特許 7400775 天井搬送車

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-11

(45)【発行日】2023-12-19

(54)【発明の名称】天井搬送車

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20231212BHJP

   B61B 3/02 20060101ALI20231212BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20231212BHJP

【ＦＩ】

B65G1/04 551Z

B61B3/02 Z

H01L21/68 A

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2021089299

(22)【出願日】2021-05-27

(65)【公開番号】P2022182018

(43)【公開日】2022-12-08

【審査請求日】2022-08-26

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(72)【発明者】

【氏名】小林 誠

(72)【発明者】

【氏名】松村 陽平

【審査官】内田 茉李

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－０４６２８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－２８６３３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０５９１１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－３０７９１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０４８００４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／０２２９００３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】中国実用新案第２１０２５８６２７（ＣＮ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ １／０４

Ｂ６１Ｂ ３／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一対の外輪と、前記一対の外輪の内側に配置された一対の内輪とを含む車輪がレール上を転動して走行する天井搬送車であって、前記外輪の回転軸と前記内輪の回転軸は同じ方向に延び、
走行車本体と、
前記走行車本体に対する回転軸の位置が不動であるように前記走行車本体に取り付けられた前記外輪及び前記内輪の何れか一方と、
前記走行車本体に上下動自在に設けられた車輪フレームと、
前記車輪フレームに取り付けられた前記外輪及び前記内輪の何れか他方と、
前記車輪フレームと前記走行車本体の下面部との間において圧縮された状態で介在される弾性体と、
前記車輪フレームに当接することで前記下面部に対する前記車輪フレームの所定量以上の下降を阻止するストッパと、を備える天井搬送車。

【請求項2】

前記走行車本体の走行方向に交差する方向に移動する横移載機構を備え、
前記外輪は回転軸の位置が前記走行車本体に対して不動であるように前記走行車本体に取り付けられ、前記内輪は前記車輪フレームに取り付けられて上下動可能であり、
前記外輪は前記レール上を転動して前記走行車本体を支持する、請求項１に記載の天井搬送車。

【請求項3】

前記車輪フレームは、シャフト部材を介して前記走行車本体に取り付けられており、前記シャフト部材の軸線を中心に上下方向に揺動自在である、
請求項１又は２に記載の天井搬送車。

【請求項4】

前記レールは、第１走行面と、前記第１走行面よりも高い第２走行面とを含み、
前記外輪は回転軸の位置が前記走行車本体に対して不動であるように前記走行車本体に取り付けられ、前記内輪は前記車輪フレームに取り付けられて上下動可能であり、
前記天井搬送車の走行状態が前記第１走行面上を前記外輪が転動する第１走行状態から、前記第２走行面上を前記内輪が転動する第２走行状態へと変わったときに、前記弾性体は、前記ストッパに対して上昇した前記車輪フレームと前記下面部との間に介在されて上下方向に更に圧縮される、
請求項１～３の何れか一項に記載の天井搬送車。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、天井搬送車に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、天井に吊り下げられた走行レールに沿って走行する天井搬送車が知られている。例えば、特許文献１に記載される天井搬送車において、昇降装置は、複数のベルトが取り付けられる緩衝機構を備えている。把持部が設けられるベース部は、防振部を介して、支持部に対して鉛直方向に移動可能に設けられている。これらの構成により、この天井搬送車は、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品の揺れを抑制している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０１８／０７９１４６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、天井搬送車が走行する際、レール上を転動する車輪に対し、レールの継ぎ目（接続）部分等において衝撃が加わる場合がある。例えば、あるレールから他のレールに車輪が乗り移る場合等に、レールの接地面（走行面）の高さが想定される高さとは異なる（段差がある）等の理由により、車輪に多少の衝撃が加わり得る。車輪に衝撃が加わると、天井搬送車全体に振動が生じ、結果として搬送物に振動が加わり得る。

【0005】

本開示は、車輪に加わる所定量以上の衝撃を好適に緩和することで天井搬送車全体の振動を抑制することができる天井搬送車を説明する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様は、レール上を車輪が転動して走行する天井搬送車であって、走行車本体と、走行車本体に上下動自在に設けられる車輪フレームと、車輪フレームに取り付けられる車輪と、車輪フレームと走行車本体の下面部との間において圧縮された状態で介在される弾性体と、車輪フレームに当接することで下面部に対する車輪フレームの所定量以上の下降を阻止するストッパと、を備える。

