(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-04
(45)【発行日】2023-12-12
(54)【発明の名称】ガスセンサ
(51)【国際特許分類】
G01N 27/409 20060101AFI20231205BHJP
G01N 27/416 20060101ALI20231205BHJP
【ＦＩ】
G01N27/409 100
G01N27/416 331
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2019168144
(22)【出願日】2019-09-17
(65)【公開番号】P2021047028
(43)【公開日】2021-03-25
【審査請求日】2022-04-19
(73)【特許権者】
【識別番号】000004064
【氏名又は名称】日本碍子株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100077665
【弁理士】
【氏名又は名称】千葉 剛宏
(74)【代理人】
【識別番号】100116676
【弁理士】
【氏名又は名称】宮寺 利幸
(74)【代理人】
【識別番号】100191134
【弁理士】
【氏名又は名称】千馬 隆之
(74)【代理人】
【識別番号】100136548
【弁理士】
【氏名又は名称】仲宗根 康晴
(74)【代理人】
【識別番号】100136641
【弁理士】
【氏名又は名称】坂井 志郎
(74)【代理人】
【識別番号】100180448
【弁理士】
【氏名又は名称】関口 亨祐
(72)【発明者】
【氏名】新妻 匠太郎
(72)【発明者】
【氏名】渡邉 悠介
(72)【発明者】
【氏名】平川 敏弘
(72)【発明者】
【氏名】青田 隼実
【審査官】小澤 理
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２００５／０２９０５７（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１８－０１３４７５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－１８１７６８（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１１／０７８０４２（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｎ ２７／４０９
Ｇ０１Ｎ ２７／４１６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
センサ素子と、前記センサ素子の後端部に形成された複数の素子パッドと、
前記センサ素子の後端部を保持し、且つ、複数の前記素子パッドに電気的にそれぞれ接続される複数の接点部材と、を有し、
複数の前記素子パッドのうちの３つの前記素子パッドが、前記センサ素子の一主面に形成され、
複数の前記接点部材のうちの３つの前記接点部材が、前記３つの素子パッドに電気的にそれぞれ接続され、
前記３つの前記接点部材のうち、中央部分に配された１つの接点部材の先端部分の幅が、その他の２つの接点部材の幅より小さく、
前記中央部分に配された前記１つの接点部材の前記先端部分の幅は、前記センサ素子の幅の０．１２１倍～０．２７３倍である、ガスセンサ。
【請求項2】
請求項１記載のガスセンサにおいて、前記中央部分に配された前記１つの接点部材の前記先端部分の幅は、前記その他の２つの接点部材の幅の０．４倍～０．９倍である、ガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ガスセンサに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１では、リード線や金属端子具等のショートが生じ難く、安定したセンサ出力が得られるガスセンサを提供することを課題としている。
【0003】
当該課題を解決するため、特許文献１では、弾性絶縁部材（５）の各第１挿通穴の先端側に第１ガイド部（５３１）を設け、絶縁碍子（３）における各第２挿通穴の基端側に第２ガイド部（３３１）を設けてあり、第１ガイド部（５３１）及び第２ガイド部（３３１）によってリード線（１６１）、金属端子（４９）の動きを抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００１－１４１６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１記載のガスセンサは、センサ素子と直接接して導通をとる複数の接点部材（メスコン）の幅が同一である。そのため、接点部材の幅が大きいほど、隣接する接点部材間の間隔が狭くなるため、短絡が発生するおそれがある。
【0006】
また、車両用ガスセンサにおいて、接点部材の幅が大きいほど、接点部材の対になる素子パッドの面積も大きくなるため、素子パッドの構成材料である例えばＰｔ（白金）の使用量が多くなり、コストアップにつながる。
【0007】
本発明は、上述した課題に鑑みなされたものであり、上述した問題を解消することができ、隣接する接点部材間での短絡の発生防止、素子パッドの構成材料の使用量の低減を図ることができるガスセンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一態様によるガスセンサは、
センサ素子と、
前記センサ素子の後端部に形成された複数の素子パッドと、
