(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-11-29
(45)【発行日】2023-12-07
(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置
(51)【国際特許分類】
G01N 23/087 20180101AFI20231130BHJP
G01N 23/04 20180101ALI20231130BHJP
G01N 23/18 20180101ALI20231130BHJP
【ＦＩ】
G01N23/087
G01N23/04
G01N23/18
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020019857
(22)【出願日】2020-02-07
(65)【公開番号】P2021124461
(43)【公開日】2021-08-30
【審査請求日】2022-12-28
(73)【特許権者】
【識別番号】000147833
【氏名又は名称】株式会社イシダ
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100180851
【弁理士】
【氏名又は名称】▲高▼口 誠
(72)【発明者】
【氏名】杉本 一幸
(72)【発明者】
【氏名】万木 太
(72)【発明者】
【氏名】工藤 大輔
【審査官】比嘉 翔一
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１１－４３４７４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１５５５５０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２００６／００１１０７（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００２－１６８８０５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－６５９７６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－１１４４１５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－２７１３１６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｎ２３／００－Ｇ０１Ｎ２３／２２７６
ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍ３）
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、前記Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
前記Ｘ線検出部によって検出された前記Ｘ線の検出結果から作成される画像に基づいて、前記物品を検査する検査部と、を備え、
前記検査部は、
前記画像の各画素の輝度と、前記物品の異物検査に係る第１閾値と、を用いて、前記物品における異物の有無を判定する第１処理と、
前記画像の各画素の輝度と、前記物品の品質検査に係る前記第１閾値よりも低い第２閾値と、を用いて、前記物品の品質の良否を判定する第２処理と、を実施し、
前記第２処理は、前記輝度が前記第１閾値未満であり且つ前記第２閾値以上である前記画素の範囲が所定範囲以上である場合、前記物品が不良品であると判定する、Ｘ線検査装置。
【請求項2】
前記Ｘ線検出部は、前記物品を透過した第１エネルギー帯の前記Ｘ線を検出する第１検出部と、
前記物品を透過した前記第１エネルギー帯とは異なる第２エネルギー帯の前記Ｘ線を検出する第２検出部と、を有し、
前記検査部は、前記第１検出部及び前記第２検出部の検出結果から作成される前記画像に基づいて、前記物品を検査する、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項3】
前記検査部は、前記第１閾値未満であり且つ前記第２閾値以上である前記輝度に基づいて前記画像の２値化処理を行い、２値化画像における領域の面積を取得し、当該領域の面積が所定面積以上である場合、前記物品が不良品であると判定する、請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来のＸ線検査装置としては、例えば、特許文献１に記載されている装置が知られている。特許文献１に記載のＸ線検査装置は、物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、Ｘ線を検出するＸ線検出部と、を備え、Ｘ線の検出結果に基づいて作成されたＸ線画像に対して画像処理を施して物品の検査を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】国際公開第２００６／００１１０７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
