造装置１を用いて作製される鋳造品（バルブボディ１０）を説明する図である。図２の（ａ）は、バルブボディ１０の正面図であり、（ｂ）は、バルブボディ１０における表面処理が施された領域（転写領域Ｒｘ’）を説明する図である。図２の（ｂ）では、転写領域Ｒｘ’にハッチングを付して示している。
図２は、鋳造装置１を用いて作製される鋳造品（バルブボディ１０）を説明する図である。図２の（ａ）は、バルブボディ１０の正面図であり、（ｂ）は、バルブボディ１０における表面処理が施された領域（転写領域Ｒｘ’）を説明する図である。図２の（ｂ）では、転写領域Ｒｘ’にハッチングを付して示している。
【0013】
図１に示すように鋳造装置１は、ダイカスト鋳造に用いられる鋳造金型２と、アルミニウム合金の溶湯Ｍを、鋳造金型２内のキャビティＣに射出する射出装置５と、を備える。
【0014】
本実施形態の鋳造装置１は、アルミ粗材（ＡＤＣ１２材）にシリコン（Ｓｉ）を添加したアルミニウム合金を用いるダイカスト鋳造に好適である。
特に、シリコン（Ｓｉ）の含有量の多いハイシリコンアルミニウム合金を用いるダイカスト鋳造に好適である。
特に、シリコン（Ｓｉ）の含有量の多いハイシリコンアルミニウム合金を用いるダイカスト鋳造に好適である。
【0015】
ハイシリコンアルミニウム合金は、ＪＩＳ規格の４０００系に相当するアルミ－シリコン系の合金（Ａｌ－Ｓｉ系合金）であり、強度と、耐摩耗性に優れている。
本明細書におけるハイシリコンアルミニウム合金は、Ｓｉを８～３０％含有するアルミニウム合金であり、より好ましくは、Ｓｉを１５～３０％含有するアルミニウム合金である。
本明細書におけるハイシリコンアルミニウム合金は、Ｓｉを８～３０％含有するアルミニウム合金であり、より好ましくは、Ｓｉを１５～３０％含有するアルミニウム合金である。
【0016】
本実施形態の鋳造装置１を用いて作製される鋳造品は、自動変速機用のバルブボディ１０である。
自動変速機は、バルブボディ１０、１０の間にセパレートプレート（図示せず）を挟み込んで構成されるコントロールバルブボディを有している。
バルブボディ１０の内部やセパレートプレートとの合わせ面には、油圧制御回路を形成するための油路（油溝）や、スプール弁を進退移動可能に収容するスプール孔（溝）が形成されている。
自動変速機は、バルブボディ１０、１０の間にセパレートプレート（図示せず）を挟み込んで構成されるコントロールバルブボディを有している。
バルブボディ１０の内部やセパレートプレートとの合わせ面には、油圧制御回路を形成するための油路（油溝）や、スプール弁を進退移動可能に収容するスプール孔（溝）が形成されている。
【0017】
図２の（ａ）は、バルブボディ１０を、合わせ面とは反対側から見た平面図であり、セパレートプレートとの合わせ面が、紙面奥側に隠れている。
【0018】
バルブボディ１０の外面（表面）には、ボルト孔１０１やソレノイドなどの取付孔１０２が開口している。さらに、スプール孔が形成された領域が紙面手前側に膨出した膨出部１０３として現れている。
本実施形態にかかる鋳造装置１で鋳造されたバルブボディ１０では、図２の（ｂ）においてハッチングが付された領域（転写領域Ｒｘ’）の表面が、ハッチングが付されていない他の領域よりも表面の粗さが粗くなっている。
バルブボディ１０では、長手方向の一側１０ａ側と他側１０ｂ側の表面（図２の（ｂ）における紙面手前側の面）に、幅方向の全域に及ぶ範囲に、転写領域Ｒｘ’が形成されている。
本実施形態にかかる鋳造装置１で鋳造されたバルブボディ１０では、図２の（ｂ）においてハッチングが付された領域（転写領域Ｒｘ’）の表面が、ハッチングが付されていない他の領域よりも表面の粗さが粗くなっている。
バルブボディ１０では、長手方向の一側１０ａ側と他側１０ｂ側の表面（図２の（ｂ）における紙面手前側の面）に、幅方向の全域に及ぶ範囲に、転写領域Ｒｘ’が形成されている。
【0019】
図１に示すように、鋳造金型２は、固定型３と、当該固定型３に対向配置された可動型４とを有している。
可動型４は、図示しない駆動機構により、型開き方向（図１における左右方向）に進退移動して、当該可動型４の型分割面４１を、固定型３の型分割面３１に対して接離させる。
固定型３と可動型４の互いの型分割面３１、４１を接合して型締めすると、バルブボディ１０（鋳造品）の形状に対応したキャビティＣが、固定型３と可動型４の間に形成される。
可動型４は、図示しない駆動機構により、型開き方向（図１における左右方向）に進退移動して、当該可動型４の型分割面４１を、固定型３の型分割面３１に対して接離させる。
固定型３と可動型４の互いの型分割面３１、４１を接合して型締めすると、バルブボディ１０（鋳造品）の形状に対応したキャビティＣが、固定型３と可動型４の間に形成される。
【0020】
図１に示すように固定型３には、射出スリーブ５０の取付口３２が設けられている。
取付口３２は、鋳造金型２の設置状態を基準とした上下方向で、固定型３の下部に設けられている。
取付口３２は、可動型４の型開き方向（図中、左右方向）において、可動型４とは反対側の面（図中、右側の面）に開口している。
取付口３２の中央には、ビスケット３３（連絡路）が開口している。取付口３２は、固定型３内のビスケット３３（連絡路）と、可動型４側の連絡路（ランナ４３、ゲート４４）とを介して、キャビティＣに連通している。
