(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-11-29
(45)【発行日】2023-12-07
(54)【発明の名称】フィラメントランプ
(51)【国際特許分類】
H01K 1/32 20060101AFI20231130BHJP
H01K 1/28 20060101ALI20231130BHJP
H05B 3/44 20060101ALI20231130BHJP
【ＦＩ】
H01K1/32 A
H01K1/28
H01K1/32 C
H05B3/44
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2020000957
(22)【出願日】2020-01-07
(65)【公開番号】P2021111468
(43)【公開日】2021-08-02
【審査請求日】2022-09-15
(73)【特許権者】
【識別番号】000102212
【氏名又は名称】ウシオ電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000729
【氏名又は名称】弁理士法人ユニアス国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】河村 忠和
(72)【発明者】
【氏名】溝尻 貴文
(72)【発明者】
【氏名】古江 悟
【審査官】大門 清
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１０－１７７０２７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭５９－０５８７５２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭５２－０７４６３５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６０－０５４１５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００９／０３１６２６８（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２００６－３０２７１９（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第０５５３６９９１（ＵＳ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｋ １／３２
Ｈ０１Ｋ １／２８
Ｈ０５Ｈ ３／００
Ｈ０５Ｂ ３／４４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
光に対して透過性を示す筒状の発光管と、前記発光管内において、前記発光管の管軸方向に沿って延伸するフィラメントと、
前記発光管の前記管軸方向に延伸し、前記発光管の前記管軸方向と直交する平面で切断したときの断面形状が、前記発光管の内壁面の周方向に関し、第一端部と第二端部とを有するように形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、前記発光管の前記周方向に関し、前記第一端部と前記第二端部における膜厚が、前記第一端部と前記第二端部の間に位置する中央部における膜厚よりも薄く、かつ、シリカを主たる成分とする粒子が凝集されて形成されており、前記粒子のうち、シリカ粒子の平均粒径が０．５μｍ以上１．５μｍ以下であることを特徴とするフィラメントランプ。
【請求項2】
前記反射膜は、前記第一端部及び前記第二端部における膜厚が実質的に０であることを特徴とする請求項１に記載のフィラメントランプ。
【請求項3】
前記反射膜は、前記中央部から前記第一端部及び前記第二端部それぞれに向かって膜厚が徐々に薄くなるように形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィラメントランプ。
【請求項4】
前記反射膜は、前記発光管の前記管軸方向に関し、前記発光管の一端部から他端部にわたって形成されていることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のフィラメントランプ。
【請求項5】
前記発光管の前記内壁面には、前記発光管の管軸方向に関し、前記反射膜の少なくとも一方の端部に、前記反射膜と当接するように保護部が形成されていることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載のフィラメントランプ。
【請求項6】