Ｘ線検査装置では、物品への異物混入の有無の検査を実施して、物品の良品又は不良品の判定を行う。物品は、その品質が悪い場合にも不良品となる。例えば、物品の一部が通常よりも硬い場合や柔らか過ぎる場合等、他の部分とは物性の異なる部分を有している場合には、品質が悪いため不良品となる。このような不良品の検査は、従来、作業者が物品を直接触ることによって、物品の硬さを検査していた。作業者による手作業は、作業者の経験や感覚に左右され得るため、ばらつきが生じ得る。
【0005】
本発明の一側面は、検査精度の向上が図れるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一側面に係るＸ線検査装置は、物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、Ｘ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部によって検出されたＸ線の検出結果から作成される画像に基づいて、物品を検査する検査部と、を備え、検査部は、画像の各画素の輝度と、物品の異物検査に係る第１閾値と、を用いて、物品における異物の有無を判定する第１処理と、画像の各画素の輝度と、物品の品質検査に係る第１閾値よりも低い第２閾値と、を用いて、物品の品質の良否を判定する第２処理と、を実施し、第２処理は、輝度が第１閾値未満であり且つ第２閾値以上である画素の範囲が所定範囲以上である場合、物品が不良品であると判定する。
【0007】
本願発明者等は、物品において品質不良の部分が存在する場合、Ｘ線の検出結果において、異物とは異なる特徴が出現するという知見を得た。物品において品質不良の部分は、異物ほどは検出結果に顕著に現れないが、ある程度の範囲（領域）を有している。このような知見に基づき、本願発明者等は、画像の各画素の輝度の閾値と範囲との関連性を見出した。そこで、本発明の一側面に係るＸ線検査装置では、第２処理は、輝度が第１閾値未満であり且つ第２閾値以上である画素の範囲が所定範囲以上である場合、物品が不良品であると判定する。これにより、Ｘ線検査装置では、異物検査だけではなく、物品の品質検査も行うことができる。したがって、Ｘ線検査装置では、検査精度の向上が図れる。
【0008】
一実施形態においては、Ｘ線検出部は、物品を透過した第１エネルギー帯のＸ線を検出する第１検出部と、物品を透過した第１エネルギー帯とは異なる第２エネルギー帯のＸ線を検出する第２検出部と、を有し、検査部は、第１検出部及び第２検出部の検出結果から作成される画像に基づいて、物品を検査してもよい。物品においては、物性によって、２つのエネルギー帯のＸ線の吸収が異なる。そのため、Ｘ線検査装置では、２つの異なるエネルギー帯の検出結果から作成された画像を使用することにより、異物又は品質不良をより顕著に捉えることが可能となる。その結果、Ｘ線検査装置では、検査精度の向上をより一層図れる。
【0009】
一実施形態においては、検査部は、第１閾値未満であり且つ第２閾値以上である輝度に基づいて画像の２値化処理を行い、２値化画像における領域の面積を取得し、当該領域の面積が所定面積以上である場合、物品が不良品であると判定してもよい。この構成では、物品の品質の良否の判定をより精度良く行うことができる。
【発明の効果】
【0010】
本発明の一側面によれば、検査精度の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【0013】
図１に示されるように、Ｘ線検査装置１は、装置本体２と、支持脚３と、シールドボックス４と、搬送部５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、表示操作部８と、制御部（検査部）１０と、を備える。Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送しつつ物品ＧのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査（例えば、収納数検査、異物検査、欠品検査、割れ欠け検査等）を行う。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１によってＸ線検査装置１に搬入される。検査後の物品Ｇは、搬出コンベア５２によってＸ線検査装置１から搬出される。Ｘ線検査装置１によって不良品と判定された物品Ｇは、搬出コンベア５２の下流に配置された振分装置（図示省略）によって生産ライン外に振り分けられる。Ｘ線検査装置１によって良品と判定された物品Ｇは、当該振分装置をそのまま通過する。本実施形態では、物品Ｇは食肉である。
【0014】