取付口３２は、鋳造金型２の設置状態を基準とした上下方向で、固定型３の下部に設けられている。
取付口３２は、可動型４の型開き方向（図中、左右方向）において、可動型４とは反対側の面（図中、右側の面）に開口している。
取付口３２の中央には、ビスケット３３（連絡路）が開口している。取付口３２は、固定型３内のビスケット３３（連絡路）と、可動型４側の連絡路（ランナ４３、ゲート４４）とを介して、キャビティＣに連通している。
【0021】
ビスケット３３は、取付口３２側の大径部３３１と、可動型４側の小径部３３２とを有している。小径部３３２は、固定型３の型分割面３１に開口している。
小径部３３２は、固定型３と可動型４とを接合して型締めした際に、可動型４のランナ４３に対向する位置に開口する。
小径部３３２は、固定型３と可動型４とを接合して型締めした際に、可動型４のランナ４３に対向する位置に開口する。
【0022】
固定型３の取付口３２には、リング状の連結部材３４が内嵌している。
連結部材３４は、射出装置５側の射出スリーブ５０を固定型３に連結するためのアタッチメントである。
連結部材３４には、ビスケット３３の大径部３３１と整合する内径の貫通孔３４１が設けられている。連結部材３４では、大径部３３１とは反対側に、貫通孔３４１を所定間隔で囲む凹部３４２が設けられている。
連結部材３４は、射出装置５側の射出スリーブ５０を固定型３に連結するためのアタッチメントである。
連結部材３４には、ビスケット３３の大径部３３１と整合する内径の貫通孔３４１が設けられている。連結部材３４では、大径部３３１とは反対側に、貫通孔３４１を所定間隔で囲む凹部３４２が設けられている。
【0023】
凹部３４２には、射出スリーブ５０の一端５０ａが内嵌して固定されている。
射出スリーブ５０は、固定型３から離れる方向に直線状に延びる筒状部材であり、射出スリーブ５０の内部は、溶湯Ｍの送出路５００となっている。
送出路５００は、連結部材３４の貫通孔３４１、およびビスケット３３の大径部３３１と整合する内径Ｄ１で形成されている。
射出スリーブ５０は、固定型３から離れる方向に直線状に延びる筒状部材であり、射出スリーブ５０の内部は、溶湯Ｍの送出路５００となっている。
送出路５００は、連結部材３４の貫通孔３４１、およびビスケット３３の大径部３３１と整合する内径Ｄ１で形成されている。
【0024】
送出路５００と、連結部材３４の貫通孔３４１と、ビスケット３３の大径部３３１と、は、型開き方向（図中左右方向）に沿う直線Ｌｍ上で同芯に配置されている。
【0025】
送出路５００には、溶湯Ｍの押出部材５１が、射出スリーブ５０の他端５０ｂ側から挿入されている。押出部材５１は、送出路５００の内径Ｄ１と整合する外径の大径部５１０を有している。
押出部材５１（大径部５１０）は、図示しない駆動機構により、送出路５００の長手方向に進退移動可能である。
押出部材５１（大径部５１０）は、図示しない駆動機構により、送出路５００の長手方向に進退移動可能である。
【0026】
射出スリーブ５０では、長手方向における他端５０ｂ側の外周に、溶湯Ｍの注湯口５０１が開口している。
本実施形態では、注湯口５０１よりも他端５０ｂ側（図１における右側）が、押出部材５１の初期位置となっている。
本実施形態では、注湯口５０１よりも他端５０ｂ側（図１における右側）が、押出部材５１の初期位置となっている。
【0027】
本実施形態では、射出装置５が、溶湯Ｍの給湯機５２を有している。
給湯機５２は、ラドル５３を所望の位置まで移動させるロボットアーム５４を有している。給湯機５２は、ロボットアーム５４を操作して、溶湯Ｍを満たしたラドル５３を射出スリーブ５０の注湯口５０１の上方まで移動させたのち、注湯口５０１から射出スリーブ５０内に溶湯Ｍを注湯する。
給湯機５２は、ラドル５３を所望の位置まで移動させるロボットアーム５４を有している。給湯機５２は、ロボットアーム５４を操作して、溶湯Ｍを満たしたラドル５３を射出スリーブ５０の注湯口５０１の上方まで移動させたのち、注湯口５０１から射出スリーブ５０内に溶湯Ｍを注湯する。
【0028】
射出スリーブ５０内に溶湯Ｍを注油したのち、押出部材５１を、図示しない駆動機構により固定型３側（図中、左側）に変位させると、射出スリーブ５０内の溶湯Ｍが、押出部材５１より押されて、ビスケット３３側に送出される。
ビスケット３３側に送出された溶湯Ｍは、ビスケット３３の小径部３３２から、可動型４のランナ４３内に送出される。
ビスケット３３側に送出された溶湯Ｍは、ビスケット３３の小径部３３２から、可動型４のランナ４３内に送出される。
【0029】
図３は、鋳造金型２のキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）における表面処理が施された領域（表面処理領域Ｒｘ）を説明する模式図である。
図３の（ａ）は、図１におけるＡ－Ａ線に沿って可動型４を切断した断面図である。図３の（ｂ）は、図１におけるＢ－Ｂ線に沿って、固定型３を切断した断面図である。