前記発光管は、前記管軸方向と直交する面で切断した時の断面が円形状、又は楕円形状を呈することを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載のフィラメントランプ。
【請求項7】
前記反射膜は、前記管軸方向に見たときに、前記発光管の内壁面の周方向に関し、管軸を中心として９０°以上２７０°以下の範囲にわたって形成されていることを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載のフィラメントランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、フィラメントランプに関し、特に加熱対象物に対して光を照射することで加熱するフィラメントランプに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、製造プロセスにおいて加熱対象物（以下、「ワーク」と称する。）の熱処理を行う装置の一つとして、発光管内にフィラメントを有するフィラメントランプを用いた加熱装置が知られている。当該加熱装置は、光を照射することで加熱する方式であるため、ワークを非接触で加熱することできる。また、フィラメントランプの熱源として一般的に用いられるタングステンは、熱容量が小さいため、放射の立ち上がりが早く、ワークを急速に加熱できるという特徴がある。
【0003】
このようなフィラメントランプに関しては、フィラメントから放射される光が効率的にワークに照射されるように、発光管の壁面に反射膜が設けられたフィラメントランプや、ハロゲン電球が知られている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００８－０７８０６５号公報
【文献】特公昭５０－２７３１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
近年、半導体ウェハや液晶ガラスの処理に用いるための、クリーンで、かつ、急速に昇降温が可能な加熱装置が期待されている。そこで、本発明者らは、発光管内にフィラメントを配置したフィラメントランプを検討したところ、次のような課題が存在することを見出した。以下、図面を参照しながら説明する。
【0006】
図９は、従来のフィラメントランプ１００の構成を模式的に示す側面図である。図１０は、図１０のフィラメントランプ１００のうち、サポーター部を有する箇所の断面をＸ方向に見たときの模式的な図面である。図９及び図１０に示すように、従来のフィラメントランプ１００は、発光管１０１の内壁面１０１ｂに反射膜１０２が形成され、発光管１０１内には管軸１０１ａに沿ってフィラメント１０３が配置されている。
【0007】
フィラメント１０３は、Ｘ（管軸）方向に複数配置されたサポーター１０４によって軸が発光管１０１の管軸１０１ａから大きくずれないように支持される。なお、以下説明においては、発光管１０１の管軸方向をＸ方向とし、フィラメントランプ１００とワークＷが対向する方向をＺ方向、Ｘ方向とＺ方向に直交する方向をＹ方向として説明する。
【0008】
本明細書では、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｚ方向」、「－Ｚ方向」のように、正負の符号を付して記載される。また、正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｚ方向」と記載される。
【0009】
図１０に示すように、反射膜１０２は、ワークＷに向かって光を出射するために、発光管１０１の内壁面１０１ｂの周方向に関しては、一部に形成される。すなわち、反射膜１０２は少なくとも二つの端部１０２ａを有し、Ｘ方向に関しては、当該形状が延伸するように形成されている。また、従来のフィラメントランプ１００は、ワークＷに対して均一な光を照射するために、反射膜１０２は、周方向全体にわたって一様な膜厚となるように構成される。ここで、膜厚とは、管軸に対して直交する面で切断したときの断面における、発光管の内壁面から管軸に向かう方向（径方向）での幅をいう。
【0010】
従来のフィラメントランプ１００は、発光管１０１の周方向に関する反射膜１０２の端部１０２ａが、周方向に直交し、反射膜１０２の膜厚に相当する大きさの端面を形成しており、フィラメント１０３やサポーター１０４との引っ掛かりが生じやすく、反射膜１０２が発光管１０１の内壁面１０１ｂから剥がれやすい。これにより、発光管１０１内にフィラメント１０３を挿入する工程や、使用時及び搬送時の振動等によって、反射膜１０２が端部１０２ａから次々と剥離するという現象が発生していた。
