(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-11-28
(45)【発行日】2023-12-06
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
H02K 33/04 20060101AFI20231129BHJP
H02K 33/06 20060101ALI20231129BHJP
B06B 1/04 20060101ALI20231129BHJP
【ＦＩ】
H02K33/04 A
H02K33/06
B06B1/04 S
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2020066492
(22)【出願日】2020-04-02
(65)【公開番号】P2021164353
(43)【公開日】2021-10-11
【審査請求日】2023-03-10
(73)【特許権者】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100125690
【弁理士】
【氏名又は名称】小平 晋
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(72)【発明者】
【氏名】武居 勇一
【審査官】島倉 理
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１９－１８０１４８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１９６２１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－４６７３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－７９３９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開平６－８８１８８（ＪＰ，Ｕ）
【文献】米国特許出願公開第２０１９／０２０７４９８（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０２Ｋ ３３／０４
Ｈ０２Ｋ ３３／０６
Ｂ０６Ｂ １／０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
可動体および支持体と、前記可動体と前記支持体を接続する接続体と、
前記可動体および前記支持体のうちの一方側部材に設けられたコイル、および前記コイルに対して前記可動体の振動方向と交差する方向で対向して前記可動体および前記支持体のうちの他方側部材に設けられた磁石を備える磁気駆動機構と、
前記コイルに給電する給電基板と、を有し、
前記一方側部材は、コイル配置穴が設けられた板部、および、前記板部の端部に配置される基板保持部を備えたコイルホルダを有し、
前記板部は、前記コイル配置穴から前記基板保持部まで延びるコイル線配置溝を備え、
前記コイルから引き出されたコイル線は、前記コイル線配置溝に配置される第１部分と、前記給電基板に設けられたランドに半田付けされる第２部分と、前記第１部分と前記第２部分とを接続する第３部分と、を備え、
前記コイル線配置溝には、前記第１部分を保持する第１接着剤が配置され、
前記給電基板には、前記第３部分を保持する第２接着剤が配置され、
前記第２接着剤は、前記第１接着剤とは異なることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項2】
前記第２接着剤は、前記第１接着剤よりも柔らかいことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記第３部分は、たわんだ形状に引き回されていることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記コイル線配置溝は、前記基板保持部側へ前記第１接着剤が流れることを規制する規制部を備えることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記規制部は、前記コイル線配置溝の底部から突出する壁部であることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記コイルは空芯コイルであり、前記コイル線配置溝は、
前記空芯コイルの厚さ方向の一方端から引き出されたコイル線が配置される第１溝と、
前記空芯コイルの厚さ方向の他方端から引き出されたコイル線が配置される第２溝と、を備え、
前記規制部は、前記第１溝および前記第２溝のそれぞれに設けられており、
前記第１溝の深さは、前記第２溝の深さより深いことを特徴とする請求項４または５に記載のアクチュエータ。
【請求項7】
前記第１接着剤は、熱硬化性接着剤であり、前記第２接着剤は、ＵＶ硬化性接着剤であることを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、情報を振動によって報知するデバイスとして、磁石を備えた可動体と、磁石と対向するコイルを備えた支持体とを有するアクチュエータが記載される。特許文献１では、支持体はコイルホルダを備えており、コイルは、コイルホルダの板部を貫通するコイル配置穴に配置される。コイルホルダの端部には給電基板が保持される。コイルから引き出されたコイル線は、コイルホルダの板部に形成された溝（ガイド溝）に沿って給電基板まで引き出され、給電基板に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１９－１８０１４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１では、上記のように、コイルホルダの穴に配置したコイルからコイルホルダの端部までコイル線を引き出して、コイルホルダの側面に配置された給電基板に接続する構造が採用されている。コイルホルダ、コイル、給電基板は、それぞれ材質が異なるので、温度変化による線膨張係数が異なる。従って、給電基板およびコイルがコイルホルダに対して位置ずれしないように接着剤で固定されていると、温度変化によって寸法変化した場合にコイル線が引っ張られて断線するおそれがある。
【0005】
コイル線の断線を防止するために、コイル線にたわみを持たせる構造が提案されている。しかしながら、上記の構造では、コイル線が配置される溝に、コイルホルダにコイルを固定するための接着剤が流れ込む。接着剤が溝から給電基板の側に流れ出すと、コイルホルダから給電基板へたわみを持たせて引き回されているコイル線が接着剤により固定される。コイル線にたわみを持たせてあっても、たわみの部分が固定されてしまうと、寸法変化に起因する応力を緩和できず、コイル線が断線するおそれがある。
