特許 7400058 半導体装置の製造方法およびエッチング方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-08

(45)【発行日】2023-12-18

(54)【発明の名称】半導体装置の製造方法およびエッチング方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/3065 20060101AFI20231211BHJP

   H01L 21/336 20060101ALI20231211BHJP

   H01L 29/788 20060101ALI20231211BHJP

   H01L 29/792 20060101ALI20231211BHJP

   H10B 43/27 20230101ALI20231211BHJP

   H10B 41/27 20230101ALI20231211BHJP

【ＦＩ】

H01L21/302 105A

H01L29/78 371

H10B43/27

H10B41/27

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2022174854

(22)【出願日】2022-10-31

(62)【分割の表示】P 2018169983の分割

【原出願日】2018-09-11

(65)【公開番号】P2023002798

(43)【公開日】2023-01-10

【審査請求日】2022-10-31

(73)【特許権者】

【識別番号】318010018

【氏名又は名称】キオクシア株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000157119

【氏名又は名称】関東電化工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100107582

【弁理士】

【氏名又は名称】関根 毅

(74)【代理人】

【識別番号】100118843

【弁理士】

【氏名又は名称】赤岡 明

(74)【代理人】

【識別番号】100124372

【弁理士】

【氏名又は名称】山ノ井 傑

(72)【発明者】

【氏名】石野 嵩弥

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 俊行

(72)【発明者】

【氏名】下田 光春

(72)【発明者】

【氏名】清水 久志

【審査官】小▲高▼ 孔頌

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－０５００７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１７５６０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１５６５３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０８６９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１２８２４５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

Ｈ０１Ｌ ２１／３３６

Ｈ０１Ｌ ２９／７８８

Ｈ０１Ｌ ２９／７９２

Ｈ１０Ｂ ４３／２７

Ｈ１０Ｂ ４１／２７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

膜上に開口パターンを有するマスク層を形成し、
前記マスク層とＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ（Ｃは炭素、Ｈは水素、Ｆはフッ素を表し、ｘは３以上の整数を表し、かつ、ｙおよびｚはそれぞれ１以上の整数を表す）で示される鎖状炭化水素化合物を含むエッチングガスを用いて、前記膜をエッチングして前記膜に凹部を形成するとともに、前記マスク層および前記凹部にＣ_ｍＦ_ｎで示されるフッ化炭素化合物（ｍは１以上の整数を表し、かつ、ｎは１以上の整数を表す）を含む保護膜を形成し、
前記凹部内に電荷蓄積層および半導体層を形成する、
ことを含み、
前記Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚの炭素鎖上の各末端の炭素原子は、水素原子およびフッ素原子のうちのフッ素原子のみと結合している鎖状炭化水素化合物であり、
前記電荷蓄積層および前記半導体層は、前記凹部内に形成された前記保護膜が除去された後に、前記凹部内に形成される、
半導体装置の製造方法。

【請求項2】

前記エッチングガスは、ｘの値が３～５の整数であり、ｙ≦ｚである前記Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚで示される鎖状炭化水素化合物を含むエッチングガスである、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項3】

前記Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚは、Ｃ_３ＨＦ_５、Ｃ_４Ｈ_４Ｆ_６、Ｃ_４Ｈ_３Ｆ_７、Ｃ_４Ｈ_２Ｆ_８、Ｃ_４ＨＦ_９、Ｃ_５Ｈ_６Ｆ_６、Ｃ_５Ｈ_５Ｆ_７、Ｃ_５Ｈ_４Ｆ_８、Ｃ_５Ｈ_３Ｆ_９、Ｃ_５Ｈ_２Ｆ_１０、およびＣ_５ＨＦ_１１の少なくともいずれかを含むエッチングガスである、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項4】

さらに、酸素ガス、希ガス、およびＣ_ａＦ_ｂで示されるフッ化炭素化合物ガス（ａおよびｂはそれぞれ１以上の整数を表す）のうちの少なくともいずれかを含むエッチングガスである、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項5】

前記膜は、前記Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚで示される鎖状炭化水素化合物を含むエッチングガスから生成されたプラズマを用いてエッチングされる、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項6】

