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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-11
(45)【発行日】2023-12-19
(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20231212BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 611
B41J2/14 305
【請求項の数】
12
(21)【出願番号】P 2019178211
(22)【出願日】2019-09-30
(65)【公開番号】P2021053881
(43)【公開日】2021-04-08
【審査請求日】2022-08-29
(73)【特許権者】
【識別番号】000002369
【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000028
【氏名又は名称】弁理士法人明成国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】奥井 宏明
【審査官】大浜 登世子
(56)【参考文献】
【文献】特開２０００－３２６５０３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－１５５２８３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１０６３４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０７３０３３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１３０８２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１１／０２２８０１１（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ４１Ｊ ２／０１ － ２／２１５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、第１圧電体と、
前記第１圧電体と第１方向に異なる位置に配されている第２圧電体と、
前記第１圧電体と電気的に接続し、前記第２圧電体と電気的に接続しない第１電極と、
前記第２圧電体と電気的に接続し、前記第１圧電体と電気的に接続しない第２電極と、
前記第１圧電体と前記第２圧電体の両方に電気的に接続する第３電極と、
液体を収容し、前記第１圧電体の歪みによって液体に圧力が付与されるように構成されている第１圧力室と、液体を収容し、前記第２圧電体の歪みによって液体に圧力が付与されるように構成されている第２圧力室と、が設けられた圧力室基板と、を有し、
前記第１電極、前記第１圧電体、および前記第３電極は、前記第１圧力室からみたとき、前記第１圧力室に近い方から前記第１電極、前記第１圧電体、前記第３電極の順に設けられており、
前記第２電極、前記第２圧電体、および前記第３電極は、前記第２圧力室からみたとき、前記第２圧力室に近い方から前記第２電極、前記第２圧電体、前記第３電極の順に設けられており、
前記第３電極のうち前記第１圧電体に対応する位置に配されている第１部分において、前記第１方向と交差する第２方向における幅は、第１幅であり、
前記第３電極のうち前記第２圧電体に対応する位置に配されている第２部分において、前記第２方向における幅は、第２幅であり、
前記第３電極のうち前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間に配されている第３部分において、前記第２方向における幅は、前記第１幅と前記第２幅よりも小さい第３幅であり、
前記第３電極のうち、前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間であって、前記第３部分よりも前記第１方向において前記第１圧電体側に配されている第４部分において、前記第２方向における幅は、前記第３幅よりも大きい第４幅であり、
前記第３電極のうち、前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間であって、前記第３部分よりも前記第１方向において前記第２圧電体側に配されている第５部分において、前記第２方向における幅は、前記第３幅よりも大きい第５幅である、液体吐出ヘッド。
【請求項2】
請求項１記載の液体吐出ヘッドであって、前記第３電極は、前記第１圧電体を覆い、かつ、前記第２圧電体を覆っている、液体吐出ヘッド。
【請求項3】
請求項１から２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記第３電極は、単一の部材によって構成されている、液体吐出ヘッド。
【請求項4】
液体吐出装置であって、
液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、
第１圧電体と、
前記第１圧電体と第１方向に異なる位置に配されている第２圧電体と、
前記第１圧電体と電気的に接続し、前記第２圧電体と電気的に接続しない第１電極と、
前記第２圧電体と電気的に接続し、前記第１圧電体と電気的に接続しない第２電極と、
前記第１圧電体と前記第２圧電体の両方に電気的に接続する第３電極と、を有し、
前記第３電極のうち前記第１圧電体に対応する位置に配されている第１部分において、前記第１方向と交差する第２方向における幅は、第１幅であり、
前記第３電極のうち前記第２圧電体に対応する位置に配されている第２部分において、前記第２方向における幅は、第２幅であり、
前記第３電極のうち前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間に配されている第３部分において、前記第２方向における幅は、前記第１幅と前記第２幅よりも小さい第３幅である、液体吐出ヘッドと、
前記第１電極に対して、液体の吐出量に応じて異なる駆動信号を供給することができ、前記第２電極に対して、液体の吐出量に応じて異なる駆動信号を供給することができる、駆動信号供給回路と、
前記第３電極に対し、液体の吐出量によらず電圧が変化しない保持信号を供給する保持信号供給回路と、を有し、
前記駆動信号供給回路は、前記第１電極および前記第２電極に対して、前記第２方向における一方の側から接続されており、
前記保持信号供給回路は、前記第３電極に対して、前記第２方向における他方の側から接続されている、液体吐出装置。
【請求項5】
請求項４記載の液体吐出装置であって、前記第３電極の前記第３部分における前記一方の側の端部は、
前記第１部分における前記一方の側の端部よりも前記他方の側にあり、
前記第２部分における前記一方の側の端部よりも前記他方の側にある、液体吐出装置。
【請求項6】
請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記第３幅は、前記第１幅の１／２より小さく、かつ、前記第２幅の１／２より小さい、液体吐出ヘッド。
【請求項7】
請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記第１部分の前記第２方向についての抵抗値が、前記第１圧電体の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して１／２０以上であり、
前記第２部分の前記第２方向についての抵抗値が、前記第２圧電体の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して１／２０以上である、液体吐出ヘッド。
【請求項8】
請求項１から３、ならびに請求項６および７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記第１圧電体および前記第２圧電体は、前記第１圧電体の歪みおよび前記第２圧電体の歪みによって変形される一つの振動板の上に設けられており、
前記第３電極は、前記第１圧電体および前記第２圧電体、ならびに前記第１圧電体および前記第２圧電体が設けられている前記振動板の面の一部を覆っており、
前記液体吐出ヘッドは、前記第３電極を貫通して前記振動板に至る凹部を備えており、
前記振動板のうち前記凹部が設けられている部位の厚みは、前記振動板のうち前記凹部が設けられていない部位の厚みの１／２以上である、液体吐出ヘッド。
【請求項9】
請求項１記載の液体吐出ヘッドであって、さらに、液体を収容し、前記第１圧電体の歪みによって液体に圧力が付与されるように構成されている第１圧力室と、液体を収容し、前記第２圧電体の歪みによって液体に圧力が付与されるように構成されている第２圧力室と、が設けられた圧力室基板を備え、
前記第３部分において、前記第１方向における幅は、前記第１圧力室と前記第２圧力室とを区画する構造の前記第１方向における幅よりも大きい、液体吐出ヘッド。
【請求項10】
液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、
第１圧電体と、
前記第１圧電体と第１方向に異なる位置に配されている第２圧電体と、
前記第１圧電体と電気的に接続し、前記第２圧電体と電気的に接続しない第１電極と、
前記第２圧電体と電気的に接続し、前記第１圧電体と電気的に接続しない第２電極と、
前記第１圧電体と前記第２圧電体の両方に電気的に接続する第３電極と、を有し、
前記第３電極のうち前記第１圧電体に対応する位置に配されている第１部分において、前記第１方向と交差する第２方向における幅は、第１幅であり、
前記第３電極のうち前記第２圧電体に対応する位置に配されている第２部分において、前記第２方向における幅は、第２幅であり、
前記第３電極のうち前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間に配されている第３部分において、前記第２方向における幅は、前記第１幅と前記第２幅よりも小さい第３幅であり、
前記第１圧電体および前記第２圧電体は、前記第１圧電体の歪みおよび前記第２圧電体の歪みによって変形される一つの振動板の上に設けられており、
前記第３電極は、前記第１圧電体および前記第２圧電体、ならびに前記第１圧電体および前記第２圧電体が設けられている前記振動板の面の一部を覆っており、
前記液体吐出ヘッドは、前記第３電極を貫通して前記振動板に至る凹部を備えており、
前記振動板のうち前記凹部が設けられている部位の厚みは、前記振動板のうち前記凹部が設けられていない部位の厚みの１／２以上である、液体吐出ヘッド。
【請求項11】
液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、
第１圧電体と、
前記第１圧電体と第１方向に異なる位置に配されている第２圧電体と、
前記第１圧電体と電気的に接続し、前記第２圧電体と電気的に接続しない第１電極と、
前記第２圧電体と電気的に接続し、前記第１圧電体と電気的に接続しない第２電極と、
前記第１圧電体と前記第２圧電体の両方に電気的に接続する第３電極と、
液体を収容し、前記第１圧電体の歪みによって液体に圧力が付与されるように構成されている第１圧力室と、液体を収容し、前記第２圧電体の歪みによって液体に圧力が付与されるように構成されている第２圧力室と、が設けられた圧力室基板と、を有し、
前記第３電極のうち前記第１圧電体に対応する位置に配されている第１部分において、前記第１方向と交差する第２方向における幅は、第１幅であり、
前記第３電極のうち前記第２圧電体に対応する位置に配されている第２部分において、前記第２方向における幅は、第２幅であり、
前記第３電極のうち前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間に配されている第３部分において、前記第２方向における幅は、前記第１幅と前記第２幅よりも小さい第３幅であり、
前記第３部分において、前記第１方向における幅は、前記第１圧力室と前記第２圧力室とを区画する構造の前記第１方向における幅よりも大きい、液体吐出ヘッド。
【請求項12】
請求項１から３、ならびに請求項６から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を有する、液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、ノズルプレートと圧力室と振動板と圧電素子本体とを備える記録ヘッドが存在する（特許文献１）。圧電素子本体が撓み変形すると、振動板が変位し、圧力室内に圧力変動が生じる。その結果、ノズルプレートに設けられたノズルからインクが噴射される。記録ヘッドは、ノズルと、ノズルに対応する圧力室と、の複数の組み合わせを有する。記録ヘッドのノズルプレートにおいて、複数のノズルは直線状に並んで配されている。圧力室は、ノズルが並ぶ方向に対して垂直な方向に細長い形状を有する。
【0003】
圧電素子本体は、下電極層、圧電体層および上電極層を備える。下電極層は、圧力室ごとに独立して設けられている。下電極層は、圧力室の長手方向に沿って細長い形状を有する。下電極層の幅は、圧力室の幅よりも狭い。上電極層は、複数の圧力室にわたって連続して設けられている。上電極層は、複数の圧力室に共通な共通電極として機能する。下電極層と上電極層に電圧が印加されると、下電極層と上電極層の間に位置する圧電体層において歪みが生じる。その結果、圧電素子本体が撓み変形し、圧力室内のインクがノズルから吐出される。複数の下電極層への電圧の印加が選択的に行われることにより、複数の圧力室から対応するノズルを経て、選択的にインクが吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１６－５８４６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
上記の記録ヘッドにおいては、一列に並んだ複数のノズルのうち、一つのノズルからインクを吐出する場合には、複数の下電極層のうち、インクを吐出するノズルの圧力室に対応する一つの下電極層のみがＯＮされる。そして、ＯＮされた下電極層と、複数の圧力室にわたって連続して設けられている上電極層との間の電位差により、それらの電極の間に位置する圧電体層において歪みが生じる。この場合、上電極層のうちのＯＮされた下電極層と向かい合う部分において、複数の圧力室にわたって連続して設けられている上電極層全体を通じて、ＯＮされた下電極層とは異なる電位が与えられる。このため、下電極層の長手方向に沿った位置ごとの両電極間の電位差の違いは小さい。
【0006】
一方、一列に並んだ複数のノズルのすべてからインクを吐出する場合には、複数の下電極層のすべてがＯＮされる。そして、ＯＮされた下電極層と、複数の圧力室にわたって連続して設けられている上電極層との間の電位差により、それらの電極の間に位置する圧電体層において歪みが生じる。この場合、上電極層においては、実質的に、それぞれの下電極層と向かい合う細長い部分ごとに、両端から電位が付与されることとなる。このため、上電極層の細長い一つの部分において、下電極層の長手方向の端近傍の部位と、中央近傍の部位とでは、上電極層自身の抵抗に起因して、電位が異なってしまう。その結果、下電極層の長手方向に沿った位置ごとの両電極間の電位差の違いが大きくなる。