【0006】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、コイルホルダの外部へ引き出されて給電基板に接続されるコイル線の断線を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、可動体および支持体と、前記可動体と前記支持体を接続する接続体と、前記可動体および前記支持体のうちの一方側部材に設けられたコイル、および前記コイルに対して前記可動体の振動方向と交差する方向で対向して前記可動体および前記支持体のうちの他方側部材に設けられた磁石を備える磁気駆動機構と、前記コイルに給電する給電基板と、を有し、前記一方側部材は、コイル配置穴が設けられた板部、および、前記板部の端部に配置される基板保持部を備えたコイルホルダを有し、前記板部は、前記コイル配置穴から前記基板保持部まで延びるコイル線配置溝を備え、前記コイルから引き出されたコイル線は、前記コイル線配置溝に配置される第１部分と、前記給電基板に設けられたランドに半田付けされる第２部分と、前記第１部分と前記第２部分とを接続する第３部分と、を備え、前記コイル線配置溝には、前記第１部分を保持する第１接着剤が配置され、前記給電基板には、前記第３部分を保持する第２接着剤が配置され、前記第２接着剤は、前記第１接着剤とは異なることを特徴とする。
【0008】
本発明では、コイルホルダの板部に設けられたコイル配置穴に配置されたコイルから引き出されたコイル線は、板部に設けられたコイル線配置溝において第１接着剤に保持される第１部分と、給電基板上のランドに半田付けされる第２部分を備えており、第１部分と第２部分とを接続する第３部分は、給電基板に配置された第２接着剤に保持される。このように、コイル固定用の第１接着剤と、給電基板にコイル線を固定する第２接着剤を使い分けることにより、コイル固定用の第１接着剤が意図しない範囲まで拡がることを防止あるいは抑制できる。従って、意図しない範囲まで拡がった第１接着剤によってコイル線に加わる応力を緩和できなくなるおそれを少なくすることができる。
【0009】
本発明において、前記第２接着剤は、前記第１接着剤よりも柔らかいことが好ましい。このようにすると、コイルホルダから給電基板へ引き回したコイル線の第３部分が柔らかい第２接着剤で保持される。従って、第３部分が変形しやすいので、コイル線に加わる応力を緩和できる。
【0010】
本発明において、前記第３部分は、たわんだ形状に引き回されていることが好ましい。このようにすると、第３部分が変形しやすい。従って、コイル線に加わる応力を緩和できる。
【0011】
本発明において、前記コイル線配置溝は、前記基板保持部側へ前記第１接着剤が流れることを規制する規制部を備えることが好ましい。このようにすると、コイル固定用の第１接着剤がコイル線配置溝からはみ出して給電基板に付着することを防止できる。従って、第１接着剤が意図しない範囲まで拡がることを防止できる。
【0012】
本発明において、前記規制部は、前記コイル線配置溝の底部から突出する壁部であることが好ましい。このようにすると、第１接着剤が壁部の位置で止まるため、コイル固定用の第１接着剤がコイル線配置溝からはみ出して給電基板に付着することを防止できる。
【0013】
本発明において、前記コイルは空芯コイルであり、前記コイル線配置溝は、前記空芯コイルの厚さ方向の一方端から引き出されたコイル線が配置される第１溝と、前記空芯コイルの厚さ方向の他方端から引き出されたコイル線が配置される第２溝と、を備え、前記規制部は、前記第１溝および前記第２溝のそれぞれに設けられており、前記第１溝の深さは、前記第２溝の深さよりも深いことが好ましい。このようにすると、第１溝と第２溝の深さを、巻き始め側のコイル線と巻き終わり側のコイル線の位置に合わせた深さにすることができる。従って、コイル線配置溝の底部にコイル線を配置しやすい。
【0014】
本発明において、前記第１接着剤は、熱硬化性接着剤であり、前記第２接着剤は、ＵＶ硬化性接着剤であることが好ましい。このようにすると、第２接着剤の硬化時間を短くすることができる。また、コイルの固定強度を高めることができる。
【発明の効果】
【0015】
本発明では、コイルホルダの板部に設けられたコイル配置穴に配置されたコイルから引き出されたコイル線は、板部に設けられたコイル線配置溝において第１接着剤に保持される第１部分と、給電基板上のランドに半田付けされる第２部分を備えており、第１部分と第２部分とを接続する第３部分は、給電基板上の第２接着剤に保持される。このように、コイル固定用の第１接着剤と、給電基板にコイル線を固定する第２接着剤を使い分けることにより、コイル固定用の第１接着剤が意図しない範囲まで拡がることを防止あるいは抑制できる。従って、意図しない範囲まで拡がった第１接着剤によってコイル線に加わる応力を緩和できなくなるおそれを少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明を適用したアクチュエータの斜視図である。
【図4】ケースを取り外したアクチュエータの斜視図である。
【図5】ケースを取り外した支持体の斜視図である。
【図6】コイルホルダおよび第１プレートとコイルの分解斜視図である。
【図7】コイルホルダのコイル配置穴にコイルを配置した状態を示す斜視図である。
【図8】給電基板を基板保持部に途中位置まで挿入した状態を示す斜視図である。
【図9】給電基板にコイル線を接続した状態を示す部分拡大斜視図である。
【図10】給電基板を保持位置まで挿入してコイル線にたわみ部形成した状態を示す部分拡大斜視図である。
【図11】コイル線の位置でアクチュエータを切断した部分断面図である。
【図12】変形例のコイル線配置溝の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明において、可動体６の振動方向である第２方向にＸを付し、第２方向Ｘと交差する第１方向にＺを付し、第１方向Ｚおよび第２方向Ｘに対して交差する第３方向にＹを付して説明する。なお、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付して説明する。また、以下の説明では、コイルを保持する一方側部材が支持体２であって、磁石を保持する他方側部材が可動体６である場合を中心に説明する。
【0018】
（全体構成）
図１は、本発明を適用したアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＹＺ断面図であり、図１のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、ケース３を取り外したアクチュエータの斜視図である。図５は、ケース３を取り外した支持体２の斜視図である。図６は、コイルホルダ４および第１プレート４７とコイル５の分解斜視図である。
図１は、本発明を適用したアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＹＺ断面図であり、図１のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、ケース３を取り外したアクチュエータの斜視図である。図５は、ケース３を取り外した支持体２の斜視図である。図６は、コイルホルダ４および第１プレート４７とコイル５の分解斜視図である。
【0019】
