(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-11-21
(45)【発行日】2023-11-30
(54)【発明の名称】集塵装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法
(51)【国際特許分類】
H02P 29/00 20160101AFI20231122BHJP
B29C 43/34 20060101ALI20231122BHJP
【ＦＩ】
H02P29/00
B29C43/34
【請求項の数】
13
(21)【出願番号】P 2023050045
(22)【出願日】2023-03-27
【審査請求日】2023-05-08
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】390002473
【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100121441
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 竜平
(74)【代理人】
【識別番号】100154704
【弁理士】
【氏名又は名称】齊藤 真大
(74)【代理人】
【識別番号】100206151
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 惇志
(74)【代理人】
【識別番号】100218187
【弁理士】
【氏名又は名称】前田 治子
(74)【代理人】
【識別番号】100227673
【弁理士】
【氏名又は名称】福田 光起
(72)【発明者】
【氏名】林口 慎也
【審査官】柏崎 翔
(56)【参考文献】
【文献】特開２０２１－６８８１０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－２９５２６７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－１５１６５５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－７９７６６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０２Ｐ ２９／００
Ｂ２９Ｃ ４３／３４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
樹脂成形装置に設けられた１又は複数の集塵口から塵埃を集塵する集塵装置であって、モータで駆動される送風機と、前記モータの回転数を制御するインバータとを備え、前記樹脂成形装置の樹脂材料供給モジュールに設けられた集塵口から塵埃を集塵するものであり、
前記インバータは、前記モータの回転数を第１回転数に制御し、前記第１回転数から回転数を下げる場合に前記モータへの電気的な接続を解除して前記モータを惰性回転させるものであり、
前記樹脂材料供給モジュールは、樹脂材料を搬送するための搬送用部材に樹脂材料を供給する樹脂材料供給部をさらに備え、
前記インバータは、前記樹脂材料供給部による前記搬送用部材への樹脂材料供給時に、前記モータを惰性回転させる、集塵装置。
【請求項2】
前記インバータは、前記第１回転数と、前記第１回転数よりも低い回転数である第２回転数との間で前記モータの回転数を切り替えるものであり、前記第１回転数から前記第２回転数に切り替える場合に前記モータへの電気的な接続を解除して前記モータを惰性回転させる、請求項１に記載の集塵装置。
【請求項3】
前記インバータは、前記モータの回転数が惰性回転により前記第２回転数に到達した後に、前記モータを前記第２回転数に制御する、請求項２に記載の集塵装置。
【請求項4】
前記インバータは、前記モータを前記第１回転数に制御して、前記樹脂材料供給モジュールに設けられた集塵口から塵埃を集塵する第１集塵状態と、前記モータを前記第２回転数に制御して、前記樹脂材料供給モジュールに設けられた集塵口から塵埃を集塵する第２集塵状態とを切り替える、請求項２に記載の集塵装置。
【請求項5】
前記樹脂材料供給モジュールは、樹脂材料又は離型フィルムを搬送するための搬送用部材を清掃する清掃ステージ部を有し、前記インバータは、前記清掃ステージ部による前記搬送用部材の清掃時に、前記モータを前記第１回転数に制御する、請求項１に記載の集塵装置。
【請求項6】
前記樹脂材料供給モジュールは、前記搬送用部材を移動させる移動ステージ部と、当該移動ステージ部を清掃するステージ清掃部とを有し、前記インバータは、前記ステージ清掃部による前記移動ステージ部の清掃時に、前記モータを前記第１回転数に制御する、請求項１に記載の集塵装置。
【請求項7】
前記樹脂材料供給モジュールは、樹脂材料又は使用済みの離型フィルムを廃棄する廃棄部をさらに備え、前記インバータは、前記廃棄部に樹脂材料又は使用済みの離型フィルムを廃棄する時に、前記モータを惰性回転させる、又は、前記モータを前記第２回転数に制御する、請求項２に記載の集塵装置。
【請求項8】
複数の前記集塵口と前記送風機とを接続する接続配管と、前記接続配管に設けられ、前記送風機により集塵する前記集塵口を切り替える切り替え機構とを備える、請求項１に記載の集塵装置。
【請求項9】
前記切り替え機構により切り替えられる前記集塵口に対応して前記モータの回転数が設定されている、請求項８に記載の集塵装置。
【請求項10】
前記インバータは、前記モータが惰性回転している状態から前記第１回転数に制御する場合には、前記モータの回転数を検出して、当該検出した回転数に基づいて、前記モータへの通電を再開する、請求項１に記載の集塵装置。
【請求項11】
前記樹脂成形装置は、一対の成形型により成形対象物に対して樹脂材料を圧縮成形するものである、請求項１に記載の集塵装置。
【請求項12】
一対の成形型を有する樹脂成形モジュールと、前記樹脂成形モジュールに樹脂材料を供給する樹脂材料供給モジュールと、
請求項１乃至１１の何れか一項に記載の集塵装置とを備える、樹脂成形装置。
【請求項13】
請求項１２に記載の樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、前記成形型に成形対象物及び樹脂材料を供給する供給工程と、
前記成形対象物に対して樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
