特許 7400358 エジェクタ冷却装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-11

(45)【発行日】2023-12-19

(54)【発明の名称】エジェクタ冷却装置

(51)【国際特許分類】

   F25B 27/02 20060101AFI20231212BHJP

   F25B 1/00 20060101ALI20231212BHJP

   F04F 5/10 20060101ALI20231212BHJP

【ＦＩ】

F25B27/02 N

F25B1/00 389A

F25B1/00 304D

F04F5/10 B

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2019200985

(22)【出願日】2019-11-05

(65)【公開番号】P2021076262

(43)【公開日】2021-05-20

【審査請求日】2022-10-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000005234

【氏名又は名称】富士電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】吉田 時空

(72)【発明者】

【氏名】安嶋 賢哲

(72)【発明者】

【氏名】松原 健

(72)【発明者】

【氏名】岩崎 正道

【審査官】五十嵐 公輔

(56)【参考文献】

【文献】特開昭５９－０８２０８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１８９１１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－１０１９３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－１５９３０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／０１１８６１８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２５Ｂ ２７／０２

Ｆ２５Ｂ １／００

Ｆ０４Ｆ ５／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

冷媒を昇圧して循環させる冷媒ポンプと、
入力される高温の温水の熱エネルギーを前記冷媒側に回収して熱交換を行う回収器と、
前記冷媒ポンプで昇圧され前記回収器で熱エネルギーを回収した冷媒が導入されるエジェクタと、
前記エジェクタの吸引作用により冷熱を生成し前記回収器から流出した前記温水をさらに冷却する熱交換を行う蒸発器と、
前記エジェクタから流出する前記冷媒を熱交換によって放熱する凝縮器と、
を備え、
前記回収器の温水の管路と前記蒸発器の温水の管路とを直列に接続し、前記温水を前記回収器及び前記蒸発器を用いて２段冷却した温水として出力することを特徴とするエジェクタ冷却装置。

【請求項2】

前記回収器の前記温水に対する冷却能力は、前記蒸発器の前記温水に対する冷却能力よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のエジェクタ冷却装置。

【請求項3】

前記蒸発器から流出する温水の温度を検出する温度センサと、
前記温度センサの検出温度をもとに前記蒸発器から流出する温水の温度を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記冷媒ポンプの回転数、及び、前記エジェクタの駆動流の流量を調整する可変ノズルの開度調整により前記回収器の冷却能力を調整し、前記蒸発器に流入する冷媒を膨張する膨張弁の開度を調整して前記蒸発器の冷却能力を調整し、前記蒸発器から流出する温水の温度を所定低温温度範囲に制御することを特徴とする請求項１又は２に記載のエジェクタ冷却装置。

【請求項4】

前記制御部は、前記所定低温温度範囲よりも広い広域低温温度範囲を設け、前記検出温度が前記広域低温温度範囲外の温度である場合、前記冷媒ポンプの回転数、及び、前記エジェクタの駆動流の流量を調整する可変ノズルの開度調整により前記検出温度が前記広域低温温度範囲内となるように制御し、前記検出温度が前記所定低温温度範囲外であって前記広域低温温度範囲内である場合、前記膨張弁の開度を調整して前記検出温度が前記所定低温温度範囲内となるように制御することを特徴とする請求項３に記載のエジェクタ冷却装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、生産装置などから排出される高温の温水を、簡易な構成、かつ、低消費電力量で冷却して生産装置などに戻す温水の循環系を形成することができるエジェクタ冷却装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、冷媒を循環させる回路には、エジェクタを備えたものがある。エジェクタは、先端の噴射口から駆動流体が噴射されるノズル部と、ノズル部の周囲を取り囲むように配置され、ノズル部の噴射口延長上となる部位に中空部が設けられた本体部と、本体部の中空部に開口するように接続された吸引経路とを備えて構成されている。このエジェクタでは、ノズル部の噴射口から冷媒を駆動流体として噴射すると、吸引経路を通じて外部の冷媒が本体部の中空部に吸引され、吸引された吸引流体と駆動流体とが混合された後にディフューザで昇圧されて吐出口から吐出される（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００８－６４０２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、アルミダイカストマシンなどの生産装置では、金型を冷却する必要があり、冷却後に高温となった排温水（温水）は、外部の冷却装置によって冷却され、冷却された温水を再び生産装置へ供給して冷却水として用いる循環系を構成している。

