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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-11-20
(45)【発行日】2023-11-29
(54)【発明の名称】天井搬送車及び把持部の昇降制御方法
(51)【国際特許分類】
B66C 13/22 20060101AFI20231121BHJP
B66C 13/48 20060101ALI20231121BHJP
【ＦＩ】
B66C13/22 R
B66C13/48 A
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2022530036
(86)(22)【出願日】2021-03-23
(86)【国際出願番号】 JP2021011988
(87)【国際公開番号】W WO2021250976
(87)【国際公開日】2021-12-16
【審査請求日】2022-11-01
(31)【優先権主張番号】P 2020099275
(32)【優先日】2020-06-08
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000006297
【氏名又は名称】村田機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100176245
【弁理士】
【氏名又は名称】安田 亮輔
(72)【発明者】
【氏名】福嶋 千晶
(72)【発明者】
【氏名】渡部 太
【審査官】三宅 達
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１４／０１７２２２（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開平０４－２０１９８８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－１６７６６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－２８０１４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－０６７２９７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－０２４０２６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６６Ｃ １３／００－１５／０６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
物品を把持する把持部と、前記把持部を吊り下げる吊下部と、
前記吊下部を繰り出すことによって前記把持部を下降させ、前記吊下部を巻き上げることによって前記把持部を上昇させる駆動部と、
前記吊下部と前記駆動部とが取り付けられた搬送車本体と、
前記把持部の揺れを検知する検知部と、
前記駆動部を制御して前記吊下部を巻き上げ、前記搬送車本体内に前記把持部を格納させるコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記吊下部を巻き上げる巻上制御において、
前記検知部によって検知された前記把持部の揺れが所定幅を超える場合には、前記吊下部の巻上げを停止させて、前記搬送車本体内に前記把持部が格納される格納位置よりも低い待機位置に前記把持部を維持し、その後前記把持部の揺れが前記所定幅以下になった場合に前記吊下部を巻き上げ、かつ、
前記待機位置に前記把持部を維持する第１揺れ待ち制御を少なくとも１回実行した場合には、前記待機位置と前記格納位置との間の収束位置に前記把持部が位置したときに前記吊下部の巻上げを一定時間停止させて、前記収束位置に前記把持部を維持する第２揺れ待ち制御を実行する、天井搬送車。
【請求項2】
前記収束位置から前記格納位置へと至る巻上制御における第２巻上速度は、前記収束位置へと至る巻上制御における第１巻上速度よりも小さい、請求項１に記載の天井搬送車。
【請求項3】
物品を把持する把持部と、
前記把持部を吊り下げる吊下部と、
前記吊下部を繰り出すことによって前記把持部を下降させ、前記吊下部を巻き上げることによって前記把持部を上昇させる駆動部と、
前記吊下部と前記駆動部とが取り付けられた搬送車本体と、
前記把持部の揺れを検知する検知部と、
前記駆動部を制御して前記吊下部を巻き上げ、前記搬送車本体内に前記把持部を格納させるコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記吊下部を巻き上げる巻上制御において、前記検知部によって検知された前記把持部の揺れが所定幅を超える場合には、前記吊下部の巻上げを停止させて、前記搬送車本体内に前記把持部が格納される格納位置よりも低い待機位置に前記把持部を維持し、その後前記把持部の揺れが前記所定幅以下になった場合に前記吊下部を巻き上げ、
前記コントローラは、前記吊下部を繰り出す繰出制御において、前記検知部によって検知された前記把持部の揺れが前記所定幅を超える場合には、前記吊下部の繰出しを停止させ、その後前記把持部の揺れが前記所定幅以下になった場合には前記吊下部を巻き上げ、前記格納位置よりも低い収束位置に前記把持部を維持する、天井搬送車。
【請求項4】
前記所定幅は、前記搬送車本体内に前記把持部が格納される際の前記把持部及び／又は前記物品において許容される揺れの許容値よりも大きく設定されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の天井搬送車。
【請求項5】
物品を把持する把持部と、前記把持部を吊り下げる吊下部と、前記吊下部を繰り出すことによって前記把持部を下降させ、前記吊下部を巻き上げることによって前記把持部を上昇させる駆動部と、前記吊下部と前記駆動部とが取り付けられた搬送車本体と、前記把持部の揺れを検知する検知部と、を備えた天井搬送車における前記把持部の昇降制御方法であって、前記吊下部を巻き上げる巻上制御において、
前記検知部によって前記把持部の揺れを検知する検知工程と、
前記把持部の揺れが所定幅を超える場合に、前記吊下部の巻上げを停止させて、前記搬送車本体内に前記把持部が格納される格納位置よりも低い待機位置に前記把持部を維持し、その後前記把持部の揺れが前記所定幅以下になった場合に前記吊下部を巻き上げる巻上工程と、を含み、かつ、
前記待機位置に前記把持部を維持する第１揺れ待ち制御を前記巻上工程で少なくとも１回実行した場合には、前記待機位置と前記格納位置との間の収束位置に前記把持部が位置したときに前記吊下部の巻上げを一定時間停止させて、前記収束位置に前記把持部を維持する第２揺れ待ち制御を実行する、把持部の昇降制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、天井搬送車、及び、天井搬送車における把持部の昇降制御方法に関する。