前記プラズマは、前記Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚで示される鎖状炭化水素化合物の分子から水素原子およびフッ素原子のうちの水素原子のみが脱離して生成された第１ラジカルと、前記Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚで示される鎖状炭化水素化合物の分子から水素原子およびフッ素原子のうちのフッ素原子のみが脱離して生成された第２ラジカルと、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚで示される鎖状炭化水素化合物の分子から水素原子およびフッ素原子の両方が脱離して生成された第３ラジカルとを含み、
前記プラズマ中の前記第１ラジカルの濃度は、前記プラズマ中の前記第２および第３ラジカルの合計濃度よりも大きい、請求項５に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項7】

前記プラズマのエッチング処理工程室内の密度は、５．０×１０^９～３．０×１０^１１個／ｃｍ^３である、請求項５に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項8】

前記膜は、基板上に交互に形成された複数の第１膜と複数の第２膜とを含む、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項9】

前記エッチングでは、アスペクト比が１０以上の凹部が前記膜に形成される、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項10】

前記第１膜はシリコン窒化膜であり、前記第２膜はシリコン酸化膜である、請求項８に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項11】

膜上に開口パターンを有するマスク層を形成し、
前記マスク層とＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ（Ｃは炭素、Ｈは水素、Ｆはフッ素を表し、ｘは３以上の整数を表し、かつ、ｙおよびｚはそれぞれ１以上の整数を表す）で示される鎖状炭化水素化合物を含むエッチングガスを用いて、前記膜をエッチングして前記膜に凹部を形成するとともに、前記マスク層および前記凹部にＣ_ｍＦ_ｎで示されるフッ化炭素化合物（ｍは１以上の整数を表し、かつ、ｎは１以上の整数を表す）を含む保護膜を形成し、
前記凹部内に電荷蓄積層および半導体層を形成する、
ことを含み、
前記Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚの炭素鎖上の各末端の炭素原子は、水素原子およびフッ素原子のうちのフッ素原子のみと結合している鎖状炭化水素化合物であり、
前記膜は、前記Ｃ _ｘ Ｈ _ｙ Ｆ _ｚ で示される鎖状炭化水素化合物を含むエッチングガスから生成されたプラズマを用いてエッチングされ、
前記プラズマは、前記Ｃ _ｘ Ｈ _ｙ Ｆ _ｚ で示される鎖状炭化水素化合物の分子から水素原子およびフッ素原子のうちの水素原子のみが脱離して生成された第１ラジカルと、前記Ｃ _ｘ Ｈ _ｙ Ｆ _ｚ で示される鎖状炭化水素化合物の分子から水素原子およびフッ素原子のうちのフッ素原子のみが脱離して生成された第２ラジカルと、Ｃ _ｘ Ｈ _ｙ Ｆ _ｚ で示される鎖状炭化水素化合物の分子から水素原子およびフッ素原子の両方が脱離して生成された第３ラジカルとを含み、
前記プラズマ中の前記第１ラジカルの濃度は、前記プラズマ中の前記第２および第３ラジカルの合計濃度よりも大きい、
半導体装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、半導体装置の製造方法およびエッチングガスに関する。

【背景技術】

【0002】

３次元メモリなどの半導体装置を製造する際に、フッ素化炭化水素（Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ）ガスを用いたエッチングにより被加工膜に凹部を形成することがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１６－１４９４５１号公報

【文献】特許第５５６９４１６号公報

【文献】特許第５５６９３５３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

膜を好適にエッチングすることが可能な半導体装置の製造方法およびエッチングガスを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

一の実施形態によれば、半導体装置の製造方法は、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ（Ｃは炭素、Ｈは水素、Ｆはフッ素を表し、ｘは３以上の整数を表し、かつ、ｙおよびｚはそれぞれ１以上の整数を表す）で示される鎖状炭化水素化合物を含むエッチングガスを用いて膜をエッチングすることを含む。さらに、前記Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚの炭素鎖上の各末端の炭素原子は、水素原子およびフッ素原子のうちのフッ素原子のみと結合している鎖状炭化水素化合物である。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】第１実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。