図３の（ａ）では、固定型３側の連絡路であるビスケット３３の位置を、仮想線で示している。図３の（ｂ）では、可動型４側の連絡路であるランナ４３およびゲート４４と、バルブＶの位置を仮想線で示している。さらに、図３の（ｂ）では、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）における表面処理が施された領域（表面処理領域Ｒｘ）にハッチングを付して示している。
図３の（ａ）は、図１におけるＡ－Ａ線に沿って可動型４を切断した断面図である。図３の（ｂ）は、図１におけるＢ－Ｂ線に沿って、固定型３を切断した断面図である。
図３の（ａ）では、固定型３側の連絡路であるビスケット３３の位置を、仮想線で示している。図３の（ｂ）では、可動型４側の連絡路であるランナ４３およびゲート４４と、バルブＶの位置を仮想線で示している。さらに、図３の（ｂ）では、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）における表面処理が施された領域（表面処理領域Ｒｘ）にハッチングを付して示している。
【0030】
図３の（ａ）に示すように、本実施形態にかかる鋳造金型２では、バルブボディ１０が２つずつ同時に鋳造されるようにするために、バルブボディ１０の形状に対応するキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）が、型開き方向と直交する幅方向（図中、左右方向）で並んでいる。
本実施形態では、キャビティＣａ、Ｃｂは、可動型４の幅方向の中心線Ｘを挟んだ両側に設けられており、中心線Ｘを挟んだ一方側のキャビティＣａの形状と、他方側のキャビティＣｂの形状は、上下を逆にした位置関係に設定されている。
本実施形態では、キャビティＣａ、Ｃｂは、可動型４の幅方向の中心線Ｘを挟んだ両側に設けられており、中心線Ｘを挟んだ一方側のキャビティＣａの形状と、他方側のキャビティＣｂの形状は、上下を逆にした位置関係に設定されている。
【0031】
可動型４における固定型３との対向部では、ビスケット３３（小径部３３２）と重なる位置に、ランナ４３の導入部４３１が位置している。
ランナ４３は、導入部４３１を境にしてキャビティＣａ側の第１ランナ４３２と、キャビティＣｂ側の第２ランナ４３３とに分岐している。
ランナ４３は、導入部４３１を境にしてキャビティＣａ側の第１ランナ４３２と、キャビティＣｂ側の第２ランナ４３３とに分岐している。
【0032】
第１ランナ４３２と第２ランナ４３３は、キャビティＣａ、Ｃｂ側の上方に向かうにつれて、中心線Ｘから離れる向きで設けられている。
第１ランナ４３２と第２ランナ４３３の先端側は、キャビティＣａ、Ｃｂの下方を、キャビティＣａ、Ｃｂの下縁に沿って、互いに離れる方向に延びている。
第１ランナ４３２と第２ランナ４３３の先端側は、キャビティＣａ、Ｃｂの下方を、キャビティＣａ、Ｃｂの下縁に沿って、互いに離れる方向に延びている。
【0033】
第１ランナ４３２、第２ランナ４３３におけるキャビティＣａ、Ｃｂの下縁に沿う領域には、キャビティＣａに連絡するゲート４４、４４が設けられている。
本実施形態では、ゲート４４の各々は、鋳造金型２の中心線Ｘに沿う向きで設けられている。ゲート４４におけるキャビティＣａ、Ｃｂとの接続口である射出口４４ａ～４４ｄは、鋳造金型２の設置状態を基準とした上下方向で、キャビティＣａ、Ｃｂに下側から開口している。
本実施形態では、ゲート４４の各々は、鋳造金型２の中心線Ｘに沿う向きで設けられている。ゲート４４におけるキャビティＣａ、Ｃｂとの接続口である射出口４４ａ～４４ｄは、鋳造金型２の設置状態を基準とした上下方向で、キャビティＣａ、Ｃｂに下側から開口している。
【0034】
キャビティＣａの上部には、排気路４５に連絡する排気口４５ａ、４５ｂが開口している。キャビティＣｂの上部には、排気路４５に連絡する排気口４５ｃ、４５ｄ、４５ｅが開口している。
キャビティＣａ、Ｃｂ内の空間は、排気路４５を介してバルブＶに連絡している。排気路４５は、バルブＶを間に挟んで真空ポンプＰに連絡している。
キャビティＣａ、Ｃｂ内の空間は、排気路４５を介してバルブＶに連絡している。排気路４５は、バルブＶを間に挟んで真空ポンプＰに連絡している。
【0035】
図３の（ｂ）に示すように、固定型３におけるキャビティＣａ、Ｃｂの領域では、ゲート４４側の射出口４４ａ～４４ｄの近傍領域と、排気路４５側の排気口４５ａ～４５ｅの近傍領域に、表面を荒らした表面処理領域Ｒｘが設けられている。
【0036】
表面処理領域Ｒｘは、スパッタリングなどの公知の表面処理技術を用いて形成したものである、表面処理領域Ｒｘは、キャビティＣａ、Ｃｂ内の他の領域よりも、表面の粗さが粗くなっている。
本実施形態では、表面処理領域Ｒｘの表面粗さが、５μ～５０μ、より好ましくは、１０μ～２０μとなるように、表面処理が施されている。
本実施形態では、表面処理領域Ｒｘの表面粗さが、５μ～５０μ、より好ましくは、１０μ～２０μとなるように、表面処理が施されている。
【0037】
ここで、表面処理領域Ｒｘは、鋳造金型２を用いてハイシリコンアルミニウム合金の溶湯Ｍから作製されたバルブボディ１０において、シリコンの偏析を抑制するために設けられている。
【0038】