前記センサ素子の後端部を保持し、且つ、複数の前記素子パッドと電気的にそれぞれ接続する複数の接点部材と、を有し、
複数の前記接点部材のうち、少なくとも１つの接点部材の幅が小さい。
センサ素子と、
前記センサ素子の後端部に形成された複数の素子パッドと、
前記センサ素子の後端部を保持し、且つ、複数の前記素子パッドと電気的にそれぞれ接続する複数の接点部材と、を有し、
複数の前記接点部材のうち、少なくとも１つの接点部材の幅が小さい。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、隣接する接点部材間での短絡の発生防止、素子パッドの構成材料の使用量の低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
本発明に係るガスセンサについて、好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照して以下に詳細に説明する。
【0012】
本実施形態に係るガスセンサ１０は、図１に示すように、センサ素子１２を備える。センサ素子１２は長尺な直方体形状をしており、このセンサ素子１２の長手方向（図２の左右方向）を前後方向とし、センサ素子１２の厚み方向（図２の上下方向）を上下方向とする。また、センサ素子１２の幅方向（前後方向及び上下方向に垂直な方向）を左右方向とする。
【0013】
図１に示すように、ガスセンサ１０は、センサ素子１２と、センサ素子１２の前端側を保護する保護カバー１４と、セラミックハウジング１６を含むセンサ組立体２０とを備えている。セラミックハウジング１６は、センサ素子１２の後端部を保持し、センサ素子１２と電気的に接続する端子部材１８が装着されることで、コネクタ２４として機能する。
【0014】
このガスセンサ１０は、図示するように、例えば車両の排ガス管等の配管２６に取り付けられて、被測定ガスとしての排気ガスに含まれるＮＯｘやＯ2等の特定ガスの濃度を測定するために用いられる。
【0015】
保護カバー１４は、センサ素子１２の前端を覆う有底筒状の内側保護カバー１４ａと、この内側保護カバー１４ａを覆う有底筒状の外側保護カバー１４ｂとを備えている。内側保護カバー１４ａ及び外側保護カバー１４ｂには、被測定ガスを保護カバー１４内に流通させるための複数の孔が形成されている。内側保護カバー１４ａで囲まれた空間としてセンサ素子室２８が形成されており、センサ素子１２の前端はこのセンサ素子室２８内に配置されている。
【0016】
センサ組立体２０は、センサ素子１２を封入固定する素子封止体３０と、素子封止体３０に取り付けられたナット３２と、外筒３４と、センサ素子１２の後端の表面（上下面）に形成された図示しない電極に接触してこれらと電気的に接続されたコネクタ２４と、を備えている。
【0017】
素子封止体３０は、筒状の主体金具４０と、主体金具４０と同軸に溶接固定された筒状の内筒４２と、主体金具４０及び内筒４２の内側の貫通孔内に封入されたセラミックスサポータ４４ａ～４４ｃ、圧粉体４６ａ、４６ｂ、メタルリング４８と、を備えている。センサ素子１２は素子封止体３０の中心軸上に位置しており、素子封止体３０を前後方向に貫通している。内筒４２には、圧粉体４６ｂを内筒４２の中心軸方向に押圧するための縮径部４２ａと、メタルリング４８を介してセラミックスサポータ４４ａ～４４ｃ、圧粉体４６ａ、４６ｂを前方に押圧するための縮径部４２ｂとが形成されている。縮径部４２ａ、４２ｂからの押圧力により、圧粉体４６ａ、４６ｂが主体金具４０及び内筒４２とセンサ素子１２との間で圧縮されることで、圧粉体４６ａ、４６ｂが保護カバー１４内のセンサ素子室２８と外筒３４内の空間５０との間を封止すると共に、センサ素子１２を固定している。
【0018】
ナット３２は、主体金具４０と同軸に固定されており、外周面に雄ネジ部が形成されている。ナット３２の雄ネジ部は、配管２６に溶接され内周面に雌ネジ部が設けられた固定用部材５２内に挿入されている。これにより、ガスセンサ１０のうちセンサ素子１２の前端や保護カバー１４の部分が配管２６内に突出した状態で、ガスセンサ１０が配管２６に固定されている。
【0019】
外筒３４は、内筒４２、センサ素子１２、コネクタ２４の周囲を覆っており、コネクタ２４に接続された複数のリード線５４が後端から外部に引き出されている。このリード線５４は、コネクタ２４を介してセンサ素子１２の各電極（後述）と導通している。外筒３４とリード線５４との隙間はグロメット等で構成された弾性絶縁部材５６によって封止されている。外筒３４内の空間５０は基準ガス（本実施形態では大気）で満たされている。センサ素子１２の後端はこの空間５０内に配置されている。
【0020】
一方、センサ素子１２は、図２に示すように、それぞれがジルコニア（ＺｒＯ2）等の酸素イオン伝導性固体電解質層からなる第１基板層６０と、第２基板層６２と、第３基板層６４と、第１固体電解質層６６と、スペーサ層６８と、第２固体電解質層７０の６つの層が、図面視で下側からこの順に積層された積層体を有する素子である。また、これら６つの層を形成する固体電解質は緻密な気密のものである。センサ素子１２は、例えば、各層に対応するセラミックスグリーンシートに所定の加工及び回路パターンの印刷等を行った後にそれらを積層し、さらに、焼成して一体化させることによって製造される。
【0021】
センサ素子１２の一端（図２の左側）であって、第２固体電解質層７０の下面と第１固体電解質層６６の上面との間には、ガス導入口８０と、第１拡散律速部８２と、緩衝空間８４と、第２拡散律速部８６と、第１内部空所８８と、第３拡散律速部９０と、第２内部空所９２と、第４拡散律速部９４と、第３内部空所９６とが、この順に連通する態様にて隣接形成されてなる。