【図2】第１実施形態の半導体装置の製造方法の利点を説明するための断面図である。

【図3】第１実施形態の半導体装置の製造方法の利点を説明するための模式的な断面図である。

【図4】第１実施形態のエッチングガスの例を示す表である。

【図5】第１実施形態のエッチングガスの特性を説明するためのグラフである。

【図6】第１実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。図１～図６において、同一または類似の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0008】

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。本実施形態の半導体装置については、３次元メモリを一例として説明する。

【0009】

まず、基板１上に下部層２を形成し、下部層２上に、複数の犠牲層３と複数の絶縁層４とを交互に含む積層膜を形成する（図１(ａ)）。犠牲層３は第１膜の例であり、絶縁層４は第２膜の例である。次に、この積層膜上に上部層５を形成し、上部層５上にマスク層６を形成する（図１(ａ)）。

【0010】

基板１は例えば、シリコン（Ｓｉ）基板などの半導体基板である。図１(ａ)は、基板１の表面に平行で互いに垂直なＸ方向およびＹ方向と、基板１の表面に垂直なＺ方向とを示している。本明細書では、＋Ｚ方向を上方向として取り扱い、－Ｚ方向を下方向として取り扱う。－Ｚ方向は、重力方向と一致していてもよいし、重力方向と一致していなくてもよい。

【0011】

下部層２は例えば、シリコン酸化膜（ＳｉＯ_２）やシリコン窒化膜（ＳｉＮ）などの絶縁膜や、絶縁膜間に形成された導電層である。犠牲層３は例えばシリコン窒化膜であり、絶縁層４は例えばシリコン酸化膜である。上部層５は例えば、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜などの絶縁膜や、絶縁膜間に形成された導電層である。マスク層６は例えば、有機ハードマスク層である。

【0012】

次に、リソグラフィおよびドライエッチングにより、メモリホールＭを形成するための開口パターンをマスク層６に形成する（図１(ｂ)）。次に、マスク層６を利用したドライエッチングにより、上部層５、複数の絶縁層４、複数の犠牲層３、および下部層２を貫通するメモリホールＭを形成する（図１(ｂ)）。メモリホールＭのアスペクト比は、例えば１０以上である。メモリホールＭは、凹部の例である。

【0013】

本実施形態のメモリホールＭは、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ（フッ素化炭化水素）ガスを含むエッチングガスを用いたドライエッチングにより形成される。ただし、Ｃは炭素、Ｈは水素、Ｆはフッ素を表し、ｘ、ｙ、ｚは１以上の整数を表す。その結果、このドライエッチング中にメモリホールＭ内の絶縁層４や犠牲層３の側面に保護膜７が形成され、絶縁層４や犠牲層３の側面が保護膜７により保護される。本実施形態の保護膜７は、Ｃ_ｍＦ_ｎ（フルオロカーボン）膜である。ただし、ｍ、ｎは１以上の整数を表す。本実施形態のＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚは例えば、ｘが３以上の整数であり、かつ、ｙおよびｚがそれぞれ１以上の整数である鎖状炭化水素化合物である。

【0014】

本実施形態では、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスの炭素鎖上の各末端の炭素原子（Ｃ原子）が、水素原子（Ｈ原子）およびフッ素原子（Ｆ原子）のうちのフッ素原子のみと結合している。換言すると、Ｈ原子は、炭素鎖上の各末端のＣ原子とは結合していない。例えば、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子が直鎖型の鎖式Ｃ_４Ｈ_４Ｆ_６分子である場合、Ｃ_４Ｈ_４Ｆ_６分子は、２個の末端Ｃ原子と２個の非末端Ｃ原子とを含んでいる。そして、２個の末端Ｃ原子は、Ｈ原子およびＦ原子のうちのＦ原子のみと結合しており、Ｈ原子とは結合していない。４個のＨ原子は、いずれも非末端Ｃ原子と結合している。なお、本実施形態のＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子は、末端Ｃ原子を含んでいれば直鎖型の鎖式Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子以外でもよく、例えば側鎖型の鎖式Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子でもよい。側鎖型の鎖式Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子は、３個以上の末端Ｃ原子を含んでいる。

【0015】

本実施形態によれば、このようなエッチングガスを用いてドライエッチングを行うことで、メモリホールＭ内の絶縁層４や犠牲層３の側面を保護膜７により好適に保護しつつ、メモリホールＭを形成することが可能となる。本実施形態のこのような効果の詳細については後述する。