【0007】

この天井搬送車によれば、通常の走行時には、弾性体は、ストッパに当接する車輪フレームと走行車本体の下面部との間に介在され、圧縮されている。圧縮（プリロード）された弾性体は、容易には縮まないため、通常の走行時においては、加減速時等のようにある程度（所定量以下）の力が加わった際においても車輪フレームはまったく或いはほとんど上下動せず、走行車本体は上下方向の姿勢を変える（前後方向において傾く）ことなく安定した状態で走行する。一方、あるレールから他のレールに車輪が乗り移る場合等に、車輪に所定量以上の衝撃が加わる場合がある。このような場合、この衝撃力によって、車輪フレームと下面部との間の弾性体が更に圧縮される。よって、車輪に加わる所定量以上の衝撃が、圧縮される弾性体によって好適に緩和（吸収）され、その結果として天井搬送車全体の振動を抑制することができる。

【0008】

天井搬送車は、走行車本体の走行方向に交差する方向に移動する横移載機構と、走行車本体に取り付けられ、レール上を転動して走行車本体を支持する補助車輪と、を備えてもよい。この構成によれば、横移載時に、弾性体が偏荷重を受けて圧縮されることがあっても、補助車輪が走行車本体を支持する。よって、横移載時の偏荷重により走行車本体が横方向において傾くのを防止することができる。

【0009】

車輪フレームは、シャフト部材を介して走行車本体に取り付けられており、シャフト部材の軸線を中心に上下方向に揺動自在であってもよい。この構成によれば、上下動自在な車輪フレームを簡易な構成で実現することができる。

【0010】

レールは、第１走行面と、第１走行面よりも高い第２走行面とを含み、天井搬送車の走行状態が第１走行面上を車輪が転動する第１走行状態から、第２走行面上を車輪が転動する第２走行状態へと変わったときに、弾性体は、ストッパに対して上昇した車輪フレームと下面部との間に介在されて上下方向に更に圧縮されてもよい。この構成によれば、レールにおいて段差又は高さの変化が存在する場合等でも、そのような部分を通過して走行状態が変わる際の天井搬送車全体の振動を抑制することができる。

【発明の効果】

【0011】

本開示の天井搬送車によれば、車輪に加わる衝撃が弾性体によって好適に緩和され、その結果として天井搬送車全体の振動を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は本開示の一実施形態に係る天井搬送車システムにおける天井搬送車及びレールを示す概略側面図である。

【図2】図２は天井搬送車の走行部の概略構成を示す斜視図である。

【図3】図３は走行部における走行車本体と複数の車輪の配置を示す平面図である。

【図4】図４は走行車本体に対する内輪、車輪フレーム、ストッパ及びスプリングの取付構造（サスペンションユニット）を示す斜視図である。

【図5】図５はレール上における天井搬送車の走行状態（位置）を示す平面図である。

【図6】図６は図５に続く天井搬送車の走行状態（位置）を示す平面図である。

【図7】図７は図６の走行状態におけるサスペンションユニットを示す側面図である。

【図8】図８は図６に続く天井搬送車の走行状態（位置）を示す平面図である。

【図9】図９（ａ）は図８の走行状態におけるサスペンションユニットを示す側面図、図９（ｂ）は図１０の走行状態におけるサスペンションユニットを示す側面図である。

【図10】図１０は図８に続く天井搬送車の走行状態（位置）を示す平面図である。

【図11】図１１は天井搬送車における他方のサスペンションユニットを示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0014】

図１に示されるように、天井搬送車システム１は、軌道４に沿って移動可能な天井搬送車６を用いて、物品１０を搬送するためのシステムである。物品１０には、例えば、複数の半導体ウェハを格納する容器、ガラス基板を格納する容器、レチクルポッド、一般部品等が含まれる。天井搬送車６（以下、単に「搬送車６」と称する。）は、工場の天井等に敷設された軌道４に沿って走行する。軌道４の側方には、物品１０を保管するための載置部８を有する保管棚１１が設置されている。載置部８上に、搬送車６から移載された物品１０が載置される。保管棚１１は、搬送車６から移載された物品１０を受け、支持し、保管する。