【0022】
ガス導入口８０と、緩衝空間８４と、第１内部空所８８と、第２内部空所９２と、第３内部空所９６とは、スペーサ層６８をくり抜いた態様にて設けられた上部を第２固体電解質層７０の下面で、下部を第１固体電解質層６６の上面で、側部をスペーサ層６８の側面で区画されたセンサ素子１２内部の空間である。
【0023】
第１拡散律速部８２と、第２拡散律速部８６と、第３拡散律速部９０とはいずれも、２本の横長の（図面に垂直な方向に開口が長手方向を有する）スリットとして設けられる。また、第４拡散律速部９４は、第２固体電解質層７０の下面との隙間として形成された１本の横長の（図面に垂直な方向に開口が長手方向を有する）スリットとして設けられる。なお、ガス導入口８０から第３内部空所９６に至る部位を被測定ガス流通部とも称する。
【0024】
また、被測定ガス流通部よりも一端側から遠い位置には、第３基板層６４の上面と、スペーサ層６８の下面との間であって、側部を第１固体電解質層６６の側面で区画される位置に基準ガス導入空間９８が設けられている。基準ガス導入空間９８には、ＮＯｘ濃度の測定を行う際の基準ガスとして、例えば大気（図１の空間５０内の雰囲気）が導入される。
【0025】
大気導入層１００は、多孔質アルミナ等のセラミックスからなり、基準ガス導入空間９８に露出している層である。この大気導入層１００には基準ガス導入空間９８を通じて基準ガスが導入されるようになっている。また、大気導入層１００は、基準電極１０２を被覆するように形成されている。この大気導入層１００は、基準ガス導入空間９８内の基準ガスに対して所定の拡散抵抗を付与しつつ、これを基準電極１０２に導入する。なお、大気導入層１００は、基準電極１０２よりもセンサ素子１２の後端側（図２の右側）でのみ基準ガス導入空間９８に露出するように形成されている。換言すると、基準ガス導入空間９８は、基準電極１０２の直上までは形成されていない。但し、基準電極１０２が基準ガス導入空間９８の図２における真下に形成されていてもよい。
【0026】
基準電極１０２は、第３基板層６４の上面と第１固体電解質層６６とに挟まれる態様にて形成される電極であり、上述のように、その周囲には、基準ガス導入空間９８につながる大気導入層１００が設けられている。なお、基準電極１０２は、第３基板層６４の上面に直に形成されており、第３基板層６４の上面に接する部分以外が大気導入層１００に覆われている。また、後述するように、基準電極１０２を用いて第１内部空所８８内、第２内部空所９２内、第３内部空所９６内の酸素濃度（酸素分圧）を測定することが可能となっている。基準電極１０２は、多孔質サーメット電極（例えば、ＰｔとＺｒＯ2とのサーメット電極）として形成される。
【0027】
被測定ガス流通部において、ガス導入口８０は、外部空間に対して開口してなる部位であり、該ガス導入口８０を通じて外部空間からセンサ素子１２内に被測定ガスが取り込まれるようになっている。第１拡散律速部８２は、ガス導入口８０から取り込まれた被測定ガスに対して、所定の拡散抵抗を付与する部位である。緩衝空間８４は、第１拡散律速部８２より導入された被測定ガスを第２拡散律速部８６へと導くために設けられた空間である。
【0028】
第２拡散律速部８６は、緩衝空間８４から第１内部空所８８に導入される被測定ガスに対して、所定の拡散抵抗を付与する部位である。被測定ガスが、センサ素子１２の外部から第１内部空所８８内まで導入されるにあたって、外部空間における被測定ガスの圧力変動（被測定ガスが自動車の排気ガスの場合であれば排気圧の脈動）によってガス導入口８０からセンサ素子１２内部に急激に取り込まれた被測定ガスは、直接第１内部空所８８へ導入されるのではなく、第１拡散律速部８２、緩衝空間８４、第２拡散律速部８６を通じて被測定ガスの濃度変動が打ち消された後、第１内部空所８８へ導入されるようになっている。
【0029】
これによって、第１内部空所８８へ導入される被測定ガスの濃度変動はほとんど無視できる程度のものとなる。第１内部空所８８は、第２拡散律速部８６を通じて導入された被測定ガス中の酸素分圧を調整するための空間として設けられている。係る酸素分圧は、後述する主ポンプセル１１０が作動することによって調整される。
【0030】
主ポンプセル１１０は、第１内部空所８８の内面に設けられた内側ポンプ電極１１２と、第２固体電解質層７０の上面のうち、内側ポンプ電極１１２と対応する領域に外部空間（図１のセンサ素子室２８）に露出する態様にて設けられた外側ポンプ電極１１４と、これらの電極に挟まれた第２固体電解質層７０とによって構成されてなる電気化学的ポンプセルである。
【0031】
内側ポンプ電極１１２は、第１内部空所８８を区画する上下の固体電解質層（第２固体電解質層７０及び第１固体電解質層６６）、及び、側壁を与えるスペーサ層６８にまたがって形成されている。具体的には、第１内部空所８８の天井面を与える第２固体電解質層７０の下面には内側ポンプ電極１１２の天井電極部１１２ａが形成され、また、第１内部空所８８の底面を与える第１固体電解質層６６の上面には底部電極部１１２ｂが直に形成され、そして、これら天井電極部１１２ａと底部電極部１１２ｂとを接続するように、側部電極部（図示省略）が第１内部空所８８の両側壁部を構成するスペーサ層６８の側壁面（内面）に形成されて、該側部電極部の配設部位においてトンネル形態とされた構造として配設されている。
【0032】
