発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明者は、レーザ構成要素を収容した筐体を所定温度に温度調節するようにした従来のレーザ装置において、光出力が変動してしまう理由を解明した。以下、その理由を説明する。図８は、従来のレーザ装置を概略的に示すものであり、図中の１０はレーザ構成要素（図示せず）を内部に収容した筐体、３０はペルチェ素子等の温度調節素子を示している。そして筐体１０の図中下面と、温度調節素子３０の図中上面（接着面）とは図示外の薄い接着剤層を介して接合されている。この図８で上から下に向けて示す（ａ）、（ｂ）、および（ｃ）はそれぞれ、周囲温度が比較的低い場合、周囲温度が筐体１０の内部温度と同程度である場合、および周囲温度が比較的高い場合を示している。

（ａ）の場合は温度調節素子３０の図中上面が加温されることから筐体１０が拡がるように変形し、（ｃ）の場合は温度調節素子３０の図中上面が冷却されることから筐体１０が縮むように変形する。筐体１０と温度調節素子３０とを接合する接着剤層は従来、温度調節の応答性を良くするために比較的薄く形成されているので、温度調節素子３０が駆動したときの変形が、直接的に筐体１０に伝わって該筐体１０の変形を招く。そして、この変形により、筐体内部に収容されている共振器の長さが変化し、その結果、レーザ装置の光出力が変動することを本発明者は見出した。こうした不具合を招かないように接着剤層を比較的厚く形成することも考えられるが、そうする場合は接着剤層の厚さを均一に制御するのが困難になり、その結果、レーザ装置の特性に大きな個体差が発生してしまう。

それに対して本発明のレーザ装置においては、接着剤層として、筐体と温度調節素子との間の距離を規定する、複数の略均一形状のスペーサが分散されている接着剤層が用いられているので、接着剤層の厚さを均一に制御可能とした上で、この厚さを比較的大きく取ることができる。そこで、温度調節素子の変形を筐体に伝わり難くして筐体の変形、ひいては共振器長の変化を防止し、レーザ装置の光出力変動を防止可能となる。