【0016】

次に、保護膜７とマスク層６とを除去し、メモリホールＭ内にブロック絶縁膜１１と、電荷蓄積層１２と、トンネル絶縁膜１３とを順に形成する（図１(ｃ)）。次に、メモリホールＭの底部からブロック絶縁膜１１と、電荷蓄積層１２と、トンネル絶縁膜１３とを除去し、メモリホールＭ内にチャネル半導体層１４と、コア絶縁膜１５とを順に形成する（図１(ｃ)）。電荷蓄積層１２は、例えばシリコン窒化膜である。チャネル半導体層１４は、例えばポリシリコン層である。ブロック絶縁膜１１、トンネル絶縁膜１３、およびコア絶縁膜１５は、例えばシリコン酸化膜や金属絶縁膜である。

【0017】

その後、メモリホールＭとは異なる位置に形成されたスリットまたはホールを介して犠牲層３を除去して絶縁層４間に複数の空洞を形成し、これらの空洞内に複数の電極層を形成する。さらには、基板１上に種々のプラグ、配線、層間絶縁膜などを形成する。このようにして、本実施形態の半導体装置が製造される。

【0018】

図２は、第１実施形態の半導体装置の製造方法の利点を説明するための断面図である。

【0019】

図２(ａ)は、メモリホールＭ内の深い地点まで形成された保護膜７を示している。この場合、絶縁層４や犠牲層３の側面が保護膜７により十分に保護されるため、エッチング中に絶縁層４や犠牲層３の側面はほとんど削られない。

【0020】

一方、図２(ｂ)は、メモリホールＭ内の浅い地点のみに形成された保護膜７を示している。この場合、絶縁層４や犠牲層３の側面が保護膜７により十分に保護されないため、エッチング中に絶縁層４や犠牲層３の側面が所定の値よりも大きく削られてしまう。その結果、これらの側面に、ボーイング（bowing）と呼ばれる窪みが生じてしまう（符号Ｂを参照）。この問題は、メモリホールＭのアスペクト比が高くなるとより顕著となる。

【0021】

本実施形態の絶縁層４や犠牲層３は、図１(ｂ)の工程において、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスから生成されたプラズマを用いてエッチングされる。具体的には、プラズマに含まれるラジカルにより保護膜７が形成され、プラズマに含まれるイオンにより絶縁層４や犠牲層３の側面がエッチングされる。よって、図２(ａ)に示すような保護膜７は、メモリホールＭ内の深い地点までラジカルが到達できる場合に形成されると考えられる。一方、図２(ｂ)に示すような保護膜７は、メモリホールＭ内の深い地点までラジカルが到達できない場合に形成されると考えられる。

【0022】

図３は、第１実施形態の半導体装置の製造方法の利点を説明するための模式的な断面図である。

【0023】

符号Ｐ１は、末端Ｃ原子がＨ原子と結合したＣ_４ＨＦ_５分子からＨ原子が脱離して生成されたラジカルを示している。このＣ_４ＨＦ_５分子（ＣＦ_２＝ＣＦ－ＣＦ＝ＣＨＦ）を含むエッチングガスは、本実施形態の比較例のエッチングガスの一例である。

【0024】

一方、符号Ｐ２は、非末端Ｃ原子がＨ原子と結合した（すなわち末端Ｃ原子はＨ原子と結合していない）Ｃ_４ＨＦ_５分子からＨ原子が脱離して生成されたラジカルを示している。このＣ_４ＨＦ_５分子（ＣＦ_２＝ＣＦ－ＣＨ＝ＣＦ_２）を含むエッチングガスは、本実施形態のエッチングガスの一例である。

【0025】

Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子では、Ｃ－Ｈ結合の結合エネルギーがＣ－Ｆ結合の結合エネルギーよりも小さく、Ｃ－Ｈ結合がＣ－Ｆ結合よりも乖離しやすい。そのため、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子がプラズマ化する際には、Ｃ－Ｈ結合が乖離して、Ｃ－Ｈ結合があった場所に不対電子が残ることが多い。符号Ｐ１は、末端Ｃ原子に不対電子を有するラジカルを示し、符号Ｐ２は、非末端Ｃ原子に不対電子を有するラジカルを示している。

