(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-11
(45)【発行日】2023-12-19
(54)【発明の名称】移載設備及び容器の移載方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20231212BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2020080874
(22)【出願日】2020-05-01
(65)【公開番号】P2021176155
(43)【公開日】2021-11-04
【審査請求日】2022-02-15
(73)【特許権者】
【識別番号】000003643
【氏名又は名称】株式会社ダイフク
(74)【代理人】
【識別番号】110001298
【氏名又は名称】弁理士法人森本国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】末廣 尚也
【審査官】杢 哲次
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１９－４０８９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２００３－５３６２４７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１０６４３３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
物品に対して処理を行う処理装置の上方に設けられて前記物品を収容する容器を受ける荷受台と、前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入し、搬出又は搬入する前記容器を前記荷受台と前記処理装置のロードポートとの間で昇降搬送する移載機と、
を備え、
前記荷受台と前記移載機と前記処理装置のロードポートとが平面視で互いに重なる位置に配置される移載設備であって、
前記荷受台は、前記容器の昇降経路上から離れた位置に設けられる回動軸によって、前記容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、前記容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間で回動可能に支持されるとともに、前記第１の位置において前記容器を受けるものであり、
前記荷受台は、前記荷受台によって支持される前記容器に当接することによって前記荷受台における前記容器の位置決めを行う位置決め部材を備え、
前記位置決め部材は、前記容器との当接面が、前記回動軸を中心とする前記荷受台の回動軌道に沿った曲面によって構成されていること
を特徴とする移載設備。
【請求項2】
前記荷受台は、軸心が鉛直方向である前記回動軸によって回動可能に支持されることを特徴とする請求項１に記載の移載設備。
【請求項3】
前記荷受台は、軸心が水平方向である前記回動軸によって回動可能に支持されることを特徴とする請求項１に記載の移載設備。
【請求項4】
前記荷受台の回動範囲を制限するストッパーを備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の移載設備。
【請求項5】
物品に対して処理を行う処理装置の上方に設けられて前記物品を収容する容器を受ける荷受台と、前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入し、搬出又は搬入する前記容器を前記荷受台と前記処理装置のロードポートとの間で昇降搬送する移載機と、
を備え、
前記荷受台と前記移載機と前記処理装置のロードポートとが平面視で互いに重なる位置に配置される移載設備における容器の移載方法であって、
前記荷受台を、前記容器の昇降経路上から離れた位置に設けられる回動軸によって、前記容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、前記容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間で回動可能に支持し、
前記荷受台に設けられている位置決め部材であって、前記回動軸を中心とする前記荷受台の回動軌道に沿った曲面によって構成されている当接面を有する前記位置決め部材によって、前記荷受台における前記容器の位置決めを行い、
前記第１の位置に位置する前記荷受台によって支持された前記容器を、前記移載機によって前記荷受台から搬出し、
前記回動軸の回動によって前記荷受台を前記第１の位置から前記第２の位置まで回動させることで、前記移載機による前記容器の昇降経路を形成し、
前記荷受台から搬出した前記容器を、前記移載機によって前記処理装置のロードポートまで下降移動させること
を特徴とする容器の移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、物品に対して処理を行う処理装置に、当該物品を収容した容器を移載する移載設備及び容器の移載方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
上記移載設備としては、例えば、処理装置であるチャンバに基板を収容したカセット（容器）を移載する設備がある（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１の移載設備においては、搬送台車ユニット上のカセット（容器）が、カセット搬送ユニットによって設備内に搬入され、チャンバ（処理装置）の上方に設けられる支持架台（荷受台）に載置される。支持架台に載置されたカセットは、カセット移載ユニット（移載機）によって下降搬送されることでチャンバに移載される。
また、チャンバ上のカセットは、カセット移載ユニットによって上昇搬送されることで支持架台に載置される。支持架台に載置されたカセットは、カセット搬送ユニットによって設備外の搬送台車ユニットへ搬出される。
特許文献１の移載設備においては、搬送台車ユニット上のカセット（容器）が、カセット搬送ユニットによって設備内に搬入され、チャンバ（処理装置）の上方に設けられる支持架台（荷受台）に載置される。支持架台に載置されたカセットは、カセット移載ユニット（移載機）によって下降搬送されることでチャンバに移載される。
また、チャンバ上のカセットは、カセット移載ユニットによって上昇搬送されることで支持架台に載置される。支持架台に載置されたカセットは、カセット搬送ユニットによって設備外の搬送台車ユニットへ搬出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】韓国登録特許第１０－１５１１９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、上記のような移載設備においては、カセット移載ユニット（移載機）がカセット（容器）を昇降移動させる際に、カセットが支持架台（荷受台）に干渉する。そのため、支持架台との干渉を避けるために、カセット移載ユニットによってカセットを旋回させる等の動作が必要となり、支持架台とチャンバ（処理装置）との間のカセットの移載に時間を要するという問題があった。
また、上記動作を行うことで、カセット移載ユニットがカセットを位置決めされた状態で保持することができず、カセット移載ユニットの移載精度が悪くなるという問題点があった。
また、上記動作を行うことで、カセット移載ユニットがカセットを位置決めされた状態で保持することができず、カセット移載ユニットの移載精度が悪くなるという問題点があった。
【0005】
そこで、本発明は、物品に対して処理を行う処理装置に物品を収容した容器を移載する移載設備において、処理装置のロードポートと、処理装置のロードポートの上方に設けられる荷受台との間の容器の移載を効率良く行うことが可能な移載設備及び容器の移載方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【0007】
即ち、本発明の移載設備は、
物品に対して処理を行う処理装置の上方に設けられて前記物品を収容する容器を受ける荷受台と、
前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入し、搬出又は搬入する前記容器を前記荷受台と前記処理装置のロードポートとの間で昇降搬送する移載機と、
を備え、
前記荷受台と前記移載機と前記処理装置のロードポートとが平面視で互いに重なる位置に配置される移載設備であって、