本件発明者は、バルブボディ１０（鋳造品）におけるシリコンの偏析が発生する領域の傾向を調査したところ、溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ（図３参照）周りに位置していた領域に、シリコンの偏析が多く発生することに着目した。
【0039】
そして、シリコンの偏析が発生する原因を鋭意検討した結果、以下の点を見いだした。
（ａ）鋳造金型２を用いたバルブボディ１０の連続鋳造の過程において、キャビティＣにおける溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄの近傍領域の温度が高くなる傾向がある。
（ｂ）溶湯Ｍの射出口の近傍領域の温度が高くなると、溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りに位置していた領域での溶湯Ｍの固化速度が、他の領域での固化速度よりも遅くなる。そうすると、固化速度が遅い領域に溶湯Ｍ中のシリコンが集まって偏析する。
（ａ）鋳造金型２を用いたバルブボディ１０の連続鋳造の過程において、キャビティＣにおける溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄの近傍領域の温度が高くなる傾向がある。
（ｂ）溶湯Ｍの射出口の近傍領域の温度が高くなると、溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りに位置していた領域での溶湯Ｍの固化速度が、他の領域での固化速度よりも遅くなる。そうすると、固化速度が遅い領域に溶湯Ｍ中のシリコンが集まって偏析する。
【0040】
（ｃ）シリコンの含有量が多いハイシリコンアルミニウム合金の溶湯は、シリコンの含有量が低いアルミニウム合金の溶湯や、アルミマグネシウムシリコン合金（Ａｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系）の溶湯に比べて粘度が高い。
そのため、ハイシリコンアルミニウム合金は、キャビティＣ内に射出する際の流動性を担保するために、シリコンの含有量が低いアルミニウム合金の溶湯などよりも高温の状態で、キャビティＣ内に射出される。
そうすると、溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りの領域での溶湯Ｍの固化速度が、他の領域での固化速度よりもいっそう遅くなる結果、固化速度が遅い領域に溶湯Ｍ中のシリコンがより多く集まって偏析する。
そのため、ハイシリコンアルミニウム合金は、キャビティＣ内に射出する際の流動性を担保するために、シリコンの含有量が低いアルミニウム合金の溶湯などよりも高温の状態で、キャビティＣ内に射出される。
そうすると、溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りの領域での溶湯Ｍの固化速度が、他の領域での固化速度よりもいっそう遅くなる結果、固化速度が遅い領域に溶湯Ｍ中のシリコンがより多く集まって偏析する。
【0041】
これら（ａ）から（ｃ）を踏まえて、本件発明者は、溶湯の射出口の近傍領域の温度が高くなり過ぎることを防いで、シリコンの偏析を抑制する必要があると判断し、鋭意検討した結果、以下の点を見いだした。
キャビティＣにおける溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域に、表面粗さを他の領域の表面粗さよりも粗くした領域（表面処理領域Ｒｘ）を設けたところ、バルブボディ１０（鋳造品）におけるシリコンの偏析が改善される。
キャビティＣにおける溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域に、表面粗さを他の領域の表面粗さよりも粗くした領域（表面処理領域Ｒｘ）を設けたところ、バルブボディ１０（鋳造品）におけるシリコンの偏析が改善される。
【0042】
これは、以下によるものと推定される。
溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りの領域の表面を粗くして、表面処理領域Ｒｘを設けると、表面処理領域Ｒｘでは、キャビティＣ内に露出する表面の面積が大きくなる。
そうすると、キャビティＣ内に射出された溶湯Ｍとの接触面積が増える結果、鋳造金型２内部での冷却の熱容量交換効率をあげることができる。
溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りの領域の表面を粗くして、表面処理領域Ｒｘを設けると、表面処理領域Ｒｘでは、キャビティＣ内に露出する表面の面積が大きくなる。
そうすると、キャビティＣ内に射出された溶湯Ｍとの接触面積が増える結果、鋳造金型２内部での冷却の熱容量交換効率をあげることができる。
【0043】
これにより、表面処理領域Ｒｘでの表面温度が低下して、表面処理領域Ｒｘでの溶湯Ｍの固化速度が速くなって、他の領域での溶湯Ｍの固化速度に近づくことになる。
その結果、表面処理領域Ｒｘへの溶湯Ｍ中のシリコンの集中が抑制されて、シリコンの偏析が改善する。
すなわち、キャビティＣにおける射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域の表面積が増えた結果、表面処理領域Ｒｘでの温度上昇を抑制できたためであると推定される。