図１に示すアクチュエータ１は、第３方向Ｙに長手方向を向けた直方体形状であり、アクチュエータ１を手にした利用者に対して第２方向Ｘの振動によって情報を報知する。従って、アクチュエータ１は、ゲーム機の操作部材等として利用することができ、振動等によって新たな感覚を実感することができる。
【0020】
アクチュエータ１は、アクチュエータ１の外形を規定する角形のケース３等を含む支持体２と、ケース３の内部で支持体２に対して第２方向Ｘに移動可能に支持された可動体６を備える。また、アクチュエータ１は、可動体６を第２方向Ｘに振動させる磁気駆動機構１ａ（図２参照）と、可動体６と支持体２とを接続する接続体９１、９２を備える。
【0021】
支持体２は、ケース３、コイルホルダ４、コイル５、給電基板１０を有しており、可動体６は、磁石７（第１磁石７１および第２磁石７２）、およびヨーク８（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を有する。コイル５および磁石７（第１磁石７１および第２磁石７２）によって磁気駆動機構１ａが構成される。可動体６は、可動体６と支持体２との間に配置される接続体９１、９２を介して支持体２に支持される。接続体９１、９２は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える。
【0022】
（可動体）
図２、図３、図４に示すように、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置された磁性板からなる第１ヨーク８１と、コイル５に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向するように第１ヨーク８１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に保持された平板状の第１磁石７１とを有している。また、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された磁性板からなる第２ヨーク８２と、コイル５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向するように第２ヨーク８２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に保持された平板状の第２磁石７２とを有している。第１磁石７１および第２磁石７２は各々、第１方向の一方側Ｘ１と第１方向の他方側Ｘ２とが異なる極に着磁されている。
図２、図３、図４に示すように、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置された磁性板からなる第１ヨーク８１と、コイル５に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向するように第１ヨーク８１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に保持された平板状の第１磁石７１とを有している。また、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された磁性板からなる第２ヨーク８２と、コイル５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向するように第２ヨーク８２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に保持された平板状の第２磁石７２とを有している。第１磁石７１および第２磁石７２は各々、第１方向の一方側Ｘ１と第１方向の他方側Ｘ２とが異なる極に着磁されている。
【0023】
図３に示すように、第１ヨーク８１は、第１磁石７１が固定された平板部８１１と、平板部８１１の第２方向Ｘの両側の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった一対の連結部８１２とを有している。第２ヨーク８２は、第２磁石７２が固定された平板部８２１を有しており、平板部８２１の第３方向Ｙの中間部分には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に張り出した一対の張り出し部８２２を有している。図４に示すように、一対の張り出し部８２２には、第１ヨーク８１の一対の連結部８１２が溶接等の方法で連結される。
【0024】
（支持体）
図１、図２および図３に示すように、支持体２において、ケース３は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１ケース部材３１と、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第１ケース部材３１と重なる第２ケース部材３２とを有する。第１ケース部材３１の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３１１に、第２ケース部材３２の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３２１が被さってケース３を構成する。その際、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２との間には、コイルホルダ４、コイル５および可動体６が収容される。本形態において、ケース３は、第３方向Ｙの両端が開口部になっている。
図１、図２および図３に示すように、支持体２において、ケース３は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１ケース部材３１と、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第１ケース部材３１と重なる第２ケース部材３２とを有する。第１ケース部材３１の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３１１に、第２ケース部材３２の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３２１が被さってケース３を構成する。その際、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２との間には、コイルホルダ４、コイル５および可動体６が収容される。本形態において、ケース３は、第３方向Ｙの両端が開口部になっている。
【0025】
図３、図６に示すように、コイル５は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルであり、コイルホルダ４に保持されている。コイル５は、第２方向Ｘで並列して第３方向Ｙに延在する２つの長辺部５１と、２つの長辺部５１の第３方向Ｙの両端を繋ぐ円弧状の２つの短辺部５２とを備えている。このように構成したコイル５に対して、長辺部５１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１で第１磁石７１が対向し、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第２磁石７２が対向している。