【0007】
以上のような理由から、上記の記録ヘッドにおいては、複数のノズルのうち、一つのノズルからインクを吐出する場合と、複数のノズルのすべてからインクを吐出する場合とでは、一つの圧力室の長手方向に沿った位置ごとの二つの電極間の電位差が、異なってしまう。その結果、複数のノズルのうち、一つのノズルからインクを吐出する場合と、その一つのノズルを含むすべてのノズルからインクを吐出する場合とでは、その一つのノズルから吐出されるインクの量およびインク滴の形状が異なってしまうおそれがある。以上では極端な場合を例に説明したが、同様の問題は、インク滴を吐出するノズルの数、およびインク滴を吐出するノズルのノズル列内における位置が異なる場合に、同様に存在する。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本開示の一形態によれば、液体を吐出する液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、第１圧電体と、前記第１圧電体と第１方向に異なる位置に配されている第２圧電体と、前記第１圧電体と電気的に接続し、前記第２圧電体と電気的に接続しない第１電極と、前記第２圧電体と電気的に接続し、前記第１圧電体と電気的に接続しない第２電極と、前記第１圧電体と前記第２圧電体の両方に電気的に接続する第３電極と、を有する。前記第３電極のうち前記第１圧電体に対応する位置に配されている第１部分において、前記第１方向と交差する第２方向における幅は、第１幅であり、前記第３電極のうち前記第２圧電体に対応する位置に配されている第２部分において、前記第２方向における幅は、第２幅であり、前記第３電極のうち前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間に配されている第３部分において、前記第２方向における幅は、前記第１幅と前記第２幅よりも小さい第３幅である。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】第１実施形態の液体吐出装置１００を示す説明図である。
【図2】液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。
【図4】液体吐出装置１００の電気的な構成を示すブロック図である。
【図5】圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す説明図である。
【図6】比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおける圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す説明図である。
【図7】各圧電素子３８に接続される個別の電極５３と、各圧電素子３８の共通の第３電極５１と、各圧電素子３８に対応する圧力室Ｃｈとを示す平面図である。
【図8】各圧電素子３８に接続される個別の電極５３と、各圧電素子３８の共通の第３電極５１と、各圧電素子３８に対応する圧力室Ｃｈとを示す平面図である。
【図9】第３電極５１の第１部分５１１における、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔを示す説明図である。
【図10】第１電極５３１のＸ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、駆動ＩＣ２６Ｄと接続されている側の端部における電位と、の差ΔＶｂを示す説明図である。
【図11】Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における、第３電極５１の第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差の、Ｘ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐを示す説明図である。
【図12】比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおける個別の電極５３と、共通の第３電極５１ＣＰと、圧力室Ｃｈとを示す平面図である。
【図13】液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１における、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔを示す説明図である。
【図14】液体吐出ヘッド２６ＣＰの第１電極５３１における、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１電極５３１の駆動ＩＣ２６Ｄと接続されている側の端部における電位と、の差ΔＶｂを示す説明図である。
【図15】Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における、液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差の、第１電極５３１のＸ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐを示す説明図である。
【図16】比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおける個別の電極５３と、各圧電素子３８の共通の第３電極５１ＣＰと、各圧電素子３８に対応する圧力室Ｃｈとを示す平面図である。
【図17】液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔを示す説明図である。
【図18】液体吐出ヘッド２６ＣＰの第１電極５３１における、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１電極５３１の駆動ＩＣ２６Ｄと接続されている側の端部における電位と、の差ΔＶｂを示す説明図である。
【図19】Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における、液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差の、第１電極５３１のＸ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐを示す説明図である。
【図20】Ｘ方向の中央近傍の部位における、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差Ｖを示すグラフである。
【図21】第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂにおける個別の電極５３と、共通の第３電極５１ｂと、圧力室Ｃｈとを示す平面図である。
【図22】第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂの第３電極５１ｂの第１部分５１１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔを示す説明図である。
【図23】第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂの第１電極５３１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１電極５３１の駆動ＩＣ２６Ｄと接続されている側の端部における電位と、の差ΔＶｂを示す説明図である。
【図24】Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における、液体吐出ヘッド２６ｂの第３電極５１ｂの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差の、第１電極５３１のＸ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐを示す説明図である。
【図25】第３電極の変形例１における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。
【図26】第３電極の変形例２における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。
【図27】第３電極の変形例３における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。
【図28】第３電極の変形例４における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
Ａ．第１実施形態：
Ａ１．液体吐出装置および液体吐出ヘッドの構成：
図１は、第１実施形態の液体吐出装置１００を示す説明図である。液体吐出装置１００は、液体であるインクを媒体ＰＭに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。液体吐出装置１００は、インクを貯留する液体容器１４を取りつけられ、媒体ＰＭをセットされることができる、液体吐出装置１００は、液体容器１４内のインクを、媒体ＰＭに向けて吐出することができる。液体吐出装置１００は、制御ユニット２０と、搬送機構２２と、移動機構２４と、液体吐出ヘッド２６と、を備える。
Ａ１．液体吐出装置および液体吐出ヘッドの構成：
図１は、第１実施形態の液体吐出装置１００を示す説明図である。液体吐出装置１００は、液体であるインクを媒体ＰＭに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。液体吐出装置１００は、インクを貯留する液体容器１４を取りつけられ、媒体ＰＭをセットされることができる、液体吐出装置１００は、液体容器１４内のインクを、媒体ＰＭに向けて吐出することができる。液体吐出装置１００は、制御ユニット２０と、搬送機構２２と、移動機構２４と、液体吐出ヘッド２６と、を備える。
【0011】
液体吐出ヘッド２６は、複数のノズルＮｚを備える。液体吐出ヘッド２６は、液体容器１４から供給される液体のインクを、複数のノズルＮｚから吐出する。ノズルＮｚから吐出されたインクは、所定の位置に配された媒体ＰＭに着弾する。液体吐出ヘッド２６の構成については、後に詳細に説明する。
【0012】
移動機構２４は、輪状のベルト２４４と、ベルト２４４に固定されており、液体吐出ヘッド２６を保持することができるキャリッジ２４２と、を備える。移動機構２４は、輪状のベルト２４４を双方向に回転させることにより、液体吐出ヘッド２６をＸ方向に沿って往復させることができる。図１において、Ｘ方向を、逆向きの二つの矢印Ｘ１，Ｘ２で示す。
【0013】
搬送機構２２は、移動機構２４による液体吐出ヘッド２６の複数回の移動の間に、媒体ＰＭをＹ方向に沿って搬送する。Ｙ方向は、Ｘ方向と直交する方向である。その結果、Ｘ方向とＹ方向で張られる仮想面に向かって吐出されたインクによって、媒体ＰＭ上に、画像が形成される。図１において、Ｙ方向を、逆向きの二つの矢印Ｙ１，Ｙ２で示す。矢印Ｙ２で示される向きが、媒体ＰＭが搬送される向きである。
【0014】
図１には示していないが、Ｘ方向およびＹ方向に垂直な方向をＺ方向とする。液体吐出ヘッド２６は、Ｘ方向に沿って搬送されている間に、Ｚ方向に沿ってインクを吐出する。図１においては示されていないが、他の図において、Ｚ方向のうち、液体吐出ヘッド２６からインクが吐出される向きを矢印Ｚ１で示し、逆の向きを矢印Ｚ２で示す。
【0015】
制御ユニット２０は、液体吐出ヘッド２６からのインクの吐出動作を制御する。制御ユニット２０は、搬送機構２２と、移動機構２４と、液体吐出ヘッド２６と、を制御して、媒体ＰＭ上に画像を形成させる。
【0016】
図２は、液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。液体吐出ヘッド２６は、流路基板３２と、圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、筐体部４２と、封止体４４と、ノズル板４６と、吸振体４８と、を備える。
【0017】
流路基板３２は、略長方形の外形形状を有する板状の部材である。流路基板３２は、それぞれ液体吐出ヘッド２６内のインク流路の一部として機能する、開口部３２２と、供給流路３２４と、連通流路３２６と、中継流路３２８と、を備える。なお、中継流路３２８は、流路基板３２のＺ１側の面に設けられているため、図２には表されていない。
【0018】
開口部３２２は、流路基板３２においてＺ方向に伸びる一つの貫通孔である。液体吐出ヘッド２６が備えるすべてのノズルＮｚから吐出されるインクは、開口部３２２内を通る。
【0019】
連通流路３２６は、流路基板３２においてＺ方向に伸びる貫通孔である。流路基板３２は、複数の連通流路３２６を有する。複数の連通流路３２６は、開口部３２２に対してＸ１側において、Ｙ方向に並んで設けられている。一つの連通流路３２６は、液体吐出ヘッド２６が備える複数のノズルＮｚの一つに接続されている。連通流路３２６の数と液体吐出ヘッド２６が備えるノズルＮｚの数は一致する。液体吐出ヘッド２６が備える各ノズルＮｚから吐出されるインクは、対応する連通流路３２６内を通る。
【0020】
供給流路３２４は、流路基板３２においてＺ方向に伸びる貫通孔である。流路基板３２は、複数の供給流路３２４を備える。一つの供給流路３２４は、後述する圧力室Ｃｈおよび上述の連通流路３２６を介して、液体吐出ヘッド２６が備える複数のノズルＮｚの一つに接続される。供給流路３２４の数と液体吐出ヘッド２６が備えるノズルＮｚの数とは、一致する。各供給流路３２４は、共通の開口部３２２と、各供給流路３２４が接続されている連通流路３２６と、の間に設けられている。液体吐出ヘッド２６が備える各ノズルＮｚから吐出されるインクは、対応する供給流路３２４内を通る。
【0021】
中継流路３２８は、図２には表れていないが、流路基板３２のＺ１側の面に設けられた凹部である。中継流路３２８は、流路基板３２のＺ１側の面において、開口部３２２と、複数の供給流路３２４とを、接続している。液体吐出ヘッド２６が備える各ノズルＮｚから吐出されるインクは、中継流路３２８を通る。
【0022】
圧力室基板３４は、略長方形の外形形状を有する板状部材である。圧力室基板３４は、シリコンで構成されている。圧力室基板３４は、流路基板３２に対してＺ２側に配されている。より具体的には、圧力室基板３４は、流路基板３２の一部の領域であって、供給流路３２４および連通流路３２６が設けられている領域を覆うように、配されている。圧力室基板３４は、複数の開口部３４２を備える。
【0023】
開口部３４２は、圧力室基板３４においてＺ方向に伸びる複数の貫通孔である。各開口部３４２は、流路基板３２においてＸ方向に並んで配される一組の連通流路３２６および供給流路３２４と、Ｚ方向に投影したときに、重なる位置に、配されている。各開口部３４２は、それら一組の連通流路３２６および供給流路３２４に接続されている。開口部３４２の数と液体吐出ヘッド２６が備えるノズルＮｚの数とは、一致する。開口部３４２は、インクを収容し、液体吐出ヘッド２６内の流路内のインクに圧力を加える圧力室Ｃｈとして機能する。
