特許 7389182 ロードポート及びそのマッピング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-11-20

(45)【発行日】2023-11-29

(54)【発明の名称】ロードポート及びそのマッピング装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20231121BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022119614

(22)【出願日】2022-07-27

【審査請求日】2022-07-27

(73)【特許権者】

【識別番号】596016557

【氏名又は名称】上銀科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100110364

【弁理士】

【氏名又は名称】実広 信哉

(74)【代理人】

【識別番号】100133400

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 達彦

(72)【発明者】

【氏名】劉 憲正

【審査官】中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－２１１１６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２１９２０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１４３３８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２８９８００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－３２４３６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２１４４６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０７２３８４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

容器内に置かれる複数の検測対象に対して検測を実行するのに適し、前後方向に沿って前記容器の前側に配置されるロードポートのマッピング装置であって、
前記前後方向に直交する所定の検測方向に沿って前記容器に対して移動可能、且つ、前記検測対象の検測に用いられ、且つ、第１の光軸を有する第１のセンサアセンブリと、
前記検測方向に沿って前記容器に対して移動可能、且つ、前記検測対象の検測に用いられ、且つ、前記第１の光軸に対して傾斜する第２の光軸を有する第２のセンサアセンブリと、を備えており、
前記第２の光軸は前記第１の光軸より前記容器から離れ、且つ、前記検測方向において前記第１の光軸の前側にあり、
前記第２の光軸と前記第１の光軸との前記検測方向に平行する平面における投影は第１の角度を成し、前記第２の光軸と前記第１の光軸との前記検測方向に直交する平面における投影は第２の角度を成し、
前記第１のセンサアセンブリは左右方向において間隔を置くように配置された第１のセンサ手段と第２のセンサ手段とを有し、前記第１の光軸の両端はそれぞれ前記第１のセンサ手段と前記第２のセンサ手段であり、前記左右方向は前記前後方向及び前記検測方向に実質的に直交し、
前記第２のセンサアセンブリは前記左右方向において間隔を置くように配置された第３のセンサ手段と第４のセンサ手段とを有し、前記第２の光軸の両端はそれぞれ前記第３のセンサ手段と前記第４のセンサ手段であり、前記第４のセンサ手段は、前記検測方向において前記第３のセンサ手段より前記第１の光軸から離れており、前記第４のセンサ手段と前記第３のセンサ手段の前記検測方向における距離は、前記第１のセンサ手段と前記第３のセンサ手段との前記検測方向における距離より小であることを特徴とするロードポートのマッピング装置。

【請求項2】

前記第１の角度は０度より大で且つ１０度以下であり、前記第２の角度は０度より大で且つ５度以下であることを特徴とする請求項１に記載のロードポートのマッピング装置。

【請求項3】

前記第４のセンサ手段と前記第３のセンサ手段との前記左右方向における距離は、前記第１のセンサ手段と前記第２のセンサ手段との前記左右方向における距離より小であることを特徴とする請求項１に記載のロードポートのマッピング装置。

【請求項4】

前記容器は間隔を置くように配置された複数のスペーサを有し、前記第３のセンサ手段と前記第４のセンサ手段の前記検測方向における距離は、各前記スペーサの間の距離の２倍より大きくないことを特徴とする請求項１に記載のロードポートのマッピング装置。

【請求項5】

前記第４のセンサ手段は前記前後方向において前記第３のセンサ手段より前記第１の光軸から離れていることを特徴とする請求項１に記載のロードポートのマッピング装置。

【請求項6】

台座本体及び前記台座本体に対して回転もしくは移動可能なサポートフレームを有し且つ前記検測方向に沿って移動可能な移動台を更に備え、前記第１のセンサアセンブリ及び前記第２のセンサアセンブリは、前記サポートフレームに配置されていることを特徴とする請求項１に記載のロードポートのマッピング装置。

【請求項7】

容器内に置かれる複数の検測対象に対して検測を実行するのに適するロードポートであって、
前記容器を置くためのベースと、
請求項１に記載のマッピング装置であって、前記前後方向に沿って前記容器の前側に配置されて前記検測方向に沿って前記ベースに対して移動できるマッピング装置と、を含むロードポート。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は半導体もしくは固定装置もしくは部材の製造もしくは処理に適する設備に関し、特にロードポート及びそのマッピング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