樹脂成形された樹脂成形品を前記成形型から搬出する搬出工程とを含む、樹脂成形品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、集塵装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、特許文献１に示すように、樹脂封止装置において生じる塵埃を集塵装置により集塵することが行われている。この樹脂封止装置では、枚葉フィルム及び樹脂を搬送する外枠治具又は内枠治具をクリーニングするクリーナー部を有している。そして、このクリーナー部には、駆動源により回転駆動されるクリーニングブラシやエアーブロー、集塵機構等が設けられており、外枠治具又は内枠治具に付着した樹脂粉塵等を除去している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０２２－６１２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、樹脂成形装置の消費電力量において、集塵装置の消費電力量が占める割合は小さくない。
【0005】
しかしながら、従来の樹脂成形装置における集塵装置の送風機は、集塵箇所又は集塵タイミング等に関わらず一定の回転数で運転されている。
【0006】
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、樹脂成形装置に用いられる集塵装置の消費電力量を低減することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
すなわち本発明に係る集塵装置は、樹脂成形装置に設けられた１又は複数の集塵口から塵埃を集塵する集塵装置であって、モータで駆動される送風機と、前記モータの回転数を制御するインバータとを備え、前記インバータは、前記モータの回転数を第１回転数に制御し、前記第１回転数から回転数を下げる場合に前記モータへの電気的な接続を解除して前記モータを惰性回転させることを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
このように構成した本発明によれば、樹脂成形装置に用いられる集塵装置の消費電力量を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の一実施形態に係る樹脂成形装置の構成を模式的に示す平面図である。
【図2】同実施形態の集塵装置の構成を示す模式図である。
【図3】同実施形態における送風機のモータの制御内容を示す模式図である。
【図4】各モードにおけるモータ回転数及び消費電力量を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
次に、本発明に係る技術について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の技術により限定されない。
【0011】
本発明に係る技術１の集塵装置は、樹脂成形装置に設けられた１又は複数の集塵口から塵埃を集塵する集塵装置であって、モータで駆動される送風機と、前記モータの回転数を制御するインバータとを備え、前記インバータは、前記モータの回転数を第１回転数に制御し、前記第１回転数から回転数を下げる場合に前記モータへの電気的な接続を解除して前記モータを惰性回転させることを特徴とする。
【0012】
この集塵装置であれば、モータの回転数を第１回転数から回転数を下げる場合にモータへの電気的な接続を解除してモータを惰性回転させているので、樹脂成形装置に用いられる集塵装置の消費電力量を低減することができる。また、インバータによって第１回転数から回転数を下げる場合に減速制御する必要がなく、その減速制御において発生する回生エネルギーの処理を軽減又は不要にすることができる。その結果、回生エネルギーを吸収するための抵抗器等の部品を小型化又は不要にすることができる。
【0013】
本発明に係る技術２の集塵装置は、上記の技術１の構成に加えて、前記インバータは、前記第１回転数と、前記第１回転数よりも低い回転数である第２回転数との間で前記モータの回転数を切り替えるものであり、前記第１回転数から前記第２回転数に切り替える場合に前記モータへの電気的な接続を解除して前記モータを惰性回転させることが望ましい。
この構成であれば、高い集塵能力が求められる場合はモータを第１回転数で回転し、高い集塵能力が求められない場合はモータを第２回転数で回転することができる。その結果、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができ、集塵装置の消費電力量を低減することができる。また、第１回転数から第２回転数に切り替える場合に、モータへの電気的な接続を解除してモータを惰性回転させているので、第２回転数に切り替える際の消費電力量を低減することができる。
この構成であれば、高い集塵能力が求められる場合はモータを第１回転数で回転し、高い集塵能力が求められない場合はモータを第２回転数で回転することができる。その結果、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができ、集塵装置の消費電力量を低減することができる。また、第１回転数から第２回転数に切り替える場合に、モータへの電気的な接続を解除してモータを惰性回転させているので、第２回転数に切り替える際の消費電力量を低減することができる。
【0014】
本発明に係る技術３の集塵装置は、上記の技術２の構成に加えて、前記インバータは、前記モータの回転数が惰性回転により前記第２回転数に到達した後に、前記モータを前記第２回転数に制御することが望ましい。
この構成であれば、インバータによって第１回転数から第２回転数に減速制御する必要がなく、その減速制御において発生する回生エネルギーの処理を軽減又は不要にすることができる。その結果、回生エネルギーを吸収するための抵抗器等の部品を小型化又は不要にすることができる。
この構成であれば、インバータによって第１回転数から第２回転数に減速制御する必要がなく、その減速制御において発生する回生エネルギーの処理を軽減又は不要にすることができる。その結果、回生エネルギーを吸収するための抵抗器等の部品を小型化又は不要にすることができる。
【0015】
本発明に係る技術４の集塵装置は、上記の技術１乃至３の何れか１つの構成に加えて、前記樹脂成形装置の樹脂材料供給モジュールに設けられた集塵口から塵埃を集塵するものであることが望ましい。
この構成であれば、樹脂成形装置において塵埃が発生しやすい樹脂材料供給モジュールの塵埃を集塵することができ、本発明の効果を一層顕著にすることができる。
この構成であれば、樹脂成形装置において塵埃が発生しやすい樹脂材料供給モジュールの塵埃を集塵することができ、本発明の効果を一層顕著にすることができる。