内側ポンプ電極１１２と外側ポンプ電極１１４とは、多孔質サーメット電極（例えば、Ａｕを１％含むＰｔとＺｒＯ2とのサーメット電極）として形成される。なお、被測定ガスに接触する内側ポンプ電極１１２は、被測定ガス中のＮＯｘ成分に対する還元能力を弱めた材料を用いて形成される。
【0033】
主ポンプセル１１０においては、内側ポンプ電極１１２と外側ポンプ電極１１４との間に所望のポンプ電圧Ｖｐ０を印加して、内側ポンプ電極１１２と外側ポンプ電極１１４との間に正方向あるいは負方向にポンプ電流Ｉｐ０を流すことにより、第１内部空所８８内の酸素を外部空間に汲み出し、あるいは、外部空間の酸素を第１内部空所８８に汲み入れることが可能となっている。
【0034】
また、第１内部空所８８における雰囲気中の酸素濃度（酸素分圧）を検出するために、内側ポンプ電極１１２と、第２固体電解質層７０と、スペーサ層６８と、第１固体電解質層６６と、基準電極１０２によって、電気化学的なセンサセル、すなわち、主ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル１２０が構成されている。
【0035】
主ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル１２０における起電力Ｖ０を測定することで、第１内部空所８８内の酸素濃度（酸素分圧）がわかるようになっている。さらに、起電力Ｖ０が一定となるように可変電源１２２のポンプ電圧Ｖｐ０をフィードバック制御することでポンプ電流Ｉｐ０が制御されている。これによって、第１内部空所８８内の酸素濃度は所定の一定値に保つことができる。
【0036】
第３拡散律速部９０は、第１内部空所８８で主ポンプセル１１０の動作により酸素濃度（酸素分圧）が制御された被測定ガスに所定の拡散抵抗を付与して、該被測定ガスを第２内部空所９２に導く部位である。
【0037】
第２内部空所９２は、予め第１内部空所８８において酸素濃度（酸素分圧）が調整された後、第３拡散律速部９０を通じて導入された被測定ガスに対して、さらに補助ポンプセル１２４による酸素分圧の調整を行うための空間として設けられている。これにより、第２内部空所９２内の酸素濃度を高精度に一定に保つことができるため、このガスセンサ１０においては精度の高いＮＯｘ濃度測定が可能となる。
【0038】
上記補助ポンプセル１２４は、第２内部空所９２の内面に設けられた補助ポンプ電極１２６と、外側ポンプ電極１１４（外側ポンプ電極１１４に限られるものではなく、センサ素子１２の外側の適当な電極であれば足りる）と、第２固体電解質層７０とによって構成される、補助的な電気化学的ポンプセルである。
【0039】
この補助ポンプ電極１２６は、上記第１内部空所８８内に設けられた内側ポンプ電極１１２と同様なトンネル形態とされた構造において、第２内部空所９２内に配設されている。つまり、第２内部空所９２の天井面を与える第２固体電解質層７０に対して天井電極部１２６ａが形成され、また、第２内部空所９２の底面を与える第１固体電解質層６６の上面には、底部電極部１２６ｂが直に形成され、そして、それらの天井電極部１２６ａと底部電極部１２６ｂとを連結する側部電極部（図示省略）が、第２内部空所９２の側壁を与えるスペーサ層６８の両壁面にそれぞれ形成されたトンネル形態の構造となっている。なお、補助ポンプ電極１２６についても、内側ポンプ電極１１２と同様に、被測定ガス中のＮＯｘ成分に対する還元能力を弱めた材料を用いて形成される。
【0040】
補助ポンプセル１２４においては、補助ポンプ電極１２６と外側ポンプ電極１１４との間に所望の電圧Ｖｐ１を印加することにより、第２内部空所９２内の雰囲気中の酸素を外部空間に汲み出し、あるいは、外部空間から第２内部空所９２内に汲み入れることが可能となっている。
【0041】
また、第２内部空所９２内における雰囲気中の酸素分圧を制御するために、補助ポンプ電極１２６と、基準電極１０２と、第２固体電解質層７０と、スペーサ層６８と、第１固体電解質層６６とによって電気化学的なセンサセル、すなわち、補助ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル１３０が構成されている。
【0042】
なお、この補助ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル１３０にて検出される起電力Ｖ１に基づいて電圧制御される可変電源１３２にて、補助ポンプセル１２４がポンピングを行う。これにより第２内部空所９２内の雰囲気中の酸素分圧は、ＮＯｘの測定に実質的に影響がない低い分圧にまで制御されるようになっている。
【0043】
また、これと共に、そのポンプ電流Ｉｐ１が、主ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル１２０の起電力Ｖ０の制御に用いられるようになっている。具体的には、ポンプ電流Ｉｐ１は、制御信号として主ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル１２０に入力され、その起電力Ｖ０が制御されることにより、第３拡散律速部９０から第２内部空所９２内に導入される被測定ガス中の酸素分圧の勾配が常に一定となるように制御されている。ＮＯｘセンサとして使用する際は、主ポンプセル１１０と補助ポンプセル１２４との働きによって、第２内部空所９２内での酸素濃度は約０．００１ｐｐｍ程度の一定の値に保たれる。
【0044】