【背景技術】
【0002】
天井搬送車において、物品を把持するための把持部は、搬送車に吊り下げられた状態で、昇降させられる。把持部は、物品を把持しようとする際、ロードポート等の載置部に向けて下降する。把持部が物品を把持した後、把持部は、物品と共に上昇する。把持部が上昇する際、把持部は振動する可能性がある。特許文献１では、昇降台を巻き上げる際の振動の減衰について検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００５－６７７７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
天井搬送車において、把持部の揺れが大きい場合には、例えば揺れに関する異常を報知すると共に、把持部の昇降を停止させていた。把持部の昇降が停止すると、作業員が、手動にて、把持部の昇降を含む天井搬送車の運転を復旧させる必要があった。軌道を走行する天井搬送車が、揺れに関する異常で停止すると、軌道が塞がれてしまって渋滞を引き起こす可能性もある。
【0005】
本開示は、把持部の揺れが発生した場合でも、把持部の昇降を含む天井搬送車の運転を自動的に復旧することが可能な天井搬送車及び把持部の昇降制御方法を説明する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一態様に係る天井搬送車は、物品を把持する把持部と、把持部を吊り下げる吊下部と、吊下部を繰り出すことによって把持部を下降させ、吊下部を巻き上げることによって把持部を上昇させる駆動部と、吊下部と駆動部とが取り付けられた搬送車本体と、把持部の揺れを検知する検知部と、駆動部を制御して吊下部を巻き上げ、搬送車本体内に把持部を格納させるコントローラと、を備え、コントローラは、吊下部を巻き上げる巻上制御において、検知部によって検知された把持部の揺れが所定幅を超える場合には、吊下部の巻上げを停止させて、搬送車本体内に把持部が格納される格納位置よりも低い待機位置に把持部を維持し、その後把持部の揺れが所定幅以下になった場合に吊下部を巻き上げる。
【0007】
この天井搬送車によれば、コントローラによって駆動部が制御されることで、吊下部が繰り出され又は巻き上げられて、把持部が下降又は上昇する。把持部は、吊下部で吊り下げられた状態で下降又は上昇するので、揺れが発生し得る。この揺れとは、吊下部が鉛直方向に延在する状態を基準として、吊下部がいずれかの方向に揺動して角度をなすことを意味する。この天井搬送車では、把持部の揺れが所定幅を超える場合、コントローラによって、吊下部の巻上げが停止され、格納位置よりも低い待機位置で把持部が維持される。その後、把持部の揺れが所定幅以下になった場合には、コントローラによって、吊下部が巻き上げられる。このように、把持部の揺れが所定幅以下になるまでは把持部が待機位置に維持され、揺れが所定幅以下になった場合に巻上げが再開する。よって、把持部の揺れが発生した場合でも、把持部の昇降を含む天井搬送車の運転を自動的に復旧することが可能となる。
【0008】
所定幅は、搬送車本体内に把持部が格納される際の把持部及び／又は物品において許容される揺れの許容値よりも大きく設定されてもよい。把持部を待機位置に維持するか否かの判定基準である所定幅が、把持部が格納される際の揺れの許容値よりも大きく設定されている。この制御により、比較的大きな揺れが少し収束するまで把持部は待機位置で待機させられ、揺れが所定幅に収まった時点で巻上げが再開する。巻上げの再開により、吊下部の長さ（繰出し量）が短くなる。本発明者らによれば、吊下部が短い程、揺れが収束するまでの時間が早くなることが判明している。揺れが上記許容値になるまで待機位置で待つよりも、早めに巻上げを再開することで、全体として揺れを早く収束させることができる。
【0009】
コントローラは、吊下部を巻き上げる巻上制御において、待機位置に把持部を維持する第１揺れ待ち制御を少なくとも１回実行した場合には、待機位置と格納位置との間の収束位置に把持部が位置したときに吊下部の巻上げを一定時間停止させて、収束位置に把持部を維持する第２揺れ待ち制御を実行してもよい。コントローラによって収束位置における第２揺れ待ち制御が実行されることにより、把持部が搬送車本体内に格納される前に、揺れを確実に収束させることができる。
【0010】
収束位置から格納位置へと至る巻上制御における第２巻上速度は、収束位置へと至る巻上制御における第１巻上速度よりも小さくてもよい。収束位置から格納位置への巻上げに時間をかけることで、残存する揺れを効果的に小さくすることができる。
【0011】
コントローラは、駆動部を制御して吊下部を繰り出す繰出制御において検知部によって検知された把持部の揺れが所定幅を超える場合には、吊下部の繰出しを停止させ、その後把持部の揺れが所定幅以下になった場合には吊下部を巻き上げ、格納位置よりも低い収束位置に把持部を維持してもよい。この制御によれば、最初に所定幅を超える揺れが検知された位置で収束を待つよりも、全体として揺れを早く収束させることができる。
【0012】
本開示の別の態様は、物品を把持する把持部と、把持部を吊り下げる吊下部と、吊下部を繰り出すことによって把持部を下降させ、吊下部を巻き上げることによって把持部を上昇させる駆動部と、吊下部と駆動部とが取り付けられた搬送車本体と、把持部の揺れを検知する検知部と、を備えた天井搬送車における把持部の昇降制御方法であって、吊下部を巻き上げる巻上制御において、検知部によって把持部の揺れを検知する検知工程と、把持部の揺れが所定幅を超える場合に、吊下部の巻上げを停止させて、搬送車本体内に把持部が格納される格納位置よりも低い待機位置に把持部を維持し、その後把持部の揺れが所定幅以下になった場合に吊下部を巻き上げる巻上工程と、を含む。
【0013】
この把持部の昇降制御方法によれば、上述したのと同様に、把持部の揺れが所定幅以下になるまでは把持部が待機位置に維持され、揺れが所定幅以下になった場合に巻上げが再開する。よって、把持部の揺れが発生した場合でも、把持部の昇降を含む天井搬送車の運転を自動的に復旧することが可能となる。
【0014】
吊下部を巻き上げる巻上制御において、待機位置に把持部を維持する第１揺れ待ち制御を巻上工程で少なくとも１回実行した場合には、待機位置と格納位置との間の収束位置に把持部が位置したときに吊下部の巻上げを一定時間停止させて、収束位置に把持部を維持する第２揺れ待ち制御を実行してもよい。収束位置における第２揺れ待ち制御を実行することにより、把持部が搬送車本体内に格納される前に、揺れを確実に収束させることができる。
【発明の効果】
【0015】