【0011】
反射膜１０２が、図１０に示すように、発光管１０１の内壁面１０１ｂに形成されている場合、剥離した反射膜１０２の一部がワークＷに落下してしまうおそれはない。しかしながら、反射膜１０２が発光管１０１から剥がれ落ちると、ワークＷとは反対側に向かって進行する光を、ワークＷ側に向かうように反射する機能が低下してしまい、反射膜１０２が剥がれた部分だけ、ワークＷに照射される光の強度分布が低下してしまうという問題があった。
【0012】
また、剥離した反射膜１０２は、発光管１０１内に留まるため、フィラメント１０３から放射される光の進行を阻害する要因ともなり、結果として、光出力の低下や、ワークＷに対して照射される光の強度分布が不均一となってしまう。
【0013】
本発明は、上記課題に鑑み、発光管内に形成された反射膜の剥離が抑制されたフィラメントランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0014】
本発明に係るフィラメントランプは、
光に対して透過性を示す筒状の発光管と、
前記発光管内において、前記発光管の管軸方向に沿って延伸するフィラメントと、
前記発光管の前記管軸方向に延伸し、前記発光管の前記管軸方向と直交する平面で切断したときの断面形状が、前記発光管の内壁面の周方向に関し、第一端部と第二端部とを有するように形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、前記発光管の前記周方向に関し、前記第一端部と前記第二端部における膜厚が、前記第一端部と前記第二端部の間に位置する中央部における膜厚よりも薄いことを特徴とする。
光に対して透過性を示す筒状の発光管と、
前記発光管内において、前記発光管の管軸方向に沿って延伸するフィラメントと、
前記発光管の前記管軸方向に延伸し、前記発光管の前記管軸方向と直交する平面で切断したときの断面形状が、前記発光管の内壁面の周方向に関し、第一端部と第二端部とを有するように形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、前記発光管の前記周方向に関し、前記第一端部と前記第二端部における膜厚が、前記第一端部と前記第二端部の間に位置する中央部における膜厚よりも薄いことを特徴とする。
【0015】
本明細書における光に対して透過性を有するとは、少なくとも、ワークの加熱に用いられる光である近赤外線の透過率が８０％以上であればよく、必ずしも可視光に対して高い透過率を有していなくてもよい。なお、一般的には、近赤外線の波長帯域は、波長８００ｎｍ以上２５００ｎｍ以下の範囲とされており、可視光の波長帯域は、波長３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の範囲とされている。
【0016】
上記構成とすることで、第一端部から第二端部にわたって同じ膜厚の反射膜が形成されたフィラメントランプと比較して、フィラメントやサポーターと反射膜の第一端部及び第二端部との引っ掛かりが抑制され、反射膜の剥離が抑制される。
【0017】
また、反射膜で反射されてワークに向かう光のうち、反射膜の膜厚が薄い部分で反射された光は、反射率が低いことから全体の光強度分布に対する寄与度が低い。上記構成とすることで、第一端部及び第二端部付近で反射されてワークに向かう光は、ワークに照射される光全体に対して寄与率が低くなる。
【0018】
つまり、ワークに照射される光の強度分布は、第一端部と第二端部の膜厚のバラつきの影響が小さく、主に中央部の膜厚のバラつきの影響を受けるため、周方向全体にわたって同じ膜厚で反射膜が形成されたフィラメントランプよりも、ワークに照射される光の強度分布のバラつきが抑制される。
【0019】
さらに、反射膜が発光管の内壁面に形成されていることで、剥がれてしまった反射膜がワークの表面に落下してしまうおそれがない。すなわち、半導体製造プロセス等のクリーン度が要求される用途において、安心して用いることができる。また、反射膜が発光管の外壁面に形成されている場合は、フィラメントから放射された光のうち、反射膜で反射されてワークに向かう光が発光管を通過するのは計三回であるが、反射膜を発光管の内壁面に形成した場合には、フィラメントから放射された光が発光管を通過するのは一回だけのため、光エネルギーの損失が最小限に抑えられる。
【0020】
上記フィラメントランプにおいて、
前記反射膜は、前記第一端部及び前記第二端部における膜厚が実質的に０であってもよい。
前記反射膜は、前記第一端部及び前記第二端部における膜厚が実質的に０であってもよい。
【0021】