第４拡散律速部９４は、第２内部空所９２で補助ポンプセル１２４の動作により酸素濃度（酸素分圧）が制御された被測定ガスに所定の拡散抵抗を付与して、該被測定ガスを第３内部空所９６に導く部位である。第４拡散律速部９４は、第３内部空所９６に流入するＮＯｘの量を制限する役割を担う。
【0045】
第３内部空所９６は、予め第２内部空所９２において酸素濃度（酸素分圧）が調整された後、第４拡散律速部９４を通じて導入された被測定ガスに対して、被測定ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘ）濃度の測定に係る処理を行うための空間として設けられている。ＮＯｘ濃度の測定は、主として、第３内部空所９６において、測定用ポンプセル１４０の動作により行われる。
【0046】
測定用ポンプセル１４０は、第３内部空所９６内において、被測定ガス中のＮＯｘ濃度の測定を行う。測定用ポンプセル１４０は、第３内部空所９６に面する第１固体電解質層６６の上面に直に設けられた測定電極１３４と、外側ポンプ電極１１４と、第２固体電解質層７０と、スペーサ層６８と、第１固体電解質層６６とによって構成された電気化学的ポンプセルである。測定電極１３４は、多孔質サーメット電極である。測定電極１３４は、第３内部空所９６内の雰囲気中に存在するＮＯｘを還元するＮＯｘ還元触媒としても機能する。
【0047】
測定用ポンプセル１４０においては、測定電極１３４の周囲の雰囲気中における窒素酸化物の分解によって生じた酸素を汲み出して、その発生量をポンプ電流Ｉｐ２として検出することができる。
【0048】
また、測定電極１３４の周囲の酸素分圧を検出するために、第１固体電解質層６６と、測定電極１３４と、基準電極１０２とによって電気化学的なセンサセル、すなわち、測定用ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル１４２が構成されている。測定用ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル１４２にて検出された起電力Ｖ２に基づいて可変電源１４４が制御される。
【0049】
第２内部空所９２内に導かれた被測定ガスは、酸素分圧が制御された状況下で第４拡散律速部９４を通じて第３内部空所９６の測定電極１３４に到達することとなる。測定電極１３４の周囲の被測定ガス中の窒素酸化物は還元されて（２ＮＯ→Ｎ2＋Ｏ2）酸素を発生する。そして、この発生した酸素は測定用ポンプセル１４０によってポンピングされることとなるが、その際、測定用ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル１４２にて検出された起電力Ｖ２が一定となるように可変電源１４４の電圧Ｖｐ２が制御される。測定電極１３４の周囲において発生する酸素の量は、被測定ガス中の窒素酸化物の濃度に比例するものであるから、測定用ポンプセル１４０におけるポンプ電流Ｉｐ２を用いて被測定ガス中の窒素酸化物濃度が算出されることとなる。
【0050】
また、第２固体電解質層７０と、スペーサ層６８と、第１固体電解質層６６と、第３基板層６４と、外側ポンプ電極１１４と、基準電極１０２とから電気化学的なセンサセル１４６が構成されており、このセンサセル１４６によって得られる起電力Ｖｒｅｆによりセンサ外部の被測定ガス中の酸素分圧を検出可能となっている。
【0051】
さらに、第２固体電解質層７０と、スペーサ層６８と、第１固体電解質層６６と、第３基板層６４と、外側ポンプ電極１１４と、基準電極１０２とから電気化学的な基準ガス調整ポンプセル１５０が構成されている。この基準ガス調整ポンプセル１５０は、外側ポンプ電極１１４と基準電極１０２との間に接続された可変電源１５２が印加する電圧Ｖｐ３により制御電流Ｉｐ３が流れることで、ポンピングを行う。これにより、基準ガス調整ポンプセル１５０は、外側ポンプ電極１１４の周囲の空間（図１のセンサ素子室２８）から基準電極１０２の周囲の空間（大気導入層１００）に酸素の汲み入れを行う。可変電源１５２の電圧Ｖｐ３は、制御電流Ｉｐ３が所定の値（一定値の直流電流）となるような直流電圧として、予め定められている。
【0052】
このような構成を有するガスセンサ１０においては、主ポンプセル１１０と補助ポンプセル１２４とを作動させることによって酸素分圧が常に一定の低い値（ＮＯｘの測定に実質的に影響がない値）に保たれた被測定ガスが測定用ポンプセル１４０に与えられる。従って、被測定ガス中のＮＯｘの濃度に略比例して、ＮＯｘの還元によって発生する酸素が測定用ポンプセル１４０より汲み出されることによって流れるポンプ電流Ｉｐ２に基づいて、被測定ガス中のＮＯｘ濃度を知ることができるようになっている。
【0053】
さらに、センサ素子１２は、固体電解質の酸素イオン伝導性を高めるために、センサ素子１２を加熱して保温する温度調整の役割を担うヒータ部１６０を備えている。ヒータ部１６０は、ヒータコネクタ電極１６２と、ヒータ１６４と、スルーホール１６６と、ヒータ絶縁層１６８と、圧力放散孔１７０と、リード線１７２とを備えている。
【0054】
ヒータコネクタ電極１６２は、第１基板層６０の下面に接する態様にて形成されてなる電極である。ヒータコネクタ電極１６２を外部電源と接続することによって、外部からヒータ部１６０へ給電することができるようになっている。
【0055】
ヒータ１６４は、第２基板層６２と第３基板層６４とに上下から挟まれた態様にて形成される電気抵抗体である。ヒータ１６４は、リード線１７２及びスルーホール１６６を介してヒータコネクタ電極１６２と接続されており、該ヒータコネクタ電極１６２を通して外部より給電されることにより発熱し、センサ素子１２を形成する固体電解質の加熱と保温を行う。
