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技術分野

光学素子に関するものであり、特に、デュアル光学マイクロ構造を有する光学素子に関するものである。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

デュアル光学マイクロ構造を有する光学素子を提供する。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一実施形態による、光学素子が提供される。光学素子は、基板および複数の光学構造を含む。基板は、複数の光電変換素子を含む。光学構造は基板の上方に配置される。各光学構造は、１つの光電変換素子に対応する。各光学構造は、第１の部分および第２の部分を含む。第１の部分は、第１のガラス転移温度を有する。第２の部分は、第２のガラス転移温度を有する。第２の部分は、入射光を光電変換素子に導く。第１のガラス・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

本発明は、添付の図面を参照しながら以下の詳細な説明から、より完全に理解することができる。
【図1】 図１は、本発明の一実施形態による光学素子の断面図を示している。
【図2】 図２は、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図3A】 図３Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図3B】 図３Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図3C】 図３Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図3D】 図３Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図4A】 図４Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第２の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図4B】 図４Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第２の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図4C】 図４Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第２の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図4D】 図４Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第２の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図4E】 図４Ｅは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第２の部分のプロファイルの断面図を示している。
【図5】 図５は、本発明の一実施形態による画素の光学構造の配置の上面図を示している。
【図6A】 図６Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図6B】 図６Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図6C】 図６Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図6D】 図６Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図7A】 図７Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図7B】 図７Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図7C】 図７Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図7D】 図７Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図8A】 図８Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図8B】 図８Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の断面図を示している。
【図9】 図９は、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図10A】 図１０Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図10B】 図１０Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図10C】 図１０Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図10D】 図１０Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図11A】 図１１Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図11B】 図１１Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図11C】 図１１Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図11D】 図１１Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図12A】 図１２Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図12B】 図１２Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図12C】 図１２Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図12D】 図１２Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図13A】 図１３Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図13B】 図１３Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図13C】 図１３Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図13D】 図１３Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図13E】 図１３Ｅは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図14A】 図１４Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図14B】 図１４Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図14C】 図１４Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図14D】 図１４Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図15A】 図１５Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図15B】 図１５Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図16A】 図１６Ａは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図16B】 図１６Ｂは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図16C】 図１６Ｃは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図16D】 図１６Ｄは、本発明の様々な実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図17A】 図１７Ａは、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図17B】 図１７Ｂは、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図17C】 図１７Ｃは、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図18A】 図１８Ａは、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図18B】 図１８Ｂは、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の断面図を示している。
【図18C】 図１８Ｃは、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図19A】 図１９Ａは、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図19B】 図１９Ｂは、本発明の一実施形態による光学構造の第１の部分および第２の部分の配置の上面図を示している。
【図20】 図２０は、本発明の一実施形態による光学素子の断面図を示している。
【図21】 図２１は、本発明の一実施形態による光学素子の断面図を示している。
【図22】 図２２は、本発明の一実施形態による光学素子の断面図を示している。
【図23】 図２３は、本発明の一実施形態による光学素子の断面図を示している。
【図24】 図２４は、本発明の一実施形態による光学素子を製造する方法の断面図を示している。
【図25】 図２５は、本発明の一実施形態による光学素子を製造する方法の断面図を示している。
【図26】 図２６は、リフロー後の光学構造のＡＦＭプロファイルを示している。
【図27】 図２７は、リフロー後の光学構造のＡＦＭプロファイルを示している。
【図28】 図２８は、リフロー後の光学構造のＡＦＭプロファイルを示している。

代表図 図1本件の代表的な図

１０ 光学素子 １２ 基板 １４ 光学構造 １６ 光電変換素子 １８ 第１の部分 ２０ 第２の部分 ２１ 入射光 ２２ カラーフィルタ ２４ マイクロレンズ ２６ 平坦化層 ２６’ 平坦化層の上面 Ｗ１ 上部幅 Ｗ２ 底部幅 Ｓ１ 右側壁 Ｓ２ 左側壁 Ｎ 法線 α１、α２ 角度 ｈ 高さ Ｓａ 非球面 Ｓｂ 非球面 Ｓｃ 傾斜面 Ｓｄ 凹面 Ｓｅ 平坦面 Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５ 画素 １４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、１４ｅ 光学構造 ψ 角度 １２ｄ 基板の中心 Ｍｃ 質量の中心 Ｃ 接続線 Ｈ 水平線 １８’ 環状開口 １８” 環状開口 １８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ 四角柱 １２ａ 第１の領域 １２ｂ 第２の領域 １２ｃ 第３の領域 １２ｅ 端部 ｈ１ 第１の高さ ｈ２ 第２の高さ ｈ３ 第３の高さ Ｓａ１、Ｓａ２、Ｓａ３ 球面 ｃ１ 第１の曲率 ｃ２ 第２の曲率 ｃ３ 第３の曲率 Ｓｃ１、Ｓｃ２、Ｓｃ３ 傾斜面 ｓｐ１ 第１の傾斜 ｓｐ２ 第２の傾斜 ｓｐ３ 第３の傾斜 Ｄ１ 距離 １４ｅ１ 境界 １６ｅ 境界 １９ 第２の材料 ２８ 加熱プロセス ｄ 間隙 ３０ エッチングプロセス ｓ１ 第１の曲率 ｓ２ 第２の曲率 ｓ３ 第３の曲率

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