ホーム > 特許ランキング > 日本特殊陶業株式会社 > 特許7394178
特許 7394178出願番号 特願 2022-96165
保持装置
出願人 日本特殊陶業株式会社（識別番号 4547）
2026年 特許公開件数ランキング 103位 230件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 141位 148件（※）
公報発行日 2023年12月7
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7394178 ログイン済みの方はこのURLへ
［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。
※ 共同出願を含む
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。 ログインはこちら ログイン・ユーザー登録
技術分野
本明細書に開示される技術は、複合部材および接着剤組成物
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
近年、－６０℃程度の低温下で、半導体の製造工程の内の一部の工程が行われることがある。このような場合には、静電チャックにも低温下でも良好な物性を維持することが要求される。例えば、静電チャックのセラミックス部材を構成するセラミックスとベース部材を構成する材料（例えば、金属）とは、熱膨張差が大きい。このため、セラミックス部材とベース部材とを接着する接着部材には、接着性のみならず、この熱膨張差を緩和するために低温下でも柔軟性を維持することが要求される。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)
この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図である。
【図2】
本実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図3】
性能評価結果を示す説明図である。
【図4】
性能評価結果を示す説明図である。
【図5】
性能評価結果を示す説明図である。
【図6】
接着剤組成物の貯蔵弾性率の測定結果に基づき、ガラス転移温度を特定するための方法を示す説明図である。
【図7】
せん断接着歪みの特定方法を模式的に示す説明図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１０：セラミックス部材 ２０：ベース部材 ２１：冷媒流路 ３０：接着部材 ４０：チャック電極 ５０：ヒータ電極 ６０：ドライバ電極 １００：静電チャック ２０１，２０２：アルミニウム板 Ｓ１：上面（吸着面） Ｓ２：下面 Ｓ３：上面 ＳＡ：接着剤組成物 Ｗ：ウェハ
全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録
［広告欄］
ログインすれば広告は減ります
ログインすれば広告は減ります