【0056】
また、ヒータ１６４は、第１内部空所８８から第３内部空所９６の全域に渡って埋設されており、センサ素子１２全体を上記固体電解質が活性化する温度に調整することが可能となっている。
【0057】
ヒータ絶縁層１６８は、ヒータ１６４の上下面に、アルミナ等の絶縁体によって形成された多孔質アルミナからなる絶縁層である。ヒータ絶縁層１６８は、第２基板層６２とヒータ１６４との間の電気的絶縁性、及び、第３基板層６４とヒータ１６４との間の電気的絶縁性を得る目的で形成されている。
【0058】
圧力放散孔１７０は、第３基板層６４を貫通し、基準ガス導入空間９８に連通するように設けられてなる部位であり、ヒータ絶縁層１６８内の温度上昇に伴う内圧上昇を緩和する目的で形成されてなる。
【0059】
【0060】
そして、本実施形態は、センサ素子１２の後端部から露出する素子パッド２００には、後方に延びる端子部材１８が電気的に接続されている。センサ素子１２の後端部の周囲にセラミックハウジング１６が設置され、上述した素子パッド２００（第１素子パッド２００ａ、第２素子パッド２００ｂ、第３素子パッド２００ｃ、第４素子パッド２００ｄ、第５素子パッド２００ｅ：図３参照）とセラミックハウジング１６との間に端子部材１８がはめ込まれることで、センサ素子１２の素子パッド２００と端子部材１８（第１端子部材１８ａ、第２端子部材１８ｂ、第３端子部材１８ｃ、第４端子部材１８ｄ：図３参照）とが圧着して電気的に接続される。すなわち、セラミックハウジング１６は、センサ素子１２と電気的に接続する端子部材１８が装着され、センサ素子１２の後端部を保持する。
【0061】
端子部材１８の後部は、セラミックハウジング１６の後方に延び、弾性絶縁部材５６内に挿入されたリード線５４と半田等によって電気的に接続される。弾性絶縁部材５６は、センサ素子１２の軸方向に複数の貫通孔２０２が形成されている。この貫通孔２０２を通してリード線５４が挿入されて、センサ素子１２から延びる端子部材１８とリード線５４とが半田等によって電気的に接続される。
【0062】
特に、本実施形態に係るガスセンサ１０は、図３に示すように、外筒３４内を前後方向に延在して設けられたセラミックハウジング１６の内方に４つの端子部材１８（第１端子部材１８ａ～第４端子部材１８ｄ）が設けられている。
【0063】
セラミックハウジング１６のうち、互いに内方に向かい合う２つのセラミック片（第１セラミック片１６ａ及び第２セラミック片１６ｂ）にそれぞれ第１端子部材１８ａ及び第２端子部材１８ｂが設けられ、互いに内方に向かい合う別の２つのセラミック片（第３セラミック片１６ｃ及び第４セラミック片１６ｄ）にそれぞれ第３端子部材１８ｃ及び第４端子部材１８ｄが設けられている。
【0064】
これら第１セラミック片１６ａ及び第２セラミック片１６ｂと、第３セラミック片１６ｃ及び第４セラミック片１６ｄとは、互いに対向するようにセラミックハウジング１６に設けられている。
【0065】
さらに、第１端子部材１８ａの一主面（第３端子部材１８ｃと対向する面）のうち、センサ素子１２の一主面に形成された第１素子パッド２００ａに対向する位置に、第１位置決め層２１０ａを介して第１接点部材２０ａが設けられている。また、第２端子部材１８ｂの一主面（第４端子部材１８ｄと対向する面）のうち、センサ素子１２の一主面に形成された第２素子パッド２００ｂに対向する位置に、第２位置決め層２１０ｂを介して第２接点部材２０ｂが設けられている。
【0066】
同様に、第３端子部材１８ｃの一主面（第１端子部材１８ａと対向する面）のうち、センサ素子１２の他主面における例えば左側に形成された第３素子パッド２００ｃに対向する位置に、第３位置決め層２１０ｃを介して第３接点部材２０ｃが設けられ、第４端子部材１８ｄの一主面（第２端子部材１８ｂと対向する面）のうち、センサ素子１２の他主面に形成された第４素子パッド２００ｄに対向する位置に、第４位置決め層２１０ｄを介して第４接点部材２０ｄが設けられている。
【0067】
また、第１端子部材１８ａと第２端子部材１８ｂとの間に、第５接点部材２０ｅが設けられている。この第５接点部材２０ｅの幅Ｗｅは、先端部分２０ｔの幅Ｗｔを除き、第１接点部材２０ａ等の幅（Ｗａ、Ｗｂ等）のほぼ２倍である。反対に、先端部分２０ｔの幅Ｗｔは、第１接点部材２０ａ等の幅（Ｗａ、Ｗｂ等）よりも狭く形成されている。この第５接点部材２０ｅは、その先端部分２０ｔが、センサ素子１２の一主面に形成された第５素子パッド２００ｅに対向するように位置決めされている。
【0068】
そして、第５接点部材２０ｅの先端部分２０ｔの幅Ｗｔは、外側の接点部材（第１接点部材２０ａ等）の幅（Ｗａ、Ｗｂ等）の４０％以上９０％以下であることが好ましい。
【0069】
また、センサ素子１２の幅Ｗに対する第５接点部材２０ｅの先端部分２０ｔの幅Ｗｔの割合（Ｗｔ／Ｗ）は、１２．１％以上２７．３％以下であることが好ましい。
【実施例】
【0070】
ここで、１つの実験例を示す。この実験例は、実施例１～７に係るガスセンサと、比較例１～３に係るガスセンサを用意し、各ガスセンサについて、加熱振動試験でのシグナルモニタによる短絡の有無と、接点部材の異常の有無をチェックした。
【0071】
加熱振動試験は、振動試験機に設置したプロパンバーナーの排気管にガスセンサを取り付けた状態で、以下の条件にて行った。
ガス温度：９００℃
振動条件：５０Ｈｚ→１００Ｈｚ→１５０Ｈｚ→２５０Ｈｚを３０分掃引
加速度：３０Ｇ、４０Ｇ、５０Ｇ
試験時間：１５０時間
ガス温度：９００℃