【0016】
本発明に係る技術５の集塵装置は、上記の技術４の構成に加えて、前記インバータは、前記モータを前記第１回転数に制御して、前記樹脂材料供給モジュールに設けられた集塵口から塵埃を集塵する第１集塵状態と、前記モータを前記第２回転数に制御して、前記樹脂材料供給モジュールに設けられた集塵口から塵埃を集塵する第２集塵状態とを切り替えることが望ましい。
この構成であれば、樹脂成形装置において塵埃が発生しやすい樹脂材料供給モジュールにおいて、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができ、集塵装置の消費電力量を低減することができる。
この構成であれば、樹脂成形装置において塵埃が発生しやすい樹脂材料供給モジュールにおいて、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができ、集塵装置の消費電力量を低減することができる。
【0017】
本発明に係る技術６の集塵装置は、上記の技術４又は５の構成に加えて、前記樹脂材料供給モジュールは、樹脂材料又は離型フィルムを搬送するための搬送用部材を清掃する清掃ステージ部を有し、前記インバータは、前記清掃ステージ部による前記搬送用部材の清掃時に、前記モータを前記第１回転数に制御することが望ましい。
搬送用部材の清掃時には、多くの塵埃が発生する。この搬送用部材の清掃時に、インバータがモータを第１回転数に制御しているので、高い集塵能力を発揮することができ、塵埃を効率よく集塵することができる。
搬送用部材の清掃時には、多くの塵埃が発生する。この搬送用部材の清掃時に、インバータがモータを第１回転数に制御しているので、高い集塵能力を発揮することができ、塵埃を効率よく集塵することができる。
【0018】
本発明に係る技術７の集塵装置は、上記の技術４乃至６の何れか１つの構成に加えて、前記樹脂材料供給モジュールは、前記搬送用部材を移動させる移動ステージ部と、当該移動ステージ部を清掃するステージ清掃部とを有し、前記インバータは、前記ステージ清掃部による前記移動ステージ部の清掃時に、前記モータを前記第１回転数に制御することが望ましい。
移動ステージ部の清掃時には、多くの塵埃が発生する。この移動ステージ部の清掃時に、インバータがモータを第１回転数に制御しているので、高い集塵能力を発揮することができ、塵埃を効率よく集塵することができる。
移動ステージ部の清掃時には、多くの塵埃が発生する。この移動ステージ部の清掃時に、インバータがモータを第１回転数に制御しているので、高い集塵能力を発揮することができ、塵埃を効率よく集塵することができる。
【0019】
本発明に係る技術８の集塵装置は、上記の技術４乃至７の何れか１つの構成に加えて、前記樹脂材料供給モジュールは、前記搬送用部材に樹脂材料を供給する樹脂材料供給部をさらに備え、前記インバータは、前記樹脂材料供給部による前記搬送用部材への樹脂材料供給時に、前記モータを惰性回転させる、又は、前記モータの回転数を前記第２回転数に制御することが望ましい。
搬送用部材への樹脂材料供給時は、塵埃が発生しにくい又は発生する塵埃が少ない。この樹脂材料供給時に、インバータがモータを惰性回転させる、又は、モータの回転数を第２回転数に制御しているので、集塵装置の消費電力量を低減することができる。
搬送用部材への樹脂材料供給時は、塵埃が発生しにくい又は発生する塵埃が少ない。この樹脂材料供給時に、インバータがモータを惰性回転させる、又は、モータの回転数を第２回転数に制御しているので、集塵装置の消費電力量を低減することができる。
【0020】
本発明に係る技術９の集塵装置は、上記の技術４乃至８の何れか１つの構成に加えて、前記樹脂材料供給モジュールは、樹脂材料又は使用済みの離型フィルムを廃棄する廃棄部をさらに備え、前記インバータは、前記廃棄部に樹脂材料又は使用済みの離型フィルムを廃棄する時に、前記モータを惰性回転させる、又は、前記モータを前記第２回転数に制御することが望ましい。
廃棄部に樹脂材料又は使用済みの離型フィルムを廃棄する時は、塵埃が発生しにくい又は発生する塵埃が少ない。この廃棄時にインバータがモータを惰性回転させる、又は、モータの回転数を第２回転数に制御しているので、集塵装置の消費電力量を低減することができる。
廃棄部に樹脂材料又は使用済みの離型フィルムを廃棄する時は、塵埃が発生しにくい又は発生する塵埃が少ない。この廃棄時にインバータがモータを惰性回転させる、又は、モータの回転数を第２回転数に制御しているので、集塵装置の消費電力量を低減することができる。
【0021】
本発明に係る技術１０の集塵装置は、上記の技術１乃至９の何れか１つの構成に加えて、複数の前記集塵口と前記送風機とを接続する接続配管と、前記接続配管に設けられ、前記送風機により集塵する前記集塵口を切り替える切り替え機構とを備えることが望ましい。
この構成であれば、複数の集塵口に対して共通の送風機を用いることができ、送風機の台数を削減することができる。その結果、集塵装置の消費電力量を低減することができる。
この構成であれば、複数の集塵口に対して共通の送風機を用いることができ、送風機の台数を削減することができる。その結果、集塵装置の消費電力量を低減することができる。
【0022】
本発明に係る技術１１の集塵装置は、前記切り替え機構により切り替えられる前記集塵口に対応して前記モータの回転数が設定されていることが望ましい。
この構成であれば、例えば清掃ステージ部の集塵口やステージ清掃部の集塵口等に切り替えた場合には、モータを第１回転数に制御することができる。また、その他の部分の集塵口に切り替えた場合には、モータを惰性回転させる、又は、モータの回転数を第２回転数に制御することができる。なお、第１回転数及び第２回転数の他に、第３回転数等の他の回転数を設定しても良い。
この構成であれば、例えば清掃ステージ部の集塵口やステージ清掃部の集塵口等に切り替えた場合には、モータを第１回転数に制御することができる。また、その他の部分の集塵口に切り替えた場合には、モータを惰性回転させる、又は、モータの回転数を第２回転数に制御することができる。なお、第１回転数及び第２回転数の他に、第３回転数等の他の回転数を設定しても良い。
【0023】
本発明に係る技術１２の集塵装置は、上記の技術１乃至１１の何れか１つの構成に加えて、前記インバータは、前記モータが惰性回転している状態から前記第１回転数に制御する場合には、前記モータの回転数を検出して、当該検出した回転数に基づいて、前記モータへの通電を再開することが望ましい。
この構成であれば、インバータが惰性回転するモータの回転数を検出するので、別途回転センサを設ける必要がなく、集塵装置の構成を簡単にすることができる。ここで、インバータは、電流検出形速度サーチ機能を有するものであることが考えられる。