上記構成とすることで、フィラメントやサポーターは、製造工程等において、発光管の内壁面と反射膜との間においても滑るように回転や移動したとしても、反射膜の第一端部及び第二端部と引っ掛かりがさらに抑制され、反射膜の剥離が抑制される。なお、膜厚が実質的に０であるとは、膜厚が最も厚い部分に対して１％以下であることをいう。
【0022】
さらに、上記フィラメントランプにおいて、
前記反射膜は、前記中央部から前記第一端部及び前記第二端部それぞれに向かって膜厚が徐々に薄くなるように形成されていても構わない。
前記反射膜は、前記中央部から前記第一端部及び前記第二端部それぞれに向かって膜厚が徐々に薄くなるように形成されていても構わない。
【0023】
ここで、本明細書における中央部から第一端部及び第二端部それぞれに向かって膜厚が徐々に薄くなるとは、中央部から第一端部及び第二端部それぞれに向かうにつれて、連続的に膜厚が薄くなっていく場合や、階段状に膜厚が薄くなっていく場合が含まれる。なお、連続的に膜厚が薄くなる場合は、膜厚が線形に変化するものでなくてもよく、階段状に膜厚が薄くなる場合は、膜厚の各段の大きさや、それぞれの段差が異なっていても構わない。
【0024】
上記フィラメントランプにおいて、
前記反射膜は、前記発光管の前記管軸方向に関し、前記発光管の一端部から他端部にわたって形成されているものとすることができる。
前記反射膜は、前記発光管の前記管軸方向に関し、前記発光管の一端部から他端部にわたって形成されているものとすることができる。
【0025】
上記構成とすることで、発光管の管軸方向において、反射膜が形成されている部分と形成されていない部分とが混在することがなく、フィラメントから放射されてワークに向かう光の強度分布の均一性が向上される。
【0026】
上記フィラメントランプの前記発光管の前記内壁面には、前記発光管の管軸方向に関し、前記反射膜の少なくとも一方の端部に、前記反射膜と当接するように保護部が形成されていても構わない。
【0027】
上記構成とすることで、フィラメントランプの製造時、発光管内にフィラメントを挿入する工程において、発光管内に形成された反射膜の管軸方向における端部は、保護膜によって保護されるため、フィラメントやサポーターと反射膜とが引っ掛かりにくくなり、反射膜が剥がれてしまうことが抑制される。
【0028】
上記フィラメントランプにおいて、
前記反射膜は、前記管軸方向に見たときに、前記発光管の内壁面の周方向に関し、管軸を中心として９０°以上２７０°以下の範囲にわたって形成されていても構わない。
前記反射膜は、前記管軸方向に見たときに、前記発光管の内壁面の周方向に関し、管軸を中心として９０°以上２７０°以下の範囲にわたって形成されていても構わない。
【0029】
発光管の内壁面上の反射膜が形成されている範囲が狭すぎる場合は、発光管内のフィラメントからワークとは反対側に放射された光を、僅かしかワークに向かうように反射できない。また、発光管の内壁面上の反射膜が形成されている範囲が広すぎる場合は、発光管の外側に光を取り出すための開口領域が狭くなり、ワークに照射される光の量が著しく低下してしまう。
【0030】
そこで、反射膜が上記範囲内で形成されることで、ワークとは反対側に向かって進行する光は十分にワークに向かうように反射されると共に、発光管の外側に光を取り出すための開口領域が十分に確保され、ワークに照射される光の量が著しく低下しないように構成することができる。つまり、フィラメントから放射された光が無駄なくワークに照射されるため、効率よくワークを加熱処理することができる。
【0031】
上記フィラメントランプにおいて、
前記発光管は、前記管軸方向と直交する面で切断した時の断面が円形状、又は楕円形状を呈するものであっても構わない。
前記発光管は、前記管軸方向と直交する面で切断した時の断面が円形状、又は楕円形状を呈するものであっても構わない。
【0032】
発光管が管軸方向に見たときに四角形や六角形等の多角形状であった場合、管軸方向に見たときに円形状であるフィラメントから放射された光が、それぞれの辺の角度で決まる反射角で反射されることになり、ワークに向かって光を集光することが難しい。
【0033】
発光管が管軸方向に見たときに円形状や楕円形状であれば、発光管の径や曲率を調整することによって、フィラメントから放射された光をワークに向かって容易に集光させることができる。
【0034】
上記フィラメントランプにおいて、
前記反射膜は、前記管軸方向に見たときに、前記発光管の内壁面の周方向に関し、管軸を中心として９０°以上２７０°以下の範囲にわたって形成されていても構わない。