振動条件：５０Ｈｚ→１００Ｈｚ→１５０Ｈｚ→２５０Ｈｚを３０分掃引
加速度：３０Ｇ、４０Ｇ、５０Ｇ
試験時間：１５０時間
【0072】
［判定方法］
判定１：加熱振動試験中に短絡を起因とした信号変化の有無を調査した。そして、判定１での判定基準は以下の通りである。
Ａ：加熱振動試験中に短絡を起因としたセンサ信号（Ｉｐ２）の変化がなかった。
Ｂ：加熱振動試験中に短絡を起因としたセンサ信号（Ｉｐ２）の変化があった。
判定１：加熱振動試験中に短絡を起因とした信号変化の有無を調査した。そして、判定１での判定基準は以下の通りである。
Ａ：加熱振動試験中に短絡を起因としたセンサ信号（Ｉｐ２）の変化がなかった。
Ｂ：加熱振動試験中に短絡を起因としたセンサ信号（Ｉｐ２）の変化があった。
【0073】
判定２：加熱振動試験後の接点部材の異常を確認した。判定２での判定基準は以下の通りである。
Ａ：異常なし
Ｂ：接点部材の破断
Ａ：異常なし
Ｂ：接点部材の破断
【0074】
［実施例１］
外側の接点部材（第１接点部材２０ａ等）の幅（Ｗａ、Ｗｂ等）に対する第５接点部材２０ｅの先端部分２０ｔの幅Ｗｔの割合が９０％である。
センサ素子１２の幅Ｗに対する第５接点部材２０ｅの先端部分２０ｔの幅Ｗｔの割合が２７．３％である。
ここで、外側の接点部材の幅は１ｍｍ、センサ素子１２の幅は３．３ｍｍであり、以下同様である。
外側の接点部材（第１接点部材２０ａ等）の幅（Ｗａ、Ｗｂ等）に対する第５接点部材２０ｅの先端部分２０ｔの幅Ｗｔの割合が９０％である。
センサ素子１２の幅Ｗに対する第５接点部材２０ｅの先端部分２０ｔの幅Ｗｔの割合が２７．３％である。
ここで、外側の接点部材の幅は１ｍｍ、センサ素子１２の幅は３．３ｍｍであり、以下同様である。
【0075】
［実施例２］
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が８０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が２４．２％である。
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が８０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が２４．２％である。
【0076】
［実施例３］
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が７０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が２１．２％である。
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が７０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が２１．２％である。
【0077】
［実施例４］
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が６０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１８．２％である。
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が６０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１８．２％である。
【0078】
［実施例５］
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が５０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１５．２％である。
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が５０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１５．２％である。
【0079】
［実施例６］
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が４５％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１３．６％である。
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が４５％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１３．６％である。
【0080】
［実施例７］
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が４０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１２．１％である。
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が４０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１２．１％である。
【0081】
［比較例１］
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が１００％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が３０．３％である。