【0024】
振動板３６は、圧力室基板３４と一致する外形形状を有する板状部材である。振動板３６は、圧力室基板３４に対してＺ２側に配されている。振動板３６は、Ｚ方向に投影したときに、振動板３６の外形と圧力室基板３４の外形とが一致するように、配されている。振動板３６は、圧力室基板３４の開口部３４２のＺ２側を塞ぐ内壁として機能する。振動板３６は、圧電素子３８によって弾性変形されることができるように構成されている。
【0025】
圧電素子３８は、振動板３６に対してＺ２側に配されている。より具体的には、一つの圧電素子３８は、振動板３６を挟んで、圧力室基板３４の一つの開口部３４２と重なる位置に設けられている。圧電素子３８は、図示しない密着層を介して振動板３６に接合される。圧電素子３８の数と液体吐出ヘッド２６が備えるノズルＮｚの数とは、一致する。各圧電素子３８は、配線基板５０を介して電圧を印加されて、変形し、各開口部３４２（すなわち各圧力室Ｃｈ）の内壁を構成している振動板３６を変形させる。その結果、圧力室Ｃｈが変形されて、圧力室Ｃｈ内のインクに圧力が加えられる。なお、配線基板５０は、技術の理解を容易にするため、図２において省略されている。
【0026】
封止体４４は、振動板３６および圧電素子３８に対してＺ２側に配されている。より具体的には、封止体４４は、振動板３６の一部の領域であって、圧電素子３８が設けられている領域を覆うように、配されている。封止体４４は、Ｚ１側の面に、一つの凹部を備えている。振動板３６上に配された複数の圧電素子３８は、この凹部に収容される。各圧電素子３８は、電圧を印加されると、封止体４４の凹部内において変形することができる。封止体４４は、圧電素子３８を保護するとともに圧力室基板３４および振動板３６の機械的な強度を補強する機能を奏する。
【0027】
筐体部４２は、流路基板３２に対してＺ２側に配されている。より具体的には、筐体部４２は、流路基板３２の一部の領域であって、開口部３２２が設けられている領域を覆うように、配されている。筐体部４２は、封止体４４、振動板３６、および圧力室基板３４に対して、Ｘ２側に配されている。筐体部４２は、収容部４２２と導入口４２４とを備える。
【0028】
収容部４２２は、Ｚ１側に開口している一つの凹部である。収容部４２２は、筐体部４２の内部およびＺ１側の面に設けられているため、図２には表されていない。収容部４２２は、流路基板３２の開口部３２２と、Ｚ方向に投影したときに、重なる位置に配されている。収容部４２２は、開口部３２２に接続されている。
【0029】
導入口４２４は、Ｚ方向に伸びる貫通孔であり、収容部４２２と接続されている。導入口４２４は、筐体部４２のＺ２側の面において、Ｘ方向およびＹ方向について略中央に配されている。
【0030】
ノズル板４６は、流路基板３２に対してＺ１側に配されている。より具体的には、ノズル板４６は、流路基板３２の一部の領域であって、連通流路３２６が設けられている領域を覆うように、配されている。ノズル板４６は、複数のノズルＮｚを備える。各ノズルＮｚは、流路基板３２の各連通流路３２６と重なる位置に配されている。各ノズルＮｚは、各連通流路３２６に接続されている。各ノズルＮｚは、圧力室Ｃｈに収容されていたインクを吐出する。
【0031】
吸振体４８は、流路基板３２に対してＺ２側に配されている。より具体的には、吸振体４８は、流路基板３２の一部の領域であって、開口部３２２、中継流路３２８（図２において示されず）、および供給流路３２４が設けられている領域を覆うように、配されている。吸振体４８は、開口部３２２、中継流路３２８、および供給流路３２４のＺ１側を塞ぐ内壁として機能する。吸振体４８は、開口部３２２、中継流路３２８、および供給流路３２４の内部のインクの圧力に応じて弾性変形し、圧力変化を緩和するように構成されている。
【0032】
図３は、図２のIII－III線の断面における液体吐出ヘッド２６の構成を模式的に示す説明図である。図３は、図２に示した筐体部４２の導入口４２４、圧力室基板３４の開口部３４２（圧力室Ｃｈ）、流路基板３２の供給流路３２４および連通流路３２６等をとおるＸ－Ｚ平面による液体吐出ヘッド２６の断面を示している。なお、図３においては、図２において省略した配線基板５０が示されている。
【0033】
配線基板５０は、制御ユニット２０（図１参照）および電源回路（図１～図３において省略）と、液体吐出ヘッド２６とを、電気的に接続するための複数の配線が形成された回路基板である。圧電素子３８を駆動するための駆動信号が、配線基板５０から各圧電素子３８に供給される。配線基板５０としては、たとえば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）等の可撓性を有する基板を採用することができる。なお、配線基板５０に代えて、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）を配することもできる。
【0034】
振動板３６は、圧力室Ｃｈ側に配される弾性層３６１と、圧電素子３８側に配される絶縁層３６２と、を備える。弾性層３６１は、酸化シリコン（ＳiＯ２）等の弾性材料で形成された弾性膜である。絶縁層３６２は、酸化ジルコニウム（ＺrＯ２）等の絶縁材料で形成された絶縁膜である。
【0035】
液体吐出ヘッド２６に供給されたインクは、導入口４２４から収容部４２２内に導入され、開口部３２２、中継流路３２８、および供給流路３２４を通って、圧力室Ｃｈ（開口部３４２）に導入される。なお、収容部４２２と開口部３２２とで構成される空間を、液体貯留室Ｒｓとも呼ぶ。液体貯留室Ｒｓには、導入口４２４から供給され、液体吐出ヘッド２６の各ノズルＮｚに供給されるインクが、貯留される。
【0036】
供給流路３２４、圧力室Ｃｈ、圧電素子３８、および連通流路３２６は、一つのノズルＮｚに対して、一つづつ設けられる。供給流路３２４から圧力室Ｃｈに供給されたインクは、電圧を印加された圧電素子３８によって振動板３６を介して押圧される。そして、圧力室Ｃｈ内のインクは、連通流路３２６を介してノズルＮｚから吐出される。圧力室Ｃｈ内のインクが液体吐出ヘッド２６外に吐出され、その後、振動板３６が平板状に戻ることに伴って、導入口４２４から液体貯留室Ｒｓ（収容部４２２および開口部３２２）内に新たにインクが供給される。
【0037】
図４は、液体吐出装置１００の電気的な構成を示すブロック図である。制御ユニット２０は、制御信号Ｃｔｒ、駆動信号ＣＯＭ－Ａ、ＣＯＭ－Ｂ、および電圧ＶＢＳの保持信号を液体吐出ヘッド２６に供給する。液体吐出ヘッド２６は、制御ユニット２０から受け取った制御信号Ｃｔｒ、駆動信号ＣＯＭ－Ａ、ＣＯＭ－Ｂ、および電圧ＶＢＳに応じて、圧電素子３８を駆動し、ノズルＮｚからインクを吐出させる（図３参照）。
【0038】
制御ユニット２０は、制御部２１と、駆動回路２５ａ、２５ｂと、電圧生成回路２３とを含む。制御部２１は、ＣＰＵやＲＡＭ、ＲＯＭなどを有するマイクロコンピューターである。制御部２１は、ＣＰＵで所定のプログラムを実行することによって、画像データに基づいて、液体吐出装置１００の各部を制御するための各種の制御信号等を出力することができる。
【0039】
制御部２１は、移動機構２４および搬送機構２２を制御する（図１参照）。制御部２１は、移動機構２４および搬送機構２２に対する制御に同期させて、液体吐出ヘッド２６に各種の制御信号Ｃｔｒを供給する。制御信号Ｃｔｒには、ノズルＮｚから吐出させるインクの量を規定する印刷データ、印刷データの転送に用いるクロック信号、印刷周期等を規定するタイミング信号等が含まれる。制御部２１は、駆動回路２５ａにデジタルのデータｄＡを繰り返して供給する。制御部２１は、駆動回路２５ｂにデジタルのデータｄＢを繰り返して供給する。
【0040】
駆動回路２５ａは、データｄＡをアナログ変換し、さらに増幅して、駆動信号ＣＯＭ－Ａとして液体吐出ヘッド２６に出力する。駆動回路２５ｂは、データｄＢをアナログ変換し、さらに増幅して、駆動信号ＣＯＭ－Ｂとして液体吐出ヘッド２６に出力する。駆動回路２５ａ、２５ｂのハードウェア構成は同一である。
【0041】
本実施形態においては、１画素に対応する印刷周期中に１つのノズルＮｚからインク滴を最大で２回吐出させる。そのインク滴の組み合わせにより、１画素において、大ドット、中ドット、小ドットおよび非記録の４階調が表現される。
【0042】
駆動信号ＣＯＭ－Ａは、印刷周期の前半の期間に配された台形波形Ａｄｐ１と、印刷周期の後半の期間に配された台形波形Ａｄｐ２とを有する。台形波形Ａｄｐ１、Ａｄｐ２は、互いにほぼ同一の波形である。台形波形Ａｄｐ１、Ａｄｐ２は、それぞれが圧電素子３８の個別の電極に供給された場合、圧電素子３８に対応するノズルＮｚから中程度の量のインクをそれぞれ吐出させる波形である。
【0043】
駆動信号ＣＯＭ－Ｂは、印刷周期の前半の期間に配された台形波形Ｂｄｐ１と、印刷周期の後半の期間に配された台形波形Ｂｄｐ２とを有する。台形波形Ｂｄｐ１、Ｂｄｐ２とは、互いに異なる波形である。台形波形Ｂｄｐ１は、ノズルＮｚの付近におけるインクを微振動させてインクの粘度の増大を防止するための波形である。台形波形Ｂｄｐ１が圧電素子３８の個別の電極に供給された場合には、その圧電素子３８に対応するノズルＮｚからインク滴は吐出されない。台形波形Ｂｄｐ２は、圧電素子３８の個別の電極に供給された場合に、その圧電素子３８に対応するノズルＮｚから台形波形Ａｄｐ１、Ａｄｐ２よりも少ない量のインクを吐出させる波形である。
【0044】
ある画素に大ドットを形成すべき場合には、印刷周期の前半および後半において駆動信号ＣＯＭ－Ａが選択され、駆動対象である圧電素子３８の個別の電極（図４の圧電素子３８の左側参照）に供給される。その結果、中程度の量のインク滴が２回吐出される。それらのインク滴のインクが媒体ＰＭ上で合体して、大ドットが形成される。
【0045】
ある画素に中ドットを形成すべき場合には、印刷周期の前半に駆動信号ＣＯＭ－Ａが選択され、後半に駆動信号ＣＯＭ－Ｂが選択されて、駆動対象である圧電素子３８の個別の電極に供給される。すなわち、台形波形Ａｄｐ１と台形波形Ｂｄｐ２が選択され、圧電素子３８の個別の電極に供給される。その結果、中程度および小程度のインク滴が吐出される。それらのインク滴のインクが媒体ＰＭ上で合体して、中ドットが形成される。
【0046】
ある画素に小ドットを形成すべき場合には、印刷周期の前半では駆動信号ＣＯＭ－Ａ、ＣＯＭ－Ｂのいずれも選択されず、後半に駆動信号ＣＯＭ－Ｂが選択されて、駆動対象である圧電素子３８の個別の電極に供給される。すなわち、台形波形Ｂｄｐ２が選択され、圧電素子３８の個別の電極に供給される。その結果、小程度のインクが１回吐出され、媒体ＰＭに小ドットが形成される。
【0047】
ある画素にドットを記録しない場合には、印刷周期の前半に駆動信号ＣＯＭ－Ｂが選択され、後半に駆動信号ＣＯＭ－Ａ、ＣＯＭ－Ｂのいずれも選択されずに、駆動対象である圧電素子３８の個別の電極に供給される。すなわち、台形波形Ｂｄｐ１が選択され、圧電素子３８の個別の電極に供給される。その結果、印刷周期の前半において当該ノズルＮｚの付近のインクが微振動し、インクは吐出されない。
【0048】
電圧生成回路２３は、一定の電圧ＶＢＳを有する保持信号を生成して、液体吐出ヘッド２６に出力する。保持信号は、アクチュエーター基板２６Ａにおける複数の圧電素子３８の共通の電極（図４の圧電素子３８の右側参照）の電位を、一定に保持する。
【0049】
液体吐出ヘッド２６は、アクチュエーター基板２６Ａと駆動ＩＣ２６Ｄを有する。なお、アクチュエーター基板２６Ａと駆動ＩＣ２６Ｄとは、電気的な構成における概念的な区分であり、これらの呼称は、必ずしもそれらの構成が一つの基板や一つのＩＣによって実現されていることを意味するものではない。
【0050】
駆動ＩＣ２６Ｄは、アクチュエーター基板２６Ａの各圧電素子３８の個別の電極に駆動信号を供給する。駆動ＩＣ２６Ｄは、制御ユニット２０の電圧生成回路２３から受け取った保持信号を、アクチュエーター基板２６Ａの各圧電素子３８の共通の電極に中継する。
【0051】
駆動ＩＣ２６Ｄは、選択制御部２６Ｄ１と、圧電素子３８に一対一に対応した選択部２６Ｄ２と、を有する。選択制御部２６Ｄ１は、各選択部２６Ｄ２における選択をそれぞれ制御する。より具体的には、選択制御部２６Ｄ１は、制御部２１からクロック信号に同期して供給される印刷データを、液体吐出ヘッド２６の圧電素子３８の数の分、蓄積する。そして、選択制御部２６Ｄ１は、各選択部２６Ｄ２に対し、印刷データに応じた駆動信号ＣＯＭ－Ａ、ＣＯＭ－Ｂの選択を、タイミング信号で規定される印刷周期の前半および後半の開始タイミングで指示する。
【0052】
各選択部２６Ｄ２は、選択制御部２６Ｄ１からの指示にしたがって、駆動信号ＣＯＭ－Ａ、ＣＯＭ－Ｂのいずれかを選択し、または、選択せずに、電圧Ｖｏｕｔの駆動信号として、対応する圧電素子３８の個別の電極に印加する。
【0053】
アクチュエーター基板２６Ａは、複数の圧電素子３８を有する。各圧電素子３８の一方の電極は個別に設けられているのに対して、他方の電極は、複数の圧電素子３８について共通である。複数の圧電素子３８の個別の電極に対しては、駆動信号によって、形成するドットの大きさに応じて異なる電圧Ｖｏｕｔが付与される。複数の圧電素子３８の共通の電極に対しては、配線パターン２６Ｌを介して、保持信号によって一定の電圧ＶＢＳが付与される。
【0054】
図５は、圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す説明図である。液体吐出ヘッド２６においては、ノズル列内のノズルＮｚの数と一致する数の圧電素子３８が、振動板３６に対してＺ２側において、Ｙ２方向に沿って配されている（図２参照）。図５においては、それら複数の圧電素子３８のうち、３個の圧電素子３８の周辺の構成が示されている。図５においては、技術の理解を容易にするため、圧力室基板３４、振動板３６、圧電素子３８以外の構造は示していない。
【0055】
以下では、Ｙ方向のうち矢印Ｙ２で示される向きを「第１方向Ｄ１」とし、Ｘ方向のうち矢印Ｘ１で示される向きを「第２方向Ｄ２」として、圧力室基板３４、振動板３６、圧電素子３８の構造を説明する。以下では、主として、図５において示した３個の圧電素子３８のうち、圧電素子３８１，３８２およびその周辺の構造を例に、圧電素子の構造および機能を説明する。
【0056】
液体吐出ヘッド２６は、複数の圧電素子３８の構成要素の一部として、第１圧電体５２１と、第２圧電体５２２と、第１電極５３１と、第２電極５３２と、第３電極５１と、を有する。
【0057】
第２圧電体５２２は、第１圧電体５２１と第１方向Ｄ１について異なる位置に位置する。より具体的には、第２圧電体５２２は、第１方向Ｄ１について、第１圧電体５２１と隣接する。なお、本明細書において「圧電体Ａと圧電体Ｂとが隣接する」とは、圧電体Ａと圧電体Ｂとの間に他の圧電体が存在しないことを意味する。第１圧電体５２１、第２圧電体５２２などの圧電体を区別せずに記載する際には、「圧電体５２」と記載する。