図１には、特許文献１に開示された半導体マッピング装置（ｍａｐｐｉｎｇ ｄｅｖｉｃｅ）１０１が示されている。これは、マッピングフレーム１１に飛出しセンサ１２及びマッピングセンサ１３を設置したもので、飛出しセンサ１２はマッピングセンサ１３と同一の高度に配置され、且つ、マッピングセンサ１３の内側に位置し、飛出しセンサ１２がウェハ１４の飛出し（すなわち正常な位置から飛び出した否か）を検知することにより、検知の途中でマッピングセンサ１３がウェハ１４の周縁に衝突しないようにしている。しかし、飛出しセンサ１２がマッピングセンサ１３と同一の高度に位置するので、サイズが比較的大きいウェハ（例えば１２インチのウェハ）に対してマッピングを実行する際、ウェハ１４がマッピング装置１０１へ比較的大きく偏位している場合、飛出しセンサ１２の検知の途中において、マッピングセンサ１３が既にウェハ１４の周縁に衝突していて、ウェハ１４が破損することがある。

【0003】

図２及び図３に示されているように、前記問題点を解決すべく、特許文献２に開示されたウェハマッピング装置１０２では、飛出しセンサ１５をマッピングセンサ１６の下方に配置し、この２つのセンサの間の高度差により、マッピングセンサ１６がウェハ１４を通過する前に、飛出しを先に検出することで、マッピングセンサ１６がウェハ１４に衝突する問題を回避することができる。しかしこれも同様に、飛出しセンサ１５がウェハ１４に衝突する可能性があるので、ウェハマッピング装置１０２は更に、飛出しセンサ１５との間に第３のセンサ１７を配置することにより、飛出しセンサ１５がウェハ１４に衝突するのを回避しようとしている。

【0004】

ただし、ウェハマッピング装置１０２には多くのセンサが設けられるため、配線が複雑になる問題があり、改善の余地が残されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特許第４５０１７５５号公報

【文献】台湾特許第Ｉ６６１４９６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

従って、本発明はマッピングセンサ及びもしくは飛出しセンサの機能を同時に有し、且つ、簡単な構造を有するロードポートのマッピングの提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

従って、本発明のロードポートのマッピング装置は、容器内に置かれる複数の検測対象に対して検測を実行するのに適する。前記ロードポートのマッピング装置は第１のセンサアセンブリと第２のセンサアセンブリとを備える。前記第１のセンサアセンブリは所定の検測方向に沿って前記容器に対して移動可能、且つ、前記検測対象の検測に用いられ、且つ、第１の光軸を有する。前記第２のセンサアセンブリは前記検測方向に沿って前記容器に対して移動可能、且つ、前記検測対象の検測に用いられ、且つ、前記第１の光軸に対して傾斜する第２の光軸を有し、前記第２の光軸は前記第１の光軸より前記容器から離れ、且つ、前記検測方向において前記第１の光軸の前側にある。

【0008】

また、本発明はマッピングセンサ及びもしくは飛出しセンサの機能を同時に有し、且つ、簡単な構造を有するロードポートをも提供する。

【0009】

すなわち、本発明のロードポートは、容器内に置かれる複数の検測対象に対して検測を実行するのに適する。前記ロードポートはベースと上記マッピング装置とを備える。前記ベースは前記容器を置くためにある。前記マッピング装置は前記検測方向に沿って前記ベースに対して移動できる。

【発明の効果】

【0010】

本発明は、前記第２の光軸が前記第１の光軸に対して傾斜する構成により、前記第２の光軸及び前記第１の光軸を高度、深さ、及び角度がすべて異なる非対称な配置で設計することで、前記第２の光軸を前記第１の光軸より前記容器から離れ、且つ、前記検測方向において前記第１の光軸の前側に位置させるので、両者の干渉を回避できる上、三次元立体空間における斜角検測機能を達成することができ、更に、マッピング及び飛出し検測の二重効果を同時に備えることができる。本発明においてはセンサ部材の数が少なく、構造が単純で配線も容易な上、各センサが互いに干渉するエリアを縮減することもできる。本発明は更に異なるサイズの前記検測対象のマッピング及び飛出し検測を実行することができるので、汎用性にも優れている。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】特許文献１に記載のマッピングセンサの一部構成が示される斜視図である。