前記荷受台は、前記容器の昇降経路上から離れた位置に設けられる回動軸によって、前記容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、前記容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間で回動可能に支持されるとともに、前記第１の位置において前記容器を受けるものであり、
前記荷受台は、前記荷受台によって支持される前記容器に当接することによって前記荷受台における前記容器の位置決めを行う位置決め部材を備え、
前記位置決め部材は、前記容器との当接面が、前記回動軸を中心とする前記荷受台の回動軌道に沿った曲面によって構成されているものである。
物品に対して処理を行う処理装置の上方に設けられて前記物品を収容する容器を受ける荷受台と、
前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入し、搬出又は搬入する前記容器を前記荷受台と前記処理装置のロードポートとの間で昇降搬送する移載機と、
を備え、
前記荷受台と前記移載機と前記処理装置のロードポートとが平面視で互いに重なる位置に配置される移載設備であって、
前記荷受台は、前記容器の昇降経路上から離れた位置に設けられる回動軸によって、前記容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、前記容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間で回動可能に支持されるとともに、前記第１の位置において前記容器を受けるものであり、
前記荷受台は、前記荷受台によって支持される前記容器に当接することによって前記荷受台における前記容器の位置決めを行う位置決め部材を備え、
前記位置決め部材は、前記容器との当接面が、前記回動軸を中心とする前記荷受台の回動軌道に沿った曲面によって構成されているものである。
【0008】
本発明の移載設備は、前記荷受台が、軸心が鉛直方向である前記回動軸によって回動可能に支持されるものである。
上記構成では、荷受台が、軸心が鉛直方向である回動軸の回動によって、容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間を回動する。
上記構成では、荷受台が、軸心が鉛直方向である回動軸の回動によって、容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間を回動する。
【0009】
本発明の移載設備は、前記荷受台が、軸心が水平方向である前記回動軸によって回動可能に支持されるものである。
上記構成では、荷受台が、軸心が水平方向である回動軸の回動によって、容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間を回動する。
上記構成では、荷受台が、軸心が水平方向である回動軸の回動によって、容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間を回動する。
【0010】
本発明の移載方法は、
物品に対して処理を行う処理装置の上方に設けられて前記物品を収容する容器を受ける荷受台と、
前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入し、搬出又は搬入する前記容器を前記荷受台と前記処理装置のロードポートとの間で昇降搬送する移載機と、
を備え、
前記荷受台と前記移載機と前記処理装置のロードポートとが平面視で互いに重なる位置に配置される移載設備における容器の移載方法であって、
前記荷受台を、前記容器の昇降経路上から離れた位置に設けられる回動軸によって、前記容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、前記容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間で回動可能に支持し、
前記荷受台に設けられている位置決め部材であって、前記回動軸を中心とする前記荷受台の回動軌道に沿った曲面によって構成されている当接面を有する前記位置決め部材によって、前記荷受台における前記容器の位置決めを行い、
前記第１の位置に位置する前記荷受台によって支持された前記容器を、前記移載機によって前記荷受台から搬出し、
前記回動軸の回動によって前記荷受台を前記第１の位置から前記第２の位置まで回動させることで、前記移載機による前記容器の昇降経路を形成し、
前記荷受台から搬出した前記容器を、前記移載機によって前記処理装置のロードポートまで下降移動させる方法である。
物品に対して処理を行う処理装置の上方に設けられて前記物品を収容する容器を受ける荷受台と、
前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入し、搬出又は搬入する前記容器を前記荷受台と前記処理装置のロードポートとの間で昇降搬送する移載機と、
を備え、
前記荷受台と前記移載機と前記処理装置のロードポートとが平面視で互いに重なる位置に配置される移載設備における容器の移載方法であって、
前記荷受台を、前記容器の昇降経路上から離れた位置に設けられる回動軸によって、前記容器の昇降経路上に位置する第１の位置と、前記容器の昇降経路上から離れた第２の位置との間で回動可能に支持し、
前記荷受台に設けられている位置決め部材であって、前記回動軸を中心とする前記荷受台の回動軌道に沿った曲面によって構成されている当接面を有する前記位置決め部材によって、前記荷受台における前記容器の位置決めを行い、
前記第１の位置に位置する前記荷受台によって支持された前記容器を、前記移載機によって前記荷受台から搬出し、
前記回動軸の回動によって前記荷受台を前記第１の位置から前記第２の位置まで回動させることで、前記移載機による前記容器の昇降経路を形成し、
前記荷受台から搬出した前記容器を、前記移載機によって前記処理装置のロードポートまで下降移動させる方法である。
【0011】
上記方法では、荷受台を、回動軸の回動によって、容器の昇降経路上に位置する第１の位置から、容器の昇降経路上から離れた第２の位置まで回動させて移載機による容器の昇降経路を形成した上で、荷受台から搬出した容器を処理装置のロードポートまで下降移動させる。
【発明の効果】
【0012】
本発明の移載設備及び容器の移載方法によれば、荷受台を、容器の昇降経路上に位置する第１の位置から容器の昇降経路上から離れた第２の位置まで回動可能であるため、荷受台と処理装置のロードポートとの間で容器を昇降移動させる際に、荷受台を容器の昇降経路を避ける位置まで移動させることができる。そのため、容器を昇降移動させる際に容器が荷受台に干渉することがない（容器が荷受台に接触することがない）。それゆえに、荷受台との干渉を避けるために移載機によって容器を旋回させる等の動作が不要となり、荷受台と処理装置のロードポートとの間の容器の移載を効率良く行うことができる。
また、移載機が上記動作を行う必要がないため、移載機が容器を位置決めされた状態で保持することができ、移載機の移載精度を向上させることができる。
さらに、荷受台が回動軸によって回動可能に支持されていることから、荷受台を動作させる機構を、軸受と回動軸とモータ等からなるシンプルな機構によって構成できる。また、軸受と回動軸とモータ等を筐体等によって覆うことで、荷受台の動作機構からの発塵を容易に封じ込めることができるため、当該動作機構を発塵源の少ない機構、或いは発塵源を封じ込み易い機構によって構成することができる。
また、移載機が上記動作を行う必要がないため、移載機が容器を位置決めされた状態で保持することができ、移載機の移載精度を向上させることができる。
さらに、荷受台が回動軸によって回動可能に支持されていることから、荷受台を動作させる機構を、軸受と回動軸とモータ等からなるシンプルな機構によって構成できる。また、軸受と回動軸とモータ等を筐体等によって覆うことで、荷受台の動作機構からの発塵を容易に封じ込めることができるため、当該動作機構を発塵源の少ない機構、或いは発塵源を封じ込み易い機構によって構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】本発明に係る移載設備の平面図である。
【図2】同移載設備の正面図である。
【図3】同移載設備の平面図である。
【図4】同移載設備においてカセットが移載機によって移載される場合の正面図である。
【図5】（ａ）は、同移載設備における荷受台の回動を示す概略平面図及ガイドブロックの概略拡大平面図、（ｂ）は、同移載設備における別実施例の荷受台の回動を示す概略平面図及ガイドブロックの概略拡大平面図、（ｃ）は、同移載設備における別実施例の荷受台の回動を示す概略平面図及ガイドブロックの概略拡大平面図である。