【0015】

軌道４は、例えば、作業者の頭上スペースである天井付近に敷設されている。軌道４は、例えば、天井から吊り下げられている。軌道４は、搬送車６を走行させるための予め定められた走行路である。軌道４は、例えば、複数の軌道支柱５によって吊り下げ支持される。保管棚１１は、複数の棚支柱９によって吊り下げ支持される。

【0016】

搬送車６は、例えば天井走行式無人走行車である。搬送車６は、軌道４に沿って走行し、物品１０を搬送する。搬送車６は、例えば、軌道４に沿って＋Ｘ方向（所定の走行方向）に走行する。搬送車６は、物品１０を保管棚１１の載置部８に移載可能に構成されている。軌道４を走行する搬送車６は、例えば、物品１０をＹ方向（水平面内における横方向）に沿って移載する。物品１０の移載方向であるＹ方向は、搬送車６の走行方向であるＸ方向に例えば水平面内において直交する。なお、天井搬送車システム１が備える搬送車６の台数は、特に限定されず、複数である。

【0017】

搬送車６は、搬送車６を軌道４に沿って走行させる走行部１８と、例えば、非接触給電で軌道４側から受電する受電通信部２０と、を有する。搬送車６は、軌道４の通信線（フィーダー線）等を利用して、図示しないコントローラと通信を行う。なお、搬送車６は、軌道４に沿って設けられた給電線を介してコントローラと通信を行ってもよい。搬送車６は、本体フレーム２２と、横移載部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台（昇降部）３０と、本体カバー３３と、を有する。

【0018】

横移載部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括してＹ方向に移動させる。横移載部２４の下側に、θドライブ２６が取り付けられている。横移載部２４は、駆動モータ、ベルト、ギア、プーリ等を有しており、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０をＹ方向に移動させる。なお、横移載部２４の構成は、上記に限られず、物品１０の横移載を可能とする他の公知な構成が採用されてもよい。

【0019】

θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０を保持し、昇降駆動部２８を水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、昇降台３０をワイヤ、ロープ及びベルト等の吊持材の巻取りないし繰出しによって昇降させる。昇降台３０には、把持部３１（チャックとも呼ばれる）が設けられている。把持部３１は、物品１０を把持又は解放することが可能である。昇降台３０は、物品１０を把持して昇降させる。本体カバー３３は、例えば搬送車６の走行方向の前後に一対設けられている。本体カバー３３は、図示しない爪等を物品１０の下方に対して出没させて、搬送中に物品１０が落下することを防止する。

【0020】

搬送車６は、上記した横移載部２４、θドライブ２６、昇降駆動部２８、及び、把持部３１を含んだ昇降台３０を有する横移載機構７を備える。搬送車６は、横移載機構７により、物品１０を保管棚１１のバッファ８Ａ（載置部８）との間で移載する。搬送車６は、横移載部２４によって昇降駆動部２８等を移載し、昇降台３０を僅かに昇降させることによって、保管棚１１のバッファ８Ａとの間で物品１０を受け渡しする。

【0021】

搬送車６との間で物品１０が受け渡しされる載置部８には、例えば、バッファ８Ａ及び受渡ポート８Ｂが含まれる。バッファ８Ａは、物品１０が一時的に載置される載置部である。バッファ８Ａは、例えば、天井から棚支柱９により吊り下げられている。例えば、目的とする受渡ポート８Ｂに他の物品１０が載置されている等の理由により、搬送車６が搬送している物品１０をその受渡ポート８Ｂに移載できない場合に、バッファ８Ａに物品１０が仮置きされる。受渡ポート８Ｂは、例えば洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置１２に対して物品１０の受渡を行うための載置部である。なお、処理装置１２は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。

【0022】

横移載機構７は、バッファ８Ａとの間で物品１０を受け渡しするため、搬送車６の走行方向に直交する方向（交差する方向）に移動する。図１に示される例では、受渡ポート８Ｂは、軌道４すなわち搬送車６の真下に位置するが、受渡ポート８Ｂが、Ｙ方向において軌道４（搬送車６）の位置の側方に配置されてもよい。その場合、搬送車６は、横移載部２４によって昇降駆動部２８等を移動させ、昇降駆動部２８によって昇降台３０を昇降させることによって、受渡ポート８Ｂ（載置部８）との間で物品１０を受け渡しする。すなわち、横移載機構７は、受渡ポート８Ｂとの間で物品１０を受け渡しするため、搬送車６の走行方向に直交する方向（交差する方向）に移動する。