本開示によれば、把持部の揺れが発生した場合でも、把持部の昇降を含む天井搬送車の運転を自動的に復旧することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【発明を実施するための形態】
【0017】
図１に示されるように、一実施形態の天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道１００に沿って走行する。一実施形態の天井搬送車１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）（物品）２００の搬送、及び、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート（載置部）３００等に対するＦＯＵＰ２００の移載を行う。軌道１００は、天井から吊り下げられている。
【0018】
天井搬送車１は、フレームユニット２と、走行ユニット（走行部）３と、ラテラルユニット４と、シータユニット５と、昇降駆動ユニット６と、保持ユニット（把持部）７と、ベルト（吊下部）Ｂと、コントローラ８と、を備えている。フレームユニット２は、センターフレーム２１と、フロントフレーム２２と、リアフレーム２３と、を有している。フロントフレーム２２は、センターフレーム２１における前側（天井搬送車１の走行方向における前側）の端部から下側に延在している。リアフレーム２３は、センターフレーム２１における後側（天井搬送車１の走行方向における後側）の端部から下側に延在している。
【0019】
走行ユニット３は、センターフレーム２１の上側に配置されている。走行ユニット３は、例えば、軌道１００に沿って敷設された高周波電流線から非接触で電力の供給を受けることで、軌道１００に沿って走行する。ラテラルユニット４は、センターフレーム２１の下側に配置されている。ラテラルユニット４は、シータユニット５、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を横方向（天井搬送車１の走行方向における側方）に移動させる。シータユニット５は、ラテラルユニット４の下側に配置されている。シータユニット５は、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を水平面内において回動させる。
【0020】
保持ユニット７は、ロードポート３００上に載置されたＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１を把持する。保持ユニット７は、ベース７１と、一対のグリッパ７２と、を有している。一対のグリッパ７２は、水平方向に沿って開閉可能となるようにベース７１によって支持されている。一対のグリッパ７２は、駆動モータ（図示省略）及びリンク機構（図示省略）によって開閉させられる。本実施形態では、一対のグリッパ７２，７２が開状態のときに、グリッパ７２の保持面がフランジ部２０１の下面の高さより下方となるように、保持ユニット７の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のグリッパ７２，７２が閉状態となることで、グリッパ７２の保持面がフランジ部２０１の下面の下方へ進出し、この状態で昇降駆動ユニット６を上昇させることにより、一対のグリッパ７２，７２によってフランジ部２０１が保持（把持）され、ＦＯＵＰ２００が支持される。
【0021】
昇降駆動ユニット６は、シータユニット５の下側に配置されている。昇降駆動ユニット６は、保持ユニット７を昇降させる。保持ユニット７は、昇降駆動ユニット６の下側に配置されている。保持ユニット７は、昇降駆動ユニット６に取り付けられた例えば４本のベルトＢによって、吊り下げられている。昇降駆動ユニット６は、内部に固定された昇降モータ（駆動部）６１を有する。昇降モータ６１は、ベルトＢを繰り出すことによって保持ユニット７を下降させる。昇降モータ６１は、ベルトＢを巻き上げることによって保持ユニット７を上昇させる。なお、保持ユニット７が３本のベルトＢによって吊下げられてもよい。
【0022】
天井搬送車１は、ＦＯＵＰ２００の搬送時に保持ユニット７及びＦＯＵＰ２００を格納する搬送車本体１０を備える。搬送車本体１０は、例えば、上記したフレームユニット２、ラテラルユニット４、シータユニット５、昇降駆動ユニット６、及びベルトＢを備える。言い換えれば、搬送車本体１０には、ベルトＢと、昇降駆動ユニット６の昇降モータ６１とが取り付けられている。図２に示されるように、搬送車本体１０には、保持ユニット７及びＦＯＵＰ２００を格納するための格納スペースＳが形成されている。格納スペースＳは、主として、上記したフロントフレーム２２及びリアフレーム２３と、ラテラル方向において保持ユニット７を覆うカバー２４，２５（図４（ｂ）参照）とによって規定される。格納スペースＳには、例えば保持ユニット７の全体が格納される。格納スペースＳに、ＦＯＵＰ２００の全体が格納されてもよいし、ＦＯＵＰ２００の上部のみが格納されてもよい。
【0023】
コントローラ８は、例えばフロントフレーム２２及びリアフレーム２３に配置されている。コントローラ８は、昇降モータ６１を制御してベルトＢを繰り出し、保持ユニット７をロードポート３００の上方に下降させる。コントローラ８は、昇降モータ６１を制御してベルトＢを巻き上げ、保持ユニット７を上昇させて搬送車本体１０内に格納させる。保持ユニット７は、コントローラ８によって昇降モータ６１が制御されることにより、ＦＯＵＰ２００の上方（ロードポート３００の上方）において昇降可能である。コントローラ８は、昇降モータ６１からの回転に関わる信号を受け取ることで、ベルトＢの繰出し量（ベルト長）を検知可能である。コントローラ８は、ベルトＢの繰出し量（ベルト長）に基づき、保持ユニット７の位置（高さ）を検知可能である。コントローラ８は、ＣＰＵ（プロセッサ）、ＲＯＭ及びＲＡＭ等によって構成された電子制御ユニットである。コントローラ８は、天井搬送車１の各部を制御する。
【0024】
以上のように構成された天井搬送車１は、一例として、次のように動作する。ロードポート３００から天井搬送車１にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１がロードポート３００の上方に停止する。保持ユニット７の水平位置がロードポート３００の真上の位置からずれている場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、昇降駆動ユニット６ごと保持ユニットの水平位置及び角度を微調整する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させ、保持ユニット７が、ロードポート３００に載置されているＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１を保持する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させて、フロントフレーム２２とリアフレーム２３との間にＦＯＵＰ２００を配置する。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１が走行を開始する。