この構成であれば、インバータが惰性回転するモータの回転数を検出するので、別途回転センサを設ける必要がなく、集塵装置の構成を簡単にすることができる。ここで、インバータは、電流検出形速度サーチ機能を有するものであることが考えられる。
【0024】
本発明に係る技術１３の集塵装置は、上記の技術１乃至１２の何れか１つの構成に加えて、前記樹脂成形装置は、一対の成形型により成形対象物に対して樹脂材料を圧縮成形するものであることが望ましい。
【0025】
また、本発明に係る技術１４の樹脂成形装置は、一対の成形型を有する樹脂成形モジュールと、前記樹脂成形モジュールに樹脂材料を供給する樹脂材料供給モジュールと、上記の技術１乃至１３の何れか１つの集塵装置とを備えることを特徴とする。
この樹脂成形装置であれば、集塵装置の消費電力量を低減することができるので、樹脂成形装置の消費電力量を低減することができる。また、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができるので、樹脂成形品の品質を向上することができる。
この樹脂成形装置であれば、集塵装置の消費電力量を低減することができるので、樹脂成形装置の消費電力量を低減することができる。また、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができるので、樹脂成形品の品質を向上することができる。
【0026】
さらに、本発明に係る技術１５の樹脂成形品の製造方法は、上記の技術１４の樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、前記成形型に成形対象物及び樹脂材料を供給する供給工程と、前記成形対象物に対して樹脂成形を行う樹脂成形工程と、樹脂成形された樹脂成形品を前記成形型から搬出する搬出工程とを含むことを特徴とする。
この樹脂成形品の製造方法であれば、集塵装置の消費電力量を低減することができるので、樹脂成形品の製造コストを低減することができる。また、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができるので、樹脂成形品の品質を向上することができる。
この樹脂成形品の製造方法であれば、集塵装置の消費電力量を低減することができるので、樹脂成形品の製造コストを低減することができる。また、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができるので、樹脂成形品の品質を向上することができる。
【0027】
＜本発明の一実施形態＞
以下に、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
以下に、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【0028】
＜１．樹脂成形装置１００の基本構成＞
本実施形態の樹脂成形装置１００は、成形対象物である基板Ｗに固定された電子部品（不図示）を、熱硬化性の樹脂材料Ｊを用いた樹脂成形により樹脂封止して樹脂成形品Ｐを製造するものである。
本実施形態の樹脂成形装置１００は、成形対象物である基板Ｗに固定された電子部品（不図示）を、熱硬化性の樹脂材料Ｊを用いた樹脂成形により樹脂封止して樹脂成形品Ｐを製造するものである。
【0029】
ここで、基板Ｗとしては、例えば金属製基板、樹脂製基板、ガラス製基板、セラミックス製基板、回路基板、半導体製基板、リードフレーム、シリコンウエハ、ガラスウエハ等を挙げることができる。また、電子部品としては、例えば半導体チップ、抵抗素子、キャパシタ素子等の電子素子、又はこれら電子素子の少なくとも１つが樹脂封止された形態の電子部品を挙げることができる。さらに、樹脂材料Ｊは、例えば液状樹脂、シート状樹脂、タブレット状樹脂、粉粒体状樹脂（顆粒状樹脂を含む）等を挙げることができる。なお、樹脂材料Ｊは、熱可塑性を有する材料であってもよい。
【0030】
この樹脂成形装置１００は、図１に示すように、基板供給・収納モジュールＡと、樹脂成形モジュールＢと、樹脂材料供給モジュールＣとを、それぞれ構成要素として備える。各構成要素（各モジュールＡ～Ｃ）は、それぞれの構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。
【0031】
基板供給・収納モジュールＡは、成形前基板Ｗを供給する成形前基板供給部１と、成形済基板Ｗ（樹脂成形品Ｐ）を収納する成形済基板収納部２とを有する。
【0032】
樹脂成形モジュールＢは、基板Ｗに対して樹脂材料Ｊを圧縮成形するものである。この樹脂成形モジュールＢは、基板Ｗを保持する成形型である上型３と、キャビティ４Ｃが形成された成形型である下型４と、上型３及び下型４を型締めする型締め機構５とを有する。そして、樹脂成形モジュールＢは、上型３及び下型４を型締めすることにより基板Ｗに固定された電子部品を、樹脂材料Ｊを用いた樹脂成形により樹脂封止する。
【0033】
ここで、基板供給・収納モジュールＡ及び樹脂成形モジュールＢには、成形前基板Ｗ及び樹脂成形品Ｐを搬送する基板搬送機構６が設けられている。
【0034】
この基板搬送機構６は、基板供給・収納モジュールＡ及び樹脂成形モジュールＢに亘って延びるレール（不図示）上を移動するものである。基板搬送機構６は、基板供給・収納モジュールＡ及び樹脂成形モジュールＢにおいて少なくともＸ方向及びＹ方向に移動可能に構成されている。
【0035】
また、基板搬送機構６は、成形前基板Ｗを基板供給・収納モジュールＡから樹脂成形モジュールＢに搬送し、樹脂成形モジュールＢにおいて成形前基板Ｗを成形型３、４に供給する。成形前基板Ｗの樹脂成形後に、基板搬送機構６は、樹脂成形モジュールＢにおいて成形型３、４から樹脂成形品Ｐを受け取って、基板供給・収納モジュールＡに搬送する。
【0036】
樹脂材料供給モジュールＣは、搬送用部材として例えばトレイＴを用い、トレイＴに例えば粉粒体状樹脂を供給する樹脂材料供給部２１を有する。樹脂材料供給部２１は、先端部に粉粒体状樹脂を吐出する樹脂吐出部２１１を有している。なお、樹脂材料供給モジュールＣは、粉粒体状樹脂（顆粒状樹脂を含む）を供給するものの他、液状樹脂、シート状樹脂、タブレット状樹脂などの他の形態の樹脂材料Ｊを供給するものであっても良い。
【0037】
本実施形態のトレイＴは、離型フィルムＦを保持するフィルム保持枠も備えるように構成されてもよい。このため、本実施形態の樹脂材料供給モジュールＣは、離型フィルムＦを切断するフィルム切断部２０を有しており、切断された離型フィルムＦがトレイＴに保持される。なお、樹脂材料供給モジュールＣのその他の構成は後述する。