【図2】特許文献２に記載のマッピングセンサの構成が示される上面図である。

【図3】特許文献２に記載のマッピングセンサの構成が示される側面図である。

【図4】本発明のロードポートの実施形態の外部構成が示される斜視図である。

【図5】同実施形態の一部構成が示される一部側面図である。

【図6】同実施形態の一部構成が示される一部断面図であり、該ロードポートのマッピング装置のベースに対する閉位置が示されている。

【図7】同実施形態の一部構成が示される一部背面図であり、該マッピング装置の昇降機構がベースに配置されていることが示されている。

【図8】図６に類似する図であり、前記マッピング装置が前記ベースに対して開位置に移動し、且つ、前記マッピング装置のサポートフレームが台座本体に対して回転可能であることが示されている。

【図9】前記マッピング装置の分解斜視図であり、該マッピング装置のサポートフレーム駆動用アセンブリが前記サポートフレームの回転駆動に用いられることが示されている。

【図10】前記マッピング装置の第１のセンサアセンブリ及び第２のセンサアセンブリが前記サポートフレームに配置されていることが示されている斜視図である。

【図11】前記第１のセンサアセンブリの第１の光軸と前記第２のセンサアセンブリの第２の光軸とが複数の検測対象に用いられることが示されている説明図である。

【図12】前記第１の光軸と前記第２の光軸とがそれぞれマッピング及び飛出しの検知に用いられることが示されている一部断面説明図である。

【図13】前記第１の光軸と前記第２の光軸との立体空間における位置関係が示されている説明図である。

【図14】図１１に類似し、前記マッピング装置が比較的サイズの小さい前記検測対象の検測に用いられることが示されている説明図である。

【図15】図１２に類似し、前記第１のセンサアセンブリと前記第２のセンサアセンブリとがそれぞれマッピング及び飛出しの検知に用いられることが示されている説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

図４～図６に、本発明のロードポート（ｌｏａｄｐｏｒｔ）の実施形態が示されている。該ロードポートは容器９内に置かれる複数の検測対象９１に対して検測を実行するのに適し、容器９は容器開口９２と、内部に位置して複数が同距離の間隔を置くように配置されるスペーサ９３と、を有する。各スペーサ９３の間の距離はＳと定義され、各スペーサ９３は各検測対象９１が置かれるのに用いられる。この実施例では、容器９として１２インチのウェハケースが例として説明に用いられており、従って各検測対象９１は１２インチのウェハであり、且つ、容器９は容器開口９２を遮蔽するのに用いられる遮蔽板（図示せず）を有する。各検測対象９１はウェハに限らず、半導体産業に関連する基板もしくは半製品であってもよい。前記ロードポートはベース２と、昇降機構３と、開閉機構４と、マッピング装置５００と、を含む。

【0013】

ベース２は高度方向Ｚに沿って延伸するメインボード２１と、メインボード２１に配置されている支持台２２と、を有する。メインボード２１はロード開口２１１と、ロード開口２１１に配置されている固定センサ２１２と、を有し、固定センサ２１２は容器９内における各検測対象９１が容器９から飛び出しているか否かの検知に用いられ、この実施例では固定センサ２１２として透過式光センサが用いられている。支持台２２は前後方向Ｘにおいてメインボード２１の後側に位置し、容器９は支持台２２に置かれ、且つ、容器開口９２はロード開口２１１に対応する。

【0014】

図５～図７に示されるように、昇降機構３はベース２のメインボード２１に設けられ、且つ、支持台２２の下方に位置しており、この実施形態における昇降機構３は、１つの昇降駆動装置３１と、２本のガイドレール３２と、１つのスライド台３３と、を含む。この実施形態における昇降駆動装置３１は、高度方向Ｚに沿って延伸し、且つ、自身の軸線を中心として回転できるガイドスクリューロッド３１１と、ガイドスクリューロッド３１１の底端に接続され、且つ、ガイドスクリューロッド３１１の回転を駆動する１つの昇降駆動手段３１２と、を有し、昇降駆動手段３１２はモータである。各ガイドレール３２は高度方向Ｚに沿って延伸し、且つ、１つの左右方向Ｙにおいて間隔を置くようにメインボード２１に配置されている。スライド台３３はガイドスクリューロッド３１１に接続され、且つ、スライド可能にガイドレール３２に配置されており、スライド台３３は前記ガイドスクリューロッド３１１により連動されてガイドレール３２に沿って上下に移動することができる。一部の変化例において、昇降駆動装置３１は空気シリンダ、電気シリンダ、リニアモータ、ベルト連動、ラック・アンド・ピニオン連動、もしくは類似する部材であることも可能であり、これらも同じようにスライド台３３を上下に連動して移動させることができる。