装置本体２は、制御部１０等を収容している。支持脚３は、装置本体２を支持している。シールドボックス４は、装置本体２に設けられている。シールドボックス４は、外部へのＸ線（電磁波）の漏洩を防止する。シールドボックス４の内部には、Ｘ線による物品Ｇの検査が実施される検査領域Ｒが設けられている。シールドボックス４には、搬入口４ａ及び搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１から搬入口４ａを介して検査領域Ｒに搬入される。検査後の物品Ｇは、検査領域Ｒから搬出口４ｂを介して搬出コンベア５２に搬出される。搬入口４ａ及び搬出口４ｂのそれぞれには、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線遮蔽カーテン（図示省略）が設けられている。
【0015】
搬送部５は、シールドボックス４の中央を貫通するように配置されている。搬送部５は、搬入口４ａから検査領域Ｒを介して搬出口４ｂまで、搬送方向Ａに沿って物品Ｇを搬送する。搬送部５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。なお、ベルトコンベアである搬送部５は、搬入口４ａ及び搬出口４ｂよりも外側に突出していてもよい。
【0016】
図１及び図２に示されるように、Ｘ線照射部６は、シールドボックス４内に配置されている。Ｘ線照射部６は、搬送部５によって搬送される物品ＧにＸ線を照射する。Ｘ線照射部６は、例えば、Ｘ線を出射するＸ線管と、Ｘ線管から出射されたＸ線を搬送方向Ａに垂直な面内において扇状に広げる絞り部と、を有している。Ｘ線照射部６から照射されるＸ線には、低エネルギー（長波長）から高エネルギー（短波長）までの様々なエネルギー帯のＸ線が含まれている。なお、上述した低エネルギー帯及び高エネルギー帯における「低」及び「高」は、Ｘ線照射部６から照射される複数のエネルギー帯の中で相対的に「低い」及び「高い」ことを示すものであり、特定の範囲を示すものではない。
【0017】
Ｘ線検出部７は、シールドボックス４内に配置されている。Ｘ線検出部７は、物品Ｇを透過した複数のエネルギー帯の各々のＸ線を検出する。本実施形態では、Ｘ線検出部７は、低エネルギー帯（第１エネルギー帯）のＸ線及び高エネルギー帯（第２エネルギー帯）のＸ線を検出するように構成されている。すなわち、Ｘ線検出部７は、第１ラインセンサ（第１検出部）１１と、第２ラインセンサ（第２検出部）１２と、を有している。第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２は、それぞれ、搬送方向Ａに垂直な水平方向に沿って一次元に配列されたＸ線検出素子によって構成されている。第１ラインセンサ１１は、物品Ｇ及び搬送部５の搬送ベルトを透過した低エネルギー帯のＸ線を検出する。第２ラインセンサ１２は、物品Ｇ、搬送部５の搬送ベルト及び第１ラインセンサ１１を透過した高エネルギー帯のＸ線を検出する。
【0018】
図１に示されるように、表示操作部８は、装置本体２に設けられている。表示操作部８は、各種情報を表示すると共に、各種条件の入力を受け付ける。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して各種条件を入力することができる。
【0019】
制御部１０は、装置本体２内に配置されている。制御部１０は、Ｘ線検査装置１の各部（本実施形態では、搬送部５、Ｘ線照射部６、Ｘ線検出部７、及び表示操作部８、並びに、Ｘ線検査装置１の下流に配置される図示しない振分装置）の動作を制御する。なお、振分装置は、Ｘ線検査装置１による画像検査で不良品と判定された被検査物（物品）を搬送路上から排除する装置である。制御部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサ、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリ、及びＳＳＤ（Solid State Drive）等のストレージを備える。ＲＯＭには、Ｘ線検査装置１を制御するためのプログラムが記録されている。制御部１０には、Ｘ線検出部７の第１ラインセンサ１１から低エネルギー帯のＸ線の検出結果が入力されると共に、Ｘ線検出部７の第２ラインセンサ１２から高エネルギー帯のＸ線の検出結果が入力される。
【0020】
制御部１０は、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の検出結果に基づいて、透過画像を生成する。制御部１０は、第１ラインセンサ１１の低エネルギー帯のＸ線の検出結果に基づいて、ソフト画像（第１透過画像）Ｐ１０を生成する。図３（ａ）は、制御部１０の処理によって生成されたソフト画像Ｐ１０の一例である。ソフト画像Ｐ１０は、比較的コントラストが高く、全体的に暗くなっている。制御部１０は、第２ラインセンサ１２の高エネルギー帯のＸ線の検出結果に基づいて、ハード画像（第２透過画像）Ｐ２０を生成する。図３（ｂ）は、制御部１０の処理によって生成されたハード画像Ｐ２０の一例である。ハード画像Ｐ２０は、比較的コントラストが低く、全体的に明るくなっている。
【0021】
