技術分野
X線分析装置、X線分析用信号処理装置およびX線分析方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
特許文献1に記載されるX線分析装置によれば、階段波を微分波に変換することで、ダイナミックレンジを広くとれるため、分解能を高めることができる。そして、デジタルフィルタによって微分波を台形波または三角波に変換する変換処理を行なうことで、ピーク検出器においてピークの波高値を正確に算出することができる。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示のX線分析装置は、X線を検出するX線検出器と、X線検出器で検出された階段波を微分波に変換する微分回路と、微分波を入力波形として複数回の差分処理を行なうことによってピークを有する第1出力波形に変換する第1フィルタと、第1出力波形におけるピークの波高値を計数するピーク検出器とを備える。差分処理は、入力波形を遅延させる遅延処理と、遅延処理が行なわれた入力波形に対して係数を乗ずる乗算処理と、入・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
のX線分析装置において、差分処理による第1出力波形に変換する処理速度は、微分波におけるピークが立ち上がるまでの期間で決定される。そのため、三角波または台形波に変換する場合と比較して短時間で第1出力波形に変換することが可能となる。その結果、短時間に多くの微分波が入力されるような場合にもそれぞれの微分波に対応する波高値を正確に算出することができる。したがって、このX線分析装置によれば、高い計数率を確保することができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本実施の形態に係るX線分析装置の構成例を示す図である。
【図2】
微分波から台形波への変換処理について説明するための図である。
【図3】
台形波の重なりの一例について説明するための図である。
【図4】
2回差分フィルタの構成の一例を示す図である。
【図5】
2回差分フィルタの動作の一例を説明するための波形図である。
【図6】
信号処理装置において実行される処理の一例を示すフローチャートである。
【図7】
微分波と2回差分フィルタの出力波形との変化の一例を示すタイミングチャートである。
【図8】
第2の実施の形態のX線分析装置1において実行される処理の一例を示すフローチャートである。
1 エネルギ分散型蛍光X線分析装置、10 X線管球、12 検出器、14 プリアンプ、16 微分回路、18 アンプ、20 ADC、30 CPU、40 信号処理装置、44 オフセット補正部、46 波形変換部、46a 台形波変換フィルタ、46b 2回差分フィルタ、47 選択部、48 ベースライン補正部、50 オフセット調整部、52 ピーク検出器、54 ヒストグラムメモリ、100,104 シフトレジスタ、102,108 加算器、106 乗算器。
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