【0026】
図３、図６に示すように、コイルホルダ４は、コイル５が内側に配置される長円状の貫通穴からなるコイル配置穴４１０が第１方向Ｚで開口する板部４１を有している。板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１において、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて側板部４１３が突出し、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１４、４１５が突出している。側板部４１４、４１５の内面には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部からなる保持部４１４ｓ、４１５ｓが形成されている。保持部４１４ｓ、４１５ｓは、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１および他方側Ｚ２にそれぞれ形成されている。
【0027】
板部４１の第３方向Ｙの他方側Ｙ２の端部４１２において、第３方向Ｙの他方側Ｙ２の縁、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１７、４１８、４１９が突出している。側板部４１８、４１９の内面には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部からなる保持部４１８ｓ、４１９ｓが形成されている。保持部４１８ｓ、４１９ｓは、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１および他方側Ｚ２にそれぞれ形成されている。
【0028】
（第１プレートおよび第２プレート）
支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なる第１プレート４７を有している。図２に示すように、コイル５の空芯部５０に充填された第１接着剤１７が硬化した接着剤層９によって、コイル５が第１プレート４７および板部４１に固定されている。従って、コイル５は、第１プレート４７を介して第１磁石７１と第１方向Ｚで対向している。
支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なる第１プレート４７を有している。図２に示すように、コイル５の空芯部５０に充填された第１接着剤１７が硬化した接着剤層９によって、コイル５が第１プレート４７および板部４１に固定されている。従って、コイル５は、第１プレート４７を介して第１磁石７１と第１方向Ｚで対向している。
【0029】
また、支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２プレート４８を有している。図２に示すように、コイル５の空芯部５０に充填された第１接着剤１７が硬化した接着剤層９によって、コイル５が第２プレート４８に固定されている。従って、コイル５は、第２プレート４８を介して第２磁石７２と第１方向Ｚで対向している。
【0030】
第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性材料からなる。本形態において、第１プレート４７および第２プレート４８は、金属板からなる。より具体的には、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性のステンレンス板からなる。従って、第１磁石７１からの磁束、および第２磁石７２の磁束は、第１プレート４７および第２プレート４８の影響を受けずに、コイル５と鎖交する。また、コイル５で発生した熱を第１プレート４７および第２プレート４８を介して効率よく逃がすことができる。
【0031】
図３に示すように、第１プレート４７は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に斜めに突出した爪状の凸部４７２を有しており、凸部４７２は、コイルホルダ４の側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部からなる保持部４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持される。同様に、第２プレート４８は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に斜めに突出した爪状の凸部４８２を有しており、凸部４８２は、コイルホルダ４の保持部４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。
【0032】
（接続体）
図２、図３、図４に示すように、可動体６は、可動体６と支持体２との間に設けられた接続体９１、９２によって第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持される。本形態において、接続体９１は、第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に配置される。接続体９２は、第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に配置される。接続体９１は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所に配置される。接続体９２は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所に配置される。
図２、図３、図４に示すように、可動体６は、可動体６と支持体２との間に設けられた接続体９１、９２によって第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持される。本形態において、接続体９１は、第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に配置される。接続体９２は、第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に配置される。接続体９１は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所に配置される。接続体９２は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所に配置される。
【0033】
接続体９１、９２は粘弾性部材である。より具体的には、接続体９１、９２（粘弾性部材）は、シリコーンゲル等からなるゲル状部材である。本形態において、接続体９１、９２は、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。接続体９１、９２と第１ヨーク８１や第２ヨーク８２との固定、および接続体９１、９２とコイルホルダ４との固定は、接着剤、粘着剤、あるいはシリコーンゲルの粘着性を利用して行われる。