その結果、表面処理領域Ｒｘへの溶湯Ｍ中のシリコンの集中が抑制されて、シリコンの偏析が改善する。
すなわち、キャビティＣにおける射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域の表面積が増えた結果、表面処理領域Ｒｘでの温度上昇を抑制できたためであると推定される。
【0044】
なお、本実施形態にかかる鋳造金型２では、中心線Ｘを挟んだ一方側のキャビティＣａの形状と、他方側のキャビティＣｂの形状は、上下を逆にした位置関係に設定されている。
そのため、射出口４４ａ～４４ｄ側にのみ表面処理領域Ｒｘを設けると、表面処理領域Ｒｘに起因する転写領域Ｒｘ’が、長手方向の一側１０ａ側に形成されたバルブボディ１０と、他側１０ｂ側に形成されたバルブボディ１０とが混在して作製される。
そのため、射出口４４ａ～４４ｄ側にのみ表面処理領域Ｒｘを設けると、表面処理領域Ｒｘに起因する転写領域Ｒｘ’が、長手方向の一側１０ａ側に形成されたバルブボディ１０と、他側１０ｂ側に形成されたバルブボディ１０とが混在して作製される。
【0045】
本実施形態では、排気路４５側の排気口４５ａ～４５ｅ周りの所定範囲の領域にも、表面処理領域Ｒｘを設けることで、作製されるバルブボディ１０において、長手方向の一側１０ａ側と他側１０ｂのフランジ状に膨出した部位の両方に転写領域Ｒｘ’が形成されるようにしている。
【0046】
以下、鋳造装置１を用いたバルブボディ１０（鋳造品）の作製を説明する。
始めに、固定型３の型分割面３１と、可動型４の型分割面４１とを接合して鋳造金型２を型締めする。これにより、鋳造金型２の内部に、バルブボディ１０の形状に対応したキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）が形成される。
始めに、固定型３の型分割面３１と、可動型４の型分割面４１とを接合して鋳造金型２を型締めする。これにより、鋳造金型２の内部に、バルブボディ１０の形状に対応したキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）が形成される。
【0047】
真空ポンプＰを駆動して、鋳造金型２の内部に形成されたキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）内を減圧状態で保持する。
【0048】
射出装置５では、給湯機５２を用いて、射出スリーブ５０の注湯口５０１から、射出スリーブ５０の内部に、ハイシリコンアルミニウム合金の溶湯Ｍを注湯する。そして、押出部材５１を、図示しない駆動機構により固定型３側（図１における左側）に変位させて、射出スリーブ５０内の溶湯Ｍを、固定型３の連絡路（ビスケット３３）内に圧送する。
【0049】
前記したように、固定型３の連絡路（ビスケット３３）は、可動型４の連絡路（ランナ４３、ゲート４４）を介して、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）に連通している。
そのため、射出スリーブ５０内のハイシリコンアルミニウム合金の溶湯Ｍが、鋳造金型２（固定型３、可動型４）に設けた連絡路（ビスケット３３、ランナ４３、ゲート４４）を通って、射出口４４ａ～４４ｄから、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）内に射出される。
そのため、射出スリーブ５０内のハイシリコンアルミニウム合金の溶湯Ｍが、鋳造金型２（固定型３、可動型４）に設けた連絡路（ビスケット３３、ランナ４３、ゲート４４）を通って、射出口４４ａ～４４ｄから、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）内に射出される。
【0050】
キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）内が、ハイシリコンアルミニウム合金の溶湯Ｍで満たされると、溶湯Ｍの一部が、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の上部に開口する排気口４５ａ～４５ｅから、排気路４５に流入する。
排気路４５に流入した溶湯ＭがバルブＶまで到達すると、バルブＶが到達した溶湯Ｍにより作動して、排気路４５と真空ポンプＰとの連通を遮断する。これにより、溶湯Ｍの真空ポンプＰ側への流入が阻止される。
排気路４５に流入した溶湯ＭがバルブＶまで到達すると、バルブＶが到達した溶湯Ｍにより作動して、排気路４５と真空ポンプＰとの連通を遮断する。これにより、溶湯Ｍの真空ポンプＰ側への流入が阻止される。
【0051】
キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）内に射出された溶湯Ｍが固化すると、鋳造金型２の型開きが行われて、鋳造品であるバルブボディ１０が、鋳造金型２から取り出されることになる。
【0052】
ここで、前記したように、固定型３におけるキャビティＣａ、Ｃｂの領域では、射出口４４ａ～４４ｄの近傍領域と、排気口４５ａ～４５ｅの近傍領域に、表面処理領域Ｒｘが設けられている（図３の（ｂ）参照）。
【0053】