【図6】（ａ）は、本発明の別実施に係る移載設備においてカセットが荷受台に載置されている場合の正面図、（ｂ）は、同移載設備においてカセットが移載機によって移載される場合の正面図である。
【図7】本発明の別実施に係る移載設備の平面図である。
【図8】（ａ）は、本発明の別実施に係る移載設備における荷受台の平面図、（ｂ）は、同荷受台がカセット受入位置に位置する場合の同荷受台の側面図、（ｃ）は、同荷受台が台待機位置に位置する場合の同荷受台の側面図である。
【図9】（ａ）は、本発明の別実施に係る移載設備における荷受台の平面図、（ｂ）は、同荷受台がカセット受入位置に位置する場合の同荷受台の側面図、（ｃ）は、同荷受台が台待機位置に位置する場合の同荷受台の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
本発明に係る移載設備１０について説明する。
図１及び図２に示すように、移載設備１０は、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板９１（「物品」の一例）に対して蒸着処理を行う蒸着装置８０（「処理装置」の一例）に付設される設備である。移載設備１０では、板状体の基板９１を収容したカセット９０（「容器」の一例）が、移載設備１０外の台車走行レール８５に沿って走行する搬送台車８６から蒸着装置８０のロードポート８３に搬入されるとともに、蒸着装置８０のロードポート８３から移載設備１０外の搬送台車８６に搬出される。
移載設備１０において搬送されるカセット９０は、その一方側面或いは両側面が開口した略箱型形状の部材により形成され、その内部に複数の基板９１を収容可能に構成されている。カセット９０は、その上部に後述する移載機２０に係止されるフランジ部９２が複数形成されている。フランジ部９２はカセット９０の上面から突出して設けられる鉤状の部材によって構成され、カセット９０の上面の複数箇所に設けられる。
図１及び図２に示すように、移載設備１０は、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板９１（「物品」の一例）に対して蒸着処理を行う蒸着装置８０（「処理装置」の一例）に付設される設備である。移載設備１０では、板状体の基板９１を収容したカセット９０（「容器」の一例）が、移載設備１０外の台車走行レール８５に沿って走行する搬送台車８６から蒸着装置８０のロードポート８３に搬入されるとともに、蒸着装置８０のロードポート８３から移載設備１０外の搬送台車８６に搬出される。
移載設備１０において搬送されるカセット９０は、その一方側面或いは両側面が開口した略箱型形状の部材により形成され、その内部に複数の基板９１を収容可能に構成されている。カセット９０は、その上部に後述する移載機２０に係止されるフランジ部９２が複数形成されている。フランジ部９２はカセット９０の上面から突出して設けられる鉤状の部材によって構成され、カセット９０の上面の複数箇所に設けられる。
【0015】
図２に示すように、移載設備１０は、蒸着装置８０の上方に付設されている。移載設備１０に付設される蒸着装置８０は、装置全体が装置筐体８１により覆われている。装置筐体８１は、その内部に蒸着装置８０を格納可能な内部空間を有する。装置筐体８１は、その上部に、カセット９０を内部に搬送するためのカセット搬入口８２が形成されている。
装置筐体８１は、その内部空間においてカセット９０を載置するためのロードポート８３が設けられている。具体的には、ロードポート８３は、カセット搬入口８２の真下（後述する移載機２０の真下であって、移載機２０によって昇降するカセット９０の昇降経路上）に設けられている。
装置筐体８１は、その内部空間においてカセット９０を載置するためのロードポート８３が設けられている。具体的には、ロードポート８３は、カセット搬入口８２の真下（後述する移載機２０の真下であって、移載機２０によって昇降するカセット９０の昇降経路上）に設けられている。
【0016】
図１及び図２に示すように、移載設備１０の側方であって蒸着装置８０の上方には、搬送台車８６上のカセット９０を移載設備１０に搬送するフォークユニット４０が設けられている。フォークユニット４０は、カセット９０をフォーク４１の載置面４１ａに載置してフォーク４１を水平方向に出退移動させることで、カセット９０を搬送台車８６から搬出し、搬出したカセット９０を移載設備１０内に搬入する。また、フォークユニット４０は、カセット９０を移載設備１０内から搬出し、搬出したカセット９０を搬送台車８６に搬入する。このように、カセット９０は、蒸着装置８０の上方であって、移載設備１０の側方から搬入又は搬出される。
【0017】
図２から図４に示すように、移載設備１０は、カセット９０を昇降搬送する移載機２０と、移載機２０に対するカセット９０の位置決めを行うプッシャー２５と、フォークユニット４０及び移載機２０から搬送されるカセット９０を受ける荷受台３０と、を備える。
移載機２０と、荷受台３０と、蒸着装置８０のロードポート８３とは、平面視において互いに重なる位置に配置される。具体的には、移載設備１０の上方（天井側）から移載機２０、荷受台３０、ロードポート８３の順で配置され、且つ荷受台３０とロードポート８３とが移載機２０によるカセット９０の昇降経路上となるように配置される。
移載機２０と、荷受台３０と、蒸着装置８０のロードポート８３とは、平面視において互いに重なる位置に配置される。具体的には、移載設備１０の上方（天井側）から移載機２０、荷受台３０、ロードポート８３の順で配置され、且つ荷受台３０とロードポート８３とが移載機２０によるカセット９０の昇降経路上となるように配置される。
【0018】
移載機２０は、ロードポート８３の上方に設けられ、平面視において荷受台３０及びロードポート８３と重なる位置に配置される。移載機２０は、フォークユニット４０によって荷受台３０に搬送されたカセット９０を荷受台３０から搬出し、搬出したカセット９０を鉛直方向に下降移動させることによってカセット９０をロードポート８３に搬入する。また、移載機２０は、ロードポート８３上のカセット９０を鉛直方向に上昇移動させることによってカセット９０をロードポート８３から搬出し、搬出したカセット９０を荷受台３０に搬入する。
移載機２０は、蒸着装置８０の上方において、カセット９０の上部を係止して鉛直方向に昇降移動させることによってカセット９０を搬送する。移載機２０は、カセット９０を昇降移動させる昇降機構２１と、カセット９０の上部を係止する係止機構２４と、から主に構成されている。
移載機２０は、蒸着装置８０の上方において、カセット９０の上部を係止して鉛直方向に昇降移動させることによってカセット９０を搬送する。移載機２０は、カセット９０を昇降移動させる昇降機構２１と、カセット９０の上部を係止する係止機構２４と、から主に構成されている。
【0019】
昇降機構２１は、係止機構２４を回動軸２２Ｂにより吊り下げた状態で支持する。昇降機構２１は、係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させる第１昇降部２２と、第１昇降部２２及び係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させる第２昇降部２３と、から構成されている。昇降機構２１は、第１昇降部２２及び第２昇降部２３による二段階の昇降移動によってカセット９０を昇降させる。
第１昇降部２２は、係止機構２４を吊下げて支持する複数本の昇降ベルト２２Ａと、昇降ベルト２２Ａを一体的に巻き取り及び巻き出す回動軸２２Ｂと、回動軸２２Ｂを回動する第１モータ２２Ｃと、から主に構成されている。第１昇降部２２は、第１モータ２２Ｃの駆動により回動軸２２Ｂを回動させて昇降ベルト２２Ａを巻き取り及び巻き出すことで係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させる。第１昇降部２２は、昇降ベルト２２Ａを巻き取り及び巻き出すことで係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させることから、ロードポート８３に対するカセット９０の細かな位置合わせを容易に行うことができる。
第２昇降部２３は、回動軸２２Ｂの両端を回動可能に支持する支持体２３Ａと、支持体２３Ａを昇降可能にガイドするガイド体２３Ｂと、支持体２３Ａを昇降移動させる駆動ベルト２３Ｃと、駆動ベルト２３Ｃを回動させるための第２モータ２３Ｄと、から主に構成されている。