【0023】

以下、図１～図３を参照して、搬送車６の走行部１８に備えられた、走行振動を低減するための機構について説明する。搬送車６の走行部１８は、軌道４のレール４ａ（図１参照）上を走行車輪４０が転動することによって走行する。走行部１８は、走行車輪４０がレール４ａの走行面４ｂ（図１参照）に接触することで生じる走行車輪４０と走行面４ｂとの間の摩擦を利用して、推進力を得る。レール４ａの走行面４ｂは、平坦面をなしており、例えば水平方向に延在する。

【0024】

走行部１８は、複数の走行車輪４０を有する。図２及び図３に示されるように、走行車輪４０は、左右一対の前側の内輪４１と、左右一対の前側の外輪４２と、左右一対の後側の内輪４３と、左右一対の後側の外輪４４とを含む。すなわち、搬送車６は、８つの車輪を含む。内輪４１及び内輪４３は、Ｙ方向（水平方向）に延びる内輪軸線Ｌ１を有する。外輪４２及び外輪４４は、Ｙ方向（水平方向）に延びる外輪軸線Ｌ２を有する。一対の内輪４１の左右の内輪軸線Ｌ１は、例えば同一直線上に位置する。一対の内輪４３の左右の内輪軸線Ｌ１は、例えば同一直線上に位置する。前側の外輪４２及び後側の外輪４４についても、外輪軸線Ｌ２は、それぞれ同一直線上に位置する。前側の内輪４１と外輪４２に関して、内輪軸線Ｌ１と外輪軸線Ｌ２が同一直線上に位置してもよいが、これらがＸ方向及び／又はＺ方向にずれた位置に配置されてもよい。後側の内輪４３と外輪４４に関しても、内輪軸線Ｌ１と外輪軸線Ｌ２が同一直線上に位置してもよいが、これらがＸ方向及び／又はＺ方向にずれた位置に配置されてもよい。なお、図２に示されるように、走行部１８は、複数のサイドローラ４５及び複数の分岐ローラ４６を有してもよい。サイドローラ４５及び分岐ローラ４６の回転軸線はＺ方向に延びる。

【0025】

搬送車６では、例えば、合計４つの外輪４２，４４が、受電通信部２０にて受電した電力により回転駆動されて、レール４ａ上での推進力を発生させる。搬送車６では、例えば、合計４つの内輪４１，４３は、回転駆動されず、従動回転する。なお、この関係が逆であってもよく、４つの内輪４１，４３が回転駆動され、４つの外輪４２，４４が従動回転してもよい。また、走行車輪４０を電動モータ等で直接回転駆動するのではなく、走行部１８にＬＤＭ（Linear DC Motor）を設け、レール４ａに磁気プレートを設けることによって走行部１８に推力を付与するようにし、走行車輪４０を全て従動車輪としてもよい。

【0026】

内輪４１の直径は、例えば、外輪４２の直径より小さい。内輪４１が接触する面と外輪４２が接触する面は共通の平坦な走行面（例えば、図５に示される一般走行面７１、第１補助走行面７２及び第２補助走行面７３）であるから、内輪４１の下面と外輪４２の下面は同じ高さに配置される。その場合、内輪４１の内輪軸線Ｌ１は、外輪４２の外輪軸線Ｌ２よりも僅かに低い位置に位置する。内輪４３の直径と、外輪４４の直径と、これらの内輪軸線Ｌ１及び外輪軸線Ｌ２についても、同様のことが言える。なお、必ずしも内輪４１の直径を外輪４２の直径より小さくする必要はなく、例えば内輪４１の直径と外輪４２の直径を等しくしてもよい。

【0027】

走行部１８は、例えば、ＸＹ平面に沿って板状に延在する走行車本体１５を有する。走行車本体１５には、内輪４１、外輪４２、内輪４３、外輪４４、サイドローラ４５、及び分岐ローラ４６が取り付けられる。走行車本体１５は、これらの車輪及びローラを取り付けることができる構造であればよく、走行車本体１５の形状は板状に限定されない。