そのため、ダイカスト鋳造により作製されたバルブボディ１０では、表面処理領域Ｒｘに対応する領域に、表面処理領域Ｒｘの表面形状が転写された転写領域Ｒｘ’が形成されている。この転写領域Ｒｘ’は、他の領域よりも表面が粗くなっている。
具体的には、バルブボディ１０におけるボルト孔１０１が設けられるフランジ状の部位に、他の領域よりも表面が粗い転写領域Ｒｘ’が形成されている。
具体的には、バルブボディ１０におけるボルト孔１０１が設けられるフランジ状の部位に、他の領域よりも表面が粗い転写領域Ｒｘ’が形成されている。
【0054】
ここで、固定型３に表面処理領域Ｒｘが形成されていることにより、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）内に射出された溶湯Ｍが固化する過程で、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）における溶湯Ｍの射出口４４ａ～４５ｄの近傍領域の温度上昇を抑えることができる。
そうすると、表面処理が施された領域での溶湯Ｍの固化速度が、他の領域での溶湯Ｍの個加速度に近づくことになるので、表面処理領域Ｒｘへのシリコンの集中が抑制されて、シリコンの偏析が改善する。
そうすると、表面処理が施された領域での溶湯Ｍの固化速度が、他の領域での溶湯Ｍの個加速度に近づくことになるので、表面処理領域Ｒｘへのシリコンの集中が抑制されて、シリコンの偏析が改善する。
【0055】
なお、本実施形態では、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）における固定型３側の領域に、表面処理領域Ｒｘが形成されている場合を例示したが、表面処理領域Ｒｘは、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）における固定型３と可動型４のうちの少なくとも一方に設けられていれば良い。
【0056】
以上の通り、本実施形態にかかる鋳造装置１は、以下の構成を有している。
（１）鋳造装置１は、鋳造金型２と、射出装置５と、を備える。
鋳造金型２では、固定型３と可動型４とを接合した型締め時に、バルブボディ１０（鋳造品）の形状に対応したキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）が、固定型３と可動型４との間に形成される。
射出装置５は、ハイシリコンアルミニウム合金の溶湯Ｍを、鋳造金型２に設けた連絡路（ビスケット３３、ランナ４３、ゲート４４）を介して、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）内に射出する。鋳造金型２では、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域に、連絡路との連通口となる射出口４４ａ～４４ｄが開口している。
キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域では、射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域の表面粗さが、他の領域の表面粗さよりも粗くなっている。
（１）鋳造装置１は、鋳造金型２と、射出装置５と、を備える。
鋳造金型２では、固定型３と可動型４とを接合した型締め時に、バルブボディ１０（鋳造品）の形状に対応したキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）が、固定型３と可動型４との間に形成される。
射出装置５は、ハイシリコンアルミニウム合金の溶湯Ｍを、鋳造金型２に設けた連絡路（ビスケット３３、ランナ４３、ゲート４４）を介して、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）内に射出する。鋳造金型２では、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域に、連絡路との連通口となる射出口４４ａ～４４ｄが開口している。
キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域では、射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域の表面粗さが、他の領域の表面粗さよりも粗くなっている。
【0057】
このように構成すると、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）では、溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄの近傍領域の表面積が増えるので、射出口４４ａ～４４ｄの近傍領域の温度上昇を抑えることができる。
すなわち、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域の表面を粗くすることで、表面積を増やした結果、鋳造金型２内部での冷却の熱容量交換効率をあげることができ、これにより、鋳造金型２のキャビティの領域の表面温度が低下する。
これにより、表面処理領域Ｒｘでの表面温度が低下して、表面処理領域Ｒｘでの溶湯Ｍの固化速度が速くなって、他の領域での溶湯Ｍの固化速度に近づくことになる。