【0058】
第１電極５３１は、第１圧電体５２１と電気的に接続し、第２圧電体５２２と電気的に接続しない。第２電極５３２は、第２圧電体５２２と電気的に接続し、第１圧電体５２１と電気的に接続しない。第１電極５３１と第２電極５３２とは、各圧電素子３８に接続される個別の電極である（図４の圧電素子３８の左側参照）。すなわち、第１圧電体５２１に接続されている第１電極５３１に対しては、駆動ＩＣ２６Ｄから、インクの吐出量に応じて異なる駆動信号が供給される（図４の圧電素子３８の左側参照）。第２圧電体５２２に接続されている第２電極５３２に対しても、駆動ＩＣ２６Ｄから、インクの吐出量に応じて異なる駆動信号を供給される。第１電極５３１、第２電極５３２などの各圧電素子３８に接続される個別の電極を区別せずに記載する際には、「電極５３」と記載する。
【0059】
第３電極５１は、第１圧電体５２１と第２圧電体５２２の両方に電気的に接続する。第３電極５１は、各圧電素子３８の共通の電極である（図４の圧電素子３８の右側参照）。各圧電素子３８に接続されている第３電極５１に対しては、電圧生成回路２３から、インクの吐出量によらず電圧が変化しない保持信号が供給される（図４の圧電素子３８の右側参照）。第３電極５１の厚みは、たとえば、数十ｎｍである。
【0060】
第３電極５１は、単一の部材によって構成されている。第３電極５１は、第１圧電体５２１を覆い、かつ、第２圧電体５２２を覆っている。このような構成とすることにより、各圧電体５２１，５２２が設けられている振動板３６と、各圧電体５２１，５２２と、の隙間に、結露による水やインクなどの液体が浸入する可能性を、低減することができる。
【0061】
振動板３６に対して圧電素子３８１とは逆の側には、圧力室Ｃｈの一つである第１圧力室Ｃｈ１が設けられている。第１圧力室Ｃｈ１は、インクを収容し、第１圧電体５２１の歪みによって、収容しているインクに圧力が付与されるように構成されている。振動板３６に対して圧電素子３８２とは逆の側には、圧力室Ｃｈの一つである第２圧力室Ｃｈ２が設けられている。第２圧力室Ｃｈ２は、インクを収容し、第２圧電体５２２の歪みによって、収容しているインクに圧力が付与されるように構成されている。
【0062】
第１圧力室Ｃｈ１からみたとき、第１電極５３１、第１圧電体５２１、および第３電極５１は、第１圧力室Ｃｈ１に近い方から第１電極５３１、第１圧電体５２１、第３電極５１の順に設けられている。第２圧力室Ｃｈ２からみたとき、第２電極５３２、第２圧電体５２２、および第３電極５１は、第２圧力室Ｃｈ２に近い方から第２電極５３２、第２圧電体５２２、第３電極５１の順に設けられている。言い換えると、Ｚ方向において、第１圧電体５２１は第１電極５３１と第３電極５１の間に設けられている。また、Ｚ方向において、第２圧電体５２２は第２電極５３２と第３電極５１の間に設けられている。すなわち、第１圧電体５２１と第２圧電体５２２の両方に電気的に接続する第３電極５１が、第１圧電体５２１および第２圧電体５２２に対して、第１圧力室Ｃｈ１および第２圧力室Ｃｈ２とは逆の側に配される。
【0063】
液体吐出ヘッド２６は、通常、圧力室Ｃｈに対して圧電体５２が上方に位置し、圧力室Ｃｈの下方にインクを吐出できる向きに、配される。このため、本実施形態においては、第３電極５１が、第１圧電体５２１の端および第２圧電体５２２の端の少なくとも一部を、上から封止することになる。よって、各圧電体５２が設けられている振動板３６と、各圧電体５２と、の隙間に、結露による水やインクなどの液体が上から浸透する可能性を低減することができる。
【0064】
第３電極５１は、第１部分５１１と、第２部分５１２と、第３部分５１３と、第４部分５１４と、第５部分５１５と、を有する。
【0065】
第１部分５１１は、第３電極５１のうち第１圧電体５２１に対応する位置に配されている部分である。より具体的には、第１部分５１１は、第３電極５１のうち、第１圧電体５２１を挟んで第１電極５３１と向かい合う部分である。第１部分５１１の第２方向Ｄ２における幅は、第１幅Ｗ１である。
【0066】
第２部分５１２は、第３電極５１のうち第２圧電体５２２に対応する位置に配されている部分である。より具体的には、第２部分５１２は、第３電極５１のうち、第２圧電体５２２を挟んで第２電極５３２と向かい合う部分である。第２部分５１２において、第２方向Ｄ２における幅は、第２幅Ｗ２である。第２幅Ｗ２の大きさは、第１幅Ｗ１と等しい。
【0067】
第１部分５１１の第２方向Ｄ２についての抵抗値は、第１圧電体５２１の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して、１／２０以上である。第２部分５１２の第２方向Ｄ２についての抵抗値が、第２圧電体５２２の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して１／２０以上である。
【0068】
このような構成においては、第１部分５１１の第２方向Ｄ２に沿った電圧降下、および第２部分５１２の第２方向Ｄ２に沿った電圧降下が、０．０５Ｖ以上となる。このため、第２電極５３２に第３電極５１とは異なる電位Ｖｏｕｔが付与され、第１電極５３１がＯＦＦされているときと、第１電極５３１と第２電極５３２に第３電極５１とは異なる電位Ｖｏｕｔが付与されているときとにおける、第２方向Ｄ２に沿った位置ごとの第１部分５１１と第１電極５３１との電位差の違いを、小さくすることが、より有効である。この技術的効果については、後に説明する。
【0069】
第３部分５１３は、第３電極５１のうち第１圧電体５２１と第２圧電体５２２の間に配されている部分である。第３部分５１３は、圧電体５２を介さずに、振動板３６の表面上に設けられている。第３部分５１３の第２方向Ｄ２における幅は、第３幅Ｗ３である。第３幅Ｗ３は、第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２よりも小さい。より具体的には、第３幅Ｗ３は、第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２の１／１０である。
【0070】
第４部分５１４は、第３電極５１のうち、第１部分５１１と第３部分５１３の間に配されている部分である。第４部分５１４は、第３部分５１３よりもＹ方向において第１部分５１１に近い位置に配されている部分である。第４部分５１４は、第１圧電体５２１が接触している振動板３６の絶縁層３６２の表面と、第１圧電体５２１と、の境界Ｂ１を塞いでいる。第４部分５１４の第２方向Ｄ２における幅は、第４幅Ｗ４である。第４幅Ｗ４は、第３幅Ｗ３よりも大きい。より具体的には、第４幅Ｗ４は、第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２と等しい。
【0071】
第５部分５１５は、第３電極５１のうち、第２部分５１２と第３部分５１３の間に配されている部分である。第５部分５１５は、第３部分５１３よりもＹ方向において第２部分５１２に近い位置に配されている部分である。第５部分５１５は、第２圧電体５２２が接触している振動板３６の絶縁層３６２の表面と、第２圧電体５２２と、の境界Ｂ２を塞いでいる。第５部分５１５の第２方向Ｄ２における幅は、第５幅Ｗ５である。第５幅Ｗ５は、第３幅Ｗ３よりも大きい。より具体的には、第５幅Ｗ５は、第１幅Ｗ１、第２幅Ｗ２、および第４幅Ｗ４と等しい。図５において、第１方向Ｄ１についての第４部分５１４と第５部分５１５の間であって、第３電極５１が設けられていない領域を、分断部５１ｔとして示す。
【0072】
このような構成とすることにより、第１圧電体５２１と第２圧電体５２２の間に第３部分５１３が設けられており、かつ、第４部分５１４および第５部分５１５が設けられていない態様に比べて、より広い範囲で、境界Ｂ１および境界Ｂ２を、第３電極５１で封止することができる。よって、各圧電体５２が接触している振動板３６の絶縁層３６２の表面と各圧電体５２との隙間に、結露による水やインクなどの液体が浸入する可能性を低減することができる。
【0073】
図６は、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおける圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す説明図である。液体吐出ヘッド２６ＣＰにおいては、分断部５１ｔがなく、第３部分５１３ＣＰの幅Ｗ３ＣＰが、第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２と等しい。液体吐出ヘッド２６ＣＰの他の点は、本実施形態の液体吐出ヘッド２６と同じである。以下では、本実施形態の液体吐出ヘッド２６の動作を、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰの動作と比較しつつ、説明する。
【0074】
Ａ２．液体吐出ヘッドの動作：
Ａ２－１．本実施形態の液体吐出ヘッドの動作：
図７は、各圧電素子３８に接続される個別の電極５３と、各圧電素子３８の共通の第３電極５１と、各圧電素子３８に対応する圧力室Ｃｈとを示す平面図である。図７は、個別の電極５３と共通の第３電極５１と各圧力室Ｃｈとの関係を示すための図であり、各構成の実際の寸法および形状を反映するものではない。たとえば、図７に示されている駆動ＩＣ２６Ｄは、図７に示された位置に駆動ＩＣ２６Ｄが存在することを表すものではなく、個別の電極５３に対して、駆動ＩＣ２６Ｄによって、図７に示した側から電位が付与されることを表す。なお、第３電極５１に対しては、電圧生成回路２３によって、Ｘ方向の両側から電位が付与される。
Ａ２－１．本実施形態の液体吐出ヘッドの動作：
図７は、各圧電素子３８に接続される個別の電極５３と、各圧電素子３８の共通の第３電極５１と、各圧電素子３８に対応する圧力室Ｃｈとを示す平面図である。図７は、個別の電極５３と共通の第３電極５１と各圧力室Ｃｈとの関係を示すための図であり、各構成の実際の寸法および形状を反映するものではない。たとえば、図７に示されている駆動ＩＣ２６Ｄは、図７に示された位置に駆動ＩＣ２６Ｄが存在することを表すものではなく、個別の電極５３に対して、駆動ＩＣ２６Ｄによって、図７に示した側から電位が付与されることを表す。なお、第３電極５１に対しては、電圧生成回路２３によって、Ｘ方向の両側から電位が付与される。
【0075】
液体吐出ヘッド２６が備える複数の個別の電極５３のうち、電極５３１のみがＯＮされ、他の個別の電極５３がＯＦＦされたものとする（図４の２６Ｄ２参照）。このとき、第１圧電体５２１を挟んで第１電極５３１と向かい合う第１部分５１１において、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳは、Ｘ方向の両端から付与される（矢印Ａ１参照）。その結果、第３電極５１の第１部分５１１において、Ｘ方向の端近傍の部位と、中央近傍の部位とでは、第１部分５１１自身の抵抗に起因して、電位が異なる。
【0076】
図８は、各圧電素子３８に接続される個別の電極５３と、各圧電素子３８の共通の第３電極５１と、各圧電素子３８に対応する圧力室Ｃｈとを示す平面図である。図８は、図７と同様に、個別の電極５３と共通の第３電極５１と各圧力室Ｃｈとの関係を示すための図であり、各構成の実際の寸法および形状を反映するものではない。
【0077】
液体吐出ヘッド２６が備える複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされたものとする（図４の２６Ｄ２参照）。このとき、各圧電体５２を挟んで各電極５３と向かい合う第３電極５１の各部分において、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳは、電極５３１のみがＯＮされた場合と同様に、Ｘ方向の両端から付与される（図８の矢印Ａａおよび図７の矢印Ａ１参照）。その結果、この場合も、第３電極５１の第１部分５１１において、Ｘ方向の端近傍の部位と、中央近傍の部位とでは、第１部分５１１自身の抵抗に起因して、電位が異なる。
【0078】
図９は、第３電極５１の第１部分５１１における、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔを示す説明図である。図７で説明したように、電極５３１のみがＯＮされた場合、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳは、第１部分５１１に対してＸ方向の両端から付与される（図７の矢印Ａ１参照）。その結果、第１部分５１１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔは、第１部分５１１自身の抵抗に起因して、図９に示すようになる。
【0079】
図８で説明したように、液体吐出ヘッド２６が備える複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合も、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳは、第１部分５１１に対してＸ方向の両端から付与される（図８の矢印Ａａ参照）。その結果、この場合も、第１部分５１１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔは、第１部分５１１自身の抵抗に起因して、ほぼ図９に示すようになる。すなわち、電極５３１のみがＯＮされた場合と、複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合とにおいて、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔは、ほぼ一致する。
【0080】
図１０は、第１電極５３１におけるＸ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１電極５３１の駆動ＩＣ２６Ｄ（図７および図８の下段参照）と接続されている側の端部における電位と、の差ΔＶｂを示す説明図である。第１電極５３１において、駆動ＩＣ２６Ｄによって付与される電位Ｖｏｕｔは、Ｘ１方向の端から付与される。その結果、第１電極５３１において、Ｘ１方向の端近傍の部位と、他の部位とでは、第１電極５３１自身の抵抗に起因して、電位が異なる。第１電極５３１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１電極５３１のＸ１方向の端部における電位との差ΔＶｂは、図１０に示すようになる。
【0081】
第１電極５３１の各部に対する電位Ｖｏｕｔの付与のされ方は、電極５３１のみがＯＮされたか、すべての個別の電極５３がＯＮされたかによらず、同じである。このため、第１電極５３１における各部の端部の電位からの電位差ΔＶｂは、電極５３１のみがＯＮされたか、すべての個別の電極５３がＯＮされたかによらず、図１０に示すようになる。
【0082】