【0028】

図３に示されるように、搬送車６は、走行振動を低減するための機構として、２つのサスペンションユニット１００を備える。走行車本体１５の前後に１つずつ、サスペンションユニット１００が設けられている。前側の一対の内輪４１は、前側のサスペンションユニット１００によって振動低減に寄与する上下動可能な車輪である。後側の一対の内輪４３は、後側のサスペンションユニット１００によって振動低減に寄与する上下動可能な車輪である。前側の一対の外輪４２と、後側の一対の外輪４４とは、レール４ａ上に乗って走行車本体１５を支持する補助車輪である。外輪４２及び外輪４４は、走行車本体１５に対して回転自在に取り付けられているが、それらの回転軸の位置は走行車本体１５に対して不動であり、したがって外輪４２及び外輪４４の外輪軸線Ｌ２は、走行車本体１５に対して不動である。外輪４２及び外輪４４は、走行車本体１５にリジッドに取り付けられている。

【0029】

走行車本体１５、及び、走行車本体１５に取り付けられる外輪４２と外輪４４等の構造は、ＹＺ平面に沿って延びる中央面Ｐに関して、面対称をなしている。したがって、内輪４１の前側（図３の図示左側）には、Ｙ方向に離間する２つの取付部５５，５５が形成されており、内輪４１の後側（図３の図示右側）には、Ｙ方向に離間する２つの取付部６５，６５が形成されている。これらの取付部５５及び取付部６５は、後述するサスペンションユニット１００の構成部品を取り付けるための部分であり、走行車本体１５の下面部１５ａに形成されている。内輪４１（内輪軸線Ｌ１）を基準として、取付部５５及び取付部６５は、Ｘ方向に等しい距離となる位置に配置されている。一方、内輪４３の前側（図３の図示左側）には、Ｙ方向に離間する２つの取付部６５，６５が形成されており、内輪４１の後側（図３の図示右側）には、Ｙ方向に離間する２つの取付部５５，５５が形成されている。内輪４１（内輪軸線Ｌ１）を基準として、取付部５５及び取付部６５は、Ｘ方向に等しい距離となる位置に配置されている。なお、外輪４２と外輪４４はいずれも駆動車輪であるから、それらの回転方向は、当然ながら面対称にはならず、同一の方向である。すなわち、外輪４２と外輪４４の回転方向は、Ｙ方向から見ていずれも反時計回りである。

【0030】

各車輪について詳細に説明すると、前側の内輪４１は、左の内輪４１Ａと右の内輪４１Ｂとを含む。前側の外輪４２は、左の外輪４２Ａと右の外輪４２Ｂとを含む。後側の内輪４３は、左の内輪４３Ａと右の内輪４３Ｂとを含む。後側の外輪４４は、左の外輪４４Ａと右の外輪４４Ｂとを含む。左右一対の車輪（例えば前側の左の内輪４１Ａと前側の右の内輪４１Ｂ等）としては、４組とも、同一の直径を有する同一の車輪が用いられる。走行車本体１５の前部において、左の外輪４２Ａ、左の内輪４１Ａ、右の内輪４１Ｂ、及び右の外輪４２Ｂは、Ｙ方向に離間して横一列に配設されている。走行車本体１５の後部において、左の外輪４４Ａ、左の内輪４３Ａ、右の内輪４３Ｂ、及び右の外輪４４Ｂは、Ｙ方向に離間して横一列に配設されている。

【0031】

続いて、図３、図４及び図７を参照して、サスペンションユニット１００の構成について詳細に説明する。以下の説明では、前側のサスペンションユニット１００を例に説明するが、後側のサスペンションユニット１００も同様の構成を有する。また、図７では、前側のサスペンションユニット１００における右の内輪４１Ｂの挙動が例示されている。以下、サスペンションユニット１００を単にユニット１００と称する。図４に示されるように、ユニット１００は、走行車本体１５の下面部１５ａ側に設けられている。ユニット１００は、走行車本体１５に上下動自在に設けられる左右一対の車輪フレーム５６，５６と、車輪フレーム５６に取り付けられる前側の左の内輪４１Ａ及び前側の右の内輪４１Ｂとを備える。

【0032】

車輪フレーム５６，５６は、１つのシャフト部材５０を介して走行車本体１５の下面部１５ａ側に取り付けられている。図３及び図４に示されるように、シャフト部材５０は、１つの中間部材５１と、中間部材５１のＹ方向の両側に設けられた左右一対の支軸部５２，５２とを含む。中間部材５１は、例えば矩形のブロック状を呈しており、２箇所の取付部５５において、ビス等によって走行車本体１５の下面部１５ａに固定されている。左右一対の支軸部５２，５２は、１本の（共通の）揺動軸線ＬＡを有している。