【0015】

図６～図８を参照すると、開閉機構４は、昇降機構３のスライド台３３に配置されており、１つの開閉駆動手段４１を含む。この実施例における開閉駆動手段４１は空気シリンダであるが、電気シリンダ、モータ駆動スクリューシャフト、ベルト連動、ラック・アンド・ピニオン連動、もしくは類似する部材により取って代わられることができる。開閉駆動手段４１は、スライド台３３に配置される１つの駆動本体４１１と、伸縮可能に駆動本体４１１に配置される１つのピストンロッド４１２と、を有し、ピストンロッド４１２は前後方向Ｘに沿って伸縮することができる。

【0016】

マッピング装置５００は開閉機構４のピストンロッド４１２の一端に接続され、且つ開閉駆動手段４１のピストンロッド４１２により連動されて前後方向Ｘに沿って移動することができる。マッピング装置５００は、ピストンロッド４１２に固定されている１つの移動台５と、移動台５のトップ端に配置される１つの第１のセンサアセンブリ６と、１つの第２のセンサアセンブリ７と、を含む。マッピング装置５００は開閉機構４により連動されてベース２に対して１つの閉位置（図６参照）と１つの開位置（図８参照）との間に移動可能であり、前記閉位置にある場合、移動台５はメインボード２１のロード開口２１１を遮蔽し、前記開位置にある場合、移動台５はロード開口２１１から所定の距離を開けることにより、ロード開口２１１を露出させる。

【0017】

図８～図１０に示されるように、移動台５は、ピストンロッド４１２に固定され且つピストンロッド４１２により連動される１つの台座本体５１と、回転可能に台座本体５１のトップ端に配置される１つのサポートフレーム５２と、台座本体５１に配置され、且つ、サポートフレーム５２の回転を駆動する１つのサポートフレーム駆動用アセンブリ５３と、を含む。台座本体５１は内部空間を有することによりサポートフレーム駆動用アセンブリ５３を取り付けることができる。サポートフレーム５２は、台座本体５１の２つの側辺にそれぞれ枢設される２つのサイドロッド５２１と、左右方向Ｙに沿って延伸すると共に、各サイドロッド５２１に接続される１つの横方向ロッド５２２と、を有する。サポートフレーム駆動用アセンブリ５３は台座本体５１に固定される１つのサポートフレーム駆動手段５３１と、サポートフレーム駆動手段５３１から左右方向Ｙに沿って延伸する１つの回転軸５３２と、を有し、回転軸５３２の一端は１つのサイドロッド５２１に接続される。サポートフレーム駆動手段５３１が回転軸５３２の回転を駆動することにより、サポートフレーム５２が台座本体５１に対して回転するよう連動することで、サポートフレーム５２の横方向ロッド５２２をベース２のロード開口２１１に接近させたり離間させたりする。

【0018】

サポートフレーム５２を台座本体５１に対して回転可能にするのは、マッピング装置５００が前記閉位置に移動する際、第１のセンサアセンブリ６及び第２のセンサアセンブリ７が容器９の前記遮蔽板に衝突して破壊されることを回避するための設計であり、したがってこれに限らず、サポートフレーム５２を台座本体５１に対して水平に移動するように構成することもでき、これによっても同様に衝突の問題を回避することができる。一部の応用例において、例えば容器９が前開き式で遮蔽板を有しない場合は、衝突を回避する必要がないので、サポートフレーム５２を固定式に設計することができ、この場合、第１のセンサアセンブリ６は反射式の光センサを採用する。