制御部１０は、画像処理アルゴリズムを用い、ソフト画像Ｐ１０及びハード画像Ｐ２０の処理（画像処理）を行って処理画像を生成する。画像処理アルゴリズムとは、ソフト画像Ｐ１０及びハード画像Ｐ２０に施す画像処理の処理手順を示す型である。画像処理アルゴリズムは、１つの画像処理フィルタ、又は、複数の画像処理フィルタの組み合わせによって構成される。複数の画像処理アルゴリズムは、インターネット等のネットワークを介して外部から取得することができる。また、複数の画像処理アルゴリズムは、ＵＳＢメモリ又はリムーバブルハードディスク等の外部記憶媒体から取得することもできる。複数の画像処理アルゴリズムのうちの少なくとも１つ以上は、生物界における遺伝及び進化のメカニズムを応用した手法である遺伝的アルゴリズム（GA＝Genetic Algorithms）を採用して、Ｘ線検査装置１の仕様又は検査条件等に基づき複数の画像処理フィルタから自動生成することができる。複数の画像処理アルゴリズムの少なくとも一部は、作業者が表示操作部８を介して適宜設定することもできる。
【0022】
制御部１０は、第１処理を実施することにより、物品Ｇに異物Ｆ（図４参照）が含まれているか否かを判定する。制御部１０は、画像の各画素の輝度と、物品Ｇの異物検査に係る第１閾値Ｔ１（図４参照）と、を用いて、物品Ｇにおける異物Ｆの有無を判定する。
【0023】
具体的には、制御部１０は、ソフト画像Ｐ１０とハード画像Ｐ２０との大きさ、輝度、位置等を合わせる処理を行い、当該処理を行ったソフト画像Ｐ１０の輝度値とハード画像Ｐ２０の輝度値とを各画素で除算することにより、ソフト画像Ｐ１０及びハード画像Ｐ２０の差異を抽出する処理を行う。制御部１０は、差異を抽出した画像においてノイズを除去した処理画像を生成し、当該処理画像を一定の値を閾値として２値化し、２値化画像を生成する（２値化）。制御部１０は、２値化画像とハード画像Ｐ２０とを重ね合わせて、判定画像Ｐ３０（図４参照）を生成する。
【0024】
制御部１０は、判定画像Ｐ３０に基づいて、物品Ｇに異物Ｆが含まれているか否かを判定する。図４に示されるように、制御部１０は、判定画像Ｐ３０において、輝度値が第１閾値Ｔ１を超えている場合には、物品Ｇに異物Ｆが含まれていると判定する。本実施形態では、制御部１０は、第１処理において、物品Ｇに１つの異物Ｆが含まれていると判定する。制御部１０は、第１処理による第１判定結果を記憶部に記憶させる。なお、第１閾値Ｔ１は、物品Ｇの性質に応じて、試験等によって適宜設定される。具体的には、第１閾値Ｔ１は、異物が混入されたサンプルを用いて設定することができる。
【0025】
制御部１０は、第２処理を実施することにより、物品Ｇの品質の良否を判定する。本実施形態では、制御部１０は、物品Ｇにおいて、他の部分よりも硬い部位Ｗ（図５参照）が含まれている場合、物品Ｇが不良品であると判定する。制御部１０は、画像の各画素の輝度と、物品Ｇの品質検査に係る第１閾値Ｔ１よりも低い第２閾値Ｔ２と、を用いて、物品Ｇの品質の良否を判定する。制御部１０は、第２処理において、輝度が第１閾値Ｔ１未満であり且つ第２閾値Ｔ２以上である画素の範囲が所定範囲以上である場合、物品Ｇが不良品であると判定する。
【0026】
具体的には、制御部１０は、判定画像Ｐ３０に基づいて、物品Ｇの品質の良否を判定する。図５に示されるように、制御部１０は、判定画像Ｐ３０において、輝度が第１閾値Ｔ１未満であり且つ第２閾値Ｔ２以上である画素の範囲が所定範囲以上である場合、物品Ｇが不良品であると判定する。詳細には、制御部１０は、第１閾値Ｔ１未満であり且つ第２閾値Ｔ２以上である輝度に基づいて画像の２値化処理を行い、２値化画像における領域の面積を取得し、当該領域の面積が所定面積以上である場合、物品Ｇが不良品であると判定する。制御部１０は、画像処理によって、判定画像Ｐ３０における上記領域の面積を取得する。制御部１０は、第２処理による第２判定結果を記憶部に記憶させる。なお、第２閾値Ｔ２及び所定面積は、物品Ｇの性質に応じて、試験等によって適宜設定される。具体的には、第２閾値Ｔ２及び所定面積は、硬い部位Ｗを有するサンプルを用いて設定することができる。
【0027】
制御部１０は、第１処理及び第２処理を並行して実施する。制御部１０は、第１処理において物品Ｇに異物Ｆが有ると判定した場合、及び／又は、第２処理において物品Ｇが不良品であると判定した場合には、振分装置に振分信号を出力する。これにより、振分装置は、物品Ｇを生産ライン外に振り分ける。また、制御部１０は、第１処理において物品Ｇに異物Ｆが有ると判定した場合、及び／又は、第２処理において物品Ｇが不良品であると判定した場合には、表示操作部８にその旨を表示させる。具体的には、制御部１０は、物品Ｇに異物Ｆが有ると判定した場合には、異物混入を報知する情報を表示操作部８に表示させ、物品Ｇが不良品であると判定した場合には、不良品を報知する情報を表示操作部８に表示させる。
【0028】
続いて、Ｘ線検査装置１の動作について説明する。検査の対象となる物品Ｇは、搬入コンベア５１から搬入口４ａを介してＸ線検査装置１の検査領域Ｒに搬入される（図１参照）。Ｘ線検査装置１では、Ｘ線照射部６が当該物品ＧにＸ線を照射し、Ｘ線検出部７が当該物品Ｇを透過した複数のエネルギー帯の各々のＸ線を検出する。本実施形態では、Ｘ線検出部７の第１ラインセンサ１１によって低エネルギー帯のＸ線が検出され、Ｘ線検出部７の第２ラインセンサ１２によって高エネルギー帯のＸ線が検出される（図２参照）。