【0033】

車輪フレーム５６は、支軸部５２が挿通される基部５７と、基部５７から後方（－Ｘ方向）に延びるアーム部５８と、アーム部５８の後端に設けられた先端部５９とを含む。アーム部５８は、取付部６５の側面に沿ってＸＺ平面に沿って延びる薄板状をなしており、このアーム部５８の側面に、Ｙ方向に突出する車輪軸４７を介して前側の左の内輪４１Ａ（又は前側の右の内輪４１Ｂ）が取り付けられている。前側の左の内輪４１Ａ及び前側の右の内輪４１Ｂは、車輪軸４７の内輪軸線Ｌ１を中心に回転自在である。車輪フレーム５６は、シャフト部材５０の揺動軸線ＬＡを中心に上下方向に揺動自在である。車輪フレーム５６の揺動範囲は、後述する構造によって例えば２°程度（又はそれ未満）に限定されるので、アーム部５８及び先端部５９の移動は、（厳密には弧状の軌跡を描くが）上下動であるとみなせる。

【0034】

ユニット１００は、車輪フレーム５６の先端部５９の上下方向の移動範囲を規制する１つのストッパ６４と、一対の先端部５９に与圧（プリロード）を与える左右一対のスプリング６０，６０とを備える。ストッパ６４は、１つの取付部６５と、取付部６５のＹ方向の両側に設けられた左右一対のストッパ板６６，６６とを含む。取付部６５は、例えば矩形のブロック状を呈しており、２箇所の取付部６５において、ビス等によって走行車本体１５の下面部１５ａに固定されている。

【0035】

走行車本体１５の下面部１５ａは平坦面を形成しており、ストッパ板６６は、下面部１５ａに略平行に延びる。ストッパ板６６と下面部１５ａとの間に、車輪フレーム５６の先端部５９が配置されている。詳細には、先端部５９は、取付部６５の側面に沿ってＸＺ平面に沿って延びる先端板部５９ａと、先端板部５９ａの下端に連接されてＸＹ平面に沿って延びる板状のスプリング保持部５９ｂとを含む。スプリング保持部５９ｂが、ストッパ板６６と下面部１５ａ（これらはいずれもＸＹ平面に沿って延びる）との間に配置されている。

【0036】

車輪フレーム５６が揺動すると先端部５９のスプリング保持部５９ｂが上下動するが、スプリング保持部５９ｂと下面部１５ａとの間には、Ｚ方向に延びる軸線を有するスプリング（弾性体）６０が介在されている。スプリング６０は、例えば、圧縮コイルばねである。スプリング６０の上端６１は走行車本体１５の下面部１５ａに当接している。例えば、下面部１５ａに円形の凹部等が形成され、上端６１がその凹部に嵌め込まれることで、上端６１のＸ方向及びＹ方向における移動が規制されてもよい。スプリング６０の下端６２は、スプリング保持部５９ｂ上に突出するピン等からなる保持部材５９ｃによって、スプリング保持部５９ｂに保持されている。

【0037】

更に、車輪フレーム５６がＹ方向から見て時計回りに揺動すると、先端部５９のスプリング保持部５９ｂが下降するが、ストッパ６４のストッパ板６６が、スプリング保持部５９ｂに当接することで、下面部１５ａに対するスプリング保持部５９ｂ（車輪フレーム５６）の所定量以上の下降を阻止する。ストッパ６４は、車輪フレーム５６の可動域を制限する。車輪フレーム５６のスプリング保持部５９ｂは、Ｚ方向において、スプリング６０の下端６２とストッパ板６６との間で挟まれている。別の観点では、スプリング６０は、走行車本体１５の下面部１５ａとスプリング保持部５９ｂとの間で挟まれている。スプリング保持部５９ｂがスプリング６０からの付勢力を受けてストッパ板６６に当接する状態において、スプリング保持部５９ｂと下面部１５ａとの間に介在されたスプリング６０は、その自然長よりも短い第１圧縮長を有している（図７参照）。すなわち、スプリング６０は、スプリング保持部５９ｂと下面部１５ａとの間において圧縮された状態で介在されている。