【0038】
ここで、樹脂材料供給モジュールＣ及び樹脂成形モジュールＢには、トレイＴを搬送する樹脂材料搬送機構７が設けられている。
【0039】
この樹脂材料搬送機構７は、樹脂材料供給モジュールＣ及び樹脂成形モジュールＢに亘って延びるレール（不図示）上を移動するものである。樹脂材料搬送機構７は、樹脂材料供給モジュールＣ及び樹脂成形モジュールＢにおいて少なくともＸ方向及びＹ方向に移動可能に構成されている。
【0040】
また、樹脂材料搬送機構７は、樹脂材料供給モジュールＣにおいて樹脂材料Ｊが供給され離型フィルムＦを保持したトレイＴを、樹脂材料供給モジュールＣから樹脂成形モジュールＢに搬送する。そして、樹脂材料搬送機構７は、樹脂成形モジュールＢにおいて、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｊを成形型３、４に供給する。成形前基板Ｗの樹脂成形後に、樹脂材料搬送機構７は、樹脂成形モジュールＢにおいて成形型３、４から使用済みの離型フィルムＦを回収する。樹脂材料搬送機構７は、樹脂材料供給モジュールＣにある廃棄部２５に使用済みの離型フィルムＦを廃棄することもできる。
【0041】
＜２．樹脂材料供給モジュールＣ及び集塵装置３０の具体的構成＞
次に、本実施形態における樹脂材料供給モジュールＣ及び集塵装置３０の具体的な構成について以下に説明する。
次に、本実施形態における樹脂材料供給モジュールＣ及び集塵装置３０の具体的な構成について以下に説明する。
【0042】
本実施形態の樹脂材料供給モジュールＣは、図１及び図２に示すように、上述した構成の他に、トレイＴを清掃する清掃ステージ部２２と、トレイＴ又は離型フィルムＦを移動させる移動ステージ部２３と、移動ステージ部２３を清掃するステージ清掃部２４と、樹脂材料Ｊ又は使用済みの離型フィルムＦを廃棄する廃棄部２５とを備えている。
【0043】
清掃ステージ部２２は、図１に示すように、トレイＴが載置されるステージ２２ａと、トレイＴを清掃するための例えばブラシ等のトレイ清掃体２２ｂと、トレイ清掃体２２ｂによる清掃により生じた塵埃を集塵するための集塵口２２Ｈとを有している。この集塵口２２Ｈには、集塵装置３０が接続される（図２参照）。
【0044】
移動ステージ部２３は、図１及び図２に示すように、トレイＴ又は離型フィルムＦを移動させるＸＹステージであり、ステージ清掃部２４による清掃により生じた塵埃を集塵するための集塵口２３Ｈを有している。この集塵口２３Ｈには、集塵装置３０が接続される（図２参照）。
【0045】
また、ステージ清掃部２４は、図１に示すように、移動ステージ部２３を清掃するための例えばブラシ等のステージ清掃体２４ａを有しており、ステージ清掃体２４ａによる清掃により生じた塵埃を集塵するための集塵口２４Ｈを有しても良い。この集塵口２４Ｈには、集塵装置３０が接続される（図２参照）。なおステージ清掃部２４は、ステージ清掃体２４ａを有さずに、集塵口２４Ｈにより移動ステージ部２３上の塵埃を集塵する構成であっても良い。
【0046】
廃棄部２５は、図１に示すように、樹脂材料Ｊ又は使用済みの離型フィルムＦを廃棄する廃棄ボックスであり、塵埃を集塵するための集塵口２５Ｈを有している。この集塵口２５Ｈには、集塵装置３０が接続される（図２参照）。
【0047】
【0048】
なお、上記の集塵口２１Ｈ～２５Ｈは、各部２１～２５に設けられる構成のほか、各部２１～２５に対応してそれらの周囲に設けられる構成でも良い。
【0049】
そして、集塵装置３０は、図１及び図２に示すように、樹脂材料供給モジュールＣに設けられた１又は複数の集塵口２１Ｈ～２５Ｈから塵埃を集塵するものである。本実施形態の集塵装置３０は、樹脂材料供給モジュールＣに設けられているが、別のモジュール又は外部に設けられていても良い。
【0050】
具体的に集塵装置３０は、図２に示すように、モータ３１ａで駆動される送風機３１と、モータ３１ａの回転数を制御するインバータ３２とを備えている。
【0051】
送風機３１は、羽根（不図示）と、当該羽根を回転駆動するモータ３１ａとを備えている。本実施形態の送風機３１は、ファン、ブロア又は圧縮機を含む概念である。また、モータ３１ａは、例えば３相誘導電動機である。
【0052】
インバータ３２は、モータ３１ａに出力する交流電圧の周波数を制御してモータ３１ａの回転数を制御するものである。
【0053】
具体的にインバータ３２は、交流電源４０の交流電圧を直流電圧に変換するコンバータ回路３２ａと、コンバータ回路３２ａからの直流電圧を平滑化するコンデンサ３２ｂと、コンデンサ３２ｂにより平滑化された直流電圧を交流電圧に変換するインバータ回路３２ｃと、インバータ回路３２ｃを制御するインバータ制御部３２ｄとを有している。なお、インバータ制御部３２ｄは、後述する制御機器ＣＴＬからの制御指令に基づいてインバータ回路３２ｃを制御する。
【0054】
本実施形態のインバータ回路３２ｃは、直流電圧を３相交流電圧に変換するものであり、複数のスイッチング素子（不図示）を用いて構成されている。また、インバータ制御部３２ｄは、インバータ回路３２ｃの複数のスイッチング素子を制御することにより、所定周波数の交流電圧がモータ３１ａに出力されるようにする。
【0055】
そして、上記の送風機３１は、図２に示すように、複数の集塵口２１Ｈ～２５Ｈに接続された接続配管３３に接続されている。接続配管３３には、送風機３１により集塵する集塵口２１Ｈ～２５Ｈを切り替える切り替え機構３４が設けられている。つまり、切り替え機構３４は、複数の集塵口２１Ｈ～２５Ｈそれぞれに接続された複数の枝管部３３１が接続されるとともに、送風機３１に接続された共通の合流管部３３２が接続されている。そして、切り替え機構３４は、合流管部３３２と連通する複数の枝管部３３１を切り替えることにより、送風機３１により集塵する集塵口２１Ｈ～２５Ｈを切り替える。
【0056】
具体的に切り替え機構３４は、複数の枝管部３３１がそれぞれ接続されるチャンバ３４ａと、チャンバ３４ａに設けられ、複数の枝管部３３１を開閉する例えば電磁弁等の開閉弁３４ｂを有する。また、チャンバ３４ａには、合流管部３３２が接続されている。
【0057】
そして、切り替え機構３４により切り替えられる複数の集塵口２１Ｈ～２５Ｈに対応してモータ３１ａの回転数が設定されている。本実施形態では、複数の集塵口２１Ｈ～２５Ｈに対応して、第１回転数ＲＨ又は当該第１回転数ＲＨよりも低い回転数である第２回転数ＲＬの何れかが設定されている。
【0058】