その結果、表面処理領域Ｒｘへの溶湯Ｍ中のシリコンの集中が抑制されて、シリコンの偏析が改善する。
すなわち、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域の表面を粗くすることで、表面積を増やした結果、鋳造金型２内部での冷却の熱容量交換効率をあげることができ、これにより、鋳造金型２のキャビティの領域の表面温度が低下する。
これにより、表面処理領域Ｒｘでの表面温度が低下して、表面処理領域Ｒｘでの溶湯Ｍの固化速度が速くなって、他の領域での溶湯Ｍの固化速度に近づくことになる。
その結果、表面処理領域Ｒｘへの溶湯Ｍ中のシリコンの集中が抑制されて、シリコンの偏析が改善する。
【0058】
以上の通り、本実施形態にかかる鋳造装置１は、以下の構成を有している。
（２）射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域（表面処理領域Ｒｘ）の表面粗さが、５μ～２０μであり、より好ましくは、１０μ～２０μとなるように、表面処理が施されている。
（２）射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域（表面処理領域Ｒｘ）の表面粗さが、５μ～２０μであり、より好ましくは、１０μ～２０μとなるように、表面処理が施されている。
【0059】
キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）における射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域の表面を粗くすることで、冷却効率が向上するものの、表面が粗くなりすぎると、射出口４４ａ～４４ｄを通ってキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）内に射出される溶湯Ｍの流れに対する抵抗（管路抵抗）が高くなる。
そこで、射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域の表面粗さを５μ～２０μの範囲にすることで、管路抵抗と冷却効率をバランスさせて、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）への溶湯Ｍの射出を妨げることなく、シリコンの偏析を改善できるようにした。
そこで、射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域の表面粗さを５μ～２０μの範囲にすることで、管路抵抗と冷却効率をバランスさせて、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）への溶湯Ｍの射出を妨げることなく、シリコンの偏析を改善できるようにした。
【0060】
以上の通り、本実施形態にかかる鋳造装置１は、以下の構成を有している。
（３）表面粗さが粗い所定範囲の領域（表面処理領域Ｒｘ）は、固定型３側のキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域に少なくとも設けられている。
固定型３には、溶湯Ｍの射出スリーブ５０を、固定型３に接続するための取付口３２が設けられている。
（３）表面粗さが粗い所定範囲の領域（表面処理領域Ｒｘ）は、固定型３側のキャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域に少なくとも設けられている。
固定型３には、溶湯Ｍの射出スリーブ５０を、固定型３に接続するための取付口３２が設けられている。
【0061】
鋳造金型２では、固定型３に射出スリーブ５０が接続されているため、固定型３のほうが可動型４よりも高温になりやすい。表面処理領域Ｒｘを少なくとも固定型３側に設けることで、溶湯Ｍの温度を下げて、射出口４４ａ～４４ｄ周りの領域でのシリコンの偏析を抑制できる。
【0062】
以上の通り、本実施形態にかかる鋳造装置１は、以下の構成を有している。
（４）ハイシリコンアルミニウム合金は、シリコンを８～３０質量％含有するアルミニウム合金である。
（４）ハイシリコンアルミニウム合金は、シリコンを８～３０質量％含有するアルミニウム合金である。
【0063】
ハイシリコンアルミニウム合金を用いて作製されたバルブボディ１０は、強度と、耐摩耗性に優れている。そのため、プール孔の摩耗の抑制や、スプール孔の真円度の確保が可能なバルブボディ１０作製できる。
【0064】
ハイシリコンアルミニウム合金の溶湯は、シリコンの含有量が低いアルミニウム合金の溶湯やなどに比べて粘度が高い。そのため、ハイシリコンアルミニウム合金は、キャビティＣ内に射出する際の流動性を担保するために、シリコンの含有量が低いアルミニウム合金の溶湯などよりも高温の状態で、キャビティＣ内に射出される。
【0065】
そうすると、溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りの領域での溶湯Ｍの固化速度が、他の領域での固化速度よりもいっそう遅くなる可能性がある。