【0034】
なお、接続体９１、９２は、ゴムやバネ等を用いてもよい。ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性を備えた接続体９１、９２として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム
材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
【0035】
（給電基板）
図１、図４、図５に示すように、アクチュエータ１では、コイルホルダ４に給電基板１０が保持されており、給電基板１０には、コイル５から引き出したコイル線５６、５７が半田１９により接続されている。本形態において、給電基板１０は剛性基板である。
図１、図４、図５に示すように、アクチュエータ１では、コイルホルダ４に給電基板１０が保持されており、給電基板１０には、コイル５から引き出したコイル線５６、５７が半田１９により接続されている。本形態において、給電基板１０は剛性基板である。
【0036】
図３に示すように、コイルホルダ４の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部には、基板保持部４５が設けられている。基板保持部４５は、側板部４１４、４１５および板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１に囲まれた開口部４４を挟んで第２方向Ｘに対向するスリット４１４ｔ、４１５ｔを備える。図４に示すように、給電基板１０は、第２方向Ｘの両側の端部が各々、スリット４１４ｔ、４１５ｔの内側に嵌っている。本形態では、給電基板１０の端部をスリット４１４ｔ、４１５ｔに嵌めた後、さらに接着剤によってコイルホルダ４と給電基板１０とを固定し、給電基板１０の振動を抑制する構造になっている。
【0037】
給電基板１０は、２つのランド１１ａ、１１ｂが第２方向Ｘで離間する位置に形成された第１板部１１と、第１板部１１の第２方向Ｘの両端から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した２つの第２板部１２、１３とを備えている。コイル線５６、５７は、半田１９によりランド１１ａ、１１ｂに接続される。第１板部１１の第１方向Ｚの端部には、給電基板１０に接続するために第１方向Ｚの他方側Ｚ２に曲げたコイル線５６、５７を保持する２つの凹部１４ａ、１４ｂ（図８、図９参照）が形成されている。
【0038】
（コイル線配置溝）
コイル線５６、５７は、コイルホルダ４の板部４１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に形成された２本のコイル線配置溝４６（図６参照）を通ってコイル５から第３方向Ｙの一方側Ｙ１に引き出された後、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に向けて延在し、給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂに接続される。後述するように、コイル線５６、５７は、コイル線配置溝４６から給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂまでの間で適度なたわみが付された形状となるように引き回される。
コイル線５６、５７は、コイルホルダ４の板部４１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に形成された２本のコイル線配置溝４６（図６参照）を通ってコイル５から第３方向Ｙの一方側Ｙ１に引き出された後、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に向けて延在し、給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂに接続される。後述するように、コイル線５６、５７は、コイル線配置溝４６から給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂまでの間で適度なたわみが付された形状となるように引き回される。
【0039】
図３、図６に示すように、コイルホルダ４の板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１における第２方向Ｘの中央には、給電基板１０の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の縁を受ける当接部４２が形成されている。図４、図５に示すように、給電基板１０は、第１板部１１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の縁が当接部４２に当接する位置まで挿入される。
【0040】
図６に示すように、コイル線配置溝４６は、２本のコイル線５６、５７のうち、一方のコイル線５６が配置される第１溝４６ａと、他方のコイル線５７が配置される第２溝４６ｂを備える。第１溝４６ａおよび第２溝４６ｂは、いずれも、当接部４２の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部まで延びている。第１溝４６ａおよび第２溝４６ｂの第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部には、それぞれ、各溝の底部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２へ突出する壁部４３が形成されている。
【0041】
本形態では、図６に示すように、コイル線５７は、コイル５の厚さ方向の一方端（第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部）から引き出されている。また、コイル線５６は、コイル５の厚さ方向の他方端（第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部）から引き出されている。すなわち、コイル５からコイル線５７が引き出される引き出し位置は、コイル５からコイル線５６が引き出される引き出し位置に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置している。
【0042】
（アクチュエータ１の製造方法）
図７は、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０にコイル５を配置した状態を示す斜視図
である。図８は、給電基板１０を基板保持部４５に途中位置１０Ａまで挿入した状態を示す斜視図である。図９は、給電基板１０にコイル線５７、５６を接続した状態を示す部分拡大斜視図である。図１０は、給電基板１０を保持位置１０Ｂまで挿入してコイル線５６、５７にたわみ部形成した状態を示す部分拡大斜視図である。
図７は、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０にコイル５を配置した状態を示す斜視図