ここで、第１回転数ＲＨは、高い集塵能力（強集塵モード）で集塵するための回転数であり、例えば９０～１２０ｒｐｍである。また、第２回転数ＲＬは、通常の集塵能力（中集塵モード）で集塵するための回転数であり、例えば５０～６０ｒｐｍである。
【0059】
そして、インバータ３２は、図３に示すように、モータ３１ａの回転数を第１回転数ＲＨに制御し、第１回転数ＲＨから回転数を下げる場合にモータ３１ａへの電気的な接続を解除してモータ３１ａを惰性回転させる。ここで、惰性回転とは、モータ３１ａが回転している状態でインバータ３２からの電力供給を遮断したときにモータ３１ａが惰性で回転することであり、フリーラン又は空転とも呼ばれる。
【0060】
具体的にインバータ３２は、図３に示すように、第１回転数ＲＨと第２回転数ＲＬとの間でモータ３１ａの回転数を切り替える。また、インバータ３２は、第１回転数ＲＨから第２回転数ＲＬに切り替える場合にモータ３１ａへの電気的な接続を解除してモータ３１ａを惰性回転させる。そして、インバータ３２は、モータ３１ａが惰性回転により第２回転数ＲＬに到達した後に、モータ３１ａを第２回転数ＲＬに制御する。
【0061】
また、インバータ３２は、モータ３１ａを第１回転数ＲＨに制御して、樹脂材料供給モジュールＣに設けられた集塵口２１Ｈ～２５Ｈから塵埃を集塵する第１集塵状態（強集塵モード）と、モータ３１ａを第２回転数ＲＬに制御して、樹脂材料供給モジュールＣに設けられた集塵口２１Ｈ～２５Ｈから塵埃を集塵する第２集塵状態（中集塵モード）とを切り替える。
【0062】
具体的にインバータ３２は、清掃ステージ部２２によるトレイＴの清掃時、又は、ステージ清掃部２４による移動ステージ部２３の清掃時に、モータ３１ａを第１回転数ＲＨに制御する。これにより、清掃ステージ部２２の集塵口２２Ｈ、移動ステージ部２３の集塵口２３Ｈ、又は、ステージ清掃部２４の集塵口２４Ｈから塵埃を集塵する第１集塵状態（強集塵モード）となる。
【0063】
一方、インバータ３２は、樹脂材料供給部２１によるトレイＴへの樹脂材料供給時、又は、廃棄部２５に樹脂材料Ｊ又は使用済みの離型フィルムＦを廃棄する時に、モータ３１ａを惰性回転させる、又は、モータ３１ａを惰性回転させた後に第２回転数ＲＬに制御する。これにより、樹脂材料供給部２１の集塵口２１Ｈ、又は、廃棄部２５の集塵口２５Ｈから塵埃を集塵する第２集塵状態（中集塵モード）となる。その他、インバータ３２は、清掃ステージ部２２によるトレイＴの清掃時及びステージ清掃部２４による移動ステージ部２３の清掃時以外は、常時モータ３１ａを第２回転数ＲＬに制御する。
【0064】
＜３－１．惰性回転から第２回転数ＲＬへの制御＞
ここで、モータ３１ａが惰性回転している状態から第２回転数ＲＬに制御する場合について説明する。
ここで、モータ３１ａが惰性回転している状態から第２回転数ＲＬに制御する場合について説明する。
【0065】
インバータ３２は、モータ３１ａが惰性回転している状態から第２回転数ＲＬに制御する場合には、図３の「Ｅ１」時点に示すように、第１回転数ＲＨに制御されているモータ３１ａへの電気的な接続を解除してから所定の惰性時間経過後に、モータ３１ａへの通電を再開して第２回転数ＲＬに制御することが考えられる。ここで、所定の惰性時間は、第１回転数ＲＨで回転しているモータ３１ａに対して電気的な接続を解除した後にモータ３１ａが惰性回転して第２回転数ＲＬに減速するまでの時間を、予め計算又は実験で求めることにより設定することができる。
【0066】
また、インバータ３２は、モータ３１ａが惰性回転している状態から第２回転数ＲＬに制御する場合には、図３の「Ｅ１」時点に示すように、第１回転数ＲＨに制御されているモータ３１ａへの電気的な接続を解除してから所定時間経過後に、速度サーチ機能を用いて、惰性回転しているモータ３１ａの回転数を検出する。そして、インバータ３２は、その検出した回転数に基づいて、モータ３１ａへの通電を再開して第２回転数ＲＬに制御することが考えられる。
【0067】
なお、インバータ３２の速度サーチ機能は、インバータ３２に内蔵された電流検出形速度サーチ機能であり、モータ３１ａへの通電を再開する前に行われる。この電流検出形速度サーチ機能は、モータ３１ａに供給する交流電圧の周波数をスイープしつつ、その際にモータ３１ａに流れる電流を検出し、その検出電流に基づいて、モータ３１ａの回転数を同定（推定）する既知のものである。
【0068】
＜３－２．惰性回転から第１回転数ＲＨへの制御＞
次に、モータ３１ａが惰性回転している状態から第１回転数ＲＨに制御する場合について説明する。
次に、モータ３１ａが惰性回転している状態から第１回転数ＲＨに制御する場合について説明する。
【0069】
インバータ３２は、モータ３１ａが惰性回転している状態から第１回転数ＲＨに制御する場合には、図３の「Ｅ２」時点、「Ｅ３」時点に示すように、モータ３１ａの回転数を検出して、当該検出した回転数に基づいて、モータ３１ａへの通電を再開する。
【0070】
具体的にインバータ３２は、モータ３１ａが惰性回転している状態で第１回転数ＲＨへの制御指令を受け付けると、上記の速度サーチ機能を用いて、惰性回転しているモータ３１ａの回転数を検出する。そして、インバータ３２は、その検出した回転数に基づいて、モータ３１ａへの通電を再開し、モータ３１ａを第１回転数ＲＨに制御する。
【0071】
＜３－３．第２回転数ＲＬから第１回転数ＲＨへの制御＞
なお、インバータ３２は、モータ３１ａを第２回転数ＲＬに制御している状態で第１回転数ＲＨへの制御指令を受け付けた場合には、図３の「Ｅ４」時点、「Ｅ５」時点に示すように、電流検出形速度サーチ機能を用いること無く、モータ３１ａの回転数を徐々に上げていき、第１回転数ＲＨに制御する。
なお、インバータ３２は、モータ３１ａを第２回転数ＲＬに制御している状態で第１回転数ＲＨへの制御指令を受け付けた場合には、図３の「Ｅ４」時点、「Ｅ５」時点に示すように、電流検出形速度サーチ機能を用いること無く、モータ３１ａの回転数を徐々に上げていき、第１回転数ＲＨに制御する。
【0072】
＜４．各モードにおける回転数及び消費電力量＞
次に、３つの運転モードにおける回転数及び消費電力量について図４に基づいて説明する。
次に、３つの運転モードにおける回転数及び消費電力量について図４に基づいて説明する。
【0073】