【0029】
制御部１０は、第１ラインセンサ１１による低エネルギー帯のＸ線の検出結果に基づいて、ソフト画像Ｐ１０を生成し、第２ラインセンサ１２による高エネルギー帯のＸ線の検出結果に基づいて、ハード画像Ｐ２０を生成する。続いて、制御部１０は、生成したソフト画像Ｐ１０及びハード画像Ｐ２０から判定画像Ｐ３０を生成する。
【0030】
制御部１０は、判定画像Ｐ３０に基づいて、第１処理を実施する。すなわち、制御部１０は、異物Ｆの有無を検査する。また、制御部１０は、判定画像Ｐ３０に基づいて、第２処理を実施する。すなわち、制御部１０は、不良品の有無を検査する。制御部１０は、第１処理及び第２処理の少なくとも一方において、ＮＧ判定（異物混入判定、不良品判定）を行った場合には、振分装置に振分信号を出力する。また、制御部１０は、ＮＧ判定の判定結果を表示操作部８に表示させる。
【0031】
以上説明したＸ線検査装置１の作用効果について説明する。本願発明者等は、物品Ｇにおいて品質不良の部分が存在する場合、Ｘ線の検出結果において、異物Ｆとは異なる特徴が出現するという知見を得た。物品Ｇにおいて他の部分よりも硬い部位Ｗは、異物Ｆほどは検出結果に顕著に現れないが、ある程度の範囲（面積）を有している。このような知見に基づき、本願発明者等は、輝度の閾値と範囲との関連性を見出した。そこで、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、輝度が第１閾値Ｔ１未満であり且つ第２閾値Ｔ２以上である画素の範囲が所定範囲以上である場合、物品Ｇが不良品であると判定する。これにより、Ｘ線検査装置１では、異物検査だけではなく、物品Ｇの品質検査も行うことができる。したがって、Ｘ線検査装置１では、検査精度の向上が図れる。
【0032】
本実施形態に係るＸ線検査装置１では、Ｘ線検出部７は、物品Ｇを透過した第１エネルギー帯のＸ線を検出する第１ラインセンサ１１と、物品Ｇを透過した第１エネルギー帯とは異なる第２エネルギー帯のＸ線を検出する第２ラインセンサ１２と、を有している。制御部１０は、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の検出結果から作成される画像に基づいて、物品Ｇを検査する。物品Ｇにおいては、物性によって、２つのエネルギー帯のＸ線の吸収が異なる。そのため、Ｘ線検査装置１では、２つの異なるエネルギー帯の検出結果から作成されたソフト画像Ｐ１０及びハード画像Ｐ２０を使用することにより、異物又は品質不良をより顕著に捉えることが可能となる。その結果、Ｘ線検査装置１では、検査精度の向上をより一層図れる。
【0033】
本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、第１閾値Ｔ１未満であり且つ第２閾値Ｔ２以上である輝度に基づいてソフト画像Ｐ１０及びハード画像Ｐ２０に基づく画像の２値化処理を行い、２値化画像における領域の面積を取得し、当該領域の面積が所定面積以上である場合、物品Ｇが不良品であると判定する。この構成では、物品Ｇの品質の良否の判定をより精度良く行うことができる。
【0034】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【0035】
上記実施形態では、Ｘ線検出部７が第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２を有している形態を一例に説明した。しかし、Ｘ線検出部は、少なくとも１つのラインセンサを有していればよい。この場合、制御部１０は、１つの透過画像に基づいて、２つの異なる画像処理アルゴリズムを用いて異物Ｆの判定を実施する。
【0036】
上記実施形態では、制御部１０は、第２処理において、物品Ｇにおいて硬い部位Ｗ（図５参照）が含まれている場合、物品Ｇが不良品であると判定する形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、第２処理において、他の要因に基づいて物品Ｇの品質の良否を判定してもよい。例えば、制御部１０は、物品Ｇにおいて柔らか過ぎる部位が含まれている場合、物品Ｇの中身が疎である場合、物品Ｇ（肉）において脂身の部位が多い場合（赤身と脂身とのバランスが悪い場合）等に、物品Ｇの品質不良であると判定してもよい。
【0037】
上記実施形態では、Ｘ線検査装置１が搬送部５を備える形態を一例に説明した。しかし、Ｘ線検査装置は、搬送部を備えていなくてもよい。
【符号の説明】
【0038】
１…Ｘ線検査装置、６…Ｘ線照射部、７…Ｘ線検出部、１１…第１ラインセンサ（第１検出部）、１２…第２ラインセンサ（第２検出部）、Ｆ…異物、Ｇ…物品、Ｔ１…第１閾値、Ｔ２…第２閾値。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】