である。図８は、給電基板１０を基板保持部４５に途中位置１０Ａまで挿入した状態を示す斜視図である。図９は、給電基板１０にコイル線５７、５６を接続した状態を示す部分拡大斜視図である。図１０は、給電基板１０を保持位置１０Ｂまで挿入してコイル線５６、５７にたわみ部形成した状態を示す部分拡大斜視図である。
【0043】
アクチュエータ１を製造する際、まず、図６に示すように、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なるように第１プレート４７を配置する。その際、第１プレート４７の凸部４７２（図３参照）を側板部４１４、４１５、４１８、４１９の保持部４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓに差し込み、係合させる。その結果、第１プレート４７は、コイル配置穴４１０を第１方向Ｚの一方側Ｚ１から塞いだ状態でコイルホルダ４に保持される。
【0044】
次に、図７に示すように、コイル５をコイル配置穴４１０に配置する。このとき、コイル線５６、５７をコイルホルダ４の板部４１に形成されたコイル線配置溝４６に配置する。より詳細には、コイル線５６を第１溝４６ａに配置し、コイル線５７を第２溝４６ｂに配置する。
【0045】
続いて、図８に示すように、コイルホルダ４の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部に設けられた基板保持部４５に給電基板１０を装着する。本形態では、第１方向Ｚの他方側Ｚ２からコイルホルダ４のスリット４１４ｔ、４１５ｔに給電基板１０の第２方向Ｘの両端部を嵌める。そのとき、給電基板１０の第１板部１１とコイルホルダ４の当接部４２に当接するまでの途中位置１０Ａで給電基板１０の挿入を止める。途中位置１０Ａでは、給電基板１０の第１板部１１は当接部４２から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に離れた位置にある。
【0046】
次に、図９に示すように、給電基板１０の挿入を止めた状態で、コイル線５６、５７の端部を、コイル線配置溝４６から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に引き回して給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂに半田１９により接続する。コイル線５６、５７を給電基板１０に接続した後、コイル線５６、５７の先端側の余剰部分を切断し、除去する。
【0047】
しかる後に、図１０に示すように、給電基板１０の第１板部１１が当接部４２に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接するまで給電基板１０を押し込む。これにより、給電基板１０は、途中位置１０Ａに対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に移動した保持位置１０Ｂに位置決めされる。本形態では、接着剤によってコイルホルダ４に給電基板１０を固定し、給電基板１０を保持位置１０Ｂに保持する。
【0048】
給電基板１０を保持位置１０Ｂまで押し込むと、図１０に示すように、コイル線５６、５７には、コイル線配置溝４６から給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂまでの間に適度なたわみが付される。給電基板１０には、ランド１１ａ、１１ｂとコイル線配置溝４６との間の位置に第２接着剤１８が付される。本形態では、第２接着剤１８は、ＵＶ硬化性接着剤である。第２接着剤１８を硬化させると、コイル線５６、５７のたわみ部は、第２接着剤１８に保持される。
【0049】
図１１は、コイル線５７の位置でアクチュエータ１を切断した部分断面図である。図１１に示すように、コイル線５６、５７のそれぞれは、コイル線配置溝４６に配置されて給電基板１０に向かって延びている第１部分５０１と、給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂに半田付けされている第２部分５０２と、第１部分５０１と第２部分５０２とを接続する第３部分５０３を備える。コイル線５６、５７のたわみは、第３部分５０３に設けられ、第３部分５０３には、上記のように第２接着剤１８が付されている。
【0050】
図１０に示すように、給電基板１０を保持位置１０Ｂに装着し、第２接着剤１８を塗布
した後、コイル５の空芯部５０に第１接着剤１７を充填する。そして、図５、図１１に示すように、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なるように第２プレート４８を配置する。このとき、図１１に示すように、過剰な第１接着剤１７は、コイル５と第１プレート４７との隙間、および、コイル５と第２プレート４８との隙間からコイル５の外周側に流れ込む。そして、コイル配置穴４１０から板部４１の表面に形成された凹部に流れ込む。また、コイル配置穴４１０から第３方向Ｙの一方側Ｙ１に延びる第１溝４６ａおよび第２溝４６ｂ（コイル線配置溝４６）に流れ込む。従って、第１溝４６ａ内に配置されるコイル線５６の第１部分５０１、および、第２溝４６ｂ内に配置されるコイル線５７の第１部分５０１は、それぞれ、第１接着剤１７によって保持される。
した後、コイル５の空芯部５０に第１接着剤１７を充填する。そして、図５、図１１に示すように、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なるように第２プレート４８を配置する。このとき、図１１に示すように、過剰な第１接着剤１７は、コイル５と第１プレート４７との隙間、および、コイル５と第２プレート４８との隙間からコイル５の外周側に流れ込む。そして、コイル配置穴４１０から板部４１の表面に形成された凹部に流れ込む。また、コイル配置穴４１０から第３方向Ｙの一方側Ｙ１に延びる第１溝４６ａおよび第２溝４６ｂ（コイル線配置溝４６）に流れ込む。従って、第１溝４６ａ内に配置されるコイル線５６の第１部分５０１、および、第２溝４６ｂ内に配置されるコイル線５７の第１部分５０１は、それぞれ、第１接着剤１７によって保持される。
【0051】
本形態では、コイル線配置溝４６の底部に、基板保持部４５側（すなわち、第３方向Ｙの一方側Ｙ１）へ第１接着剤１７が流れることを規制する規制部が設けられている。図６、図１１に示すように、規制部は、コイル線配置溝４６の底部から突出する壁部４３である。壁部４３を設けたことにより、コイル線配置溝４６から第１接着剤１７がはみ出して給電基板１０の第１板部１１に付着することが抑制される。また、上記のように、第１板部１１に沿って引き回されている第３部分５０３には、すでに第２接着剤１８が付着しているので、コイル線５６、５７の第３部分５０３に第１接着剤１７が付着することはない。
【0052】