ここで、１つ目の運転モード（図４（ａ）参照）は、従来の運転モードであり、送風機３１のモータ３１ａを一定の回転数（第１回転数ＲＨ）となるように制御するものである。２つ目の運転モード（図４（ｂ）参照）は、送風機３１のモータ３１ａをインバータ３２により回転制御し、送風機のモータ３１ａを第１回転数ＲＨ（強集塵モード）と第２回転数ＲＬ（中集塵モード）との間で加速制御及び減速制御するものである。３つ目の運転モード（図４（ｃ）参照）は、本実施形態の運転モードであり、送風機３１のモータ３１ａをインバータ３２により回転制御し、送風機３１のモータ３１ａを第１回転数ＲＨ（強集塵モード）から第２回転数ＲＬ（中集塵モード）に切り替える際に惰性回転させるものである。
【0074】
１つ目の運転モードは、集塵位置に依らず一定の電力を消費することになる。２つ目の運転モードは、１つ目の運転モードに比べて、集塵装置３０の消費電力量を削減することができる。これは、樹脂成形装置１００の消費電力量の削減につながる。さらに、３つ目の運転モードは、２つ目の運転モードに比べて、減速時の消費電力量をさらに削減することができ、また、減速時の回生エネルギーを消費するための抵抗器などの部品を小型化又は不要にすることができる。
【0075】
＜５．樹脂成形装置１００の樹脂成形動作＞
次に、樹脂成形装置１００の動作の一例を、図１を参照して説明する。以下に示す動作は、例えば基板供給・収納モジュールＡに設けられた制御機器ＣＴＬが樹脂成形装置１００の各部を制御することにより行われる。なお、制御機器ＣＴＬは、ＣＰＵ、内部メモリ、入出力インターフェース、ＡＤ変換器等を有する専用又は汎用のコンピュータである。
次に、樹脂成形装置１００の動作の一例を、図１を参照して説明する。以下に示す動作は、例えば基板供給・収納モジュールＡに設けられた制御機器ＣＴＬが樹脂成形装置１００の各部を制御することにより行われる。なお、制御機器ＣＴＬは、ＣＰＵ、内部メモリ、入出力インターフェース、ＡＤ変換器等を有する専用又は汎用のコンピュータである。
【0076】
（１）成形前基板供給工程
基板供給・収納モジュールＡにおいて、基板搬送機構６は、成形前基板供給部１から成形前基板Ｗを受け取り、樹脂成形モジュールＢに搬送する。そして、型開きされた上型３に成形前基板Ｗを受け渡す。その後、基板搬送機構６は、所定の待機位置に戻る。
基板供給・収納モジュールＡにおいて、基板搬送機構６は、成形前基板供給部１から成形前基板Ｗを受け取り、樹脂成形モジュールＢに搬送する。そして、型開きされた上型３に成形前基板Ｗを受け渡す。その後、基板搬送機構６は、所定の待機位置に戻る。
【0077】
（２）樹脂材料供給工程
樹脂材料供給モジュールＣにおいて、樹脂材料供給部２１がトレイＴに保持された離型フィルムＦ上に樹脂材料Ｊを供給する。このとき、インバータ３２はモータ３１ａを第２回転数ＲＬに制御して中集塵モードとしている。また、切り替え機構３４は、樹脂材料供給部２１の集塵口２１Ｈから塵埃が集塵されるように切り替えている。
樹脂材料供給モジュールＣにおいて、樹脂材料供給部２１がトレイＴに保持された離型フィルムＦ上に樹脂材料Ｊを供給する。このとき、インバータ３２はモータ３１ａを第２回転数ＲＬに制御して中集塵モードとしている。また、切り替え機構３４は、樹脂材料供給部２１の集塵口２１Ｈから塵埃が集塵されるように切り替えている。
【0078】
その後、樹脂材料搬送機構７は、トレイＴを樹脂成形モジュールＢに搬送して、型開きされた下型４のキャビティ４Ｃに離型フィルムＦとともに樹脂材料Ｊを供給する。そして、樹脂材料搬送機構７は、所定の待機位置に戻る。
【0079】
ここで、樹脂材料搬送機構７は、樹脂材料Ｊを供給した後のトレイＴを清掃ステージ部２２に搬送して、清掃ステージ部２２によりトレイＴが清掃される。このとき、インバータ３２はモータ３１ａを第１回転数ＲＨに制御して強集塵モードする。また、切り替え機構３４は、清掃ステージ部２２の集塵口２２Ｈから塵埃が集塵されるように切り替える。この集塵口２２Ｈによる集塵は、清掃ステージ部２２による清掃が開始される前又はその開始と同時に開始される。また、清掃ステージ部２２による清掃が終了すると、インバータ３２はモータ３１ａへの電気的な接続を解除してモータ３１ａを惰性回転させて中集塵モードに移行する。
【0080】
また、移動ステージ部２３は、トレイＴ又は離型フィルムＦを移動させた後に、ステージ清掃部２４により清掃される。このとき、インバータ３２はモータ３１ａを第１回転数ＲＨに制御して強集塵モードする。また、切り替え機構３４は、移動ステージ部２３の集塵口２３Ｈ又はステージ清掃部２４の集塵口２４Ｈから塵埃が集塵されるように切り替える。なお、この集塵口２３Ｈ又は集塵口２４Ｈによる集塵は、ステージ清掃部２４による清掃が開始される前又はその開始と同時に開始される。また、ステージ清掃部２４による清掃が終了すると、インバータ３２はモータ３１ａへの電気的な接続を解除してモータ３１ａを惰性回転させて中集塵モードに移行する。
【0081】
（３）樹脂成形工程
上記の工程の後、樹脂成形モジュールＢにおいて、型締め機構５により上型３及び下型４は所定の型締め圧により型締めされ、加熱される。所定時間が経過した後、型締め機構５により下型４を下降させて、上型３及び下型４が型開きされる。
上記の工程の後、樹脂成形モジュールＢにおいて、型締め機構５により上型３及び下型４は所定の型締め圧により型締めされ、加熱される。所定時間が経過した後、型締め機構５により下型４を下降させて、上型３及び下型４が型開きされる。
【0082】
（４）成形済基板搬出工程
成形済基板搬出工程において、基板搬送機構６を移動させて、型開きされた上型３から樹脂成形品Ｐを受け取る。そして、樹脂成形品Ｐを受け取った基板搬送機構６を、基板供給・収納モジュールＡに移動させ、樹脂成形品Ｐを基板搬送機構６から成形済基板収納部２に受け渡して収納する。
成形済基板搬出工程において、基板搬送機構６を移動させて、型開きされた上型３から樹脂成形品Ｐを受け取る。そして、樹脂成形品Ｐを受け取った基板搬送機構６を、基板供給・収納モジュールＡに移動させ、樹脂成形品Ｐを基板搬送機構６から成形済基板収納部２に受け渡して収納する。
【0083】
（５）使用済み離型フィルム回収工程
使用済み離型フィルム回収工程において、樹脂材料搬送機構７を移動させて、型開きされた下型４から使用済みの離型フィルムＦを回収する。そして、使用済みの離型フィルムＦを回収した樹脂材料搬送機構７を、樹脂材料供給モジュールＣに移動させ、使用済みの離型フィルムＦを廃棄部２５に廃棄する。このとき、インバータ３２はモータ３１ａを第２回転数ＲＬに制御して中集塵モードとしている。また、切り替え機構３４は、廃棄部２５の集塵口２５Ｈから塵埃が集塵されるように切り替えている。