前記反射膜は、前記管軸方向に見たときに、前記発光管の内壁面の周方向に関し、管軸を中心として９０°以上２７０°以下の範囲にわたって形成されていても構わない。
【0035】
さらに、上記フィラメントランプにおいて、
前記反射膜は、シリカを主たる成分とする粒子が凝集されて形成されており、前記粒子のうち、シリカ粒子の平均粒径が０．５μｍ以上１．５μｍ以下であっても構わない。
前記反射膜は、シリカを主たる成分とする粒子が凝集されて形成されており、前記粒子のうち、シリカ粒子の平均粒径が０．５μｍ以上１．５μｍ以下であっても構わない。
【0036】
上記構成とすることで、フィラメントから放射され、加熱に用いられる近赤外線が、効率よくワークに向かうように反射される。また、反射膜を構成する粒子の主たる成分である金属酸化物は、特に耐熱性が高く、熱による膨張や収縮の影響が小さいシリカであることが好ましい。
【発明の効果】
【0037】
本発明によれば、発光管内に形成された反射膜の剥離が抑制されたフィラメントランプが実現される。
【図面の簡単な説明】
【0038】
【図1】フィラメントランプの第一実施形態の構成を模式的に示す図面である。
【図4】フィラメントランプの一実施形態をＸ方向に見たときの断面図である。
【図5】フィラメントランプの一実施形態の構成を模式的に示す側面図である。
【図6】フィラメントランプの製造工程を模式的に示す図面である。
【図7】フィラメントランプの別実施形態の構成を模式的に示す側面図である。
【図8】フィラメントランプの別実施形態をＸ方向に見たときの断面図である。
【図9】従来のフィラメントランプの構成を模式的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0039】
以下、本発明に係るフィラメントランプの各実施形態について、適宜図面を参照して説明する。なお、以下の各図面は、いずれも模式的に図示されたものであり、実際の寸法比と図面上の寸法比とは必ずしも一致していない。
【0040】
［第一実施形態］
図１は、フィラメントランプ１の第一実施形態の構成を模式的に示す図面である。図２は、図１のフィラメントランプ１をＸ方向に見たときの断面図である。図１及び図２に示すように、フィラメントランプ１は、アルゴン（Ａｒ）等の不活性ガスやハロゲンガスが封入される発光管１０と、発光管１０の内壁面１０ｂ上に形成された反射膜１１と、フィラメント１３と、フィラメント１３を発光管１０内で支持するサポーター１４を備える。以下説明においては、発光管１０の管軸方向をＸ方向とし、フィラメントランプ１とワークＷが対向する方向をＺ方向、Ｘ方向とＺ方向に直交する方向をＹ方向として説明する。
図１は、フィラメントランプ１の第一実施形態の構成を模式的に示す図面である。図２は、図１のフィラメントランプ１をＸ方向に見たときの断面図である。図１及び図２に示すように、フィラメントランプ１は、アルゴン（Ａｒ）等の不活性ガスやハロゲンガスが封入される発光管１０と、発光管１０の内壁面１０ｂ上に形成された反射膜１１と、フィラメント１３と、フィラメント１３を発光管１０内で支持するサポーター１４を備える。以下説明においては、発光管１０の管軸方向をＸ方向とし、フィラメントランプ１とワークＷが対向する方向をＺ方向、Ｘ方向とＺ方向に直交する方向をＹ方向として説明する。
【0041】
また、上述したように、本明細書では、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｚ方向」、「－Ｚ方向」のように、正負の符号を付して記載される。また、正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｚ方向」と記載される。
【0042】
発光管１０は、光に対して透過性を有する材料で構成されており、Ｘ方向に向かって延伸する筒状を呈している。本実施形態における発光管１０は、図２に示すように、Ｘ方向に向かって見たときの断面形状が円形状を呈しているが、楕円形状や多角形状を呈するものであっても構わない。なお、ワークＷに対して効率よくフィラメント１３から放射された光を照射するために、当該形状は、円形状又は楕円形状であることが好ましい。
【0043】
ここで、上述したように、本明細書における光に対して透過性を有するとは、少なくとも、近赤外線での光の透過率が８０％以上であればよく、可視光に対して高い透過率を有していなくても構わない。
【0044】
反射膜１１は、発光管１０の内壁面１０ｂ上に、Ｘ方向に延伸するように形成されている。また、図２に示すように、ＹＺ平面で切断したときの断面形状においては、膜厚が発光管１０の周方向に関し、中央部１１ｃから第一端部１１ａと第二端部１１ｂそれぞれに向かって徐々に薄くなり、反射膜１１の第一端部１１ａ及び第二端部１１ｂでは、実質的に０となるように形成されている。