【0005】

冷却装置は、例えば、生産装置からの温水を一旦、水槽に貯留して空気に放熱し、放熱後の温水をチラーなどによって所定温度まで冷却し、冷却した温水を再び生産装置に供給するようにしている。この場合、水槽が必要なのは、生産装置から排出される温水は、例えば７０℃以上と高い場合が多く、チラーの冷却性能外であるからである。この水槽を用いた冷却装置では、水槽における温水の放熱により未利用熱を回収できず、また、チラーの消費電力量が増大するという問題があった。

【0006】

このため、上記のエジェクタを用いたエジェクタ冷却装置が考案されている。従来のエジェクタ冷却装置は、上記の水槽は不要となり、生産装置からの温水の排熱を回収器で回収できるが、エジェクタの吸引作用により蒸発器で発生する冷熱を、温水とは別系統の水を冷却し、この冷熱によって温水を冷却する冷却器が必要となり（図６参照）、構成が複雑になるとともに、コストが増大するという問題があった。

【0007】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、生産装置などから排出される高温の温水を、簡易な構成、かつ、低消費電力量で冷却して生産装置などに戻す温水の循環系を形成することができるエジェクタ冷却装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するため、本発明は、冷媒を昇圧して循環させる冷媒ポンプと、入力される高温の温水の熱エネルギーを前記冷媒側に回収して熱交換を行う回収器と、前記冷媒ポンプで昇圧され前記回収器で熱エネルギーを回収した冷媒が導入されるエジェクタと、前記エジェクタの吸引作用により冷熱を生成し前記回収器から流出した前記温水をさらに冷却する熱交換を行う蒸発器と、前記エジェクタから流出する前記冷媒を熱交換によって放熱する凝縮器と、を備え、前記回収器の温水の管路と前記蒸発器の温水の管路とを直列に接続し、前記温水を前記回収器及び前記蒸発器を用いて２段冷却した温水として出力することを特徴とする。

【0009】

また本発明は、上記の発明において、前記回収器の前記温水に対する冷却能力は、前記蒸発器の前記温水に対する冷却能力よりも大きいことを特徴とする。

【0010】

また本発明は、上記の発明において、前記蒸発器から流出する温水の温度を検出する温度センサと、前記温度センサの検出温度をもとに前記蒸発器から流出する温水の温度を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記冷媒ポンプの回転数、及び、前記エジェクタの駆動流の流量を調整する可変ノズルの開度調整により前記回収器の冷却能力を調整し、前記蒸発器に流入する冷媒を膨張する膨張弁の開度を調整して前記蒸発器の冷却能力を調整し、前記蒸発器から流出する温水の温度を所定低温温度範囲に制御することを特徴とする。

【0011】

また本発明は、上記の発明において、前記制御部は、前記所定低温温度範囲よりも広い広域低温温度範囲を設け、前記検出温度が前記広域低温温度範囲外の温度である場合、前記冷媒ポンプの回転数、及び、前記エジェクタの駆動流の流量を調整する可変ノズルの開度調整により前記検出温度が前記広域低温温度範囲内となるように制御し、前記検出温度が前記所定低温温度範囲外であって前記広域低温温度範囲内である場合、前記膨張弁の開度を調整して前記検出温度が前記所定低温温度範囲内となるように制御することを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、生産装置などから排出される高温の温水を、簡易な構成、かつ、低消費電力量で冷却して生産装置などに戻す温水の循環系を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、本発明の実施の形態であるエジェクタ冷却装置が適用される生産システムの構成を示すブロック図である。

【図2】図２は、エジェクタ冷却装置の構成を示す回路図である。

【図3】図３は、制御部による温水の温度制御処理手順を示すフローチャートである。

【図4】図４は、制御部が行う温度制御処理のパラメータを説明する説明図である。

【図5】図５は、変形例の制御部による温水の温度制御処理手順を示すフローチャートである。

【図6】図６は、従来のエジェクタ冷却装置の構成を示す回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、添付図面を参照しながら本発明に係るエジェクタ冷却装置の好適な実施の形態について詳細に説明する。

