【図1】
直列に実装された第1の金属酸化物バリスタ(MOV)素子、ガス放電管(GDT)素子および第2のMOV素子の組み合わせを有するデバイスの側断面図である。
【図2】
図1の例と同様の電気的機能を提供することができるが、構造および/または製造方法を大幅に簡略化することができるGDT/MOVデバイスを示す図である。
【図3】
いくつかの実施形態において、GDT/MOVデバイスは、図2の例と同様に対向する面を有する密閉チャンバを含むことができることを示す図である。
【図4】
図2のGDT/MOVデバイスのより詳細な例を示す図である。
【図5A】
図4のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図5B】
図4のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図5C】
図4のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図5D】
図4のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図5E】
図4のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図5F】
図4のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図5G】
図4のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図6】
図2のGDT/MOVデバイスの別のより詳細な例を示す図である。
【図7A】
図6のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図7B】
図6のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図7C】
図6のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図7D】
図6のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図7E】
図6のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図7F】
図6のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図7G】
図6のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図7H】
図6のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図7I】
図6のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図8】
図2のGDT/MOVデバイスのさらに別のより詳細な例を示す図である。
【図9A】
図8のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図9B】
図8のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図9C】
図8のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図9D】
図8のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図9E】
図8のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図9F】
図8のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図9G】
図8のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図9H】
図8のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図9I】
図8のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図10】
図2のGDT/MOVデバイスのさらに別のより詳細な例を示す図である。
【図11A】
図10のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図11B】
図10のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図11C】
図10のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図11D】
図10のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図11E】
図10のGDT/MOVデバイスを製造するために実施され得る例示的なプロセスを示す図である。
【図12A】
図4のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図12B】
図4のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図12C】
図4のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図12D】
図4のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図12E】
図4のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図12F】
図4のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図12G】
図4のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図12H】
図4のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13A】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13B】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13C】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13D】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13E】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13F】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13G】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13H】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13I】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図13J】
図6のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図14A】
図8のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図14B】
図8のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図14C】
図8のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図14D】
図8のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図14E】
図8のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図14F】
図8のGDT/MOVデバイスと同様のGDT/MOVデバイスをアレイ形式で製造することができる製造プロセスの様々な段階を示す図である。
【図15】
いくつかの実施形態において、GDT/MOVデバイスは、第1の金属酸化物層と、第2の金属酸化物層と、第1の金属酸化物層と第2の金属酸化物層との間に実装された複数のGDTチャンバとを含むことができることを示す図である。
【図16】
いくつかの実施形態において、GDT/MOVデバイスは、互いにガス連通状態にある2つのGDTチャンバを含むことができることを示す図である。
【図17】
いくつかの実施形態において、GDT/MOVデバイスは、一方の面の複数の内部電極と他方の面の複数の内部電極とによって促進されるGDTチャンバを含むことができることを示す図である。
【図18】
いくつかの実施形態において、外部電極機能が複数の電極によって提供され得ることを示す図である。
【図19】
いくつかの実施形態において、GDT/MOVデバイスは、GDTチャンバと、GDTチャンバに関連付けられた3つのMOV要素とを含むことができることを示す図である。
【図20】
いくつかの実施形態において、2つのGDT/MOVデバイスが一体的に直列に実装され得ることを示す図である。
【図21】
いくつかの実施形態において、本明細書に記載されているような1つ以上の特徴を有するGDT/MOVデバイスが、温度ヒューズと直列に配置され得ることを示す図である。
【図22】
いくつかの実施形態において、本明細書に記載されているような1つ以上の特徴を有するGDT/MOVデバイスが、サーマルスイッチと直列に配置され得ることを示す図である。