【0045】
本実施形態における反射膜１１は、発光管１０の一端部から他端部にわたって形成されているが、Ｘ方向に関して、一部にのみ形成されていても構わない。また、膜厚が実質的に０であるとは、上述したように、膜厚が最も厚い部分に対して１％以下であることをいう。
【0046】
また、反射膜１１が形成されている領域は、管軸１０ａよりも＋Ｚ方向側の面に、管軸１０ａを中心として１８０°の角度範囲で形成されているが、当該領域の角度は使用態様に応じて任意の角度に調整してもよく、必ずしもＸ方向に見たときに、Ｚ軸に対して対称に形成されていなくても構わない。なお、上述したように、当該角度範囲は、９０°以上２７０°以下であることが好ましい。
【0047】
発光管１０の説明で上述したように、本実施形態のフィラメントランプ１は、近赤外線によるワークＷの加熱を行う。したがって、反射膜１１は、近赤外線を反射するように構成されている。図３は、図１のフィラメントランプ１の反射膜１１の拡大図である。図３に示すように、本実施形態の反射膜１１は、粒子が凝集されて形成されている。なお、赤外線を効率よく反射させるために、近赤外線の波長帯域との関係から、反射膜１１を構成する粒子のうち、シリカ粒子の平均粒径は０．５μｍ以上１．５μｍ以下であることが好ましい。
【0048】
近赤外線以外の光を用いてワークＷの加熱を行う場合は、光に合わせて粒子の主たる成分や粒径が変更されても構わない。なお、図３は説明の便宜のために、実際よりも非常に大きい粒径で図示している。
【0049】
反射膜１１を形成する粒子の主たる成分は、例えば、金属酸化物を採用することができ、シリカ（ＳｉＯ2）を採用することができる。また反射膜１１を形成する成分として、例えば、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、酸化ホウ素（Ｂ2Ｏ3）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ジルコニア（ＺｒＯ2）等を含んでいても構わない。
【0050】
フィラメント１３は、発光管１０内において、Ｘ方向に発光管１０の管軸１０ａに沿って延伸するように配置される。フィラメント１３は、その両端の、金属箔と外部リードからなる給電部１５から電力が供給されると光を放射する。フィラメント１３から－Ｚ方向側（ワークＷ側）に放射された光は、そのままワークＷに向かって進行し、＋Ｚ方向側（ワークＷとは反対側）に向かって進行する光は、反射膜１１によって反射されて、－Ｚ方向側に向かって進行する。
【0051】
フィラメント１３の材料は、例えば、タングステンやカンタル、ニクロム、カーボン等を採用し得る。
【0052】
サポーター１４は、図２に示すように、Ｘ方向に向かって見たときの形状が螺旋形状を呈し、管軸１０ａと軸が揃うようにフィラメント１３を保持し、外周部を発光管１０の内壁面１０ｂや反射膜１１に接触させることで、フィラメント１３の軸が管軸１０ａから大きくずれないように固定する。
【0053】
【0054】
また、フィラメントランプ１は、必ずしも、サポーター１４を備えなくても構わない。図５は、図１及び図４の構成とは別のフィラメントランプ１の一実施形態の構成を模式的に示す側面図である。例えば、図５に示すように、フィラメント１３が部分的に巻回の径を大きく構成され、サポーター１４としての機能を併せ持つように構成されている場合は、別途サポーター１４を配置する必要がない。
【0055】
次に、発光管１０の内壁面１０ｂ上に反射膜１１を形成する方法について、適宜図面を参照して説明する。なお、以下の説明は、あくまでフィラメントランプ１を製造する方法の一例であり、本発明のフィラメントランプ１は、以下の方法で製造されたものには限定されない。
【0056】
図６は、フィラメントランプ１の製造工程を模式的に示す図面である。反射膜１１の形成は、まず、発光管１０の内壁面１０ｂ上において、反射膜１１を形成しない部分にマスキングテープ８０を貼り付ける。
【0057】
次に、図６に示すように、シリカを酢酸ブチル（溶剤）に分散させた反射膜用塗布液Ｌを５０ｍｌ／ｓの吐出量で吐出する長尺のノズル８１を、マスキングテープ８０が貼り付けられた発光管１０内に挿入して、２０ｃｍ／ｓの速度で管軸１０ａに沿って掃引することで、発光管１０の内壁面１０ｂ上に反射膜用塗布液Ｌの被膜を形成する。
【0058】
発光管１０の内壁面１０ｂ上に形成された反射膜用塗布液Ｌの被膜は、２５℃で２０分程度の間、窒素雰囲気中において乾燥される。
【0059】