本形態では、第１接着剤１７は、熱硬化性接着剤である。第１接着剤１７が硬化すると、第１プレート４７と第２プレート４８との間に、第１接着剤１７が硬化した接着剤層９が形成される。コイル５は、接着剤層９によって、第１プレート４７、第２プレート４８、およびコイルホルダ４の板部４１に固定される。また、第１プレート４７および第２プレート４８は、それぞれ、接着剤層９によってコイルホルダ４の板部４１に固定される。また、コイル線配置溝４６内に流入した第１接着剤１７が硬化してコイル線５６、５７が保持される。
【0053】
次に、第１プレート４７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に、第１磁石７１が固定された第１ヨーク８１を配置する一方、第２プレート４８に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に、第２磁石７２が固定された第２ヨーク８２を配置し、第１ヨーク８１の連結部８１２の先端部を第２ヨーク８２の張り出し部８２２に溶接等の方法で連結する。これにより、図４に示すように可動体６が組み立てられる。
【0054】
その後、第１ヨーク８１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面において第３方向Ｙで離間する２箇所に接続体９１を接着する一方、第２ヨーク８２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面において第３方向Ｙで離間する２箇所に接続体９２を接着する（図４参照）。そして、コイルホルダ４および可動体６を第１方向Ｚの一方側Ｚ１から覆うように第１ケース部材３１を重ねた後、コイルホルダ４および可動体６を第１方向Ｚの他方側Ｚ２から覆うように第２ケース部材３２を重ねて結合させることにより、ケース３を組み立てる。その際、接続体９１を第１ケース部材３１に接着し、接続体９２を第２ケース部材３２に接着して、可動体６と支持体２とを接続する。これにより、図１示すアクチュエータ１が完成する。
【0055】
（アクチュエータの動作）
アクチュエータ１は、給電基板１０を介して外部（上位の機器）からコイル５に給電すると、コイル５、第１磁石７１および第２磁石７２を備えた磁気駆動機構１ａによって、可動体６が第２方向Ｘに往復移動する。従って、アクチュエータ１を手に持っていた利用者は、アクチュエータ１からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル５に印加される信号波形については、伝達すべき情報によって、周波数を変化させる。また、コイル５に印加される信号波形については極性を反転させるが、その際、駆動信号の極
性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体６が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する際の加速度と可動体６が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、アクチュエータ１が第２方向Ｘの一方側Ｘ１あるいは他方側Ｘ２に移動するような錯覚を感じさせることができる。
アクチュエータ１は、給電基板１０を介して外部（上位の機器）からコイル５に給電すると、コイル５、第１磁石７１および第２磁石７２を備えた磁気駆動機構１ａによって、可動体６が第２方向Ｘに往復移動する。従って、アクチュエータ１を手に持っていた利用者は、アクチュエータ１からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル５に印加される信号波形については、伝達すべき情報によって、周波数を変化させる。また、コイル５に印加される信号波形については極性を反転させるが、その際、駆動信号の極
性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体６が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する際の加速度と可動体６が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、アクチュエータ１が第２方向Ｘの一方側Ｘ１あるいは他方側Ｘ２に移動するような錯覚を感じさせることができる。
【0056】
アクチュエータ１においては、可動体６と支持体２との間に粘弾性部材からなる接続体９１、９２が設けられているため、可動体６が共振することを抑制することができる。
【0057】
また、接続体９１、９２は、支持体２と可動体６とにおいて第２方向Ｘ（振動方向）に対して交差する第１方向Ｚで対向する位置に設けられているため、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、そのせん断方向に変形して共振を防止する。このため、可動体６が第２方向Ｘに振動しても、接続体９１、９２の弾性率の変化が小さいので、可動体６の共振を効果的に抑制することができる。
【0058】
また、接続体９１、９２は、支持体２と可動体６との間で第１方向Ｚに圧縮された状態にある。従って、接続体９１、９２は、可動体６の移動に確実に追従するので、可動体６の共振を効果的に防止することができる。
【0059】
（本形態の主な作用効果）
以上のように、本形態のアクチュエータ１は、可動体６および支持体２と、可動体６と支持体２を接続する接続体９１、９２と、可動体６および支持体２のうちの一方側部材（本形態では、支持体２）に設けられたコイル５、およびコイル５に対して可動体６の振動方向と交差する方向で対向して可動体６および支持体２のうちの他方側部材（本形態では、可動体６）に設けられた磁石７を備える磁気駆動機構１ａと、コイル５に給電する給電基板１０と、を有する。一方側部材（支持体２）は、コイル配置穴４１０が設けられた板部４１、および、板部４１の端部に配置される基板保持部４５を備えたコイルホルダ４を有し、板部４１は、コイル配置穴４１０から基板保持部４５まで延びるコイル線配置溝４６を備える。コイル５から引き出されたコイル線５６、５７は、コイル線配置溝４６に配置される第１部分５０１と、給電基板１０に設けられたランド１１ａ、１１ｂに半田付けされる第２部分５０２と、第１部分５０１と第２部分５０２とを接続する第３部分５０３と、を備える。コイル線配置溝４６には、第１部分５０１を保持する第１接着剤１７が配置され、給電基板１０には、第３部分５０３を保持する第２接着剤１８が配置され、第２接着剤１８は、第１接着剤１７とは異なる接着剤である。
以上のように、本形態のアクチュエータ１は、可動体６および支持体２と、可動体６と支持体２を接続する接続体９１、９２と、可動体６および支持体２のうちの一方側部材（本形態では、支持体２）に設けられたコイル５、およびコイル５に対して可動体６の振動方向と交差する方向で対向して可動体６および支持体２のうちの他方側部材（本形態では、可動体６）に設けられた磁石７を備える磁気駆動機構１ａと、コイル５に給電する給電基板１０と、を有する。一方側部材（支持体２）は、コイル配置穴４１０が設けられた板部４１、および、板部４１の端部に配置される基板保持部４５を備えたコイルホルダ４を有し、板部４１は、コイル配置穴４１０から基板保持部４５まで延びるコイル線配置溝４６を備える。コイル５から引き出されたコイル線５６、５７は、コイル線配置溝４６に配置される第１部分５０１と、給電基板１０に設けられたランド１１ａ、１１ｂに半田付けされる第２部分５０２と、第１部分５０１と第２部分５０２とを接続する第３部分５０３と、を備える。コイル線配置溝４６には、第１部分５０１を保持する第１接着剤１７が配置され、給電基板１０には、第３部分５０３を保持する第２接着剤１８が配置され、第２接着剤１８は、第１接着剤１７とは異なる接着剤である。