【0025】
一方、天井搬送車１からロードポート３００にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１がロードポート３００の上方に停止する。保持ユニット７（ＦＯＵＰ２００）の水平位置がロードポート３００の真上の位置からずれている場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、昇降駆動ユニット６ごと保持ユニットの水平位置及び角度を微調整する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させて、ロードポート３００にＦＯＵＰ２００を載置し、保持ユニット７がＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１の保持を解放する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させる。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１が走行を開始する。
【0026】
本実施形態の天井搬送車１は、保持ユニット７の上昇時及び下降時、すなわちベルトＢの巻上げ時及び繰出し時に、保持ユニット７の揺れを収束させるための制御機構を備えている。天井搬送車１が備えるこの制御機構は、保持ユニット７がＦＯＵＰ２００を把持している場合には、保持ユニット７及びＦＯＵＰ２００の揺れを収束させ、限られた時間内に保持ユニット７（及びＦＯＵＰ２００）を搬送車本体１０に格納させる。また、保持ユニット７（及びＦＯＵＰ２００）の揺れが、従来は自動復旧が難しかった所定幅以上である場合にも、制御機構はこの揺れを収束させて、天井搬送車１の自動復旧を可能としている。
【0027】
天井搬送車１に備わっている、揺れを収束させるための制御機構について、図２～図５を参照して説明する。なお、図２以降の図において、昇降駆動ユニット６を含む搬送車本体１０、ベルトＢ、及び保持ユニット７の各構成が模式的に図示されている。図２に示されるように、天井搬送車１は、保持ユニット７の揺れを検知する検知部６７を備えている。検知部６７は、例えば昇降駆動ユニット６に取り付けられている。検知部６７は、例えば投光部及び受光部を有しており、これらの投光部及び受光部が下方に向けて露出している。一方、保持ユニット７の上面には反射板７７が取り付けられている。保持ユニット７が真っすぐに垂下する状態（すなわちベルトＢが鉛直方向に延在する状態）を基準として、検知部６７は、下方に向けて光を出射し、反射板７７で反射した反射光を検出することで、保持ユニット７の揺れを検出可能である。検知部６７は、反射板７７で反射した反射光を検知するかしないかを判断することで、保持ユニット７の揺れが、ある一種類の閾値（例えば本明細書における所定幅）より大きいか小さいかを判定可能である。検知部６７は、後述する数種類の閾値（所定幅、収束幅、又は許容値等）に対して揺れが大きいか又は小さいかの比較・判断が可能な構成を有してもよい。検知部６７は、少なくとも、後述する所定幅に対して揺れが大きいか又は小さいかの比較・判断が可能な構成を有していればよい。
【0028】
検知部６７によって検出される揺れは、例えば、天井搬送車１の走行方向に対応する方向（図中に示される＋Ｘ方向又は－Ｘ方向）の揺れであり得る。あるいは、検知部６７によって検出される揺れは、走行方向に直交する水平なラテラル方向（図中に示される＋Ｙ方向又は－Ｙ方向）の揺れであり得る。また、検知部６７によって検出される揺れは、これらの各種方向の揺れが合成されたＸＹ平面内のあらゆる方向の揺れであり得る。検知部６７によって検出される揺れは、例えば、プラス又はマイナスのいずれか一方における振幅として、検知される。
【0029】
図２に示されるように、コントローラ８は、位置取得部８１と、揺れ取得部８２と、判断部８３と、モータ制御部８４とを有する。コントローラ８は、これらの各機能要素を備えることにより、後述する保持ユニット７の昇降制御を実行する。コントローラ８の各機能要素は、プロセッサまたは主記憶部の上にプログラムを読み込ませてそのプログラムを実行させることで実現される。
【0030】
コントローラ８は、後述する昇降制御において用いる閾値を記憶している。コントローラ８は、揺れに関する第１の閾値として、所定幅を記憶している。所定幅は、例えば、ロードポート３００に載置されたＦＯＵＰ２００を保持ユニット７が把持して引き上げようとする際に、装置側の壁部等の障害物にＦＯＵＰ２００を接触させないという観点で設定されてもよい。例えば、図３（ａ）に示されるように、走行方向（Ｘ方向）において、ＦＯＵＰ２００と装置の壁部３１０との間の最小距離が第１距離Ｌ１である。一方、図３（ｂ）に示されるように、ラテラル方向（Ｙ方向）において、ＦＯＵＰ２００と装置の側壁部３２０との間の最小距離が第２距離Ｌ２である。このような場合に、所定幅は、第１距離Ｌ１又は第２距離Ｌ２の何れかに設定されてもよい。所定幅は、これらの距離のもっとも小さい値に設定されてもよい。所定幅は、天井搬送車１が適用される装置（半導体デバイス製造装置等）に対する、ＦＯＵＰ２００の位置変化の許容値（物理的な許容値）に基づいて設定されてもよい。所定幅は、走行方向又はラテラル方向の何れかにおける許容値に基づいて設定されてもよいし、これらとは異なる方向における許容値に基づいて設定されてもよい。この所定幅は、昇降制御における第１揺れ収束制御（第１揺れ待ち制御）に用いられる。
【0031】
コントローラ８は、揺れに関する第２の閾値として、例えば、収束幅を記憶していてもよい。収束幅は、例えば、保持ユニット７が搬送車本体１０に格納されようとする際に、搬送車本体１０の各部に保持ユニット７（又はＦＯＵＰ２００）を接触させないという観点で設定されてもよい。
【0032】