図１１は、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における、第３電極５１の第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差の、第１電極５３１のＸ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐを示す説明図である。電位差のずれΔＶｐは、ΔＶｔとΔＶｂを重畳したものとなる。
【0083】
上述したように、電極５３１のみがＯＮされたとき、電位差ΔＶｔは図９、電位差ΔＶｂは図１０のようになる。したがって、電極５３１のみがＯＮされたとき、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位差の、Ｘ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐは、図１１に示すようになる。
【0084】
また、同じく上述したように、すべての個別の電極５３がＯＮされたときも、電位差ΔＶｔは図９、電位差ΔＶｂは図１０のようになる。したがって、すべての電極５３がＯＮされたとき、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位差の、Ｘ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐは、図１１に示すようになる。
【0085】
つまり、本実施形態では、電極５３１のみがＯＮされたときも、すべての個別の電極５３がＯＮされたときも、ΔＶｐは同じである（図１１参照）。
【0086】
Ａ２－２．比較例の液体吐出ヘッドの動作：
共通の電極のうち個別の電極５３と向かい合う各部分を分断する分断部５１ｔを備えていない（図５～図７参照）液体吐出ヘッド２６ＣＰを用いて比較例を説明する。比較例において、まず１つの電極５３１のみがＯＮされた場合について説明し、次に複数の個別の電極５３すべてがＯＮされた場合について説明する。
共通の電極のうち個別の電極５３と向かい合う各部分を分断する分断部５１ｔを備えていない（図５～図７参照）液体吐出ヘッド２６ＣＰを用いて比較例を説明する。比較例において、まず１つの電極５３１のみがＯＮされた場合について説明し、次に複数の個別の電極５３すべてがＯＮされた場合について説明する。
【0087】
（１）１つの電極５３１のみがＯＮされた場合：
図１２は、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおける個別の電極５３と、共通の第３電極５１ＣＰと、圧力室Ｃｈとを示す平面図である。図１２は、各構成の実際の寸法および形状を反映するものではない。液体吐出ヘッド２６ＣＰは、共通の電極のうち個別の電極５３と向かい合う各部分を分断する分断部５１ｔを備えていない（図５～図７参照）。
図１２は、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおける個別の電極５３と、共通の第３電極５１ＣＰと、圧力室Ｃｈとを示す平面図である。図１２は、各構成の実際の寸法および形状を反映するものではない。液体吐出ヘッド２６ＣＰは、共通の電極のうち個別の電極５３と向かい合う各部分を分断する分断部５１ｔを備えていない（図５～図７参照）。
【0088】
液体吐出ヘッド２６ＣＰが備える複数の個別の電極５３のうち、電極５３１のみがＯＮされ、他の個別の電極５３がＯＦＦされたものとする（図４の２６Ｄ２参照）。このとき、第１圧電体５２１を挟んで第１電極５３１と向かい合う第１部分５１１において、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳは、第１部分５１１の様々な方向から付与される（矢印Ａ１ｃｐ参照）。その結果、第３電極５１ＣＰの第１部分５１１において、Ｘ方向の端近傍の部位と、中央近傍の部位とでは、電位の差は、わずかに生じるだけである。
【0089】
図１３は、液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１における、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔを示す説明図である。液体吐出ヘッド２６ＣＰにおいて電極５３１のみがＯＮされた場合、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳは、第１部分５１１に対して様々な方向から付与される（図１２の矢印Ａ１ｃｐ参照）。つまり、第１実施形態において、図９を用いて説明した液体吐出ヘッド２６が備えた電極５３１のみがＯＮされた場合とは異なる。その結果、第１部分５１１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔは、図１３に示すようになる。図１３と図９を比較するとわかるように、比較例における液体吐出ヘッド２６ＣＰが備える電極５３１のみがＯＮされた場合と、第１実施形態における液体吐出ヘッド２６が備える電極５３１のみがＯＮされた場合とでは、電位の差ΔＶｔが全く異なる傾向となる。
【0090】
図１４は、液体吐出ヘッド２６ＣＰの第１電極５３１における、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１電極５３１の駆動ＩＣ２６Ｄ（図１２の下段参照）と接続されている側の端部における電位と、の差ΔＶｂを示す説明図である。液体吐出ヘッド２６ＣＰの第１電極５３１においても、駆動ＩＣ２６Ｄによって付与される電位Ｖｏｕｔは、Ｘ１方向の端から付与される。その結果、第１電極５３１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１電極５３１のＸ１方向の端部における電位との差ΔＶｂは、図１４に示すようになる。
【0091】
図１５は、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における、液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差の、第１電極５３１のＸ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐを示す説明図である。電位差のずれΔＶｐは、ΔＶｔとΔＶｂを重畳したものとなる（図１３および図１４参照）。
【0092】
（２）複数の個別の電極５３すべてがＯＮされた場合：
図１６は、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおける個別の電極５３と、各圧電素子３８の共通の第３電極５１ＣＰと、各圧電素子３８に対応する圧力室Ｃｈとを示す平面図である。図１６は、図１２と同様、個別の電極５３と共通の第３電極５１ＣＰと各圧力室Ｃｈとの関係を示すための図であり、各構成の実際の寸法および形状を反映するものではない。
図１６は、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおける個別の電極５３と、各圧電素子３８の共通の第３電極５１ＣＰと、各圧電素子３８に対応する圧力室Ｃｈとを示す平面図である。図１６は、図１２と同様、個別の電極５３と共通の第３電極５１ＣＰと各圧力室Ｃｈとの関係を示すための図であり、各構成の実際の寸法および形状を反映するものではない。
【0093】
液体吐出ヘッド２６ＣＰが備える複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされたものとする（図４の２６Ｄ２参照）。このとき、各圧電体５２を挟んで各電極５３と向かい合う第３電極５１ＣＰの各部分において、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳは、図８に示した本実施形態の場合と同様、Ｘ方向の両端から付与される（図１６の矢印Ａａｃｐ参照）。その結果、この場合も、図８に示した本実施形態の場合と同様、第３電極５１ＣＰの第１部分５１１において、Ｘ方向の端近傍の部位と、中央近傍の部位とでは、第１部分５１１自身の抵抗に起因して、電位が異なる。
【0094】
図１７は、液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔを示す説明図である。液体吐出ヘッド２６ＣＰが備える複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合は、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳは、第１部分５１１に対してＸ方向の両端から付与される（図１６の矢印Ａａｃｐ参照）。つまり、第１実施形態において、図９を用いて説明した液体吐出ヘッド２６が備えた複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合と同様である。その結果、第１部分５１１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔは、第１部分５１１自身の抵抗に起因して、図１７に示すようになる。図１７と図９を比較するとわかるように、比較例における液体吐出ヘッド２６ＣＰが備える複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合と、第１実施形態における液体吐出ヘッド２６が備える複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合とでは、電位の差ΔＶｔが似たような傾向となる。
【0095】
図１３と図１７の比較から分かるように、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおいては、電極５３１のみがＯＮされた場合と、複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合とにおいて、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔは、大きく異なる。
【0096】
図１８は、液体吐出ヘッド２６ＣＰの第１電極５３１における、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１電極５３１の駆動ＩＣ２６Ｄ（図１６の下段参照）と接続されている側の端部における電位と、の差ΔＶｂを示す説明図である。液体吐出ヘッド２６ＣＰにおいても、第１電極５３１の各部に対する電位Ｖｏｕｔの付与のされ方は、電極５３１のみがＯＮされたか、すべての個別の電極５３がＯＮされたかによらず、同じである。このため、第１電極５３１における各部の端部の電位からの電位差ΔＶｂは、図１４に示す電極５３１のみがＯＮされた場合と同じになる。
【0097】
図１９は、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における、液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差の、第１電極５３１のＸ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐを示す説明図である。電位差のずれΔＶｐは、ΔＶｔとΔＶｂを重畳したものとなる。図１５と図１９の比較から分かるように、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおいては、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位差の、Ｘ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐは、電極５３１のみがＯＮされた場合と、すべての個別の電極５３がＯＮされた場合とで大きく異なる。
【0098】
（３）第１実施形態と比較例の比較：
図１５と図１９を比較するとわかるように、比較例では、電極５３１のみがＯＮされたときと、複数の個別の電極５３すべてがＯＮされたときとでは、電位差のずれΔＶｐは異なるものとなる。よって、電極５３１のみがＯＮされたときと、複数の個別電極５３すべてがＯＮされたときで、電極５３１に対応するノズルから吐出されるインクの吐出特性（吐出量や吐出速度など）に違いが生じてしまう。
図１５と図１９を比較するとわかるように、比較例では、電極５３１のみがＯＮされたときと、複数の個別の電極５３すべてがＯＮされたときとでは、電位差のずれΔＶｐは異なるものとなる。よって、電極５３１のみがＯＮされたときと、複数の個別電極５３すべてがＯＮされたときで、電極５３１に対応するノズルから吐出されるインクの吐出特性（吐出量や吐出速度など）に違いが生じてしまう。
【0099】
これに対し、図１１からわかるように、第１実施形態では、電極５３１のみがＯＮされたときと、複数の個別の電極５３すべてがＯＮされたときとで、電位差のずれΔＶｐは同じとなる。よって、電極５３１のみがＯＮされたとき、および複数の個別電極５３すべてがＯＮされたときにおいて、電極５３１に対応するノズルから吐出されるインクの吐出特性を同じとすることができる。
【0100】
この理由について簡単に説明する。比較例において電極５３１のみがＯＮされたとき、図１５を用いて説明したように、Ｘ方向の端近傍と中央近傍で電位の差はそれほど大きくは生じない。第３電極５１が特に分断されずに設けられているため、電極５３１のみがＯＮされると、図１２に示すようにＸＹ平面内の様々な方向から中央近傍に電位が付与され、それゆえ端部近傍との電位の差ΔＶｐが生じにくくなるのである。
【0101】
一方で、複数の個別電極５３すべてがＯＮされたときには、図１９を用いて説明したように、Ｘ方向の端近傍と中央近傍で電位の差がある程度大きく生じる。複数の個別電極５３すべてがＯＮされると、第３電極が分断されていないとしても、特定の個別電極５３に集中して電位が付与されることがないためである。つまり、複数の個別電極５３それぞれには、図１６に示すようにＸＹ平面内のＸ方向端部から電位が付与されるのみで、図１２のようなＸＹ平面内の様々な方向から電位が付与されにくい。例えば、電極５３１に着目すると、電極５３１はＯＮとなっているためＸ方向端部からは電位が付与されるが、電極５３１とＹ方向に隣り合う電極５３２にもＯＮとなり電位が付与されているため、電極５３１にＹ方向から電位が付与されることはほぼないのである。その結果、端部近傍と中央部の電位の差ΔＶｐが比較的大きくなる。
【0102】
これに対し、第１実施形態では、第３電極５１が分断されている。つまり、第３電極５１は、第１圧電体５２１と第２圧電体５２２の間の第３部分５１３において、第１部分５１１および第２部分５１２よりも、第２方向Ｄ２について幅が狭く設けられている（図５および図７のＷ１～Ｗ３参照）。このため、１つの電極のみがＯＮになったときでも、分断部では電位が伝わらないため、図８に示すように、１つの電極に対しＹ方向から電位が付与されにくい。したがって、第１実施形態では、１つの電極のみＯＮになったときと、複数の電極すべてがＯＮになったときとで、電位の差ΔＶｐはそれ程変わらない。これにより、電極のＯＮとなった数によらず、吐出特性を大きく異ならせずにインクを吐出することが可能となる。
【0103】