支持体２３Ａは、一対の長尺状の部材により構成され、鉛直方向に立設される上端部において回動軸２２Ｂを回動可能に支持するとともに、その下端部がガイド体２３Ｂにより昇降可能にガイドされる。ガイド体２３Ｂは、一対の長尺状の部材により構成される。駆動ベルト２３Ｃはガイド体２３Ｂの上端部と下端部との間に回動可能に架け渡される。第２モータ２３Ｄはガイド体２３Ｂの上端部に設けられる。
第２昇降部２３は、第２モータ２３Ｄを駆動させて駆動ベルト２３Ｃを回動させることにより支持体２３Ａをガイド体２３Ｂに沿って昇降移動させる。これにより、支持体２３Ａが支持する回動軸２２Ｂが昇降し、その昇降により昇降ベルト２２Ａを介して支持される係止機構２４（カセット９０）が昇降移動する。第２昇降部２３は、鉛直方向に延設される長尺状の一対のガイド体２３Ｂの間で回動軸２２Ｂを昇降移動させることで、ロードポート８３に対するカセット９０の大まかな位置合わせを行う。
第１昇降部２２は、係止機構２４を吊下げて支持する複数本の昇降ベルト２２Ａと、昇降ベルト２２Ａを一体的に巻き取り及び巻き出す回動軸２２Ｂと、回動軸２２Ｂを回動する第１モータ２２Ｃと、から主に構成されている。第１昇降部２２は、第１モータ２２Ｃの駆動により回動軸２２Ｂを回動させて昇降ベルト２２Ａを巻き取り及び巻き出すことで係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させる。第１昇降部２２は、昇降ベルト２２Ａを巻き取り及び巻き出すことで係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させることから、ロードポート８３に対するカセット９０の細かな位置合わせを容易に行うことができる。
第２昇降部２３は、回動軸２２Ｂの両端を回動可能に支持する支持体２３Ａと、支持体２３Ａを昇降可能にガイドするガイド体２３Ｂと、支持体２３Ａを昇降移動させる駆動ベルト２３Ｃと、駆動ベルト２３Ｃを回動させるための第２モータ２３Ｄと、から主に構成されている。
支持体２３Ａは、一対の長尺状の部材により構成され、鉛直方向に立設される上端部において回動軸２２Ｂを回動可能に支持するとともに、その下端部がガイド体２３Ｂにより昇降可能にガイドされる。ガイド体２３Ｂは、一対の長尺状の部材により構成される。駆動ベルト２３Ｃはガイド体２３Ｂの上端部と下端部との間に回動可能に架け渡される。第２モータ２３Ｄはガイド体２３Ｂの上端部に設けられる。
第２昇降部２３は、第２モータ２３Ｄを駆動させて駆動ベルト２３Ｃを回動させることにより支持体２３Ａをガイド体２３Ｂに沿って昇降移動させる。これにより、支持体２３Ａが支持する回動軸２２Ｂが昇降し、その昇降により昇降ベルト２２Ａを介して支持される係止機構２４（カセット９０）が昇降移動する。第２昇降部２３は、鉛直方向に延設される長尺状の一対のガイド体２３Ｂの間で回動軸２２Ｂを昇降移動させることで、ロードポート８３に対するカセット９０の大まかな位置合わせを行う。
【0020】
係止機構２４は、複数の昇降ベルト２２Ａにより支持されるとともに、カセット９０の上部のフランジ部９２を係止する。係止機構２４は、カセット９０の係止時にカセット９０と対向する側にカセット９０のフランジ部９２を係止するための係止部２４Ａを有する。係止部２４Ａは、カセット９０のフランジ部９２に対応する位置に複数（図３においては４個）設けられている。係止部２４Ａは、フランジ部９２に係止可能な鉤状の部材により形成され、当該鉤状の部材が所定方向に旋回可能に構成されている。係止機構２４は、係止部２４Ａがフランジ部９２を係止することによりカセット９０を吊下げた状態で支持する。
【0021】
プッシャー２５は、荷受台３０に載置されるカセット９０に当接することで、荷受台３０上におけるカセット９０の移動を規制して移載機２０に対するカセット９０の位置決めを行う。プッシャー２５は、支持体２３Ａに支持される基台２６に立設され、荷受台３０に載置されるカセット９０を対となるプッシャー２５で挟むように、荷受台３０に載置されるカセット９０の対角位置近傍に配置される。プッシャー２５は、基台２６に支持されるプッシャー本体部２５Ａと、プッシャー本体部２５Ａに支持されて水平方向に出退移動可能なアーム部２５Ｂと、を備える。アーム部２５Ｂは、カセット９０に当接可能に構成されている。プッシャー２５は、アーム部２５Ｂを、対となるプッシャー２５のアーム部２５Ｂとともに、荷受台３０上のカセット９０の対角位置から挟み込むように、カセット９０に当接させることで、カセット９０を所定の位置に合わせる。ここで、所定の位置とは、移載機２０が荷受台３０上のカセット９０の姿勢を保持した状態で係止して昇降可能な位置である。アーム部２５Ｂは、移載機２０が荷受台３０からカセット９０を搬出する際には、エアシリンダの駆動によってカセット９０に向かって伸長移動を行うことでカセット９０に当接する。アーム部２５Ｂは、移載機２０によってカセット９０が昇降する際には、エアシリンダの駆動によってカセット９０から離れる方向に収縮移動を行うでカセット９０の昇降経路を避ける方向に移動する。
【0022】
図１から図４に示すように、荷受台３０は、フォークユニット４０によって移載設備１０内に搬入されるカセット９０、及び移載機２０によってロードポート８３から搬出されるカセット９０を受け入れる台である。
荷受台３０は、カセット９０の角部の底面を支持する。具体的には、荷受台３０をカセット９０の４つの角部にそれぞれ配置し、４体の荷受台３０によってカセット９０の４つの角部の底面を支持する。荷受台３０は、移載機２０がカセット９０を昇降させる経路（カセット９０の昇降経路）上のカセット受入位置Ｕ（「第１の位置」の例）に位置する場合において、そのカセット９０の４つの角部の近傍にそれぞれ配置される。ここで、カセット受入位置Ｕとは、移載設備１０内において荷受台３０がフォークユニット４０或いは移載機２０からカセット９０を受け入れる位置（移載設備１０内におけるカセット９０の搬出入位置）であり、ロードポート８３の上方において、フォークユニット４０のフォーク４１がカセット９０を搬送する経路と、移載機２０がカセット９０を昇降させる経路と、が交差する位置をいう。
荷受台３０は、カセット９０の角部の底面を支持する。具体的には、荷受台３０をカセット９０の４つの角部にそれぞれ配置し、４体の荷受台３０によってカセット９０の４つの角部の底面を支持する。荷受台３０は、移載機２０がカセット９０を昇降させる経路（カセット９０の昇降経路）上のカセット受入位置Ｕ（「第１の位置」の例）に位置する場合において、そのカセット９０の４つの角部の近傍にそれぞれ配置される。ここで、カセット受入位置Ｕとは、移載設備１０内において荷受台３０がフォークユニット４０或いは移載機２０からカセット９０を受け入れる位置（移載設備１０内におけるカセット９０の搬出入位置）であり、ロードポート８３の上方において、フォークユニット４０のフォーク４１がカセット９０を搬送する経路と、移載機２０がカセット９０を昇降させる経路と、が交差する位置をいう。
【0023】
荷受台３０は、基台部３１と、カセット９０を載置する載置部３２と、載置部３２におけるカセット９０の位置決めを行う一対のガイドブロック３３（「位置決め部材」の一例）と、荷受台３０（基台部３１）の回動範囲を制限するストッパー３７と、から構成されている。
基台部３１は、水平方向に配置される板状の部材によって構成され、その上面において、載置部３２及びガイドブロック３３を支持する。基台部３１は、その一端部が軸受３４を介して回動軸３５に固定され、回動軸３５の回動によって水平方向に回動する。軸受３４は、基台２６に固定されている。
回動軸３５は、移載機２０によるカセット９０の昇降経路上から離れた位置（カセット受入位置Ｕから離れた位置）に、その軸心が鉛直方向となるように延設されている。回動軸３５は、その下端に設けられるモータ３６によって駆動される。
ここで、荷受台（基台部）を動作させる機構としては、荷受台を水平方向に摺動させる摺動機構が挙げられるが、当該摺動機構では、荷受台を摺動させるモータを備えることに加えて、荷受台を摺動させるためのレール等が必要となるため、荷受台の動作機構が大掛かりとなる。また、上記摺動機構は、荷受台を摺動させることから発塵源の多い機構である。さらに、上記摺動機構からの発塵を封じ込めるためには、モータ等を筐体等によって覆うことに加えてレール等を覆う必要があるため、発塵源を容易に封じ込むことができない。
一方で、移載設備１０の荷受台３０を動作させる機構は、軸受３４と、回動軸３５と、モータ３６とからなる回動機構であるため、荷受台３０の動作機構をシンプルな機構によって構成できる。また、上記回動機構は、回動軸３５を回動させることによって荷受台３０を動作させることから発塵源の少ない機構である。さらに、上記回動機構では、軸受３４と回動軸３５とモータ３６を筐体等によって覆うことで、上記回動機構からの発塵を封じ込めることができるため、当該発塵源を容易に封じ込むことができる。