【0019】

図８、図１０及び図１１に示されているように、第１のセンサアセンブリ６及び第２のセンサアセンブリ７はサポートフレーム５２の横方向ロッド５２２に配置されると共に、１つの検測方向Ｄに沿って移動することにより、検測対象９１を検測する。検測方向Ｄは高度方向Ｚに平行するので、実質的に左右方向Ｙ及び前後方向Ｘに直交し、この実施形態においては検測方向Ｄに沿って上から下へと少しずつ前進する。第１のセンサアセンブリ６は左右方向Ｙにおいて間隔を置くように配置された１つの第１のセンサ手段６１及び１つの第２のセンサ手段６２を有し、第１のセンサ手段６１と第２のセンサ手段６２との高度方向Ｚ上における位置は同じである。第１のセンサ手段６１及び第２のセンサ手段６２は検測方向Ｄに実質的に直交する１つの第１の光軸６０１を形成し、すなわち、第１の光軸６０１の両端はそれぞれ第１のセンサ手段６１及び第２のセンサ手段６２である。第１の光軸６０１はマッピングに用いられることにより、検測対象９１におけるピース欠け、ピース重なり、ピース傾きの有無、もしくはその厚さなどの関連データを検測する。この実施形態における第１のセンサアセンブリ６は透過式光センサであり、第１のセンサ手段６１は光発射器であり、且つ、第２のセンサ手段６２は光レシーバであるが、その位置は入れ替わることができるのでこれに限定されない。他の変化例において、第１のセンサアセンブリ６は他のタイプの例えば反射式の光センサであることも可能であり、物体を感知できるものであればよい。

【0020】

第２のセンサアセンブリ７は高度方向Ｚにおいて第１のセンサアセンブリ６より低い位置にあり、且つ、左右方向Ｙにおいて間隔を置くように配置された１つの第３のセンサ手段７１及び１つの第４のセンサ手段７２を有する。この実施形態における第２のセンサアセンブリ７は透過式光センサであり、第３のセンサ手段７１は光発射器であり、第４のセンサ手段７２は光レシーバであるが、その位置は入れ替わることができるのでこれに限定されない。

【0021】

第３のセンサ手段７１は第１のセンサ手段６１に近い位置にあって、且つ、高度方向Ｚにおける位置が第１のセンサ手段６１より低い。第４のセンサ手段７２は第２のセンサ手段６２に近い位置にあって、且つ、高度方向Ｚにおける位置が、第２のセンサ手段６２より低く且つ第３のセンサ手段７１より低い。この実施形態における第４のセンサ手段７２と第３のセンサ手段７１との左右方向Ｙにおける距離Ｌ１は、第１のセンサ手段６１と第２のセンサ手段６２との左右方向Ｙにおける距離Ｌ２より小さいが、第１のセンサアセンブリ６と第２のセンサアセンブリ７とは高度方向Ｚにおいて高低差があるので、他の変化例においては、第４のセンサ手段７２と第３のセンサ手段７１との左右方向Ｙにおける距離Ｌ１が第１のセンサ手段６１と第２のセンサ手段６２との左右方向Ｙにおける距離Ｌ２より大きいもしくは同じであってもよく、これに限定されない。

【0022】

図１０～図１２に示されるように、第３のセンサ手段７１と第４のセンサ手段７２とは第２の光軸７０１を形成し、すなわち、第２の光軸７０１の両端はそれぞれ第３のセンサ手段７１及び第４のセンサ手段７２であり、第２の光軸７０１は検測対象９１の位置が正常位置より突出している（すなわち飛び出している）か否かの検出に用いられる。高度方向Ｚにおいて最も低い場所にある第４のセンサ手段７２が飛出しを検出する前に先に突出しすぎた検測対象９１に衝突するのを回避するため、第２の光軸７０１を第１の光軸６０１に対して立体空間において傾斜するようにすることで、第２の光軸７０１と第１の光軸６０１との検測方向Ｄに平行する１つの平面（すなわち、ＹＺ平面）における投影が１つの第１の角度Ａ１を成すようにし、第２の光軸７０１と第１の光軸６０１との検測方向Ｄに直交する１つの平面（すなわち、ＸＹ平面）における投影が１つの第２の角度Ａ２を成すようにし、第１の角度Ａ１は０度より大きく且つ、１５度以下であり、第２の角度Ａ２は０度より大きく且つ、１０度以下である。より優れた配置を得るため、例えば第４のセンサ手段７２の前後方向Ｘにおける位置の設計は固定センサ２１２（図８参照）に干渉せずに最大偏位量の飛出しを検出できることを基準として、第１の角度Ａ１を１０度以下にし、且つ、第２の角度Ａ２を５度以下にする。