なお、第１実施形態では電極のＯＮとなった数によって電位の差ΔＶｐが変わることを抑えることができるが、図１１に示すように、端部近傍と中央部近傍での電位の差ΔＶｐ自体は発生する。但し、当該電位の差ΔＶｐは電極のＯＮとなった数に依存しない、すなわちある程度固定された値となる。よって、第３電極５１の各位置における抵抗を調整したり、付与する電位（電圧）を変えたりすることにより、この電位の差ΔＶｐ自体はある程度抑制することができる。
【0104】
なお、本実施形態の液体吐出ヘッド２６においては、第３部分５１３の第２方向Ｄ２における幅である第３幅Ｗ３は、第１部分５１１の第２方向Ｄ２における幅である第１幅Ｗ１の１／２より小さく、かつ、第２部分５１２の第２方向Ｄ２における幅である第２幅Ｗ２の１／２よりも小さい（図５参照）。このような構成とすることにより、第３幅Ｗ３が第１幅Ｗ１の１／２より大きく、かつ、第２幅Ｗ２の１／２よりも大きい態様に比べて、以下の効果が得られる。すなわち、第１電極５３１に第３電極５１とは異なる電位が付与され、第２電極５３２がＯＦＦされているときと、第１電極５３１と第２電極５３２に第３電極５１とは異なる電位が付与されているときとにおける、第２方向Ｄ２に沿った位置ごとの第３電極５１の第１部分５１１と第１電極５３１との電位の違いを、小さくすることができる。
【0105】
本実施形態における駆動回路２５ａ、２５ｂを「駆動信号供給回路」とも呼ぶ。電圧生成回路２３を「保持信号供給回路」とも呼ぶ。
【0106】
Ｂ．第２実施形態：
第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂにおいては、第３電極５１ｂの形状が、第１実施形態の液体吐出ヘッド２６の第３電極とは異なる。第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂの他の点は、第１実施形態の液体吐出ヘッド２６と同じである。
第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂにおいては、第３電極５１ｂの形状が、第１実施形態の液体吐出ヘッド２６の第３電極とは異なる。第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂの他の点は、第１実施形態の液体吐出ヘッド２６と同じである。
【0107】
上述したように、第１実施形態によれば、電極のＯＮとなる数に応じて電位の差ΔＶｐが変化することは抑制できるが、端部近傍と中央部近傍の間における電位の差ΔＶｐは発生する。電位の差ΔＶｐが生じる、つまり特定位置（図１１からわかるように、ここでは中央部近傍）において電圧降下が生じると、電圧の立ち上がりに遅れが生じ、吐出量の低下等を引き起こす等の問題が発生する虞がある。
【0108】
以下、詳細について説明する。図２０は、Ｘ方向の中央近傍の部位における、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰの第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差Ｖを示すグラフである。図２０の横軸は、時間を表す。図２０の縦軸は、Ｘ方向の中央近傍の部位における、第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差を表す。グラフＶ１は、電極５３１のみがＯＮされた場合の第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差Ｖを表す。グラフＶａは、複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合の第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差Ｖを表す。
【0109】
図２０から分かるように、比較例の液体吐出ヘッド２６ＣＰにおいては、電極５３１のみがＯＮされた場合は、第３電極５１ＣＰの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差Ｖ１は、ほぼ理想的な時間変化を示すのに対して、複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合の電位差Ｖａは、理想的な時間変化に対して応答遅れを含んでいる。より詳細には、電圧の立ち上がりに遅れが生じている。その結果、圧力室Ｃｈにおける圧力上昇が十分生じなくなる。また、複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合の電位差Ｖａにおいては、電位差Ｖが定常状態になる際の傾きの変化が滑らかになっている。その結果、ノズルＮｚと吐出されるインク滴とノズルＮｚ内のインクとを迅速に切り離すことができず、インク滴に含まれるインクの量が低減する。
【0110】
さらに、複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされた場合の電位差Ｖａの理想状態からのずれは、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２によって異なるため（図１５および図１９参照）、各圧力室Ｃｈからインク滴の吐出を行う際に、各圧力室Ｃｈを封止している振動板３６の各部分同士の共振を十分利用して、インク滴の吐出を行うことができなくなる。
【0111】
また、比較例においては、圧力室Ｃｈの第１方向Ｄ１の寸法に対する圧力室Ｃｈの第２方向Ｄ２の寸法の比が大きくなるほど、言い換えれば、個別電極５３の第１方向Ｄ１の寸法に対する個別電極５３の第２方向Ｄ２の寸法の比が大きくなるほど、隣接する圧電素子３８間でクロストークが生じやすくなる。
【0112】
第２実施形態では、上述のような問題を解消するため、電極のＯＮの数によって電位の差ΔＶｐが変化することを抑制するのに加え、電位差ΔＶｐ自体を小さくすることを目的とする。
【0113】
図２１は、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂにおける個別の電極５３と、共通の第３電極５１ｂと、圧力室Ｃｈとを示す平面図である。図２１は、各構成の実際の寸法および形状を反映するものではない。第１実施形態の液体吐出ヘッド２６においては、第１部分５１１および第２部分５１２を含む、分断部５１ｔによって分断されている第３電極５１の各部は、Ｘ１方向の端とＸ２方向の端において互いに接続されている（図７および図８参照）。そして、分断部５１ｔによって分断されている第３電極５１の各部は、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳを、Ｘ方向の両端から付与される（図７の矢印Ａ１および図８の矢印Ａａ参照）。
【0114】
しかし、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂにおいては、第１部分５１１ｂおよび第２部分５１２ｂを含む、分断部５１ｔｂによって分断されている第３電極５１の各部は、Ｘ２方向の端において互いに接続されており、Ｘ１方向の端においては互いに接続されていない。第３電極５１ｂの第３部分５１３ｂにおける第２方向Ｄ２の側の端部は、第１部分５１１ｂにおける第２方向Ｄ２の側の端部および第２部分５１２ｂにおける第２方向Ｄ２の側の端部よりも、第２方向Ｄ２とは逆の側に位置する。
【0115】
分断部５１ｔによって分断されている第３電極５１の各部は、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳを、Ｘ２方向の端から付与される（図２１の矢印Ａ１ｂ，Ａａｂ参照）。すなわち、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂにおいては、駆動ＩＣ２６Ｄは、第１電極５３１および第２電極５３２を含む各電極５３に対して、第２方向Ｄ２の側から接続されている。これに対して、電圧生成回路２３は、第３電極５１ｂに対して、第２方向Ｄ２とは逆の側から接続されている。
【0116】
図２２は、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂの第３電極５１ｂの第１部分５１１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔを示す説明図である。液体吐出ヘッド２６ｂが備える複数の個別の電極５３のうち、電極５３１のみがＯＮされたときも、複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされたときも、各電極５３と向かい合う第３電極５１の各部分において、電圧生成回路２３によって付与される電位ＶＢＳは、Ｘ２方向の端から付与される。図２１において、電極５３１のみがＯＮされたときの電位が付与される向きを矢印Ａ１ｂで示す。図２１において、複数の個別の電極５３のすべてがＯＮされたときの電位が付与される向きを矢印Ａａｂで示す。その結果、第３電極５１の第１部分５１１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１部分５１１の両端部における電位との差ΔＶｔは、第１部分５１１自身の抵抗に起因して、図２２に示すようになる。すなわち、Ｘ２方向の端から遠いほど、言い換えれば、Ｘ１方向の端に近いほど、ΔＶｔは、小さくなる。より具体的には、ΔＶｔは、第３部分５１３ｂにおける第２方向Ｄ２の端部から各位置までの距離にほぼ比例して減少する。
【0117】
図２３は、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂの第１電極５３１において、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における電位と、第１電極５３１の駆動ＩＣ２６Ｄ（図２１の下段参照）と接続されている側の端部における電位と、の差ΔＶｂを示す説明図である。液体吐出ヘッド２６ｂの第１電極５３１においても、第１電極５３１の各部に対する電位Ｖｏｕｔの付与のされ方は、電極５３１のみがＯＮされたか、すべての個別の電極５３がＯＮされたかによらず、同じである。このため、第１電極５３１における各部の端部の電位からの電位差ΔＶｂは、電極５３１のみがＯＮされた場合と同じになる。すなわち、Ｘ２方向の端から遠いほど、言い換えれば、Ｘ１方向の端に近いほど、ΔＶｂは、大きくなる。より具体的には、第１電極５３１および第２電極５３２における第２方向Ｄ２の端部から各位置までの距離にほぼ比例して増大することになる。
【0118】
図２４は、Ｘ２方向に沿った各位置Ｐ２における、液体吐出ヘッド２６ｂの第３電極５１ｂの第１部分５１１と第１電極５３１との間の電位差の、第１電極５３１のＸ１方向の端部における電位差からのずれΔＶｐを示す説明図である。電位差のずれΔＶｐは、ΔＶｔとΔＶｂを重畳したものとなる。
【0119】
第２実施形態においては、第１電極５３１および第２電極５３２を含む個別の電極５３において、駆動信号の電位は、電極自身の抵抗のために、第２方向Ｄ２とは逆の側の端に近い位置ほど、駆動ＩＣ２６Ｄが出力した電位からずれる（図２２参照）。第３電極５１ｂにおいて、保持信号の電位は、第３電極５１ｂ自身の抵抗のために、第２方向Ｄ２の端に近い位置ほど、電圧生成回路２３が出力した電位からずれる（図２３参照）。このため、ΔＶｔの減少傾向とΔＶｂの増大傾向が相殺しあう結果、第２実施形態によれば、駆動ＩＣ２６Ｄと電圧生成回路２３が個別の電極５３および第３電極５１ｂに対して同じ側にある態様に比べて、第１電極５３１と第３電極５１ｂの電圧、および第２電極５３２と第３電極５１ｂの電圧を、圧電体内の第２方向Ｄ２に沿った位置によらず、より一定に近づけることができる（図２４および図１１参照）。その結果、各圧力室Ｃｈからインク滴の吐出を行う際に、各圧力室Ｃｈを封止している振動板３６の各部分同士の共振をより活用して、インク滴の吐出を行うことができる。
【0120】
Ｃ．第３電極の変形例：
（１）第３電極の変形例１：
図２５は、第３電極の変形例１における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。第３電極の変形例１の液体吐出ヘッド２６ｃにおいては、分断部５１ｔｃの構成が、第１実施形態の分断部５１ｔとは異なる。第３電極の変形例１の他の点は、第１実施形態と同じである。
（１）第３電極の変形例１：
図２５は、第３電極の変形例１における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。第３電極の変形例１の液体吐出ヘッド２６ｃにおいては、分断部５１ｔｃの構成が、第１実施形態の分断部５１ｔとは異なる。第３電極の変形例１の他の点は、第１実施形態と同じである。
【0121】
第１実施形態の分断部５１ｔは、振動板３６上において、第３電極５１が設けられていない部分である。そして、振動板３６の絶縁層３６２は、分断部５１ｔにおいても存在している（図５参照）。第３電極の変形例１においては、第３電極５１ｃは、第１圧電体５２１および第２圧電体５２２、ならびに第１圧電体５２１および第２圧電体５２２が設けられている振動板３６の面の一部を覆っている。そして、液体吐出ヘッド２６ｃは、第３電極５１ｃを貫通して振動板３６に至る凹部の形態で、分断部５１ｔｃを備えている。その結果、分断部５１ｔｃにおいては、振動板３６の絶縁層３６２は、存在しない。このような分断部５１ｔｃは、たとえば、振動板３６および圧電体５２の上に第３電極５１ｃを形成した後、イオンミリングを行うことにより、形成することができる。振動板３６のうち分断部５１ｔｃが設けられている部位の厚みＴｔは、振動板３６のうち分断部５１ｔｃが設けられていない部位の厚みＴｐの７０％である。このような態様としても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【0122】
（２）第３電極の変形例２：
図２６は、第３電極の変形例２における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。第３電極の変形例２の液体吐出ヘッド２６ｄにおいては、分断部５１ｔｄの構成が、第１実施形態の分断部５１ｔとは異なる。第３電極の変形例２の他の点は、第１実施形態と同じである。
図２６は、第３電極の変形例２における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。第３電極の変形例２の液体吐出ヘッド２６ｄにおいては、分断部５１ｔｄの構成が、第１実施形態の分断部５１ｔとは異なる。第３電極の変形例２の他の点は、第１実施形態と同じである。
【0123】
第１実施形態の分断部５１ｔは、振動板３６上において、第３電極５１が設けられていない部分である（図５参照）。そして、第３電極５１の第４部分５１４は、第１圧電体５２１が接触している振動板３６の絶縁層３６２の平面と、第１圧電体５２１と、の境界Ｂ１を塞いでいる。３電極５１の第５部分５１５は、第２圧電体５２２が接触している振動板３６の絶縁層３６２の平面と、第２圧電体５２２と、の境界Ｂ２を塞いでいる。
【0124】
