【図1】
図1は、90度光ハイブリッド2の特徴を説明する図である。
【図2】
図2は、実施の形態1の90度光ハイブリッド8の一例を示す平面図である。
【図3】
図3は、アーム導波路14の一例を示す図である。
【図4】
図4は、アーム導波路14の一例を示す図である。
【図5】
図5は、図3に示されたアーム導波路14の幅の変化の一例を示す図である。
【図6】
図6は、図4に示されたアーム導波路14の幅の変化の一例を示す図である。
【図7】
図7は、図3のアーム導波路14の幅W(z)(実線33)および図4のアーム導波路14の幅W(z)(破線35)を一つのグラフに示した図である。
【図8】
図8は、図2のVIII-VIII線に沿った90度光ハイブリッド8の断面図の一例を示す図である。
【図9】
図9は、曲げ導波路16の幅45と損失の関係の一例を示す図である。
【図10】
図10は、図9の損失の算出に用いた光導波路46の平面図である。
【図11】
図11は、位相シフト導波路56の幅が伝搬導波路57の幅より広い90度光ハイブリッド108の平面図の一例である。
【図12】
図12は、図11の左上のアーム導波路114と右下のアーム導波路114とを示す図である。
【図13】
図13は、図11の右上のアーム導波路114と左下のアーム導波路114とを示す図である。
【図14】
図14は、直線導波路の製造誤差1nm当たりの位相誤差と直線導波路の幅との関係を示す図である。
【図15】
図15は、実施の形態2の90度光ハイブリッド208の一例を説明する図である。
【図16】
図16は、変形例2の90度光ハイブリッドM2の一例を示す平面図である。
【図17】
図17は、変形例3の90度光ハイブリッドを説明する平面図である。
【図18】
図18は、変形例3の90度光ハイブリッドを説明する平面図である。
【図19】
図19は、変形例4の90度光ハイブリッドを説明する平面図である。
【図20】
図20は、変形例5の90度光ハイブリッドM5を示す平面図である。
【図21】
図21は、変形例6の90度光ハイブリッドM6の一例の平面図である。
【図22】
図22は、位相差θと波長λの関係の一例を示す図である。
【図23】
図23は、位相誤差と導波路幅の関係の一例を示す図である。
【図24】
図24は、位相差θの誤差無依存条件が満たされた場合の位相誤差と波長λの関係の一例を示す図である。
【図25】
図25は、複数の光導波路20の一つと曲げ導波路16との境界近傍を示す図である。
【図26】
図26は、実施の形態6の曲げ導波路616を説明する図である。