【0060】
本形態では、このように、コイル５を固定するための第１接着剤１７と、給電基板１０にコイル線５６、５７を固定する第２接着剤１８が異なる接着剤であり、２種類の接着剤を使い分けている。予め、給電基板１０に第２接着剤１８を塗布してコイル線５６、５７を保持させておくことで、コイル固定用の第１接着剤１７が半田１９の側へ拡がることを規制できる。コイル線５６、５７を半田付けした個所は、銅食われによってコイル線５６、５７が細くなるため、この箇所に応力が集中すると断線しやすい。第１接着剤１７がコイル線５６、５７の第３部分５０３まで拡がって第３部分５０３を固定してしまうと、銅食われによってコイル線５６、５７が細くなった箇所（半田１９の近傍）に応力が集中しやすくなってしまう。本形態では、第３部分５０３を保持する第２接着剤１８を備えているので、意図しない範囲まで拡がった第１接着剤１７によってコイル線５６、５７に加わる応力を緩和できなくなるおそれが少ない。
【0061】
本形態では、第２接着剤１８として、第１接着剤１７よりも柔らかい接着剤を用いているため、コイルホルダ４から給電基板１０へ引き回したコイル線５６、５７の第３部分５０３が柔らかい第２接着剤１８で保持される。また、第３部分５０３は、たわんだ形状に
引き回されている。従って、第３部分５０３が変形しやすく、第１方向Ｚに伸縮可能であるため、コイル線５６、５７に加わる応力を緩和できる。例えば、温度変化が発生した際、コイル線５６、５７と周辺部材との間に熱膨張係数の差に起因してコイル線５６、５７が引っ張られる等の事態が発生しても、コイル線５６、５７が断線しにくい。それ故、アクチュエータ１の使用温度範囲を拡大することができる。また、落下時の衝撃が加わった場合にも、コイル線５６、５７が断線しにくい。従って、耐衝撃性を高めることができる。
引き回されている。従って、第３部分５０３が変形しやすく、第１方向Ｚに伸縮可能であるため、コイル線５６、５７に加わる応力を緩和できる。例えば、温度変化が発生した際、コイル線５６、５７と周辺部材との間に熱膨張係数の差に起因してコイル線５６、５７が引っ張られる等の事態が発生しても、コイル線５６、５７が断線しにくい。それ故、アクチュエータ１の使用温度範囲を拡大することができる。また、落下時の衝撃が加わった場合にも、コイル線５６、５７が断線しにくい。従って、耐衝撃性を高めることができる。
【0062】
例えば、本形態では、第１接着剤１７は、熱硬化性接着剤であり、第２接着剤１８は、ＵＶ硬化性接着剤である。このようにすると、第２接着剤１８の硬化時間を短くすることができる。また、コイル５の固定強度を高めることができる。
【0063】
本形態では、コイル線配置溝４６は、基板保持部４５側へ第１接着剤１７が流れることを規制する規制部として機能する壁部４３を備える。従って、コイル固定用の第１接着剤１７が壁部４３の位置で止まるため、コイル５固定用の第１接着剤１７がコイル線配置溝４６からはみ出して給電基板１０に付着することを防止できる。従って、第１接着剤１７が意図しない範囲まで拡がることを防止できる。
【0064】
なお、規制部は、壁部４３以外の形状でもよい。例えば、段差部でもよい。また、本形態では、コイル線配置溝４６の基板保持部４５側の先端（第３方向の一方側Ｙ１の先端）に壁部４３を形成しているが、規制部の位置は、本形態と異なっていてもよい。例えば、コイル線配置溝４６の第３方向Ｙの途中位置に規制部を設けてもよい。
【0065】
（変形例）
上記形態では、コイル線配置溝４６は、コイル５の厚さ方向の一方端から引き出されたコイル線５６が配置される第１溝４６ａの深さと、コイル５の厚さ方向の他方端から引き出されたコイル線５７が配置される第２溝４６ｂの深さが同一であったが、第１溝４６ａの深さと第２溝４６ｂの深さが異なる形態を採用することもできる。
上記形態では、コイル線配置溝４６は、コイル５の厚さ方向の一方端から引き出されたコイル線５６が配置される第１溝４６ａの深さと、コイル５の厚さ方向の他方端から引き出されたコイル線５７が配置される第２溝４６ｂの深さが同一であったが、第１溝４６ａの深さと第２溝４６ｂの深さが異なる形態を採用することもできる。
【0066】
図１２は、変形例のコイル線配置溝の断面図である。上記形態では、第１溝４６ａと第２溝４６ｂは、第１方向Ｚの一方側に凹んでいる。従って、図１２に示すように、コイル５の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部から引き出されるコイル線５７が配置される第２溝４６ｂの深さを、コイル５の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部から引き出されるコイル線５６が配置される第１溝４６ａの深さよりも深くすることが好ましい。このようにすると、各溝が、コイル線５６、５７の引き出し位置に合わせた深さになる。従って、コイル線配置溝４６の底部にコイル線５６、５７を配置しやすい。
【符号の説明】
【0067】
１…アクチュエータ、１ａ…磁気駆動機構、２…支持体、３…ケース、４…コイルホルダ、５…コイル、６…可動体、７…磁石、８…ヨーク、９…接着剤層、１０…給電基板、１０Ａ…途中位置、１０Ｂ…保持位置、１１ａ、１１ｂ…ランド、１１…第１板部、１２、１３…第２板部、１４ａ、１４ｂ…凹部、１７…第１接着剤、１８…第２接着剤、１９…半田、３１…第１ケース部材、３２…第２ケース部材、４１…板部、４２…当接部、４３…壁部、４４…開口部、４５…基板保持部、４６…コイル線配置溝、４６ａ…第１溝、４６ｂ…第２溝、４７…第１プレート、４８…第２プレート、５０…空芯部、５１…長辺部、５２…短辺部、５６、５７…コイル線、７１…第１磁石、７２…第２磁石、８１…第１ヨーク、８２…第２ヨーク、９１、９２…接続体、３１１、３２１…側板部、４１０…コイル配置穴、４１１…端部、４１２…端部、４１３、４１４、４１５、４１７、４１８、４１９…側板部、４１４ｔ、４１５ｔ…スリット、４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓ…保持部、４７２、４８２…凸部、５０１…第１部分、５０２…第２部分、５０３…
第３部分、８１１…平板部、８１２…連結部、８２１…平板部、８２２…張り出し部、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向
第３部分、８１１…平板部、８１２…連結部、８２１…平板部、８２２…張り出し部、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】