第３電極の変形例２においては、分断部５１ｔｄは、振動板３６上に加えて、圧電体５２の側面および上面に及んでいる。すなわち、第３電極の変形例２においては、第３電極５１ｄの第１部分５１１ｄと、第２部分５１２ｄとは、圧電体５２の上面のみに設けられている。そして、第１部分５１１ｄの第１方向Ｄ１の幅と、第２部分５１２ｄの第１方向Ｄ１の幅は、個別電極５３の第１方向の幅よりも狭い。このような態様としても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【0125】
（３）第３電極の変形例３：
図２７は、第３電極の変形例３における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。第３電極の変形例３の液体吐出ヘッド２６ｅにおいては、分断部５１ｔｅの構成が、第１実施形態の分断部５１ｔとは異なる。第３電極の変形例３の他の点は、第１実施形態と同じである。
図２７は、第３電極の変形例３における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。第３電極の変形例３の液体吐出ヘッド２６ｅにおいては、分断部５１ｔｅの構成が、第１実施形態の分断部５１ｔとは異なる。第３電極の変形例３の他の点は、第１実施形態と同じである。
【0126】
第１実施形態の分断部５１ｔは、振動板３６上において、第３電極５１が設けられていない部分である。そして、第３電極５１の第４部分５１４および第５部分５１５が振動板３６上に設けられている（図５参照）。分断部５１ｔは、第４部分５１４と第５部分５１５の間に位置する。
【0127】
第３電極の変形例３においては、分断部５１ｔｅは、圧電体５２の上面において、第３電極５１ｅの第１部分５１１ｅの両側、および第２部分５１２ｅの両側に設けられている。一つの分断部５１ｔｅは、第１部分５１１ｅと第４部分５１４ｅの間に位置する。他の一つの分断部５１ｔｅは、第２部分５１２ｅと第５部分５１５ｅの間に位置する。すなわち、分断部５１ｔｅは、圧電体５２を挟んで個別の電極５３の一つと向かい合う部位に、２個、設けられている。このような態様とすれば、除去加工により分断部５１ｔｅを設ける際に、振動板３６の一部を除去してしまう可能性を低くすることができる。また、このような態様としても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【0128】
（４）第３電極の変形例４：
図２８は、第３電極の変形例４における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。第３電極の変形例４の液体吐出ヘッド２６ｆにおいては、分断部５１ｔｆの構成が、第１実施形態の分断部５１ｔとは異なる。第３電極の変形例４の他の点は、第１実施形態と同じである。
図２８は、第３電極の変形例４における圧力室基板３４と、振動板３６と、圧電素子３８と、の構造を模式的に示す断面図である。第３電極の変形例４の液体吐出ヘッド２６ｆにおいては、分断部５１ｔｆの構成が、第１実施形態の分断部５１ｔとは異なる。第３電極の変形例４の他の点は、第１実施形態と同じである。
【0129】
第１実施形態の分断部５１ｔは、振動板３６上において、第３電極５１が設けられていない部分である。そして、分断部５１ｔの第１方向Ｄ１の幅は、隣り合う圧力室Ｃｈを区画する構造の第２方向Ｄ２における幅よりも小さい（図５参照）。
【0130】
第３電極の変形例４においては、第３部分５１３の第２方向Ｄ２における幅Ｗｔは、第１圧力室Ｃｈ１と第２圧力室Ｃｈ２とを含む各圧力室Ｃｈを区画する壁部の第２方向Ｄ２における幅Ｗｂよりも大きい。第３電極の変形例４は、それ以外の点については、第３電極５１ｆの第１部分５１１ｆ、第２部分５１２ｆ、第４部分５１４ｆ、第５部分５１５ｆの構成を含め、第１実施形態と同じである。このような態様としても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【0131】
Ｄ．他の形態：
Ｄ１．他の形態１：
（１）上記第１実施形態においては、第３電極５１は、第１部分５１１と、第２部分５１２と、第３部分５１３と、第４部分５１４と、第５部分５１５と、を有する（図５参照）。しかし、第３電極５１は、第１部分５１１と第４部分５１４との間に、他の構成を有していてもよい。第３電極５１は、第４部分５１４と第３部分５１３との間に、他の構成を有していてもよい。第３電極５１は、第２部分５１２と第５部分５１５との間に、他の構成を有していてもよい。第３電極５１は、第５部分５１５と第３部分５１３との間に、他の構成を有していてもよい。
Ｄ１．他の形態１：
（１）上記第１実施形態においては、第３電極５１は、第１部分５１１と、第２部分５１２と、第３部分５１３と、第４部分５１４と、第５部分５１５と、を有する（図５参照）。しかし、第３電極５１は、第１部分５１１と第４部分５１４との間に、他の構成を有していてもよい。第３電極５１は、第４部分５１４と第３部分５１３との間に、他の構成を有していてもよい。第３電極５１は、第２部分５１２と第５部分５１５との間に、他の構成を有していてもよい。第３電極５１は、第５部分５１５と第３部分５１３との間に、他の構成を有していてもよい。
【0132】
（２）上記第１実施形態においては、第３電極５１の第３部分５１３は、第２方向Ｄ２について一定の幅を有している（図５参照）。しかし、第３電極５１の第３部分５１３は、第２方向Ｄ２について一定の幅を有していない態様とすることもできる。そのような態様においては、第３幅Ｗ３は、第３部分５１３のうち、第２方向Ｄ２について最も狭い幅を有している部分の幅とする。
【0133】
（３）上記第１実施形態においては、第３電極５１の第１部分５１１は、第３電極５１のうち、第１圧電体５２１を挟んで第１電極５３１と向かい合う部分である（図５参照）。しかし、第３電極５１の第１部分５１１は、たとえば、第１圧電体５２１の側面など、第１電極５３１と向かい合う領域以外の領域に及んでもよい。そのような態様においては、第１幅は、第１圧電体５２１の側面上に設けられた第３電極５１の第２方向Ｄ２の幅でありうる。
【0134】
上記第１実施形態においては、第３電極５１の第２部分５１２は、第３電極５１のうち、第２圧電体５２２を挟んで第２電極５３２と向かい合う部分である（図５参照）。しかし、第３電極５１の第２部分５１２は、たとえば、第２圧電体５２２の側面など、第２電極５３２と向かい合う領域以外の領域に及んでもよい。そのような態様においては、第２幅は、第２圧電体５２２の側面上に設けられた第３電極５１の第２方向Ｄ２の幅でありうる。
【0135】
第３電極５１の第４部分５１４も、振動板３６上に設けられてもよいし、第１圧電体５２１の側面に及んでもよい。第３電極５１の第５部分５１５も、振動板３６上に設けられてもよいし、第２圧電体５２２の側面に及んでもよい。
【0136】
（４）本開示の技術は、特に、個別電極の第１方向の幅が個別電極の第２方向の長さの１／４以下の態様において特に有効であり、個別電極の第１方向の幅が個別電極の第２方向の長さの１／５以下の態様においてさらに有効であり、個別電極の第１方向の幅が個別電極の第２方向の長さの１／１０以下の態様においていっそう有効である。なお、個別電極の第１方向の幅は、それぞれの個別電極のうち、第１方向について最も大きい部分の幅とする。個別電極の第２方向の長さは、それぞれの個別電極のうち、第２方向について最も大きい部分の長さとする。
上記実施形態においては、第２方向は第１方向と直交している。しかし、第２方向は、第１方向と９０度以外の角度で交差している方向であってもよい。
上記実施形態においては、第２方向は第１方向と直交している。しかし、第２方向は、第１方向と９０度以外の角度で交差している方向であってもよい。
【0137】
Ｄ２．他の形態２：
上記第１実施形態においては、第３電極５１は、第１部分５１１と、第２部分５１２と、第３部分５１３と、第４部分５１４と、第５部分５１５と、を有する（図５参照）。しかし、第３電極５１は、第１部分５１１と、第２部分５１２と、第３部分５１３と、を有し、第４部分５１４と、第５部分５１５と、を有さない態様とすることもできる。
上記第１実施形態においては、第３電極５１は、第１部分５１１と、第２部分５１２と、第３部分５１３と、第４部分５１４と、第５部分５１５と、を有する（図５参照）。しかし、第３電極５１は、第１部分５１１と、第２部分５１２と、第３部分５１３と、を有し、第４部分５１４と、第５部分５１５と、を有さない態様とすることもできる。
【0138】
Ｄ３．他の形態３：
上記第１実施形態においては、第１圧力室Ｃｈ１からみたとき、第１電極５３１、第１圧電体５２１、および第３電極５１は、第１圧力室Ｃｈ１に近い方から第１電極５３１、第１圧電体５２１、第３電極５１の順に設けられている（図５参照）。第２圧力室Ｃｈ２からみたとき、第２電極５３２、第２圧電体５２２、および第３電極５１は、第２圧力室Ｃｈ２に近い方から第２電極５３２、第２圧電体５２２、第３電極５１の順に設けられている（図５参照）。
上記第１実施形態においては、第１圧力室Ｃｈ１からみたとき、第１電極５３１、第１圧電体５２１、および第３電極５１は、第１圧力室Ｃｈ１に近い方から第１電極５３１、第１圧電体５２１、第３電極５１の順に設けられている（図５参照）。第２圧力室Ｃｈ２からみたとき、第２電極５３２、第２圧電体５２２、および第３電極５１は、第２圧力室Ｃｈ２に近い方から第２電極５３２、第２圧電体５２２、第３電極５１の順に設けられている（図５参照）。
【0139】
しかし、第１電極５３１、第１圧電体５２１、および第３電極５１は、第１圧力室Ｃｈ１からみたとき、第１圧力室Ｃｈ１に近い方から第３電極５１、第１圧電体５２１、第１電極５３１の順に設けることもできる。第２電極５３２、第２圧電体５２２、および第３電極５１は、第２圧力室Ｃｈ２からみたとき、第２圧力室Ｃｈ２に近い方から第３電極５１、第２圧電体５２２、第２電極５３２の順に設けることもできる。
【0140】
Ｄ４．他の形態４：
上記第１実施形態においては、第３電極５１は、第１圧電体５２１を覆い、かつ、第２圧電体５２２を覆っている（図５参照）。しかし、第３電極は、第３電極の変形例２，３に示すように、圧電体の一部を覆わない態様とすることもできる（図２６、図２７参照）。
上記第１実施形態においては、第３電極５１は、第１圧電体５２１を覆い、かつ、第２圧電体５２２を覆っている（図５参照）。しかし、第３電極は、第３電極の変形例２，３に示すように、圧電体の一部を覆わない態様とすることもできる（図２６、図２７参照）。
【0141】
Ｄ５．他の形態５：
上記第１実施形態においては、第３電極５１は、単一の部材によって構成されている（図５参照）。第３電極５１は、たとえば、Ｚ方向について複数の層を有するなど、複数の素材いで構成することができる。
上記第１実施形態においては、第３電極５１は、単一の部材によって構成されている（図５参照）。第３電極５１は、たとえば、Ｚ方向について複数の層を有するなど、複数の素材いで構成することができる。
【0142】
Ｄ６．他の形態６：
上記第１実施形態においては、第１電極５３１に対しては、駆動ＩＣ２６Ｄから、インクの吐出量に応じて異なる駆動信号が供給される（図４の圧電素子３８の左側参照）。第２電極５３２に対しても、駆動ＩＣ２６Ｄから、インクの吐出量に応じて異なる駆動信号を供給される。しかし、個別の電極に駆動信号を供給する駆動信号供給回路は、個別の電極ごとに設けられている態様に限られない。たとえば、個別の電極に駆動信号を供給する駆動信号供給回路は、一つのＩＣ（Integrated Circuit）で構成されてもよい。また、個別の電極に駆動信号を供給する駆動信号供給回路は、インクの吐出量によらず電圧が変化しない保持信号を供給する保持信号供給回路や他の回路とともに一つのＩＣで構成されてもよい。
上記第１実施形態においては、第１電極５３１に対しては、駆動ＩＣ２６Ｄから、インクの吐出量に応じて異なる駆動信号が供給される（図４の圧電素子３８の左側参照）。第２電極５３２に対しても、駆動ＩＣ２６Ｄから、インクの吐出量に応じて異なる駆動信号を供給される。しかし、個別の電極に駆動信号を供給する駆動信号供給回路は、個別の電極ごとに設けられている態様に限られない。たとえば、個別の電極に駆動信号を供給する駆動信号供給回路は、一つのＩＣ（Integrated Circuit）で構成されてもよい。また、個別の電極に駆動信号を供給する駆動信号供給回路は、インクの吐出量によらず電圧が変化しない保持信号を供給する保持信号供給回路や他の回路とともに一つのＩＣで構成されてもよい。
【0143】
Ｄ７．他の形態７：
上記第２実施形態においては、駆動ＩＣ２６Ｄは、第１電極５３１および第２電極５３２を含む各電極５３に対して、第２方向Ｄ２の側から接続されている（図２１参照）。これに対して、電圧生成回路２３は、第３電極５１ｂに対して、第２方向Ｄ２とは逆の側から接続されている。しかし、駆動ＩＣ２６Ｄと電圧生成回路２３は、電極に対して同じ側から接続されていてもよい。
上記第２実施形態においては、駆動ＩＣ２６Ｄは、第１電極５３１および第２電極５３２を含む各電極５３に対して、第２方向Ｄ２の側から接続されている（図２１参照）。これに対して、電圧生成回路２３は、第３電極５１ｂに対して、第２方向Ｄ２とは逆の側から接続されている。しかし、駆動ＩＣ２６Ｄと電圧生成回路２３は、電極に対して同じ側から接続されていてもよい。
【0144】
Ｄ８．他の形態８：
上記第２実施形態においては、第３電極５１ｂの第３部分５１３ｂにおける第２方向Ｄ２の側の端部は、第１部分５１１ｂにおける第２方向Ｄ２の側の端部および第２部分５１２ｂにおける第２方向Ｄ２の側の端部よりも、第２方向Ｄ２とは逆の側に位置する（図２１参照）。
上記第２実施形態においては、第３電極５１ｂの第３部分５１３ｂにおける第２方向Ｄ２の側の端部は、第１部分５１１ｂにおける第２方向Ｄ２の側の端部および第２部分５１２ｂにおける第２方向Ｄ２の側の端部よりも、第２方向Ｄ２とは逆の側に位置する（図２１参照）。
【0145】
しかし、たとえば、駆動ＩＣ２６Ｄが、電極に対して第２方向Ｄ２の側から接続されている態様においては、第３電極の第３部分における第２方向の側の端部は、第１部分における第２方向の側の端部および第２部分における第２方向の側の端部よりも、第２方向側に位置することになる。液体吐出ヘッド２６は、そのような態様とすることもできる。
【0146】
Ｄ９．他の形態９：
上記第１実施形態においては、第３幅Ｗ３は、第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２の１／１０である（図５参照）。しかし、第３幅Ｗ３の第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２に対する比は、５％、１５％、２０％、２５％など、他の値であってもよい。ただし、第３幅Ｗ３の第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２に対する比は、１／２より小さいことが好ましい。