【0026】

不対電子は反応性が高いため、絶縁層４や犠牲層３の側面にラジカルが付着する要因となる。この場合、符号Ｐ２のようにラジカルが非末端Ｃ原子に不対電子を有していると、不対電子の周りの立体障害が大きいため、ラジカルが絶縁層４や犠牲層３の側面に付着しにくい。別言すると、不対電子の周りのＦ原子が、不対電子と絶縁層４や犠牲層３の側面とが反応する妨げとなる。一方、符号Ｐ１のようにラジカルが末端Ｃ原子に不対電子を有していると、不対電子の周りの立体障害が小さいため、ラジカルが絶縁層４や犠牲層３の側面に付着しやすい。

【0027】

その結果、符号Ｐ１のラジカルは、絶縁層４や犠牲層３の側面への付着確率が高くなるため、メモリホールＭ内の深い地点まで到達しにくくなると考えられる。一方、符号Ｐ２のラジカルは、絶縁層４や犠牲層３の側面への付着確率が低くなるため、メモリホールＭ内の深い地点まで到達しやすくなると考えられる。よって、本実施形態によれば、符号Ｐ２のようなラジカルを使用することで、メモリホールＭ内の深い地点まで保護膜７を形成することが可能となる（図２(ａ)を参照）。

【0028】

図４は、第１実施形態のエッチングガスの例を示す表である。

【0029】

図４(ａ)～図４(ｃ)はそれぞれ、ｘの値が３～５の整数であり、ｙ≦ｚである様々なＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスを示している。ｘの値を３～５とした理由は、ｘの値が６以上のＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚは、蒸気圧が低く常温でガスとして供給しにくいからである。図４(ａ)はＣ原子が４個の例（ｘ＝４）を示しており、図４(ｂ)はＣ原子が３個の例（ｘ＝３）を示しており、図４(ｃ)はＣ原子が５個の例（ｘ＝５）を示している。表中のＤ．Ｂ．の値は、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子中の二重結合の個数を示している。図４(ａ)は、参考として環式Ｃ_４Ｆ_８も示している。

【0030】

図５は、第１実施形態のエッチングガスの特性を説明するためのグラフである。

【0031】

図５は、様々なＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスについて、保護膜７の堆積速度をバーで示し、保護膜７の均一性を点で示している。これらのＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスの分子構造は、図４(ａ)～図４(ｃ)に示す通りである。

【0032】

様々なＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスについてエッチングの実験を実施したところ、図５に示す結果が得られた。保護膜７の均一性に関しては、絶縁膜の加工でよく用いられる環式Ｃ_４Ｆ_８ガスを使用した場合の保護膜７を基準に評価した。ここでは、保護膜７の膜厚の深さ方向（Ｚ方向）における変化が小さいほど均一性が良いと評価し、具体的には、均一性の値が低いほど均一性が良いと評価した。

【0033】

その結果、図５に示すＣ_４ＨＦ_５ガス、Ｃ_４Ｈ_２Ｆ_４ガス、Ｃ_４Ｈ_２Ｆ_６ガス、Ｃ_４Ｈ_４Ｆ_６ガス、Ｃ_３ＨＦ_５ガス、Ｃ_５Ｈ_２Ｆ_１０ガスを使用した場合に、環式Ｃ_４Ｆ_８ガスを使用した場合よりも、保護膜７の均一性が良いことが分かった。よって、本実施形態のエッチングガスは、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスとして、これらのガスの少なくともいずれかを含むことが望ましい。また、保護膜７の均一性を良くすると共に、保護膜７の堆積速度を速くすることが望ましい場合には、Ｃ_４ＨＦ_５ガス、Ｃ_４Ｈ_２Ｆ_４ガス、またはＣ_４Ｈ_２Ｆ_６ガスを使用することが望ましい。