基台部３１は、水平方向に配置される板状の部材によって構成され、その上面において、載置部３２及びガイドブロック３３を支持する。基台部３１は、その一端部が軸受３４を介して回動軸３５に固定され、回動軸３５の回動によって水平方向に回動する。軸受３４は、基台２６に固定されている。
回動軸３５は、移載機２０によるカセット９０の昇降経路上から離れた位置（カセット受入位置Ｕから離れた位置）に、その軸心が鉛直方向となるように延設されている。回動軸３５は、その下端に設けられるモータ３６によって駆動される。
ここで、荷受台（基台部）を動作させる機構としては、荷受台を水平方向に摺動させる摺動機構が挙げられるが、当該摺動機構では、荷受台を摺動させるモータを備えることに加えて、荷受台を摺動させるためのレール等が必要となるため、荷受台の動作機構が大掛かりとなる。また、上記摺動機構は、荷受台を摺動させることから発塵源の多い機構である。さらに、上記摺動機構からの発塵を封じ込めるためには、モータ等を筐体等によって覆うことに加えてレール等を覆う必要があるため、発塵源を容易に封じ込むことができない。
一方で、移載設備１０の荷受台３０を動作させる機構は、軸受３４と、回動軸３５と、モータ３６とからなる回動機構であるため、荷受台３０の動作機構をシンプルな機構によって構成できる。また、上記回動機構は、回動軸３５を回動させることによって荷受台３０を動作させることから発塵源の少ない機構である。さらに、上記回動機構では、軸受３４と回動軸３５とモータ３６を筐体等によって覆うことで、上記回動機構からの発塵を封じ込めることができるため、当該発塵源を容易に封じ込むことができる。
【0024】
載置部３２は、その頂部にカセット９０を載置可能な柱材によって構成され、基台部３１の他端部（回動軸３５が設けられている側と反対側の端部）に立設されている。載置部３２は、その頂部にカセット９０を載置するための載置面３２ａが形成されている。
【0025】
ガイドブロック３３は、断面視略円状の柱材によって構成され、基台部３１の他端部に立設されている。ガイドブロック３３は、載置部３２におけるカセット９０の位置決めを行うとともに、載置部３２からのカセット９０の落下を防止する。ガイドブロック３３は、カセット９０が載置部３２に載置された際に、カセット９０の角部を対となるガイドブロック３３で挟むような位置に配置される。ガイドブロック３３は、その頂部が載置部３２の頂部（載置面３２ａ）より高く形成されている。ガイドブロック３３は、その頂部の周端が傾斜状に形成された傾斜部３３ａ（図５参照）を有する。
ガイドブロック３３は、その側面にカセット９０の角部の側面が当接することで、載置部３２上でのカセット９０の位置決めを行うとともに、載置部３２からのカセット９０の落下を防止する。また、ガイドブロック３３は、載置部３２に載置されようとするカセット９０がガイドブロック３３の頂部に乗り上げた場合に、そのカセット９０がガイドブロック３３の傾斜部３３ａを滑り落ちることで、カセット９０を載置部３２上の所定位置まで誘導する。さらに、カセット９０がガイドブロック３３の頂部に乗り上げたままガイドブロック３３によって保持された場合には、載置部３２へのカセット９０の移載が異常であることが検出される。
ガイドブロック３３は、その側面にカセット９０の角部の側面が当接することで、載置部３２上でのカセット９０の位置決めを行うとともに、載置部３２からのカセット９０の落下を防止する。また、ガイドブロック３３は、載置部３２に載置されようとするカセット９０がガイドブロック３３の頂部に乗り上げた場合に、そのカセット９０がガイドブロック３３の傾斜部３３ａを滑り落ちることで、カセット９０を載置部３２上の所定位置まで誘導する。さらに、カセット９０がガイドブロック３３の頂部に乗り上げたままガイドブロック３３によって保持された場合には、載置部３２へのカセット９０の移載が異常であることが検出される。
【0026】
図５（ａ）に示すように、ガイドブロック３３は、カセット９０の角部の側面と当接する当接面３３ｂが、回動軸３５を中心とする荷受台３０の回動軌道Ｋに沿った曲面によって構成されている。具体的には、ガイドブロック３３の当接面３３ｂを構成するガイドブロック３３の外周側面を回動軌道Ｋに沿うように湾曲状に形成させている。このように、ガイドブロック３３の当接面３３ｂを回動軸３５を中心とする荷受台３０の回動軌道Ｋに沿った曲面とすることで、荷受台３０が回動軸３５を中心に回動することによって荷受台３０とカセット９０との距離間隔が変動した場合であっても、カセット９０を載置部３２上の適切な位置で位置決めすることができる。なお、ガイドブロック３３の当接面３３ｂが曲面に形成されていれば、例えば、図５（ｂ）に示すガイドブロック３３Ａのように、ガイドブロック３３の当接面３３ｂを荷受台３０（基台部３１）の回動軌道Ｋに沿って湾曲状に形成した断面視円弧状の柱材によって構成しても構わない。また、図５（ｃ）に示すガイドブロック３３Ｂのように、ガイドブロック３３の当接面３３ｂを荷受台３０（基台部３１）の回動軌道Ｋに沿って湾曲状に形成した板材によって構成しても構わない。
【0027】
図３に示すように、荷受台３０は、移載機２０によるカセット９０の昇降移動に応じて回動軸３５を回動させることよって、カセット受入位置Ｕ（「第１の位置」の例）と台待機位置Ｔ（「第２の位置」の一例）との間で水平方向に回動する。ここで、台待機位置Ｔとは、荷受台３０が移載機２０によって昇降移動するカセット９０と接触しない位置で、且つフォークユニット４０がカセット受入位置Ｕにカセット９０へ搬送する際に、荷受台３０がフォークユニット４０のフォーク４１に接触しない位置である。
荷受台３０は、フォークユニット４０或いは移載機２０からカセット９０を受け入れる際には、回動軸３５の回動によってカセット受入位置Ｕまで回動する。具体的には、カセット受入位置Ｕに位置するカセット９０の角部の底面に、荷受台３０の載置部３２の載置面３２ａが当接する位置まで荷受台３０の基台部３１が回動する。一方で、荷受台３０は、移載機２０がカセット９０を昇降移動させる際には、カセット９０の昇降経路上から離れた台待機位置Ｔに位置する。具体的には、荷受台３０の載置部３２及びガイドブロック３３が、カセット受入位置Ｕに位置するカセット９０に当接しない位置まで、荷受台３０の基台部３１が回動する。
荷受台３０は、フォークユニット４０或いは移載機２０からカセット９０を受け入れる際には、回動軸３５の回動によってカセット受入位置Ｕまで回動する。具体的には、カセット受入位置Ｕに位置するカセット９０の角部の底面に、荷受台３０の載置部３２の載置面３２ａが当接する位置まで荷受台３０の基台部３１が回動する。一方で、荷受台３０は、移載機２０がカセット９０を昇降移動させる際には、カセット９０の昇降経路上から離れた台待機位置Ｔに位置する。具体的には、荷受台３０の載置部３２及びガイドブロック３３が、カセット受入位置Ｕに位置するカセット９０に当接しない位置まで、荷受台３０の基台部３１が回動する。
【0028】
荷受台３０は、ストッパー３７によって、基台部３１の回動範囲が制限される。具体的には、ストッパー３７が、水平方向に回動する基台部３１をカセット受入位置Ｕ及び台待機位置Ｔで制止することで、基台部３１の回動範囲がカセット受入位置Ｕと台待機位置Ｔとの間で制限される。ストッパー３７は、基台部３１（可動側）に固定される一対の可動側ブロック３７Ａと、基台２６（固定側）に固定される固定側ストッパー３７Ｂと、から構成される。
可動側ブロック３７Ａは、基台部３１の側方から水平に突出する部材であり、基台部３１の回動とともに回動する。
固定側ストッパー３７Ｂは、基台２６から上方に突出する部材であり、その両端部のいずれかに可動側ブロック３７Ａが当接することで、基台部３１の回動を制止する。
ストッパー３７は、基台部３１がカセット受入位置Ｕから回動して台待機位置Ｔに位置する際に、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの一方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの一端部に当接することで、基台部３１を台待機位置Ｔで制止させる。一方で、ストッパー３７は、基台部３１が台待機位置Ｔから回動してカセット受入位置Ｕに位置する際に、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの他方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの他端部に当接することで、基台部３１をカセット受入位置Ｕで制止させる。このように、一対の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂに当接することで、基台部３１の回動範囲がカセット受入位置Ｕと台待機位置Ｔとの間で制限され、基台部３１が回動範囲外に回動することが防止される。