例えば、図４（ａ）に示されるように、走行方向（Ｘ方向）において、保持ユニット７と搬送車本体１０のリアフレーム２３との間の最小距離が第３距離Ｌ３である。一方、図４（ｂ）に示されるように、ラテラル方向（Ｙ方向）において、保持ユニット７と搬送車本体１０のカバー２４との間の最小距離が第４距離Ｌ４であり、保持ユニット７と搬送車本体１０のカバー２５との間の最小距離が第５距離Ｌ５である。搬送車本体１０は、搬送車本体１０に格納される保持ユニット７を位置決めするための位置決め部材６２を有してもよい。位置決め部材６２は下方に向けて拡がるように開口されたテーパ部６２ａと、テーパ部６２ａの上端に形成された半円筒状の凹部である受入れ凹部６３とを含む。一方、保持ユニット７は、保持ユニット７の上面に立設されて上方に突出する起立部７３と、起立部７３の上端に取り付けられた円筒部７４とを含む。搬送車本体１０に対して、保持ユニット７が正規の位置で、すなわち揺れ０の状態で格納される場合、位置決め部材６２の中央に起立部７３及び円筒部７４が下方から挿入され、円筒部７４が受入れ凹部６３に嵌まり込む。搬送車本体１０に対して、保持ユニット７が多少の揺れをもって近接した場合でも、位置決め部材６２のテーパ部６２ａの範囲内に円筒部７４が入っている限り、円筒部７４はテーパ部６２ａによって案内され、最終的に受入れ凹部６３に嵌まり込む。図４（ｂ）に示される嵌合状態において、起立部７３（又は円筒部７４）とテーパ部６２ａの開口端（下端）とのラテラル方向（Ｙ方向）における距離が第６距離Ｌ６である。
【0033】
このような場合に、収束幅は、第３距離Ｌ３、第４距離Ｌ４、第５距離Ｌ５、又は第６距離Ｌ６の何れかに設定されてもよい。収束幅は、これらの距離のもっとも小さい値に設定されてもよい。収束幅は、搬送車本体１０に対する、保持ユニット７の位置変化の許容値（物理的な許容値）に基づいて設定されてもよい。収束幅は、天井搬送車１の走行方向又はラテラル方向の何れかにおける、搬送車本体１０内に保持ユニット７が格納される際の保持ユニット７及び／又はＦＯＵＰ２００において許容される揺れの許容値に基づいて設定されてもよい。この収束幅は、本実施形態の制御には用いられないが、変形例として、第２揺れ収束制御（第２揺れ待ち制御）に用いられてもよい。
【0034】
受入れ凹部６３に円筒部７４が嵌まり込み、保持ユニット７の位置決めが完了した高さが、保持ユニット７の上昇端であり、保持ユニット７の格納位置Ｐ３である。
【0035】
上記したように、搬送車本体１０と保持ユニット７との関係、又は搬送車本体１０と（保持ユニット７に把持された）ＦＯＵＰ２００との関係において、搬送車本体１０内に保持ユニット７が格納される際の保持ユニット７及び／又はＦＯＵＰ２００において許容される揺れの許容値が、物理的に決まる。上記した収束幅は、許容値よりも大きく設定されてもよい。また、上記した所定幅は、許容値よりも大きく設定されてもよい。第１揺れ収束制御に用いられる所定幅は、収束幅よりも大きく設定されている。本明細書において、「揺れを収束させる」とは、揺れが収束幅以下になることを意味するが、揺れが、実質的に０になることであってもよい。
【0036】
続いて、コントローラ８によって実行される制御（処理）、すなわち保持ユニットの昇降制御方法について説明する。まず、図５～図８を参照して、巻上制御について説明する。図５は、巻上制御において、コントローラ８によって実行される処理のフロー図である。コントローラ８は、保持ユニット７がＦＯＵＰ２００を把持可能な位置まで下降した状態で、保持ユニット７を制御し、グリッパ７２にＦＯＵＰ２００を把持させる。コントローラ８は、昇降モータ６１を制御して、ベルトＢを巻き上げる（ステップＳ１１）。これにより、保持ユニット７及びＦＯＵＰ２００が上昇し始める。
【0037】
コントローラ８による昇降制御の説明において、待機位置、収束位置、及び格納位置等といった保持ユニット７の「位置」の概念が用いられるが、これらの「位置」は、保持ユニット７の高さに対応する概念である。コントローラ８において、「位置」は、例えばベルトＢの繰出し量に対応しており、繰出し量が長いということは、「位置」が低いこと、すなわち保持ユニット７がロードポート３００に近いことを意味する。繰出し量が短いということは、「位置」が高いこと、すなわち保持ユニット７が搬送車本体１０に近いことを意味する。以下、保持ユニット７の位置を「昇降位置」という場合がある。
【0038】
図７（ａ）に示されるように、ベルトＢが巻き上げられ、保持ユニット７及びＦＯＵＰ２００が上昇している。コントローラ８の位置取得部８１は、昇降モータ６１からの回転に関わる信号を受け取り、保持ユニット７の位置を取得する（ステップＳ１２）。位置取得部８１による位置の取得は、コントローラ８による巻上制御の間、所定時間ごとに行われる。続いて、コントローラ８は、第１揺れ収束制御を実行する（ステップＳ１３）。
【0039】
図６を参照して、第１揺れ収束制御で実行される処理について説明する。巻上制御において、検知部６７は、保持ユニット７の揺れを検知する（検知工程）。図６に示されるように、コントローラ８の揺れ取得部８２は、保持ユニット７の揺れを検知した検知部６７からの信号を受け取り、保持ユニット７の揺れを取得する（ステップＳ２１）。続いて、コントローラ８の判断部８３は、検知部６７によって検知された揺れが所定幅よりも大きいか否かを判断する（ステップＳ２２）。図７（ｂ）に示されるように、例えば、検知部６７による照射光が反射板７７から外れており、保持ユニット７の揺れが大きくなっている。揺れが所定幅よりも大きいと判断された場合（ステップＳ２２；ＹＥＳ）、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢの巻上げを停止させ、保持ユニット７を任意の待機位置Ｐ１に維持する（ステップＳ２３）。その後、コントローラ８は、ステップＳ２１の処理及びステップＳ２２の判断を繰り返す。
【0040】
ステップＳ２２において、揺れが所定幅以下であると判断された場合（ステップＳ２２；ＮＯ）、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢを巻き上げる（ステップＳ２４）。図７（ｃ）に示されるように、例えば、検知部６７による照射光が反射板７７に常に当たっており、保持ユニット７の揺れが少し収束している。このように、コントローラ８は、保持ユニット７の揺れが少し収束した時点で、ベルトＢの巻上げを再開する。ただし、所定幅を下回ったばかりの揺れは、搬送車本体１０に格納される許容値に比べて大きく、例えば許容値の２倍以上であってもよく、許容値の３倍以上であってもよい。待機位置Ｐ１は、コントローラ８によって揺れが所定幅より大きいと判断された任意の位置であってよい。待機位置Ｐ１は、コントローラ８によって揺れが所定幅より大きいと判断された任意の位置よりもやや高い位置（停止制御に要するタイムラグの分だけ高い位置）であってもよい。上記のステップＳ２２～ステップＳ２４の処理は、特許請求の範囲に記載された把持部の昇降制御方法における巻上工程に相当する。
【0041】