【0015】

＜装置構成＞
図１は、本発明の実施の形態であるエジェクタ冷却装置１が適用される生産システムの構成を示すブロック図である。この生産システムは、アルミダイカストマシンなどの生産装置２に、エジェクタを利用したエジェクタ冷却装置１が接続される。エジェクタ冷却装置１は、生産装置２から排出され、例えば７０℃程度の高温になった排温水である温水Ｗ１を、例えば２５℃程度の温水Ｗ２に冷却して生産装置２に戻し、生産装置２が生産時における冷却処理に冷却された温水Ｗ２を用いるようにしている。すなわち、この生産システムでは、生産装置２が冷却処理に用いた冷却後の温水をエジェクタ冷却装置１が冷却して再度、冷却用の温水として生産装置２に戻すという温水の循環系が形成されている。

【0016】

図２は、エジェクタ冷却装置１の構成を示す回路図である。図２に示すように、エジェクタ冷却装置１は、冷媒が循環する冷媒管路Ｌ１によって順次接続された冷媒ポンプＰ、回収器１０、エジェクタ１２、凝縮器１３を有する。また、分岐管路Ｌ２は、凝縮器１３を通過した後の冷媒管路Ｌ１から分岐点ＰＴを介して分岐し、冷媒管路Ｌ１を流通する冷媒の一部を吸引流体としてエジェクタ１２に供給する吸引経路となる。分岐管路Ｌ２には、分岐点ＰＴから順次、膨張弁１４、蒸発器１１が接続される。温水管路Ｌ３は、生産装置２から排出される温水Ｗ１を回収器１０及び蒸発器１１を介して冷却し、冷却した温水Ｗ２として生産装置２側に戻す管路である。ここで、回収器１０と蒸発器１１との温水管路Ｌ３は、直列に接続されている。

【0017】

冷媒ポンプＰは、冷媒管路Ｌ１において冷媒の循環供給を行う。より詳細に説明すると、冷媒ポンプＰは例えば液相ポンプであり、冷媒をエジェクタ１２の駆動圧力まで昇圧して供給するものである。回収器１０は、温水管路Ｌ３に供給される温水Ｗ１との間で熱交換を行うことにより、冷媒ポンプＰから供給された冷媒管路Ｌ１の冷媒Ｒ１を蒸発させるものである。これにより、温水Ｗ１は、冷却された温水Ｗ３として蒸発器１１側に流出される。

【0018】

エジェクタ１２は、回収器１０を通過した気相の冷媒Ｒ２と、分岐管路Ｌ２から供給される気相の冷媒Ｒ８とを混合し、昇圧した冷媒Ｒ３を下流に吐出するものである。凝縮器１３は、エジェクタ１２から吐出された気相の冷媒Ｒ３と、冷却水管路Ｌ４に供給される冷却水Ｗ１０との間で熱交換を行うことにより、冷媒管路Ｌ１の冷媒Ｒ３を凝縮させるものである。凝縮器１３に流入した冷却水Ｗ１０は、高温の冷却水Ｗ１１として排出される。一方、凝縮器１３に流入した冷媒Ｒ３は、冷却された冷媒Ｒ４として分岐点ＰＴ側に流出する。分岐点ＰＴに流入した冷媒Ｒ４は、冷媒ポンプＰ側への冷媒Ｒ５と、膨張弁１４側への冷媒Ｒ６とに分岐する。

【0019】

分岐管路Ｌ２上の膨張弁１４は、分岐した冷媒Ｒ６を膨張させて減圧するものである。蒸発器１１は、膨張弁１４を通過した後の気液二相の冷媒Ｒ７と、温水管路Ｌ３上で回収器１０から流出した温水Ｗ３との間で熱交換を行って冷媒Ｒ７を蒸発した冷媒Ｒ８としてエジェクタ１２の吸引媒体として供給するとともに、温水Ｗ３を冷却した温水Ｗ２として流出する。この温水Ｗ２は、生産装置２側に戻される。ここで、蒸発器１１では、エジェクタ１２の吸引作用により、冷媒Ｒ８が低圧となって冷熱を発生し、温水Ｗ３を冷却することになる。