可動側ブロック３７Ａは、基台部３１の側方から水平に突出する部材であり、基台部３１の回動とともに回動する。
固定側ストッパー３７Ｂは、基台２６から上方に突出する部材であり、その両端部のいずれかに可動側ブロック３７Ａが当接することで、基台部３１の回動を制止する。
ストッパー３７は、基台部３１がカセット受入位置Ｕから回動して台待機位置Ｔに位置する際に、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの一方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの一端部に当接することで、基台部３１を台待機位置Ｔで制止させる。一方で、ストッパー３７は、基台部３１が台待機位置Ｔから回動してカセット受入位置Ｕに位置する際に、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの他方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの他端部に当接することで、基台部３１をカセット受入位置Ｕで制止させる。このように、一対の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂに当接することで、基台部３１の回動範囲がカセット受入位置Ｕと台待機位置Ｔとの間で制限され、基台部３１が回動範囲外に回動することが防止される。
【0029】
次に、移載設備１０におけるカセット９０の移載方法について説明する。
図１に示すように、搬送台車８６によってカセット９０が所定の位置まで搬送されると、フォークユニット４０は、フォーク４１を搬送台車８６に対して水平移動させることによって搬送台車８６上のカセット９０をフォーク４１上に載置して支持する。
カセット９０がフォーク４１上に載置されると、フォークユニット４０は、カセット９０をフォーク４１に載置した状態でフォーク４１を旋回させる。さらに、フォークユニット４０は、フォーク４１を移載設備１０の荷受台３０の上方まで水平移動させる。この時、荷受台３０は、回動軸３５の回動によってカセット受入位置Ｕまで回動する。具体的には、図３に示すように、荷受台３０の基台部３１が回動軸３５の回動によって水平方向に回動することで、荷受台３０の載置部３２及びガイドブロック３３が台待機位置Ｔからカセット受入位置Ｕまで回動する。荷受台３０の基台部３１は、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの一方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの一端部に当接することで、カセット受入位置Ｕで停止する。
図２に示すように、フォークユニット４０は、カセット９０を荷受台３０の上方まで搬送すると、フォーク４１を下降させてカセット９０を荷受台３０に載置させる。これにより、カセット９０がフォークユニット４０から荷受台３０の載置部３２に移載される。ここで、荷受台３０のガイドブロック３３は、カセット９０に当接することによって載置部３２上でのカセット９０の大まかな位置決めを行う。
図１に示すように、搬送台車８６によってカセット９０が所定の位置まで搬送されると、フォークユニット４０は、フォーク４１を搬送台車８６に対して水平移動させることによって搬送台車８６上のカセット９０をフォーク４１上に載置して支持する。
カセット９０がフォーク４１上に載置されると、フォークユニット４０は、カセット９０をフォーク４１に載置した状態でフォーク４１を旋回させる。さらに、フォークユニット４０は、フォーク４１を移載設備１０の荷受台３０の上方まで水平移動させる。この時、荷受台３０は、回動軸３５の回動によってカセット受入位置Ｕまで回動する。具体的には、図３に示すように、荷受台３０の基台部３１が回動軸３５の回動によって水平方向に回動することで、荷受台３０の載置部３２及びガイドブロック３３が台待機位置Ｔからカセット受入位置Ｕまで回動する。荷受台３０の基台部３１は、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの一方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの一端部に当接することで、カセット受入位置Ｕで停止する。
図２に示すように、フォークユニット４０は、カセット９０を荷受台３０の上方まで搬送すると、フォーク４１を下降させてカセット９０を荷受台３０に載置させる。これにより、カセット９０がフォークユニット４０から荷受台３０の載置部３２に移載される。ここで、荷受台３０のガイドブロック３３は、カセット９０に当接することによって載置部３２上でのカセット９０の大まかな位置決めを行う。
【0030】
荷受台３０にカセット９０が載置されると、フォークユニット４０は、フォーク４１を荷受台３０から離れた位置まで水平移動させる。続いて、プッシャー２５のアーム部２５Ｂがカセット９０に向かって伸長移動し、カセット９０の角部に当接する。これにより、カセット９０が一対のアーム部２５Ｂにより対角方向から挟持された状態となる。
プッシャー２５は、一対のアーム部２５Ｂを互いに伸縮移動させることによって、カセット９０を四方に移動させる。そして、プッシャー２５は、カセット９０を、移載機２０の係止部２４Ａ（係止機構２４）がカセット９０のフランジ部９２を係止可能な位置まで移動させる。すなわち、プッシャー２５は、カセット９０を四方に移動させることで、移載機２０の昇降位置に対するカセット９０の位置決めを行う。
プッシャー２５は、一対のアーム部２５Ｂを互いに伸縮移動させることによって、カセット９０を四方に移動させる。そして、プッシャー２５は、カセット９０を、移載機２０の係止部２４Ａ（係止機構２４）がカセット９０のフランジ部９２を係止可能な位置まで移動させる。すなわち、プッシャー２５は、カセット９０を四方に移動させることで、移載機２０の昇降位置に対するカセット９０の位置決めを行う。
【0031】
移載機２０の昇降位置に対するカセット９０位置決めが完了すると、移載機２０の第２昇降部２３が駆動し、移載機２０の係止機構２４がカセット９０の上方位置まで下降する。そして、係止機構２４の係止部２４Ａが所定方向に旋回することで、カセット９０のフランジ部９２が係止部２４Ａにより係止される。これにより、カセット９０が移載機２０によって昇降移動可能な状態となる。
プッシャー２５は、アーム部２５Ｂをカセット９０から離れる方向（カセット９０の昇降経路を避ける方向）に収縮移動する。
アーム部２５Ｂが収縮移動すると、モータ３６の駆動によって回動軸３５が回動することで、荷受台３０が水平方向に回動する。具体的には、図３に示すように、荷受台３０の基台部３１がカセット受入位置Ｕから台待機位置Ｔへ水平方向に回動する。荷受台３０の基台部３１は、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの他方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの他端部に当接することで、台待機位置Ｔで停止する。これにより、荷受台３０の載置部３２及びガイドブロック３３がカセット９０の昇降経路を避ける方向に移動し、荷受台３０の載置部３２がカセット９０を載置していた位置に、移載機２０によるカセット９０の昇降経路が形成される。
プッシャー２５は、アーム部２５Ｂをカセット９０から離れる方向（カセット９０の昇降経路を避ける方向）に収縮移動する。
アーム部２５Ｂが収縮移動すると、モータ３６の駆動によって回動軸３５が回動することで、荷受台３０が水平方向に回動する。具体的には、図３に示すように、荷受台３０の基台部３１がカセット受入位置Ｕから台待機位置Ｔへ水平方向に回動する。荷受台３０の基台部３１は、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの他方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの他端部に当接することで、台待機位置Ｔで停止する。これにより、荷受台３０の載置部３２及びガイドブロック３３がカセット９０の昇降経路を避ける方向に移動し、荷受台３０の載置部３２がカセット９０を載置していた位置に、移載機２０によるカセット９０の昇降経路が形成される。
【0032】