【0023】

第２の光軸７０１が第１の光軸６０１の前方において先に移動するようにすれば、第１のセンサアセンブリ６が到達する前に、検測対象９１の飛出しを検出して衝突を回避することができ、従って、第２の光軸７０１は検測方向Ｄにおいて第１の光軸６０１の前方に位置する必要があり、且つ、第２の光軸７０１は第１の光軸６０１より更に容器９から離れる必要がある。そしてこの実施形態においては検測方向Ｄに沿って上から下へと移動するので、すなわち、第２の光軸７０１は高度方向Ｚにおいて第１の光軸６０１より低くする必要があり、従って第４のセンサ手段７２は検測方向Ｄにおいて第３のセンサ手段７１より更に第１の光軸６０１から離れており、第４のセンサ手段７２は前後方向Ｘにおいて第３のセンサ手段７１より更に第１の光軸６０１から離れている。無論、他の実施例において検測方向Ｄに沿って下から上へと移動するよう構成する場合には、第２の光軸７０１を高度方向Ｚにおいて第１の光軸６０１より高く設計することにより、第２の光軸７０１が第１の光軸６０１の前に先に移動して飛出しを検出して衝突を回避することができる。

【0024】

図６、図８及び図１１に示されているように、この実施形態ではマッピング装置５００が最下層の検測対象９１に移動する際、第４のセンサ手段７２を容器９に衝突させないため、第３のセンサ手段７１と第４のセンサ手段７２との検測方向Ｄにおける距離Ｌ３を各スペーサ９３の間の距離Ｓの２倍以下にする。また、第２のセンサアセンブリ７に容器９内の最上層の検測対象９１を検知させるため、第４のセンサ手段７２と第３のセンサ手段７１との検測方向Ｄにおける距離Ｌ３を更に第１のセンサ手段６１と第３のセンサ手段７１との検測方向Ｄにおける距離Ｌ４より小さくすることは、比較的適切な設計である。

【0025】

図１３は、第１の光軸６０１と第２の光軸７０１との立体空間における相対的位置関係をよりよく理解できるよう一例を挙げて説明するための図であり、本発明は第２の光軸７０１と第１の光軸６０１とを高度、深さ、及び角度が共に異なる非対称な配置に設計することにより、両者の互いの干渉を回避する上、三次元立体空間における斜角検測機能を達成することができる。

【0026】

図５及び図８を再び参照する。検測する際には、昇降機構３によりマッピング装置５００を駆動して容器９のトップ端に近い位置まで降下させてから、開閉機構４によりマッピング装置５００を連動させて開位置まで移動させると共に、サポートフレーム駆動用アセンブリ５３（図９参照）でサポートフレーム５２を駆動して容器９に向かって回転させることにより、第１のセンサアセンブリ６と第２のセンサアセンブリ７とを容器開口９２内に進入させる。そして、昇降機構３を駆動し、マッピング装置５００を連動させて検測方向Ｄに沿って少しずつ下へ移動させることで、第１のセンサアセンブリ６と第２のセンサアセンブリ７とを容器９に対して移動させて検測対象９１を検測する。

【0027】

図１２に示されるように、図中では実線を用いて正常位置にある検測対象９１を表示し、破線を用いて正常位置から突出している（すなわち飛び出している）検測対象９１を表示し、第２の光軸７０１が破線で表示される検測対象９１を先に検知することにより、警告信号を発信しもしくは機械を点検のために停止させることで、第１のセンサアセンブリ６の第２のセンサ手段６２が破線で表示される検測対象９１（すなわち、飛び出している検測対象９１）に衝突するのを回避することができる。飛び出しがなければ、第１の光軸６０１はマッピングにより検測対象９１に関連するデータ（ピース欠け、ピース重なり、ピース傾き、もしくは厚さなど）を得ることができる。従って、本発明のマッピング装置５００は第１のセンサアセンブリ６と第２のセンサアセンブリ７との２つのセンサアセンブリにより、マッピング及び飛出しを検測する二重効果を達成することができる。従来では３つのセンサでマッピング及び飛出しの検測を達成するのに比べて、本発明ではセンサ部材の数が少なく、構造が単純で配線も容易な上、各センサが互いに干渉するエリアを縮減することもできる。