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が１００％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が３０．３％である。
【0082】
［比較例２］
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が３５％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１０．６％である。
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が３５％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が１０．６％である。
【0083】
［比較例３］
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が３０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が９．１％である。
外側の接点部材の幅に対する幅Ｗｔの割合が３０％であり、センサ素子１２の幅Ｗに対する幅Ｗｔの割合が９．１％である。
【0084】
上述した実施例１～７並びに比較例１～３の判定結果を内訳と共に、図４の表１に示す。
【0085】
表１の結果から、第５接点部材２０ｅの先端部分２０ｔの幅Ｗｔは、外側の接点部材（第１接点部材２０ａ等）の幅（Ｗａ、Ｗｂ等）の４０％以上９０％以下であることが好ましい。また、センサ素子１２の幅Ｗに対する第５接点部材２０ｅの先端部分２０ｔの幅Ｗｔの割合（Ｗｔ／Ｗ）は、１２．１％以上２７．３％以下であることが好ましい。
【0086】
［本実施形態から得られる発明］
上記実施形態から把握しうる発明について、以下に記載する。
上記実施形態から把握しうる発明について、以下に記載する。
【0087】
［１］ 本実施形態に係るガスセンサ（１０）は、センサ素子（１２）と、センサ素子（１２）の後端部に形成された複数の素子パッド（２００ａ～２００ｅ）と、センサ素子（１２）の後端部を保持し、且つ、複数の素子パッド（２００ａ～２００ｅ）と電気的にそれぞれ接続する複数の接点部材（２０ａ～２０ｅ）と、を有し、複数の接点部材（２０ａ～２０ｅ）のうち、少なくとも１つの接点部材（２０ｅ）の幅（Ｗｔ）が小さい。
【0088】
これにより、隣接する接点部材間の間隔が広くなるため、短絡の発生防止に寄与する。また、接点部材の幅の減少に伴い、素子パッド（２００ａ～２００ｅ）の構成材料である例えばＰｔ（白金）の使用量が減り、コストの低減を図ることができる。
【0089】
［２］ 本実施形態において、３つ以上の接点部材（２０ａ～２０ｅ）のうち、中央部分に配された少なくとも１つの接点部材（２０ｅ）の幅（Ｗｔ）が小さい。
【0090】
これにより、３つ以上の接点部材が設けられる場合に、中央部分に配された少なくとも１つの接点部材（２０ｅ）の幅（Ｗｔ）を小さくすることで、隣接する接点部材間の間隔が広くなるため、短絡の発生防止に寄与する。また、接点部材（２０ｅ）の幅（Ｗｔ）の減少に伴い、素子パッド（２００ｅ）の構成材料である例えばＰｔ（白金）の使用量が減り、コストの低減を図ることができる。
【0091】
［３］ 本実施形態において、３つの接点部材（２０ａ、２０ｅ、２０ｂ）のうち、中央部分に配された１つの接点部材（２０ｅ）の幅（Ｗｔ）が小さい。
【0092】
これにより、３つの接点部材（２０ａ、２０ｅ、２０ｂ）が設けられる場合に、中央部分に配された１つの接点部材（２０ｅ）の幅（Ｗｔ）を小さくすることで、隣接する接点部材間の間隔が広くなるため、短絡の発生防止に寄与する。また、接点部材（２０ｅ）の幅（Ｗｔ）の減少に伴い、素子パッド（２００ｅ）の構成材料である例えばＰｔ（白金）の使用量が減り、コストの低減を図ることができる。
【0093】
［４］ 本実施形態において、幅が小さい接点部材（２０ｅ）の幅（Ｗｔ）は、その他の接点部材（２０ａ～２０ｄ）の幅の０．４倍～０．９倍である。０．４倍未満だと接点部材（２０ｅ）の耐久性が保たれず、０．９倍を超えるとそもそも効果がない。
【0094】
［５］ 本実施形態において、幅が小さい接点部材（２０ｅ）の幅（Ｗｔ）は、センサ素子（１２）の幅（Ｗ）の０．１２１倍～０．２７３倍である。０．１２１倍未満だと接点部材の耐久性が保たれず、０．２７３倍を超えるとそもそも効果がない。
【0095】
なお、本発明の実施に当たっては、本発明の思想を損なわない範囲で自動車用部品としての信頼性向上のための諸手段が付加されてもよい。
【符号の説明】
【0096】
１０…ガスセンサ １２…センサ素子
１４…保護カバー １４ａ…内側保護カバー
１４ｂ…外側保護カバー １６…セラミックハウジング
１８…端子部材
１８ａ～１８ｄ…第１端子部材～第４端子部材
２０ａ～２０ｅ…第１接点部材～第５接点部材
２０ｔ…先端部分 ２２…センサ組立体
２００ａ～２００ｅ…第１素子パッド～第５素子パッド
２１０ａ～２１０ｄ…第１位置決め層～第４位置決め層
１４…保護カバー １４ａ…内側保護カバー
１４ｂ…外側保護カバー １６…セラミックハウジング
１８…端子部材
１８ａ～１８ｄ…第１端子部材～第４端子部材
２０ａ～２０ｅ…第１接点部材～第５接点部材
２０ｔ…先端部分 ２２…センサ組立体
２００ａ～２００ｅ…第１素子パッド～第５素子パッド
２１０ａ～２１０ｄ…第１位置決め層～第４位置決め層
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】