【0020】

このエジェクタ冷却装置１は、回収器１０が高温の温水Ｗ１から冷媒Ｒ１に熱交換させ、温水Ｗ１から熱エネルギーを回収して温水Ｗ１を冷却し、回収した熱エネルギーでエジェクタ１２を駆動する。さらに、回収器１０から流出した温水Ｗ３を直列に蒸発器１１に導入し、エジェクタ１２の吸引作用により冷媒Ｒ８側が低圧となって蒸発器１１に冷熱が発生し、この冷熱で温水Ｗ３をさらに冷却するようにしている。

【0021】

これにより、図６で示した冷却器１００の構成は必要とならず、簡易な構成になるとともに、エジェクタ１２は、回収した熱エネルギーで駆動されるため、消費電力量を抑えることができる。

【0022】

＜温水の温度制御系＞
ところで、蒸発器１１から生産装置２に供給される温水Ｗ２は、生産装置２で製造する製品品質を確保するため、所定低温温度範囲内に保持する必要がある。しかし、生産装置２からの温水Ｗ１は、排熱変動に伴って変動するため、エジェクタ冷却装置１側の冷却熱量を制御する必要がある。一方、生産装置２からの温水Ｗ１を冷却する回収器１０と蒸発器１１とは、直列に接続され、温水Ｗ１と温水Ｗ２との温度差が大きいことから、蒸発器１１のみの制御では冷却能力が不足し、温水Ｗ２の温度を所定低温温度範囲内に維持することが困難となる場合がある。

【0023】

このため、本実施の形態では、蒸発器１１から流出する温水Ｗ２の温度を検出する温度センサＴＳと、温度センサＴＳの検出温度Ｔをもとに蒸発器１１から流出する温水Ｗ２の温度を制御する制御部Ｃとを設けている。制御部Ｃは、冷媒ポンプＰの回転数、及び、エジェクタ１２の駆動流である冷媒Ｒ２の流量を調整する可変ノズルの開度の調整による回収器１０の冷却能力を調整し、蒸発器１１に流入する冷媒Ｒ７を膨張する膨張弁１４の開度を調整して蒸発器１１の冷却能力を調整し、蒸発器１１から流出する温水Ｗ２の温度を所定低温温度範囲に制御する。

【0024】

＜温水の温度制御処理＞
図３は、制御部Ｃによる温水Ｗ２の温度制御処理手順を示すフローチャートである。また、図４は、制御部Ｃが行う温度制御処理のパラメータを説明する説明図である。図４に示すように、制御部Ｃは、温水Ｗ３が所定低温温度範囲ΔＴ１内に収まるように制御する。所定低温温度範囲ΔＴ１は、上限温度Ｔ１ｕと下限温度Ｔ１ｄとの間の範囲である。また、制御部Ｃは、温水Ｗ２の粗調を行うため、所定低温温度範囲ΔＴ１を覆う、所定低温温度範囲ΔＴ１よりも広い広域低温温度範囲ΔＴ２を設けている。広域低温温度範囲ΔＴ２は、上限温度Ｔ２ｕ（＞Ｔ１ｕ）と下限温度Ｔ２ｄ（＜Ｔ１ｄ）との間の範囲である。

【0025】

図３に示すように、まず制御部Ｃは、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内であるか否かを判定する（ステップＳ１１０）。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内であれば（ステップＳ１１０，Ｙｅｓ）、本処理をそのまま終了し、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内でない場合（ステップＳ１１０，Ｎｏ）、さらに、検出温度Ｔは、上限温度Ｔ１ｕより高いか、下限温度Ｔ１ｄより低いかを判定する（ステップＳ１２０）。