ステップＳ２１～ステップＳ２４を含む第１揺れ収束制御では、保持ユニット７の揺れが閾値としての所定幅よりも大きいか否かに基づいて、巻上げが停止するか、又は巻上げが継続する。巻上げを停止させるステップＳ２３の処理は第１揺れ待ち制御に相当する。第１揺れ収束制御では、保持ユニット７の揺れが所定幅よりも大きい場合に、第１揺れ待ち制御が実行される。保持ユニット７の揺れが所定幅以下にならない限り、第１揺れ待ち制御が繰り返し実行され、保持ユニット７は任意の待機位置Ｐ１に維持される。すなわち、揺れが所定幅よりも大きいと判断されるたびに第１揺れ待ち制御が実行される。第１揺れ収束制御では、保持ユニット７及びＦＯＵＰ２００を安全に引き上げることができるまで、すなわち保持ユニット７の揺れがある程度小さい揺れに収まるまで、保持ユニット７を停止させて待つ制御が行われる。一方で、保持ユニット７の揺れがステップＳ２２の判断時に常に所定幅以下である場合には、第１揺れ待ち制御は一度も実行されず、ベルトＢが巻き上げられる。
【0042】
続いて、コントローラ８の位置取得部８１は、昇降モータ６１からの回転に関わる信号を受け取り、保持ユニット７の位置を取得する（ステップＳ２５）。続いて、コントローラ８の判断部８３は、昇降位置が収束位置であるか否かを判断する（ステップＳ２６）。コントローラ８は、保持ユニット７の位置に関し、収束位置及び格納位置を記憶している。待収束位置及び格納位置のそれぞれに対応する所定の制御値が、コントローラ８に記憶されている。コントローラ８の判断部８３は、位置取得部８１によって取得された位置に基づき、保持ユニット７の位置が収束位置であるか否かを判断する。コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御することにより、保持ユニット７を、収束位置及び格納位置のそれぞれの位置で停止可能である。
【0043】
昇降位置が収束位置ではないと判断された場合（ステップＳ２６；ＮＯ）、コントローラ８は、ステップＳ２１の処理を繰り返す。このように、保持ユニット７の上昇時、保持ユニット７が収束位置Ｐ２に達するまでに所定幅を超える揺れが検出されると、コントローラ８は、ベルトＢを巻き上げながら、スイング検知と第１揺れ待ち制御とを繰り返す（図１２参照）。
【0044】
一方、ステップＳ２６において、昇降位置が収束位置であると判断された場合（ステップＳ２６；ＹＥＳ）、コントローラ８による処理が図５に示されるフローに戻り、判断部８３は、待機位置に保持ユニット７を維持する第１揺れ待ち制御を少なくとも１回実行したか否かを判断する（ステップＳ１６）。少なくとも１回、揺れが所定幅よりも大きいと判断された場合であれば、第１揺れ待ち制御（ステップＳ２３）が少なくとも１回実行される。その場合、保持ユニット７が待機位置で停止したと判断され（ステップＳ１６；ＹＥＳ）、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢの巻上げを一定時間停止させ、保持ユニット７を収束位置Ｐ２に維持する（ステップＳ１７、図８（ａ）参照）。
【0045】
収束位置Ｐ２は、待機位置Ｐ１と格納位置Ｐ３との間の位置である。収束位置Ｐ２は、例えば格納位置Ｐ３よりも、ベルトＢの繰出し量が僅かに長い位置であってもよい。収束位置Ｐ２は、側方視において、ＦＯＵＰ２００が搬送車本体１０に重複しない程度の位置であってもよい。
【0046】
ステップＳ１７の処理が開始してから一定時間が経過した後、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢの巻上げを再開し、クリープ巻上制御を実行する（ステップＳ１８）。クリープ巻上制御では、コントローラ８のモータ制御部８４は、収束位置Ｐ２から格納位置Ｐ３へと至る巻上制御における第２巻上速度を、待機位置Ｐ１から収束位置Ｐ２へと至る巻上制御（ステップＳ１１及びＳ２４）における第１巻上速度よりも小さくする。そして、コントローラ８のモータ制御部８４は、保持ユニット７が上昇端である格納位置Ｐ３に位置したときに昇降モータ６１を制御してベルトＢの巻上げを停止させる（ステップＳ１９、図８（ｂ）参照）。
【0047】
ステップＳ１６～ステップＳ１８を含む第２揺れ収束制御では、第１揺れ待ち制御が実行されたか否かに基づいて、巻上げが一定時間停止するか、又は巻上げが継続する。巻上げを停止させるステップＳ１７の処理は第２揺れ待ち制御に相当する。第２揺れ収束制御では、保持ユニット７に関する閾値は用いられず、コントローラ８は、保持ユニット７を収束位置Ｐ２で一定時間停止させることにより、揺れが上記した収束幅より小さくなっていることを保証している。
【0048】
ステップＳ１６において、保持ユニット７が待機位置で一度も停止しなかったと判断された場合（ステップＳ１６；ＮＯ）、コントローラ８のモータ制御部８４は、保持ユニット７が上昇端である格納位置Ｐ３に位置したときに昇降モータ６１を制御してベルトＢの巻上げを停止させる（ステップＳ１９）。このように、保持ユニット７が一度も所定幅より大きく揺れなかった場合には、巻上げを停止したり巻上げ速度を小さくしたりする制御は行われず、通常の巻上げが行われる。
【0049】
以上の一例の制御により、保持ユニット７の上昇時に、所定幅を超える揺れが検出されると、少なくとも１回の第１揺れ待ち制御が実行され、揺れが少し収まった後にベルトＢの繰出し量を短くした状態で、第２揺れ待ち制御が実行される。その結果、保持ユニット７の揺れが収束するまでの時間を短縮できる。
【0050】
次に、図９～図１１を参照して、繰出制御について説明する。図９は、繰出制御において、コントローラ８によって実行される処理のフロー図である。コントローラ８は、昇降モータ６１を制御してベルトＢを繰り出し、ＦＯＵＰ２００を把持した保持ユニット７を格納位置Ｐ３から下降させる（ステップＳ３１）。図１０（ａ）に示されるように、ベルトＢが繰り出され、保持ユニット７及びＦＯＵＰ２００が下降している。コントローラ８の位置取得部８１は、昇降モータ６１からの回転に関わる信号を受け取り、保持ユニット７の位置を取得する（ステップＳ３２）。位置取得部８１による位置の取得は、コントローラ８による繰出制御の間、所定時間ごとに行われる。続いて、コントローラ８の判断部８３は、保持ユニット７がポート位置に到達したか否かを判断する（ステップＳ３３）。コントローラ８は、保持ユニット７の位置に関し、ＦＯＵＰ２００がロードポート３００上に載置される位置であるポート位置（載置位置）を記憶している。ポート位置に対応する所定の制御値が、コントローラ８に記憶されている。コントローラ８の判断部８３は、位置取得部８１によって取得された位置に基づき、保持ユニット７の位置がポート位置であるか否かを判断する。
【0051】
保持ユニット７がポート位置に到達していないと判断された場合（ステップＳ３３；ＮＯ）、コントローラ８の揺れ取得部８２は、保持ユニット７の揺れを検知した検知部６７からの信号を受け取り、保持ユニット７の揺れを取得する（ステップＳ３４）。続いて、コントローラ８の判断部８３は、検知部６７によって検知された揺れが所定幅よりも大きいか否かを判断する（ステップＳ３５）。揺れが所定幅よりも大きいと判断された場合（ステップＳ３５；ＹＥＳ）、コントローラ８による処理は第１揺れ収束制御に移行し（ステップＳ３６）、モータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢの巻上げを停止させ、保持ユニット７を任意の待機位置Ｐ１に維持する（ステップＳ２３）。その後、コントローラ８は、ステップＳ２１の処理及びステップＳ２２の判断を繰り返す。