使用済み離型フィルム回収工程において、樹脂材料搬送機構７を移動させて、型開きされた下型４から使用済みの離型フィルムＦを回収する。そして、使用済みの離型フィルムＦを回収した樹脂材料搬送機構７を、樹脂材料供給モジュールＣに移動させ、使用済みの離型フィルムＦを廃棄部２５に廃棄する。このとき、インバータ３２はモータ３１ａを第２回転数ＲＬに制御して中集塵モードとしている。また、切り替え機構３４は、廃棄部２５の集塵口２５Ｈから塵埃が集塵されるように切り替えている。
【0084】
＜６．本実施形態の効果＞
本実施形態の樹脂成形装置１００によれば、モータ３１ａの回転数を第１回転数ＲＨに制御し、第１回転数ＲＨから回転数を下げる場合にモータ３１ａへの電気的な接続を解除してモータ３１ａを惰性回転させているので、樹脂成形装置１００に用いられる集塵装置３０の消費電力量を低減することができる。高い集塵能力が求められる場合はモータ３１ａを第１回転数ＲＨで回転し、高い集塵能力が求められない場合はモータ３１ａを第２回転数ＲＬで回転することができる。その結果、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができ、消費電力量を低減することができる。また、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができるので、樹脂成形品Ｐの品質を向上することができる。
本実施形態の樹脂成形装置１００によれば、モータ３１ａの回転数を第１回転数ＲＨに制御し、第１回転数ＲＨから回転数を下げる場合にモータ３１ａへの電気的な接続を解除してモータ３１ａを惰性回転させているので、樹脂成形装置１００に用いられる集塵装置３０の消費電力量を低減することができる。高い集塵能力が求められる場合はモータ３１ａを第１回転数ＲＨで回転し、高い集塵能力が求められない場合はモータ３１ａを第２回転数ＲＬで回転することができる。その結果、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができ、消費電力量を低減することができる。また、集塵箇所又は集塵タイミング等に応じて適切な集塵を行うことができるので、樹脂成形品Ｐの品質を向上することができる。
【0085】
＜７．その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【0086】
例えば、集塵装置３０は樹脂材料供給モジュールＣに加えて又は樹脂材料供給モジュールＣに代えて、その他のモジュール（例えば樹脂成形モジュールＢ）の集塵を行うものであっても良い。この場合には、集塵対象のモジュールに集塵口を設けて、当該集塵口に集塵装置３０を接続する構成となる。
【0087】
前記実施形態では、第１回転数ＲＨ及び第２回転数ＲＬの２段階で切り替える構成であったが、その他の回転数を加えて３段階以上で切り替える構成としても良い。
【0088】
惰性回転しているモータ３１ａの回転数の検出方法は、インバータ３２の速度サーチ機能の他に、モータ３１ａ等に回転センサを設けてモータ３１ａの回転数を検出しても良い。
【0089】
前記実施形態のトレイＴは、フィルム保持枠を用いて構成されており、離型フィルムＦを保持する構成であったが、離型フィルムＦを保持しない構成であっても良い。この場合、トレイＴは、樹脂材料Ｊを収容する有底の収容部を有する構成となる。
【0090】
その上、キャビティ４Ｃに樹脂材料Ｊを供給する構成は、樹脂材料供給部２１を下型４に移動させて、下型４のキャビティ４Ｃに樹脂材料Ｊを供給する構成であっても良いし、その他の形式のコンプレッションモールド（圧縮成形）を行う構成であっても良い。また、樹脂成形装置１００は、下型４に設けられたポットに樹脂材料Ｊを収容し、当該樹脂材料Ｊをプランジャで押し出すトランスファー成形を行うものであっても良い。
【0091】
前記実施形態においては、基板供給・収納モジュールＡと樹脂材料供給モジュールＣとの間に、１つの樹脂成形モジュールＢを接続した構成であるが、２つ以上の樹脂成形モジュールＢを接続した構成としても良い。また、基板供給・収納モジュールＡと樹脂材料供給モジュールＣとを１つのモジュールにして、そのモジュールに樹脂成形モジュールＢを接続した構成としても良い。また、樹脂材料供給モジュールＣからフィルム切断モジュールを分離させてモジュール化しても良い。さらに、樹脂成形装置は、前記実施形態のように各モジュールにモジュール化されていなくても良い。
【0092】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【0093】
１００・・・樹脂成形装置
Ｂ・・・樹脂成形モジュール
Ｃ・・・樹脂材料供給モジュール
Ｗ・・・成形対象物
Ｐ・・・樹脂成形品
Ｆ・・・離型フィルム
Ｔ・・・トレイ
３、４・・・成形型
２１・・・樹脂材料供給部
２２・・・清掃ステージ部
２３・・・移動ステージ部
２４・・・ステージ清掃部
２５・・・廃棄部
２１Ｈ～２５Ｈ・・・集塵口
３０・・・集塵装置
３１・・・送風機
３１ａ・・・モータ
ＲＨ・・・第１回転数
ＲＬ・・・第２回転数
３２・・・インバータ
３３・・・接続配管
３４・・・切り替え機構
Ｂ・・・樹脂成形モジュール
Ｃ・・・樹脂材料供給モジュール
Ｗ・・・成形対象物
Ｐ・・・樹脂成形品
Ｆ・・・離型フィルム
Ｔ・・・トレイ
３、４・・・成形型
２１・・・樹脂材料供給部
２２・・・清掃ステージ部
２３・・・移動ステージ部
２４・・・ステージ清掃部
２５・・・廃棄部
２１Ｈ～２５Ｈ・・・集塵口
３０・・・集塵装置
３１・・・送風機
３１ａ・・・モータ
ＲＨ・・・第１回転数
ＲＬ・・・第２回転数
３２・・・インバータ
３３・・・接続配管
３４・・・切り替え機構
【要約】
【課題】樹脂成形装置に用いられる集塵装置の消費電力量を低減する。
【解決手段】樹脂成形装置１００に設けられた１又は複数の集塵口２１Ｈ～２５Ｈから塵埃を集塵する集塵装置３０であって、モータ３１ａで駆動される送風機３１と、モータ３１ａの回転数を制御するインバータ３２とを備え、インバータ３２は、モータ３１ａの回転数を第１回転数ＲＨに制御し、第１回転数ＲＨから回転数を下げる場合にモータ３１ａへの電気的な接続を解除してモータ３１ａを惰性回転させる。
【選択図】図３
【解決手段】樹脂成形装置１００に設けられた１又は複数の集塵口２１Ｈ～２５Ｈから塵埃を集塵する集塵装置３０であって、モータ３１ａで駆動される送風機３１と、モータ３１ａの回転数を制御するインバータ３２とを備え、インバータ３２は、モータ３１ａの回転数を第１回転数ＲＨに制御し、第１回転数ＲＨから回転数を下げる場合にモータ３１ａへの電気的な接続を解除してモータ３１ａを惰性回転させる。
【選択図】図３
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