上記の通り、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域では、射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域の表面粗さが、他の領域の表面粗さよりも粗くなっている。
これにより、溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りの領域での溶湯Ｍの固化速度が、他の領域での固化速度よりもいっそう遅くなることを防止できるので、シリコンの偏析を好適に抑制できる。
上記の通り、キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域では、射出口４４ａ～４４ｄ周りの所定範囲の領域の表面粗さが、他の領域の表面粗さよりも粗くなっている。
これにより、溶湯Ｍの射出口４４ａ～４４ｄ周りの領域での溶湯Ｍの固化速度が、他の領域での固化速度よりもいっそう遅くなることを防止できるので、シリコンの偏析を好適に抑制できる。
【0066】
本実施形態にかかる鋳造装置１は、以下の構成を有している。
（５）鋳造装置１で鋳造される鋳造品は、自動変速機用のバルブボディ１０である。
キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域における所定範囲の領域は、バルブボディ１０におけるフランジ状に膨出した部位に対応する領域である。
バルブボディ１０におけるフランジ状に膨出した部位は、バルブボディ１０、１０同士を接合する際にボルトが挿通されるボルト孔１０１が設けられた領域である。
（５）鋳造装置１で鋳造される鋳造品は、自動変速機用のバルブボディ１０である。
キャビティＣ（Ｃａ、Ｃｂ）の領域における所定範囲の領域は、バルブボディ１０におけるフランジ状に膨出した部位に対応する領域である。
バルブボディ１０におけるフランジ状に膨出した部位は、バルブボディ１０、１０同士を接合する際にボルトが挿通されるボルト孔１０１が設けられた領域である。
【0067】
このように構成すると、バルブボディ１０におけるフランジ状に膨出し部位において、シリコンの偏析を改善できる。
シリコンが偏析した領域は、他の領域よりも脆いので、鋳造品の構成素材が剥離し易くなる傾向があるが、シリコンの偏析を改善できるので、鋳造品の構成素材が剥離することを好適に防止できる。
シリコンが偏析した領域は、他の領域よりも脆いので、鋳造品の構成素材が剥離し易くなる傾向があるが、シリコンの偏析を改善できるので、鋳造品の構成素材が剥離することを好適に防止できる。
【0068】
さらに、バルブボディ１０におけるフランジ状に膨出した部位は、他の部位に比べて厚みが平坦な箇所である。
そのため、固定型３におけるキャビティＣａ、Ｃｂの領域では、表面処理領域Ｒｘが設けられる領域もまた、他の領域よりも平坦な部位となっている。
よって、表面処理領域Ｒｘを、スパッタリングなどの公知の表面処理技術を用いて形成する際に、周囲に表面処理を阻害する突起などが存在しないので、表面処理のための加工がしやすくなる。
そのため、固定型３におけるキャビティＣａ、Ｃｂの領域では、表面処理領域Ｒｘが設けられる領域もまた、他の領域よりも平坦な部位となっている。
よって、表面処理領域Ｒｘを、スパッタリングなどの公知の表面処理技術を用いて形成する際に、周囲に表面処理を阻害する突起などが存在しないので、表面処理のための加工がしやすくなる。
【0069】
以上、本願発明の実施形態を説明したが、本願発明は、これら実施形態に示した態様のみに限定されるものではない。発明の技術的な思想の範囲内で、適宜変更可能である。
【符号の説明】
【0070】
１ 鋳造装置
２ 鋳造金型
３ 固定型
３１ 型分割面
３２ 取付口
３３ ビスケット
３３１ 大径部
３３２ 小径部
３４ 連結部材
３４１ 貫通孔
３４２ 凹部
４ 可動型
４１ 型分割面
４３ ランナ
４３１ 導入部
４３２ 第１ランナ
４３３ 第２ランナ
４４ ゲート
４４ａ～４４ｄ 射出口
４５ 排気路
４５ａ～４５ｅ 排気口
５ 射出装置
５０ 射出スリーブ
５００ 送出路
５０１ 注湯口
５１ 押出部材
５１０ 大径部
５２ 給湯機
５３ ラドル
５４ ロボットアーム
１０ バルブボディ
１０ａ 一側
１０ｂ 他側
１０１ ボルト孔
１０２ 取付孔
１０３ 膨出部
Ｃ（Ｃａ、Ｃｂ） キャビティ
Ｍ 溶湯
Ｐ 真空ポンプ
Ｒｘ 表面処理領域
Ｒｘ’ 転写領域
Ｖ バルブ
Ｘ 中心線
２ 鋳造金型
３ 固定型
３１ 型分割面
３２ 取付口
３３ ビスケット
３３１ 大径部
３３２ 小径部
３４ 連結部材
３４１ 貫通孔
３４２ 凹部
４ 可動型
４１ 型分割面
４３ ランナ
４３１ 導入部
４３２ 第１ランナ
４３３ 第２ランナ
４４ ゲート
４４ａ～４４ｄ 射出口
４５ 排気路
４５ａ～４５ｅ 排気口
５ 射出装置
５０ 射出スリーブ
５００ 送出路
５０１ 注湯口
５１ 押出部材
５１０ 大径部
５２ 給湯機
５３ ラドル
５４ ロボットアーム
１０ バルブボディ
１０ａ 一側
１０ｂ 他側
１０１ ボルト孔
１０２ 取付孔
１０３ 膨出部
Ｃ（Ｃａ、Ｃｂ） キャビティ
Ｍ 溶湯
Ｐ 真空ポンプ
Ｒｘ 表面処理領域
Ｒｘ’ 転写領域
Ｖ バルブ
Ｘ 中心線
【図1】
【図2】
【図3】