特許7388031IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

イグナイタ等の高耐圧回路に好適な半導体装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題に鑑み、本発明は、イグナイタ等の高耐圧回路に好適な半導体装置において、高耐圧化を図りつつ、サージ耐量を確保することができる半導体装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様は、半導体チップの中央側に配置された主半導体素子部と、半導体チップの外周側に配置された耐圧構造部とを有する半導体装置であって、耐圧構造部が、第1導電型の半導体基体と、半導体基体上に選択的に配置された第1絶縁膜と、半導体基体上の第1絶縁膜よりも半導体チップの中央側に配置され、第1絶縁膜よりも薄い第2絶縁膜と、第1絶縁膜上に少なくとも一部が配置された保護ダイオードと、保護ダイオード・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、イグナイタ等の高耐圧回路に好適な半導体装置において、高耐圧化を図りつつ、サージ耐量を確保することができる半導体装置を提供することができる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の半導体装置を適用した点火装置の等価回路図である。
【図2】 半導体装置の平面図である。
【図3】 図2の領域Aの部分拡大図である。
【図4】 図3のA-A方向から見た断面図である。
【図5】 図4の領域Aの部分拡大図である。
【図6】 比較例に係る半導体装置の断面図である。
【図7】 比較例に係る半導体装置の通常動作時の等電位線を示す断面図である。
【図8】 比較例に係る半導体装置のサージ印加時の各種波形を示すグラフである。
【図9】 図8の破線の区間を拡大した各種波形を示すグラフである。
【図10】 比較例に係る半導体装置のサージ印加時の等電位線を示す概略断面図である。
【図11】 比較例に係る半導体装置のサージ印加時の等電位線を示す概略平面図である。
【図12】 比較例に係る半導体装置のサージ印加時の等電位線を示す概略断面図である。
【図13】 半導体装置のサージ印加時の等電位線を示す概略断面図である。
【図14】 半導体装置の製造方法の工程断面図である。
【図15】 半導体装置の製造方法の図14に引き続く工程断面図である。
【図16】 半導体装置の製造方法の図15に引き続く工程断面図である。
【図17】 半導体装置の製造方法の図16に引き続く工程断面図である。
【図18】 半導体装置の製造方法の図17に引き続く工程断面図である。
【図19】 半導体装置の製造方法の図18に引き続く工程断面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

1…半導体基体 2…主電極(エミッタ電極) 3…ゲートランナ 4a~4c…フィールドプレート 5a,5b…ウェル領域 6a~6c…ガードリング 8…ストッパ電極 9…保護膜 10…保護ダイオード 10a~10g…半導体領域 13…層間絶縁膜 14…第2主電極領域 21a,21b…第1主電極領域 22a,22b…注入制御領域 23…ゲート絶縁膜 24…ゲート電極 25…層間絶縁膜 100…半導体装置(半導体チップ) 101…主半導体素子 102…保護ダイオード 103…制御回路部 104,105,106…端子 110…バッテリ 112…電子制御ユニット(ECU) 113…イグニションコイル 114…点火プラグ 201…主半導体素子部 202…制御回路部 203…耐圧構造部

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