【0052】
ステップＳ３６の第１揺れ収束制御は、巻上制御における第１揺れ収束制御（図６に示されるステップＳ２１～Ｓ２６）と同じである。繰出制御において、検知部６７は、保持ユニット７の揺れを検知する（検知工程）。繰出制御の途中で、揺れが所定幅よりも大きいと判断された場合（ステップＳ２２；ＹＥＳ）、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢの繰出しを停止させ、保持ユニット７を任意の待機位置Ｐ１に維持する（ステップＳ２３、（図１０（ｂ）参照））。その後、コントローラ８は、ステップＳ２１の処理及びステップＳ２２の判断を繰り返す。揺れが所定幅以下であると判断された場合（ステップＳ２２；ＮＯ）、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢを巻き上げる（ステップＳ２４、（図１０（ｃ）参照））。このように、コントローラ８は、保持ユニット７の揺れが少し収束した時点で、いったんベルトＢを巻き上げ、ベルトＢの繰出し量を短くする。
【0053】
ステップＳ２１～ステップＳ２４を含む第１揺れ収束制御では、保持ユニット７の揺れが閾値としての所定幅よりも大きいか否かに基づいて、繰出しが任意の待機位置Ｐ１で停止するか、又は巻上げが開始される。巻上げを停止させるステップＳ２３の処理は第１揺れ待ち制御に相当する。第１揺れ収束制御では、保持ユニット７及びＦＯＵＰ２００を安全に引き上げることができるまで、すなわち保持ユニット７の揺れがある程度小さい揺れに収まるまで、保持ユニット７を停止させて待つ制御が行われる。
【0054】
コントローラ８の判断部８３は、昇降位置が収束位置であるか否かを判断し（ステップＳ２６）、昇降位置が収束位置ではないと判断された場合（ステップＳ２６；ＮＯ）、コントローラ８は、ステップＳ２１の処理を繰り返す。このように、保持ユニット７の下降時においても、保持ユニット７が収束位置Ｐ２に達するまでに所定幅を超える揺れが検出されると、コントローラ８は、ベルトＢを巻き上げながら、スイング検知と第１揺れ待ち制御とを繰り返す（図１２参照）。
【0055】
ステップＳ２６において、昇降位置が収束位置であると判断された場合（ステップＳ２６；ＹＥＳ）、コントローラ８による処理が図９に示されるフローに戻り、モータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢの巻上げを一定時間停止させ、保持ユニット７を収束位置Ｐ２に維持する（ステップＳ３７、図１１（ａ）参照）。
【0056】
ステップＳ３７を含む第２揺れ収束制御では、保持ユニット７が収束位置Ｐ２まで上昇したときに、巻上げが一定時間停止する。ステップＳ３７の処理は第２揺れ待ち制御に相当する。第２揺れ収束制御では、保持ユニット７に関する閾値は用いられず、コントローラ８は、保持ユニット７を収束位置Ｐ２で一定時間停止させることにより、揺れが上記した収束幅より小さくなっていることを保証している。
【0057】
ステップＳ３７の処理が開始してから一定時間が経過した後、コントローラ８による処理はステップＳ３１に戻る。コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢを繰り出し、ＦＯＵＰ２００を把持した保持ユニット７を収束位置Ｐ２から下降させる。図１１（ｂ）に示されるように、保持ユニット７の揺れが十分に収まった状態で、保持ユニット７が下降させられる。
【0058】
ステップＳ３３において、保持ユニット７がポート位置に到達したと判断された場合（ステップＳ３３；ＹＥＳ）、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢの繰出しを停止させる（ステップＳ３８）。
【0059】
一方、ステップＳ３５において、揺れが所定幅以下であると判断された場合（ステップＳ３５；ＮＯ）、コントローラ８は、ステップＳ３２の処理及びステップＳ３３の判断を繰り返す。ステップＳ３３において、保持ユニット７がポート位置に到達したと判断された場合（ステップＳ３３；ＹＥＳ）、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢの繰出しを停止させる（ステップＳ３８）。このように、保持ユニット７の下降時、保持ユニット７の揺れがステップＳ３５の判断時に常に所定幅以下である場合には、第１揺れ待ち制御は一度も実行されず、ベルトＢが繰り出される。保持ユニット７が一度も所定幅より大きく揺れなかった場合には、繰出しを停止したりベルトＢを巻き上げて繰出し量を短くした状態で巻上げを停止させたりする制御は行われず、通常の巻上げが行われる。
【0060】
以上の一例の制御により、保持ユニット７の下降時に、所定幅を超える揺れが検出されると、少なくとも１回の第１揺れ待ち制御が実行され、揺れが少し収まった後にベルトＢの繰出し量を短くした状態で、第２揺れ待ち制御が実行される。その結果、保持ユニット７の揺れが収束するまでの時間を短縮できる。
【0061】
本実施形態の天井搬送車１及び保持ユニット７の昇降制御方法によれば、コントローラ８によって昇降モータ６１が制御されることで、ベルトＢが繰り出され又は巻き上げられて、保持ユニット７が下降又は上昇する。保持ユニット７は、ベルトＢで吊り下げられた状態で下降又は上昇するので、揺れが発生し得る。この揺れとは、ベルトＢが鉛直方向に延在する状態を基準として、ベルトＢがいずれかの方向に揺動して角度をなすことを意味する。この天井搬送車では、保持ユニット７の揺れが所定幅を超える場合、コントローラ８によって、ベルトＢの巻上げが停止され、格納位置Ｐ３よりも低い待機位置Ｐ１で保持ユニット７が維持される。その後、保持ユニット７の揺れが所定幅以下になった場合には、コントローラ８によって、ベルトＢが巻き上げられる。このように、保持ユニット７の揺れが所定幅以下になるまでは保持ユニット７が待機位置Ｐ１に維持され、揺れが所定幅以下になった場合に巻上げが再開する。よって、保持ユニット７の揺れが発生した場合でも、保持ユニット７の昇降を含む天井搬送車の運転を自動的に復旧することが可能となる。
【0062】
図１２の状態遷移図に示されるように、本実施形態の天井搬送車１及び保持ユニット７の昇降制御方法によれば、正常な昇降制御から、大きな揺れ（図中に示される「スイング」）を検知した場合の待機位置Ｐ１における第１揺れ待ち制御、さらにベルトＢを巻き上げ、収束位置Ｐ２における第２揺れ待ち制御を経て、正常な昇降制御へと状態が遷移する。この一連の制御により、速やかな自動復旧が可能になっている。