荷受台３０の基台部３１がカセット受入位置Ｕから離れると、移載機２０の第２昇降部２３が駆動し、カセット９０を係止した係止機構２４が蒸着装置８０に向けて下降する。具体的には、第２モータ２３Ｄが駆動することで駆動ベルト２３Ｃが作動し、駆動ベルト２３Ｃが作動することで支持体２３Ａがガイド体２３Ｂに沿って下降する。そして、支持体２３Ａに支持される回動軸２２Ｂが支持体２３Ａとともに下降し、その下降により昇降ベルト２２Ａに支持される係止機構２４（カセット９０）が所定位置まで下降する。
図４に示すように、係止機構２４が所定位置まで下降すると、第２昇降部２３の駆動が停止し、第１昇降部２２が駆動する。これにより、係止機構２４に係止されるカセット９０が蒸着装置８０のロードポート８３に移載される。具体的には、第２モータ２３Ｄの駆動が停止することで、第１モータ２２Ｃが駆動して回動軸２２Ｂが回動する。これにより、係止機構２４を吊下げて支持する昇降ベルト２２Ａが回動軸２２Ｂによって下方に巻き出され、その巻き出しに合わせて係止機構２４（カセット９０）が下降する。
図４に示すように、係止機構２４が所定位置まで下降すると、第２昇降部２３の駆動が停止し、第１昇降部２２が駆動する。これにより、係止機構２４に係止されるカセット９０が蒸着装置８０のロードポート８３に移載される。具体的には、第２モータ２３Ｄの駆動が停止することで、第１モータ２２Ｃが駆動して回動軸２２Ｂが回動する。これにより、係止機構２４を吊下げて支持する昇降ベルト２２Ａが回動軸２２Ｂによって下方に巻き出され、その巻き出しに合わせて係止機構２４（カセット９０）が下降する。
【0033】
一方、蒸着装置８０において基板９１に対する処理が完了すると、移載機２０の係止機構２４の係止部２４Ａがカセット９０のフランジ部９２を係止する。そして、第１モータ２２Ｃが駆動して回動軸２２Ｂが回動する。これにより、係止機構２４を吊下げて支持する昇降ベルト２２Ａが回動軸２２Ｂによって上方に巻き取られ、その巻き取りに合わせて係止機構２４が上昇してカセット９０がロードポート８３から搬出される。係止機構２４が所定位置まで上昇すると、第１モータ２２Ｃの駆動が停止し、第２モータ２３Ｄが駆動する。これにより、駆動ベルト２３Ｃが作動し、駆動ベルト２３Ｃが作動することで支持体２３Ａがガイド体２３Ｂに沿って上昇する。そして、支持体２３Ａに支持される回動軸２２Ｂが支持体２３Ａとともに上昇し、その上昇により昇降ベルト２２Ａに支持される係止機構２４が上昇する。
係止機構２４に係止されるカセット９０が荷受台３０の上方まで上昇すると、荷受台３０は、回動軸３５の回動によって台待機位置Ｔからカセット受入位置Ｕまで回動する。具体的には、図３に示すように、荷受台３０の基台部３１が回動軸３５の回動によって水平方向に回動することで、荷受台３０の載置部３２及びガイドブロック３３が台待機位置Ｔからカセット受入位置Ｕまで移動する。荷受台３０の基台部３１は、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの一方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの一端部に当接することで、カセット受入位置Ｕで停止する。
係止機構２４に係止されるカセット９０が荷受台３０の上方まで上昇すると、荷受台３０は、回動軸３５の回動によって台待機位置Ｔからカセット受入位置Ｕまで回動する。具体的には、図３に示すように、荷受台３０の基台部３１が回動軸３５の回動によって水平方向に回動することで、荷受台３０の載置部３２及びガイドブロック３３が台待機位置Ｔからカセット受入位置Ｕまで移動する。荷受台３０の基台部３１は、一対の可動側ブロック３７Ａのうちの一方の可動側ブロック３７Ａが固定側ストッパー３７Ｂの一端部に当接することで、カセット受入位置Ｕで停止する。
【0034】
荷受台３０がカセット受入位置Ｕまで回動すると、第２モータ２３Ｄが駆動し係止機構２４が下降する。これにより、図２に示すように、カセット９０が下降して荷受台３０の載置部３２に載置される。ここで、荷受台３０のガイドブロック３３は、カセット９０に当接することによって載置部３２上でのカセット９０の大まかな位置決めを行う。カセット９０が載置部３２に載置されると、係止機構２４の係止部２４Ａが所定方向に旋回することで、係止部２４Ａによるフランジ部９２への係止が解除される。係止部２４Ａによるフランジ部９２への係止が解除されると、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を伸長してフォーク４１をカセット受入位置Ｕまで水平移動させる。続いて、フォークユニット４０は、フォーク４１を上昇させることで、荷受台３０に載置されているカセット９０をフォーク４１に載置して支持する。さらに、図１に示すように、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を屈折させるとともに、カセット９０を載置したフォーク４１を旋回させる。そして、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を伸長してフォーク４１を搬送台車８６まで水平移動させ、フォーク４１上のカセット９０を搬送台車８６に移載する。
【0035】
以上のように、本発明に係る移載設備１０は、荷受台３０を、カセット９０の昇降経路上に位置するカセット受入位置Ｕからカセット９０の昇降経路上から離れた台待機位置Ｔまで回動可能であるため、荷受台３０と蒸着装置８０のロードポート８３との間でカセット９０を昇降移動させる際に、荷受台３０をカセット９０の昇降経路を避ける位置まで移動させることができる。そのため、カセット９０を昇降移動させる際にカセット９０が荷受台３０に干渉することがない（カセット９０が荷受台３０に接触することがない）。それゆえに、荷受台３０との干渉を避けるために移載機２０によってカセット９０を旋回させる等の動作が不要となり、荷受台３０と蒸着装置８０のロードポート８３との間のカセット９０の移載を効率良く行うことができる。また、移載機２０が上記動作を行う必要がないため、移載機２０がカセット９０を位置決めされた状態で保持することができ、移載機２０の移載精度を向上させることができる。
さらに、荷受台３０が回動軸３５によって回動可能に支持されていることから、荷受台３０を動作させる機構を、軸受３４と回動軸３５とモータ３６からなるシンプルな機構によって構成できる。また、軸受３４と回動軸３５とモータ３６を筐体等によって覆うことで、荷受台３０の動作機構からの発塵を容易に封じ込めることができるため、当該動作機構を発塵源の少ない機構、或いは発塵源を封じ込み易い機構によって構成することができる。
さらに、荷受台３０が回動軸３５によって回動可能に支持されていることから、荷受台３０を動作させる機構を、軸受３４と回動軸３５とモータ３６からなるシンプルな機構によって構成できる。また、軸受３４と回動軸３５とモータ３６を筐体等によって覆うことで、荷受台３０の動作機構からの発塵を容易に封じ込めることができるため、当該動作機構を発塵源の少ない機構、或いは発塵源を封じ込み易い機構によって構成することができる。
【0036】
なお、本実施の形態においては、その軸心が鉛直方向である回動軸３５によって荷受台３０の基台部３１を水平方向に回動させることで、荷受台３０の載置部３２をカセット受入位置Ｕと台待機位置Ｔとの間で回動させているが、これに限定されるものではなく、図６から図８に示す荷受台３０Ａのように、その軸心が水平方向である回動軸３５Ａによって、水平の基台部３１Ａを上方向に跳ね上げることで載置部３２Ａ及びガイドブロック３３Ａを回動させても構わない。この場合、水平の荷受台３０Ａの基台部３１Ａは、その一端が、軸受３４Ａを介して回動軸３５Ａに固定され、回動軸３５Ａの回動によって回動軸３５Ａを中心に上方向に跳ね上げられる。軸受３４Ａは基台２６に固定されるとともに、基台部３１Ａを下方から支持する。回動軸３５Ａは、移載機２０によるカセット９０の昇降経路上から離れた位置（カセット受入位置Ｕから離れた位置）に、その軸心が水平方向となるように延設され、その他端部にモータ３６Ａが設けられる。
図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示すように、荷受台３０Ａでは、回動軸３５Ａが回動することで、軸受３４Ａによって水平に保持されている基台部３１Ａが上方向に跳ね上げられ、カセット受入位置Ｕに位置する載置部３２Ａ及びガイドブロック３３Ａが上方向に跳ね上げられた状態で台待機位置Ｔまで回動する。
