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特許7399421プラズマ処理装置
発明の名称 プラズマ処理装置
出願人 芝浦メカトロニクス株式会社 （識別番号 2428）
特許公開件数ランキング 362 位（28件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 384 位（22件）（共同出願を含む）
出願人 学校法人中部大学 （識別番号 500433225）
特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12103 位（4件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7399421
公報発行日 2023年12月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7399421
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