【0063】
保持ユニット７を待機位置Ｐ１に維持するか否かの判定基準である所定幅が、保持ユニット７が格納される際の揺れの許容値よりも大きく設定されている。この制御により、比較的大きな揺れが少し収束するまで保持ユニット７は待機位置Ｐ１で待機させられ、揺れが所定幅に収まった時点で巻上げが再開する。巻上げの再開により、ベルトＢの長さ（繰出し量）が短くなる。揺れが上記許容値に近くなるまで（或いは揺れが上記許容値になるまで）待機位置Ｐ１で待つよりも、早めに巻上げを再開することで、全体として揺れを早く収束させることができる。
【0064】
コントローラ８は、ベルトＢを巻き上げる巻上制御において、待機位置Ｐ１に保持ユニット７を維持する第１揺れ待ち制御を少なくとも１回実行した場合には、収束位置Ｐ２に保持ユニット７が位置したときにベルトＢの巻上げを一定時間停止させて、収束位置Ｐ２に保持ユニット７を維持する第２揺れ待ち制御を実行する。コントローラ８によって収束位置Ｐ２における第２揺れ待ち制御が実行されることにより、保持ユニット７が搬送車本体１０内に格納される前に、揺れを確実に収束させることができる。
【0065】
収束位置Ｐ２から格納位置Ｐ３へと至る巻上制御における第２巻上速度は、収束位置Ｐ２へと至る巻上制御における第１巻上速度よりも小さい。収束位置Ｐ２から格納位置Ｐ３への巻上げに時間をかけることで、残存する揺れを効果的に小さくすることができる。
【0066】
コントローラ８は、昇降モータ６１を制御してベルトＢを繰り出す繰出制御において検知部によって検知された保持ユニット７の揺れが所定幅を超える場合には、ベルトＢの繰出しを停止させ、その後保持ユニット７の揺れが所定幅以下になった場合にはベルトＢを巻き上げ、格納位置Ｐ３よりも低い収束位置Ｐ２に保持ユニット７を維持する。この制御によれば、最初に所定幅を超える揺れが検知された位置で収束を待つよりも、全体として揺れを早く収束させることができる。
【0067】
以上、本開示の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られない。例えば、図５に示される巻上制御において、コントローラ８のモータ制御部８４が保持ユニット７を収束位置Ｐ２に停止させた状態で（ステップＳ１７）、コントローラ８の揺れ取得部８２は、保持ユニット７の収束位置における揺れを取得してもよい。続いて、コントローラ８の判断部８３は、検知部６７によって検知された揺れが収束幅よりも大きいか否かを判断してもよい。揺れが所定幅よりも大きいと判断した場合、コントローラ８は、収束位置における揺れの取得、及び、揺れと収束幅との対比・判断を繰り返してもよい。揺れが収束幅以下であると判断した場合、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢを巻き上げる。保持ユニット７が上昇端である格納位置Ｐ３に位置したとき、コントローラ８のモータ制御部８４は、昇降モータ６１を制御してベルトＢの巻上げを停止させる。
【0068】
この制御によれば、揺れが収束幅以下になるまで、保持ユニット７は収束位置Ｐ２に維持される。待機位置Ｐ１と収束位置Ｐ２における２段階の揺れ収束制御（揺れ待ち制御）により、保持ユニット７を安全かつ速やかに格納位置Ｐ３まで上昇させることができる。また収束幅が、走行方向又はラテラル方向の何れかにおける格納時の揺れの許容値に基づいて設定されているので、２段階目の揺れ収束制御が、確実かつ速やかに実行される。
【0069】
図５に示されるステップＳ１７が省略されてもよい。すなわち、ベルトＢの巻上げを停止させることなく、保持ユニット７が収束位置Ｐ２に位置する際の揺れが判断され、その判断結果に応じて、ベルトＢの巻上げを停止させるか否かの制御が行われてもよい。その場合、揺れが所定幅よりも大きいと判断した場合、コントローラ８は、ベルトＢの巻上げを停止させる。揺れが収束幅以下であると判断した場合、コントローラ８は、ベルトＢの巻上げを継続する。
【0070】
図９に示される繰出制御において、コントローラ８は、上記した巻上制御の変形例と同様、保持ユニット７を収束位置Ｐ２に停止させた状態で（ステップＳ３７）、揺れの取得、及び、揺れと収束幅との対比・判断を行ってもよい。
【0071】
保持ユニット７がＦＯＵＰ２００を把持する態様は、上記実施形態に限られない。反射板７７が省略されてもよく、保持ユニット７の一部が反射板７７と同等の役割を果たしてもよい。検知部は、投受光型の検知部に限られない。検知部は、例えば、保持ユニット７をカメラで撮像し、画像処理等を行うことによって保持ユニット７の揺れを検知する型式の検知部であってもよい。
【0072】
検知部６７は、上記状態を基準とする保持ユニット７の揺れの大きさ（揺れ幅）を検出可能であってもよい。例えば、ベルトＢが鉛直方向に延在する状態であれば、保持ユニット７の揺れは０である。検知部６７は、この状態を基準として、保持ユニット７がいずれかの水平な方向に揺れる幅（検出時における最大の振幅）を検知可能であってもよい。なお、このように揺れを数値として検知したり、複数種類の閾値と比較したりするには、保持ユニット７をカメラで撮像したり、複数セットの検知部と反射板を設けたりする必要がある。
【0073】
検知部において検出される揺れ、又は、コントローラによって取得される（又は演算されてもよい）揺れは、ベルトＢが鉛直方向に延在する状態を基準とする場合に限られない。例えば、天井搬送車１が所定の加速度をもって走行する場合に、ベルトＢ及び保持ユニット７が呈する所定の姿勢を基準として、揺れが定義されてもよい。例えば、ベルトＢが、鉛直方向に対して、走行方向の前方又は後方に僅かな角度をなす状態が基準とされてもよい。収束幅が、上述した物理的な許容値に等しい値に設定されてもよい。
【0074】
吊下部は、ベルトＢに限られない。吊下部は、ワイヤ等の線状部材であってもよい。把持部は保持ユニット７と異なる構成を有してもよい。把持部は、物品の一部を把持できる他の構成を有してもよい。
【0075】
物品は、ＦＯＵＰ２００に限られない。物品は、ＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）Ｐｏｄ又はＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ）等であってもよい。
【符号の説明】
【0076】
１…天井搬送車、２…フレームユニット、６…昇降駆動ユニット、７…保持ユニット（把持部）、１０…搬送車本体、６１…昇降モータ（駆動部）、６７…検知部、２００…ＦＯＵＰ（物品）、３００…ロードポート（載置部）、Ｂ…ベルト（吊下部）、Ｐ１…待機位置、Ｐ２…収束位置、Ｐ３…格納位置、Ｓ…格納スペース。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】