発光管１０の内壁面１０ｂ上に形成され、乾燥された反射膜用塗布液Ｌの被膜は、ＹＺ平面で切断したときの断面形状が、中央部１１ｃから第一端部１１ａと第二端部１１ｂそれぞれに向かって徐々に薄くなり、第一端部１１ａ及び第二端部１１ｂにおいては、膜厚が実質的に０となるように切削される。なお、切削とは、例えば、シリコンラバー等のエッジ部分を使用し、被膜の余分な部分を削り落とすといった方法である。
【0060】
反射膜用塗布液Ｌの被膜が乾燥した発光管１０は、マスキングテープ８０が除去され、大気雰囲気中において、１０００℃で１時間程度焼成されて反射膜１１が形成される。
【0061】
以上の方法によって、反射膜１１が形成される。なお、上記の吐出量、掃引の速度、乾燥条件、乾燥時間、焼成温度等は、一例であり、形成するそれぞれの膜厚や、塗布液の状態等に応じて調整される。
【0062】
以上のように、フィラメントランプ１が構成されることで、フィラメント１３やサポーター１４が、反射膜１１の第一端部１１ａ及び第二端部１１ｂと引っ掛かることや、発光管１０と反射膜１１との隙間に入り込むことが抑制され、反射膜１１の剥離が抑制される。
【0063】
また、上述したように、第一端部１１ａと第二端部１１ｂでの反射膜１１の膜厚のバラつきの影響小さくなるため、ワークＷに照射される光の強度分布のバラつきが抑制される。
【0064】
さらに、反射膜１１が発光管１０の内壁面１０ｂ上に形成されていることで、剥がれてしまった反射膜１１がワークＷの表面に落下してしまうおそれがない。また、フィラメント１３から放射されて反射膜１１で反射されてワークＷに向かう光が発光管１０を通過するのが一回だけのため、光エネルギーの損失が最小限に抑えられる。
【0065】
［別実施形態］
以下、別実施形態につき説明する。
以下、別実施形態につき説明する。
【0066】
〈１〉 図７は、フィラメントランプ１の別実施形態の構成を模式的に示す側面図である。図７に示すように、発光管１０の内壁面１０ｂ上には、Ｘ方向に関し、反射膜１１の少なくとも一方の端部に、反射膜１１と接触するように保護部９０が形成されている。
【0067】
保護部９０は、例えば、シリカ（ＳｉＯ2）を採用することができる。また、保護部９０は、シリカ以外に、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、酸化ホウ素（Ｂ2Ｏ3）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ジルコニア（ＺｒＯ2）等を含んでいても構わない。また、保護部９０は、発光管１０と同じ材料で構成されていてもよく、さらには、発光管１０と一体として構成されていても構わない。
【0068】
上記構成とすることで、発光管１０にフィラメント１３を挿入する際に、フィラメント１３が反射膜１１のＸ方向に関する端部に引っ掛かり、反射膜１１が発光管１０から剥離してしまうことを防止することができる。
【0069】
【0070】
また、図８に示すように、反射膜１１は、中央部１１ｃの周辺は同じ膜厚で形成され、第一端部１１ａ側及び第二端部１１ｂ側の一部の領域だけが、第一端部１１ａ及び第二端部１１ｂ側それぞれに向かって徐々に膜厚が薄くなるように形成されていても構わない。
【0071】
〈３〉 上述したフィラメントランプ１が備える構成は、あくまで一例であり、本発明は、図示された各構成に限定されない。
【符号の説明】
【0072】
１ ： フィラメントランプ
１０ ： 発光管
１０ａ ： 管軸
１０ｂ ： 内壁面
１１ ： 反射膜
１１ａ ： 第一端部
１１ｂ ： 第二端部
１３ ： フィラメント
１４ ： サポーター
１５ ： 給電部
８０ ： マスキングテープ
８１ ： ノズル
９０ ： 保護部
１００ ： フィラメントランプ
１０１ ： 発光管
１０１ａ ： 管軸
１０１ｂ ： 内壁面
１０２ ： 反射膜
１０２ａ ： 端部
１０３ ： フィラメント
１０４ ： サポーター
Ｌ ： 反射膜用塗布液
Ｗ ： ワーク
１０ ： 発光管
１０ａ ： 管軸
１０ｂ ： 内壁面
１１ ： 反射膜
１１ａ ： 第一端部
１１ｂ ： 第二端部
１３ ： フィラメント
１４ ： サポーター
１５ ： 給電部
８０ ： マスキングテープ
８１ ： ノズル
９０ ： 保護部
１００ ： フィラメントランプ
１０１ ： 発光管
１０１ａ ： 管軸
１０１ｂ ： 内壁面
１０２ ： 反射膜
１０２ａ ： 端部
１０３ ： フィラメント
１０４ ： サポーター
Ｌ ： 反射膜用塗布液
Ｗ ： ワーク
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】