【0028】

図１４及び図１５に示されるように、本実施形態は１２インチのウェハの他に、比較的小さい検測対象９１、例としてこれに限らないが８インチウェハにも適用することができる。マッピング装置５００を前記開位置まで移動するように駆動すると共に、第１のセンサアセンブリ６と第２のセンサアセンブリ７とを容器９内に進入させれば、第１のセンサアセンブリ６と第２のセンサアセンブリ７とを容器９に対して少しずつ移動させることで、検測対象９１を検測することができる。

【0029】

図１５では実線を用いて正常位置にある検測対象９１を表示し、破線を用いて正常位置から突出している（すなわち飛び出している）検測対象９１を表示し、第２の光軸７０１は正常位置から突出している検測対象９１を検知することができる。飛び出しがなければ、第１の光軸６０１により引き続きマッピングを実行し得る。本発明は異なるサイズの各検測対象９１のマッピング及び飛出し検測を実行できるので、優れた汎用性を有する。

【0030】

以上をまとめると、本発明は第２の光軸７０１が第１の光軸６０１に対して傾斜する斜角設計にし、第２の光軸７０１と第１の光軸６０１とを高度、深さ、及び角度が共に異なる非対称な配置に設計することにより、第２の光軸７０１を第１の光軸６０１よりも容器９から離れさせ、且つ、検測方向Ｄにおいて第１の光軸６０１の前側に位置させることで、三次元立体空間における斜角検測機能を達成することができるので、マッピング及び飛出しを検測する二重効果を有する。本発明はセンサ部材の数が少なく、構造が単純で配線も容易な上、各センサが互いに干渉するエリアを縮減することもできる。更に、異なるサイズの各検測対象９１のマッピング及び飛出し検測を実行できるので、優れた汎用性を有する。故に本発明の目的を確実に達成することができる。

【符号の説明】

【0031】

２ ベース
２１ メインボード
２１１ ロード開口
２１２ 固定センサ
２２ 支持台
３ 昇降機構
３１ 昇降駆動装置
３１１ ガイドスクリューロッド
３１２ 昇降駆動手段
３２ ガイドレール
３３ スライド台
４ 開閉機構
４１ 開閉駆動手段
４１１ 駆動本体
４１２ ピストンロッド
５ 移動台
５００ マッピング装置
５１ 台座本体
５２ サポートフレーム
５２１ サイドロッド
５２２ 横方向ロッド
５３ サポートフレーム駆動用アセンブリ
５３１ サポートフレーム駆動手段
５３２ 回転軸
６ 第１のセンサアセンブリ
６０１ 第１の光軸
６１ 第１のセンサ手段
６２ 第２のセンサ手段
７ 第２のセンサアセンブリ
７０１ 第２の光軸
７１ 第３のセンサ手段
７２ 第４のセンサ手段
９ 容器
９１ 検測対象
９２ 容器開口
９３ スペーサ
Ａ１ 第１の角度
Ａ２ 第２の角度
Ｄ 検測方向
Ｌ１ 距離
Ｌ２ 距離
Ｌ３ 距離
Ｌ４ 距離
Ｓ 距離
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向
Ｚ 高度方向

【要約】

【課題】マッピングセンサ及びもしくは飛出しセンサの機能を同時に有し、且つ、簡単な構造を有するロードポートのマッピングを提供する。
【解決手段】容器内に置かれる複数の検測対象９１に対して検測を実行するのに適するロードポートのマッピング装置であって、所定の検測方向Ｄに沿って前記容器に対して移動可能、且つ、前記検測対象の検測に用いられ、且つ、第１の光軸６０１を有する第１のセンサアセンブリ６と、前記検測方向Ｄに沿って前記容器に対して移動可能、且つ、前記検測対象９１の検測に用いられ、且つ、前記第１の光軸６０１に対して傾斜する第２の光軸７０１を有する第２のセンサアセンブリ７と、を備えており、前記第２の光軸７０１は前記第１の光軸６０１より前記容器から離れ、且つ、前記検測方向Ｄにおいて前記第１の光軸６０１の前側にある。
【選択図】図１１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】