【0034】

図４(ａ)～図４(ｃ)を参照すると、図５に示すＣ_４ＨＦ_５ガス、Ｃ_４Ｈ_２Ｆ_４ガス、Ｃ_４Ｈ_２Ｆ_６ガス、Ｃ_４Ｈ_４Ｆ_６ガス、Ｃ_３ＨＦ_５ガス、Ｃ_５Ｈ_２Ｆ_１０ガスの末端Ｃ原子は、Ｆ原子のみと結合していることが分かる。よって、本実施形態のドライエッチングは、末端Ｃ原子がＦ原子のみと結合したＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスを使用して行うことが望ましい。

【0035】

なお、図４(ａ)～図４(ｃ)において、Ｃ_４ＨＦ_５の分子構造はＣＦ_２＝ＣＦ－ＣＨ＝ＣＦ_２で表され、Ｃ_４Ｈ_２Ｆ_４の分子構造はＣＦ_２＝ＣＨ－ＣＨ＝ＣＦ_２で表され、Ｃ_４Ｈ_２Ｆ_６の分子構造はＣＦ_３－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＦ_３で表される。また、Ｃ_４Ｈ_４Ｆ_６の分子構造はＣＦ_３－ＣＨ_２－ＣＨ_２－ＣＦ_３で表され、Ｃ_３ＨＦ_５の分子構造はＣＦ_２＝ＣＨ－ＣＦ_３で表され、Ｃ_５Ｈ_２Ｆ_１０の分子構造はＣＦ_３－ＣＨＦ－ＣＨＦ－ＣＦ_２－ＣＦ_３で表される。

【0036】

なお、本実施形態のＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスの例は、これらに限られるものではない。本実施形態のＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスのその他の例は、Ｃ_４Ｈ_４Ｆ_６（ＣＦ_３－ＣＨ_２－ＣＨ_２－ＣＦ_３）ガス、Ｃ_４Ｈ_３Ｆ_７（ＣＦ_３－ＣＨＦ－ＣＨ_２－ＣＦ_３）ガス、Ｃ_４Ｈ_２Ｆ_８（ＣＦ_３－ＣＨＦ－ＣＨＦ－ＣＦ_３またはＣＦ_３－ＣＦ_２－ＣＨ_２－ＣＦ_３）ガス、Ｃ_４ＨＦ_９（ＣＦ_３－ＣＨＦ－ＣＦ_２－ＣＦ_３）ガス、Ｃ_５Ｈ_６Ｆ_６（ＣＦ_３－ＣＨ_２－ＣＨ_２－ＣＨ_２－ＣＦ_３）ガス等である。本実施形態のＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスのその他の例はさらに、Ｃ_５Ｈ_５Ｆ_７ガス、Ｃ_５Ｈ_４Ｆ_８ガス、Ｃ_５Ｈ_３Ｆ_９ガス、Ｃ_５Ｈ_２Ｆ_１０ガス、Ｃ_５ＨＦ_１１ガス等の種々の異性体であり、これらの異性体のうち、末端Ｃ原子がＦ原子のみと結合しているものである。

【0037】

本実施形態のエッチングガスは、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスとその他のガスとを含む混合ガスでもよいし、２種類以上のＣ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスを含む混合ガスでもよい。例えば、本実施形態のエッチングガスは、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスのほかに、酸素ガス、希ガス、またはＣ_ａＦ_ｂ（フルオロカーボン（フッ化炭素化合物））ガスを含んでいてもよい。ただし、ａ、ｂは１以上の整数を表す。Ｃ_ａＦ_ｂガスの例は、ＣＦ_４ガス、Ｃ_２Ｆ_４ガス、Ｃ_３Ｆ_６ガス、Ｃ_４Ｆ_６ガス、Ｃ_４Ｆ_８ガス等である。

【0038】

ここで、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスから生成されるプラズマについて説明する。

【0039】

本実施形態の絶縁層４や犠牲層３は、図１(ｂ)の工程において、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスから生成されたプラズマを用いてエッチングされる。具体的には、プラズマに含まれるラジカルにより保護膜７が形成され、プラズマに含まれるイオンにより絶縁層４や犠牲層３の側面がエッチングされる。この際のプラズマのエッチング処理工程室内の平均密度（濃度）は、例えば５．０×１０^９～３．０×１０^１１個／ｃｍ^３である。