【0026】

検出温度Ｔが上限温度Ｔ１ｕより高い場合（ステップＳ１２０，Ｔ＞Ｔ１ｕ）、冷媒ポンプ回転数を所定量増大するとともに、エジェクタノズル開度を所定量増大する処理を行う（ステップＳ１３０）。その後、検出温度Ｔが広域低温温度範囲ΔＴ２の上限温度Ｔ２ｕを超えているか否かを判定する（ステップＳ１４０）。検出温度Ｔが広域低温温度範囲ΔＴ２の上限温度Ｔ２ｕを超えている場合（ステップＳ１４０，Ｙｅｓ）、ステップＳ１３０に移行し、さらに冷媒ポンプ回転数を所定量増大するとともに、エジェクタノズル開度を所定量増大する処理を繰り返す。

【0027】

一方、検出温度Ｔが広域低温温度範囲ΔＴ２の上限温度Ｔ２ｕを超えていない場合（ステップＳ１４０，Ｎｏ）、さらに、検出温度Ｔが上限温度Ｔ１ｕを超え、上限温度Ｔ２ｕ以下（Ｔ２ｕ≧Ｔ＞Ｔ１ｕ）であるか、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１（Ｔ１ｕ≧Ｔ≧Ｔ１ｄ）内であるかを判定する（ステップＳ１５０）。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１である場合（ステップＳ１５０，ΔＴ１内）、そのまま本処理を終了し、検出温度Ｔが上限温度Ｔ１ｕを超え、上限温度Ｔ２ｕ以下である場合（ステップＳ１５０，Ｔ２ｕ≧Ｔ＞Ｔ１ｕ）、さらに膨張弁開度を所定量増大する処理を行う（ステップＳ１６０）。

【0028】

その後、制御部Ｃは、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内であるか否かを判定し（ステップＳ１７０）、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内でない場合（ステップＳ１７０，Ｎｏ）、ステップＳ１６０に移行し、さらに膨張弁開度を所定量増大する処理を行う。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内である場合（ステップＳ１７０，Ｙｅｓ）には、そのまま本処理を終了する。

【0029】

一方、検出温度Ｔが下限温度Ｔ１ｄより小さい場合（ステップＳ１２０，Ｔ＜Ｔ１ｄ）、冷媒ポンプ回転数を所定量減少するとともに、エジェクタノズル開度を所定量減少する処理を行う（ステップＳ１８０）。その後、検出温度Ｔが広域低温温度範囲ΔＴ２の下限温度Ｔ２ｄ未満であるか否かを判定する（ステップＳ１９０）。検出温度Ｔが広域低温温度範囲ΔＴ２の下限温度Ｔ２ｄ未満の場合（ステップＳ１９０，Ｙｅｓ）、ステップＳ１８０に移行し、さらに冷媒ポンプ回転数を所定量減少するとともに、エジェクタノズル開度を所定量減少する処理を繰り返す。

【0030】

一方、検出温度Ｔが広域低温温度範囲ΔＴ２の下限温度Ｔ２ｄ未満でない場合（ステップＳ１９０，Ｎｏ）、さらに、検出温度Ｔが下限温度Ｔ１ｄ未満で、下限温度Ｔ２ｄ以上（Ｔ１ｄ＞Ｔ≧Ｔ２ｄ）であるか、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１（Ｔ１ｕ≧Ｔ≧Ｔ１ｄ）内であるかを判定する（ステップＳ２００）。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１である場合（ステップＳ２００，ΔＴ１内）、そのまま本処理を終了し、検出温度Ｔが下限温度Ｔ１ｄ未満で、下限温度Ｔ２ｄ以上である場合（ステップＳ２００，Ｔ１ｄ＞Ｔ≧Ｔ２ｄ）、さらに膨張弁開度を所定量減少する処理を行う（ステップＳ２１０）。

【0031】

その後、制御部Ｃは、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内であるか否かを判定し（ステップＳ２２０）、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内でない場合（ステップＳ２２０，Ｎｏ）、ステップＳ２１０に移行し、さらに膨張弁開度を所定量減少する処理を行う。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内である場合（ステップＳ２２０，Ｙｅｓ）には、そのまま本処理を終了する。なお、上記の処理は、所定時間ごと、繰り返し行われる。