また、荷受台３０Ａは、基台２６（固定側）に固定される固定側ストッパー３８Ａ、３８Ｂ（ストッパー３８）によって、基台部３１Ａの回動範囲が制限される。具体的には、図８（ｂ）に示すように、カセット受入位置Ｕに位置する基台部３１Ａの下面に第１固定側ストッパー３８Ａが当接することで、基台部３１Ａがカセット受入位置Ｕで制止される。また、図８（ｃ）に示すように、カセット受入位置Ｕから台待機位置Ｔまで跳ね上げられた基台部３１Ａの上面に第２固定側ストッパー３８Ｂが当接することで、基台部３１Ａが台待機位置Ｔで制止される。なお、第１固定側ストッパー３８Ａは、基台部３１Ａをカセット受入位置Ｕで制止させる機能を有するとともに、基台部３１Ａの荷重を支える機能を有する。
図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示すように、荷受台３０Ａでは、回動軸３５Ａが回動することで、軸受３４Ａによって水平に保持されている基台部３１Ａが上方向に跳ね上げられ、カセット受入位置Ｕに位置する載置部３２Ａ及びガイドブロック３３Ａが上方向に跳ね上げられた状態で台待機位置Ｔまで回動する。
また、荷受台３０Ａは、基台２６（固定側）に固定される固定側ストッパー３８Ａ、３８Ｂ（ストッパー３８）によって、基台部３１Ａの回動範囲が制限される。具体的には、図８（ｂ）に示すように、カセット受入位置Ｕに位置する基台部３１Ａの下面に第１固定側ストッパー３８Ａが当接することで、基台部３１Ａがカセット受入位置Ｕで制止される。また、図８（ｃ）に示すように、カセット受入位置Ｕから台待機位置Ｔまで跳ね上げられた基台部３１Ａの上面に第２固定側ストッパー３８Ｂが当接することで、基台部３１Ａが台待機位置Ｔで制止される。なお、第１固定側ストッパー３８Ａは、基台部３１Ａをカセット受入位置Ｕで制止させる機能を有するとともに、基台部３１Ａの荷重を支える機能を有する。
【0037】
さらに、図９に示す荷受台３０Ｂのように、その軸心が水平方向である回動軸３５Ａによって、水平の基台部３１Ａを下方向に倒すことで載置部３２Ａ及びガイドブロック３３Ａ、３３Ｂを回動させても構わない。図９（ｂ）及び図９（ｃ）に示すように、荷受台３０Ｂでは、回動軸３５Ａが回動することで、軸受３４Ａによって水平に保持されている基台部３１Ａが下方向に倒され、カセット受入位置Ｕに位置する載置部３２Ａ及びガイドブロック３３Ａ、３３Ｂが下方向に倒された状態で台待機位置Ｔまで回動する。
また、荷受台３０Ｂは、基台２６（固定側）に固定される固定側ストッパー３９Ａ、３９Ｂ（ストッパー３９）によって、基台部３１Ａの回動範囲が制限される。具体的には、図９（ｂ）に示すように、カセット受入位置Ｕに位置する基台部３１Ａの側面（軸受３４側の側面）に第１固定側ストッパー３９Ａが当接することで、基台部３１Ａがカセット受入位置Ｕで制止される。また、図９（ｃ）に示すように、カセット受入位置Ｕから台待機位置Ｔに向けて倒された基台部３１Ａの下面に第２固定側ストッパー３９Ｂが当接することで、基台部３１Ａが台待機位置Ｔで制止される。
さらに、荷受台３０Ｂは、ガイドブロック３３Ｂにおいてカセット９０の角部の側面と当接する当接面３３ｂが、荷受台３０Ｂの回動軌道Ｋに沿った曲面によって構成されている。具体的には、ガイドブロック３３Ｂの当接面３３ｂを構成するガイドブロック３３Ｂの頂部を湾曲状に傾斜させている。
また、荷受台３０Ｂは、基台２６（固定側）に固定される固定側ストッパー３９Ａ、３９Ｂ（ストッパー３９）によって、基台部３１Ａの回動範囲が制限される。具体的には、図９（ｂ）に示すように、カセット受入位置Ｕに位置する基台部３１Ａの側面（軸受３４側の側面）に第１固定側ストッパー３９Ａが当接することで、基台部３１Ａがカセット受入位置Ｕで制止される。また、図９（ｃ）に示すように、カセット受入位置Ｕから台待機位置Ｔに向けて倒された基台部３１Ａの下面に第２固定側ストッパー３９Ｂが当接することで、基台部３１Ａが台待機位置Ｔで制止される。
さらに、荷受台３０Ｂは、ガイドブロック３３Ｂにおいてカセット９０の角部の側面と当接する当接面３３ｂが、荷受台３０Ｂの回動軌道Ｋに沿った曲面によって構成されている。具体的には、ガイドブロック３３Ｂの当接面３３ｂを構成するガイドブロック３３Ｂの頂部を湾曲状に傾斜させている。
【0038】
本実施の形態においては、荷受台３０の基台部３１を回動させているが、これに限定されるものではなく、荷受台３０の載置部３２を直接回動させても構わない。すなわち、荷受台３０においてカセット９０が載置される部分を直接回動させても構わない。この場合、荷受台３０を載置部３２のみで構成し、載置部３２に設けた回動軸３５を回動することによって載置部３２を回動させる。
本実施の形態においては、移載設備１０において移載される物品はカセット９０に限定されるものではなく、荷受台３０と移載機２０との間で移載を行うことが可能な物品であれば構わない。
本実施の形態においては、移載機２０の係止部２４Ａがカセット９０の上部の鉤状のフランジ部９２を係止した状態で、移載機２０がカセット９０を昇降移動させているが、これに限定されるものではなく、例えば、移載機２０がカセット９０の側面を把持した状態でカセット９０を昇降移動させても構わない。
本実施の形態においては、移載機２０が第１昇降部２２と第２昇降部２３とによる二段階の昇降移動によってカセット９０を昇降させているが、これに限定されるものではなく、第１昇降部２２又は第２昇降部２３のいずれか一方のみ、すなわち、一段階の昇降移動によってカセット９０を昇降させても構わない。また、第１昇降部２２は、係止機構２４に取り付けた昇降ベルト２２Ａを回動軸２２Ｂに対して巻き取り及び巻き出すことでカセット９０の昇降を行うが、これに限定されるものではなく、係止機構２４を吊下げ支持する支持枠をボールねじによって昇降させることによりカセット９０の昇降を行っても構わない。
本実施の形態においては、移載設備１０が基板９１に対して蒸着処理を行う蒸着装置８０に付設される設備であるが、これに限定されるものではなく、物品に対して処理を行う処理装置に物品を収容した容器を移載する移載設備であれば、蒸着装置８０以外の装置に付設される設備であっても構わない。
本実施の形態においては、ストッパー３７によって荷受台３０の回動範囲を制限しているが、これに限定されるものではなく、ストッパー３７を設けずに、センサ等によって荷受台３０（基台部３１）の位置を検出することで、荷受台３０の回動範囲を制限しても構わない。
本実施の形態においては、移載設備１０において移載される物品はカセット９０に限定されるものではなく、荷受台３０と移載機２０との間で移載を行うことが可能な物品であれば構わない。
本実施の形態においては、移載機２０の係止部２４Ａがカセット９０の上部の鉤状のフランジ部９２を係止した状態で、移載機２０がカセット９０を昇降移動させているが、これに限定されるものではなく、例えば、移載機２０がカセット９０の側面を把持した状態でカセット９０を昇降移動させても構わない。
本実施の形態においては、移載機２０が第１昇降部２２と第２昇降部２３とによる二段階の昇降移動によってカセット９０を昇降させているが、これに限定されるものではなく、第１昇降部２２又は第２昇降部２３のいずれか一方のみ、すなわち、一段階の昇降移動によってカセット９０を昇降させても構わない。また、第１昇降部２２は、係止機構２４に取り付けた昇降ベルト２２Ａを回動軸２２Ｂに対して巻き取り及び巻き出すことでカセット９０の昇降を行うが、これに限定されるものではなく、係止機構２４を吊下げ支持する支持枠をボールねじによって昇降させることによりカセット９０の昇降を行っても構わない。
本実施の形態においては、移載設備１０が基板９１に対して蒸着処理を行う蒸着装置８０に付設される設備であるが、これに限定されるものではなく、物品に対して処理を行う処理装置に物品を収容した容器を移載する移載設備であれば、蒸着装置８０以外の装置に付設される設備であっても構わない。
本実施の形態においては、ストッパー３７によって荷受台３０の回動範囲を制限しているが、これに限定されるものではなく、ストッパー３７を設けずに、センサ等によって荷受台３０（基台部３１）の位置を検出することで、荷受台３０の回動範囲を制限しても構わない。
【符号の説明】
【0039】
１０ 移載設備
２０ 移載機
３０ 荷受台
３５ 回動軸
８０ 蒸着装置（処理装置）
８３ ロードポート
９０ カセット（容器）
９１ 基板（物品）
Ｕ カセット受入位置（第１の位置）
Ｔ 台待機位置（第２の位置）
２０ 移載機
３０ 荷受台
３５ 回動軸
８０ 蒸着装置（処理装置）
８３ ロードポート
９０ カセット（容器）
９１ 基板（物品）
Ｕ カセット受入位置（第１の位置）
Ｔ 台待機位置（第２の位置）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】