【0040】

本実施形態のプラズマは、以下の第１から第３ラジカルを含み得る。第１ラジカルは、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子からＨ原子およびＦ原子のうちのＨ原子のみが脱離して生成される。第２ラジカルは、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子からＨ原子およびＦ原子のうちのＦ原子のみが脱離して生成される。第３ラジカルは、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚ分子からＨ原子およびＦ原子の両方が脱離して生成される。図３にて符号Ｐ２で示すラジカルは、第１ラジカルの一例である。

【0041】

本実施形態では、第１ラジカルが多く生成され、第２および第３ラジカルがあまり生成されないように、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスをプラズマ化することが望ましい。具体的には、プラズマ中の第１ラジカルの濃度が、プラズマ中の第２および第３ラジカルの合計濃度よりも大きくなるように、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスをプラズマ化することが望ましい。理由は、第２および第３ラジカルの不対電子の周りの立体障害は、多くの場合、第１ラジカルの不対電子の周りの立体障害よりも小さく、第２および第３ラジカルの付着確率は、第１ラジカルの付着確率よりも高くなるからである。

【0042】

図６は、第１実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。

【0043】

図６は、本実施形態の方法で製造される半導体装置の例を示している。図６は、３次元メモリのメモリセル部と階段コンタクト部とを示している。図６では、下部層２が、第１絶縁膜２ａ、ソース側導電層２ｂ、および第２絶縁膜２ｃにより構成されており、上部層５が、カバー絶縁膜５ａ、ドレイン側導電層５ｂ、第１層間絶縁膜５ｃ、および第２層間絶縁膜５ｄにより構成されている。チャネル半導体層１４は、基板１内の拡散層Ｌに電気的に接続されている。犠牲層３は、タングステン（Ｗ）層などを含む電極層３’に置き換えられている。電極層３’は第１膜の例である。

【0044】

図６はさらに、上部層５のコンタクトホールＨ内に形成されたコンタクトプラグ１６を示している。各コンタクトプラグ１６は、対応する電極層３’に電気的に接続されるように形成されている。

【0045】

以上のように、本実施形態のメモリホールＭは、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスを含むエッチングガスを用いて形成され、Ｃ_ｘＨ_ｙＦ_ｚガスの炭素鎖の各末端のＣ原子は、Ｈ原子およびＦ原子のうちのＦ原子のみと結合している。そのため、本実施形態では、メモリホールＭ内の深い位置まで保護膜７を形成することができ、メモリホールＭ内の絶縁層４や犠牲層３の側面を保護膜７により好適に保護することができる。よって、本実施形態によれば、絶縁層４や犠牲層３を好適にエッチングしてメモリホールＭを形成することが可能となる。本実施形態によれば、例えば１０以上という高いアスペクト比を有するメモリホールＭも好適な形状に形成することが可能となる。

【0046】

なお、図１(ａ)の工程では、下部層２上に複数の犠牲層３と複数の絶縁層４とを交互に形成する代わりに、下部層２上に複数の電極層３’と複数の絶縁層４とを交互に形成してもよい。この場合、犠牲層３を電極層３’に置き換える工程が不要となる。

【0047】

また、本実施形態のドライエッチングは、メモリホールＭの加工以外の工程にも適用可能であり、例えばメモリホールＭ以外の凹部を加工する工程にも適用可能である。

【0048】

以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例としてのみ提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。本明細書で説明した新規な方法およびガスは、その他の様々な形態で実施することができる。また、本明細書で説明した方法およびガスの形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことができる。添付の特許請求の範囲およびこれに均等な範囲は、発明の範囲や要旨に含まれるこのような形態や変形例を含むように意図されている。

【符号の説明】

【0049】

１：基板、２：下部層、２ａ：第１絶縁膜、２ｂ：ソース側導電層、
２ｃ：第２絶縁膜、３：犠牲層、３’：電極層、４：絶縁層、
５：上部層、５ａ：カバー絶縁膜、５ｂ：ドレイン側導電層、
５ｃ：第１層間絶縁膜、５ｄ：第２層間絶縁膜、６：マスク層、７：保護膜、
１１：ブロック絶縁膜、１２：電荷蓄積層、１３：トンネル絶縁膜、
１４：チャネル半導体層、１５：コア絶縁膜、１６：コンタクトプラグ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】