【0032】

なお、本実施の形態では、回収器１０の温水Ｗ１に対する冷却能力は、蒸発器１１の温水Ｗ３に対する冷却能力よりも大きい。このため、回収器１０の温水Ｗ１に対する冷却能力調整、すなわち冷媒ポンプ回転数の所定量増減及びエジェクタノズル開度の所定量増減によって粗調を行うことが好ましい。

【0033】

＜変形例＞
上記の実施の形態では、冷却ポンプ回転数及びエジェクタノズル開度の制御による回収器１０の冷却能力制御と、膨張弁開度の制御による蒸発器１１の冷却能力制御とを段階的に行っていたが、回収器１０の冷却能力制御と蒸発器１１の冷却能力制御とを所定量ずつ、同時に制御するようにしてもよい。

【0034】

図５は、変形例の制御部Ｃによる温水Ｗ３の温度制御処理手順を示すフローチャートである。図５に示すように、まず制御部Ｃは、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内であるか否かを判定する（ステップＳ３１０）。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内であれば（ステップＳ３１０，Ｙｅｓ）、本処理をそのまま終了し、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内でない場合（ステップＳ３１０，Ｎｏ）、さらに、検出温度Ｔは、上限温度Ｔ１ｕより高いか否かを判定する（ステップＳ３２０）。

【0035】

検出温度Ｔが上限温度Ｔ１ｕより高い場合（ステップＳ３２０，Ｙｅｓ）、冷媒ポンプ回転数を所定量増大し（ステップＳ３３０）、エジェクタノズル開度を所定量増大し（ステップＳ３４０）、さらに、膨張弁開度を所定量増大する（ステップＳ３５０）。その後、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内であるかを判定する（ステップＳ３６０）。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１でない場合（ステップＳ３６０，Ｎｏ）、ステップＳ３３０に移行し、冷媒ポンプ回転数を所定量増大し、エジェクタノズル開度を所定量増大し、さらに、膨張弁開度を所定量増大する処理を繰り返す。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１である場合（ステップＳ３６０，Ｙｅｓ）、そのまま本処理を終了する。

【0036】

検出温度Ｔが上限温度Ｔ１ｕより高くない場合（ステップＳ３２０，Ｎｏ）、冷媒ポンプ回転数を所定量減少し（ステップＳ３７０）、エジェクタノズル開度を所定量減少し（ステップＳ３８０）、さらに、膨張弁開度を所定量減少する（ステップＳ３９０）。その後、検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１内であるかを判定する（ステップＳ４００）。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１でない場合（ステップＳ４００，Ｎｏ）、ステップＳ３７０に移行し、冷媒ポンプ回転数を所定量減少し、エジェクタノズル開度を所定量減少し、さらに、膨張弁開度を所定量減少する処理を繰り返す。検出温度Ｔが所定低温温度範囲ΔＴ１である場合（ステップＳ４００，Ｙｅｓ）、そのまま本処理を終了する。

【0037】

なお、上記の実施の形態及び変形例で図示した各構成は機能概略的なものであり、必ずしも物理的に図示の構成をされていることを要しない。すなわち、各装置及び構成要素の分散・統合の形態は図示のものに限られず、その全部又は一部を各種の使用状況などに応じて、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。

【符号の説明】

【0038】

１ エジェクタ冷却装置
２ 生産装置
１０ 回収器
１１ 蒸発器
１２ エジェクタ
１３ 凝縮器
１４ 膨張弁
１００ 冷却器
Ｃ 制御部
Ｌ１ 冷媒管路
Ｌ２ 分岐管路
Ｌ３ 温水管路
Ｌ４ 冷却水管路
Ｐ 冷媒ポンプ
ＰＴ 分岐点
Ｒ１～Ｒ８ 冷媒
Ｔ 検出温度
Ｔ１ｄ，Ｔ２ｄ 下限温度
Ｔ１ｕ，Ｔ２ｕ 上限温度
ＴＳ 温度センサ
Ｗ１～Ｗ３ 温水
Ｗ１０，Ｗ１１ 冷却水
ΔＴ１ 所定低温温度範囲
ΔＴ２ 広域低温温度範囲

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】