上記第１実施形態においては、第３幅Ｗ３は、第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２の１／１０である（図５参照）。しかし、第３幅Ｗ３の第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２に対する比は、５％、１５％、２０％、２５％など、他の値であってもよい。ただし、第３幅Ｗ３の第１幅Ｗ１および第２幅Ｗ２に対する比は、１／２より小さいことが好ましい。
【0147】
Ｄ１０．他の形態１０：
上記第１実施形態においては、第１部分５１１の第２方向Ｄ２についての抵抗値は、第１圧電体５２１の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して、１／２０以上である。第２部分５１２の第２方向Ｄ２についての抵抗値が、第２圧電体５２２の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して１／２０以上である。しかし、本開示の技術は、他の態様に適用した場合にも有効である。
上記第１実施形態においては、第１部分５１１の第２方向Ｄ２についての抵抗値は、第１圧電体５２１の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して、１／２０以上である。第２部分５１２の第２方向Ｄ２についての抵抗値が、第２圧電体５２２の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して１／２０以上である。しかし、本開示の技術は、他の態様に適用した場合にも有効である。
【0148】
Ｄ１１．他の形態１１：
上記第３電極の変形例１の液体吐出ヘッド２６ｃは、第３電極５１ｃを貫通して振動板３６に至る凹部の形態で、分断部５１ｔｃを備えている（図２５参照）。そして、振動板３６のうち分断部５１ｔｃが設けられている部位の厚みＴｔは、振動板３６のうち分断部５１ｔｃが設けられていない部位の厚みＴｐの７０％である。
上記第３電極の変形例１の液体吐出ヘッド２６ｃは、第３電極５１ｃを貫通して振動板３６に至る凹部の形態で、分断部５１ｔｃを備えている（図２５参照）。そして、振動板３６のうち分断部５１ｔｃが設けられている部位の厚みＴｔは、振動板３６のうち分断部５１ｔｃが設けられていない部位の厚みＴｐの７０％である。
【0149】
しかし、振動板３６のうち分断部５１ｔｃが設けられている部位の厚みＴｔは、振動板３６のうち分断部５１ｔｃが設けられていない部位の厚みＴｐの５０％や９０％など、他の割合とすることができる。また、分断部は、図５、ならびに図２６～図２８に示すように、振動板に設けられた凹部ではない態様で設けることができる。
【0150】
Ｄ１２．他の形態１２：
上記第３電極の変形例４においては、第３部分５１３の第２方向Ｄ２における幅Ｗｔは、第１圧力室Ｃｈ１と第２圧力室Ｃｈ２とを含む各圧力室Ｃｈを区画する壁部の第２方向Ｄ２における幅Ｗｂよりも大きい（図２８参照）。しかし、第３電極の変形例１に示すように、第３部分５１３の第２方向Ｄ２における幅は、第１圧力室Ｃｈ１と第２圧力室Ｃｈ２とを含む各圧力室Ｃｈを区画する壁部の第２方向Ｄ２における幅よりも小さくすることもできる（図２５参照）。
上記第３電極の変形例４においては、第３部分５１３の第２方向Ｄ２における幅Ｗｔは、第１圧力室Ｃｈ１と第２圧力室Ｃｈ２とを含む各圧力室Ｃｈを区画する壁部の第２方向Ｄ２における幅Ｗｂよりも大きい（図２８参照）。しかし、第３電極の変形例１に示すように、第３部分５１３の第２方向Ｄ２における幅は、第１圧力室Ｃｈ１と第２圧力室Ｃｈ２とを含む各圧力室Ｃｈを区画する壁部の第２方向Ｄ２における幅よりも小さくすることもできる（図２５参照）。
【0151】
Ｄ１３．他の形態１３：
上記実施形態においては、液体吐出ヘッド２６と、液体吐出ヘッド２６からの吐出動作を制御する制御部２１と、を有する、液体吐出装置１００について説明した。しかし、本開示の技術は、これに限らず、たとえば、制御部を備えず、ネットワークを介して制御信号を受信する液体吐出装置として実現することもできる。
上記実施形態においては、液体吐出ヘッド２６と、液体吐出ヘッド２６からの吐出動作を制御する制御部２１と、を有する、液体吐出装置１００について説明した。しかし、本開示の技術は、これに限らず、たとえば、制御部を備えず、ネットワークを介して制御信号を受信する液体吐出装置として実現することもできる。
【0152】
Ｅ．さらに他の形態：
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【0153】
（１）本開示の一形態によれば、液体を吐出する液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、第１圧電体と、前記第１圧電体と第１方向に異なる位置に配されている第２圧電体と、前記第１圧電体と電気的に接続し、前記第２圧電体と電気的に接続しない第１電極と、前記第２圧電体と電気的に接続し、前記第１圧電体と電気的に接続しない第２電極と、前記第１圧電体と前記第２圧電体の両方に電気的に接続する第３電極と、を有する。前記第３電極のうち前記第１圧電体に対応する位置に配されている第１部分において、前記第１方向と交差する第２方向における幅は、第１幅であり、前記第３電極のうち前記第２圧電体に対応する位置に配されている第２部分において、前記第２方向における幅は、第２幅であり、前記第３電極のうち前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間に配されている第３部分において、前記第２方向における幅は、前記第１幅と前記第２幅よりも小さい第３幅である。
このような態様においては、第３電極は、第１圧電体と第２圧電体の間の第３部分において、第１部分および第２部分よりも、第２方向について幅が狭く設けられている。このため、第１電極に第３電極とは異なる電位が付与され、第２電極がＯＦＦされているときにおいて、第３電極の第１部分の電位は、第１方向よりも第２方向から付与されることとなる。また、第１電極と第２電極の両方に第３電極とは異なる電位が付与されているときにおいても、第３電極の第１部分の電位は、第１方向よりも第２方向から付与されることとなる。よって、第３部分の幅が第１部分および第２部分の幅と等しい態様に比べて、第１電極に第３電極とは異なる電位が付与され、第２電極がＯＦＦされているときと、第１電極と第２電極に第３電極とは異なる電位が付与されているときとにおける、第２方向に沿った位置ごとの第３電極の第１部分と第１電極との電位の違いを、小さくすることができる。
同様に、第３部分の幅が第１部分および第２部分の幅と等しい態様に比べて、第２電極に第３電極とは異なる電位が付与され、第１電極がＯＦＦされているときと、第１電極と第２電極に第３電極とは異なる電位が付与されているときとにおける、第２方向に沿った位置ごとの第３電極の第２部分と第２電極との電位の違いを、小さくすることができる。
このような態様においては、第３電極は、第１圧電体と第２圧電体の間の第３部分において、第１部分および第２部分よりも、第２方向について幅が狭く設けられている。このため、第１電極に第３電極とは異なる電位が付与され、第２電極がＯＦＦされているときにおいて、第３電極の第１部分の電位は、第１方向よりも第２方向から付与されることとなる。また、第１電極と第２電極の両方に第３電極とは異なる電位が付与されているときにおいても、第３電極の第１部分の電位は、第１方向よりも第２方向から付与されることとなる。よって、第３部分の幅が第１部分および第２部分の幅と等しい態様に比べて、第１電極に第３電極とは異なる電位が付与され、第２電極がＯＦＦされているときと、第１電極と第２電極に第３電極とは異なる電位が付与されているときとにおける、第２方向に沿った位置ごとの第３電極の第１部分と第１電極との電位の違いを、小さくすることができる。
同様に、第３部分の幅が第１部分および第２部分の幅と等しい態様に比べて、第２電極に第３電極とは異なる電位が付与され、第１電極がＯＦＦされているときと、第１電極と第２電極に第３電極とは異なる電位が付与されているときとにおける、第２方向に沿った位置ごとの第３電極の第２部分と第２電極との電位の違いを、小さくすることができる。
【0154】
（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３電極のうち、前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間であって、前記第３部分よりも前記第１方向において前記第１圧電体側に配されている第４部分において、前記第２方向における幅は、前記第３幅よりも大きい第４幅であり、前記第３電極のうち、前記第１圧電体と前記第２圧電体の前記第１方向における間であって、前記第３部分よりも前記第１方向において前記第２圧電体側に配されている第５部分において、前記第２方向における幅は、前記第３幅よりも大きい第５幅である、態様とすることもできる。
【0155】
（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、さらに、液体を収容し、前記第１圧電体の歪みによって液体に圧力が付与されるように構成されている第１圧力室と、液体を収容し、前記第２圧電体の歪みによって液体に圧力が付与されるように構成されている第２圧力室と、が設けられた圧力室基板を備え、前記第１電極、前記第１圧電体、および前記第３電極は、前記第１圧力室からみたとき、前記第１圧力室に近い方から前記第１電極、前記第１圧電体、前記第３電極の順に設けられており、前記第２電極、前記第２圧電体、および前記第３電極は、前記第２圧力室からみたとき、前記第２圧力室に近い方から前記第２電極、前記第２圧電体、前記第３電極の順に設けられている、態様とすることもできる。
【0156】
（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３電極は、前記第１圧電体を覆い、かつ、前記第２圧電体を覆っている、態様とすることもできる。
【0157】
（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３電極は、単一の部材によって構成されている、態様とすることもできる。
【0158】
（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、さらに、前記第１電極に対して、液体の吐出量に応じて異なる駆動信号を供給することができ、前記第２電極に対して、液体の吐出量に応じて異なる駆動信号を供給することができる、駆動信号供給回路と、前記第３電極に対し、液体の吐出量によらず電圧が変化しない保持信号を供給する保持信号供給回路と、を有する、態様とすることもできる。
【0159】
（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記駆動信号供給回路は、前記第１電極および前記第２電極に対して、前記第２方向における一方の側から接続されており、前記保持信号供給回路は、前記第３電極に対して、前記第２方向における他方の側から接続されている、態様とすることもできる。
【0160】
（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３電極の前記第３部分における前記一方の側の端部は、前記第１部分における前記一方の側の端部よりも前記他方の側にあり、前記第２部分における前記一方の側の端部よりも前記他方の側にある、態様とすることもできる。
【0161】
（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３幅は、前記第１幅の１／２より小さく、かつ、前記第２幅の１／２より小さい、態様とすることもできる。
【0162】
（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１部分の前記第２方向についての抵抗値が、前記第１圧電体の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して１／２０以上であり、前記第２部分の前記第２方向についての抵抗値が、前記第２圧電体の抗電界から３５Ｖ／１μｓｅｃの電圧勾配にて駆動させたときの最大電流の逆数に対して１／２０以上である、態様とすることもできる。
【0163】
（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１圧電体および前記第２圧電体は、前記第１圧電体の歪みおよび前記第２圧電体の歪みによって変形される一つの振動板の上に設けられており、前記第３電極は、前記第１圧電体および前記第２圧電体、ならびに前記第１圧電体および前記第２圧電体が設けられている前記振動板の面の一部を覆っており、前記液体吐出ヘッドは、前記第３電極を貫通して前記振動板に至る凹部を備えており、前記振動板のうち前記凹部が設けられている部位の厚みは、前記振動板のうち前記凹部が設けられていない部位の厚みの１／２以上である、態様とすることもできる。
【0164】
（１２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、さらに、液体を収容し、前記第１圧電体の歪みによって、液体に圧力が付与されるように構成されている第１圧力室と、液体を収容し、前記第２圧電体の歪みによって、液体に圧力が付与されるように構成されている第２圧力室と、が設けられた圧力室基板を備え、前記第３部分において、前記第１方向における幅は、前記第１圧力室と前記第２圧力室とを区画する構造の前記第１方向における幅よりも大きい、態様とすることもできる。
【0165】
（１３）本開示の他の形態によれば、上記形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を有する、液体吐出装置が提供される。
【0166】
上述した本開示の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部の構成要素について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、上述した本開示の一形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部を上述した本開示の他の形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部と組み合わせて、本開示の独立した一形態とすることも可能である。
【符号の説明】
【0167】
１４…液体容器、２０…制御ユニット、２１…制御部、２２…搬送機構、２３…電圧生成回路、２４…移動機構、２６…液体吐出ヘッド、３２…流路基板、３４…圧力室基板、３６…振動板、３８…圧電素子、４６…ノズル板、５１…第３電極、５２…圧電体、５３…電極、１００…液体吐出装置、５１１…第１部分、５１１ｂ…第１部分、５１２…第２部分、５１３…第３部分、５１３ＣＰ…第３部分、５１３ｂ…第３部分、５２１…第１圧電体、５２２…第２圧電体、５３１…第１電極、５３２…第２電極
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】