【0038】

この内輪４１の初期位置において、内輪４１の下端に位置する周面４１ａの高さは、外輪４２の下端に位置する周面の高さに等しい。

【0039】

ユニット１００では、内輪４１（或いは搬送車６）に所定量以上の衝撃が加わった場合に、その衝撃力がスプリング６０を更に縮め、車輪フレーム５６の先端部５９が上昇する（すなわち下面部１５ａに近づく）（９（ａ）参照）。車輪フレーム５６の揺動に伴って、アーム部５８に取り付けられた内輪４１も上下動する。内輪４１が上昇した場合に、内輪４１が走行車本体１５に干渉（接触）しないよう、走行車本体１５には、例えば矩形の凹部１５ｂ（図４参照）が形成されている。凹部１５ｂは、側方に開放された凹状である場合に限られず、走行車本体１５に矩形の開口が設けられてもよい。なお、車輪フレーム５６の上限位置においても、車輪フレーム５６のアーム部５８及び先端部５９が走行車本体１５に干渉（接触）しないよう、車輪フレーム５６の形状に応じて、走行車本体１５に凹部又は開口等が形成されている。

【0040】

以上の構成を有するユニット１００を備えた搬送車６が、レール４ａ上を走行する場合のユニット１００による振動低減作用について説明する。図５、図６、図８及び図１０では、軌道４が２方向に分岐する部分（いわゆる三角州の部分）が示されている。図５に示されるように、搬送車６は、一般走行面７１，７１上を走行している。この走行状態Ｓ１において、左右の外輪４２，４４（すなわち前側の左の外輪４２Ａ、前側の右の外輪４２Ｂ、後側の左の外輪４４Ａ、及び後側の右の外輪４４Ｂ）のみが、一般走行面７１に接地している。続いて、図６に示されるように、前側の左の内輪４１Ａが第１補助走行面７２に乗り上げる。第１補助走行面７２は一般走行面７１と同一の高さをもって平坦な走行面を形成している場合、第１補助走行面７２に乗り上げた前側の左の内輪４１Ａには、衝撃は加わらない。

【0041】

図６に示される走行状態Ｓ２において、前側の右の外輪４２Ｂの下端に位置する周面４１ａは、一般走行面７１と同一の高さをもって平坦な走行面を形成する第２補助走行面７３上の高さに位置する（図７参照）。前側の右の内輪４１Ｂは、平面的に見て間隙Ｇ内に位置しており、空中に浮いている。

【0042】

続いて、図８に示されるように、三角州の中央に位置する第３補助走行面７４に前側の右の内輪４１Ｂが乗り上げ、前側の右の外輪４２Ｂが第２補助走行面７３から離れ始める。この走行状態Ｓ３において、第３補助走行面７４の接地面（走行面）の高さが想定される高さとは異なり、実際に第２補助走行面７３よりも高くなっている場合（図９（ａ）参照）、前側の右の内輪４１Ｂが段差に乗り上げた際の衝撃荷重により、車輪フレーム５６が揺動軸線ＬＡの周りで揺動し、アーム部５８及び先端部５９がスプリング６０の付勢力に抗して上方に移動（ストローク）する。スプリング保持部５９ｂは、ストッパ６４のストッパ板６６に対して上昇し、ストッパ板６６から離れる。このとき、スプリング６０は、ストッパ板６６に対して上昇したスプリング保持部５９ｂと下面部１５ａとの間に介在されて、上下方向に第１圧縮長よりも短い第２圧縮長となる。なお、前側の右の内輪４１Ｂは、走行車本体１５の凹部１５ｂ内に進入する。

【0043】

続いて、図１０に示されるように、前側の右の外輪４２Ｂは完全に第２補助走行面７３から離れて浮いた状態となり、前側の右の内輪４１Ｂが第３補助走行面７４上を走行する。この走行状態Ｓ４において、前側の右の内輪４１Ｂは、一段高い第３補助走行面７４上を走行するが、スプリング６０は第１圧縮長に戻り、前側の右の内輪４１Ｂは上述した初期位置に戻る（図９（ｂ）参照）。

【0044】

このように、レール４ａが、一般走行面７１及び第２補助走行面７３（第１走行面）と、一般走行面７１及び第２補助走行面７３よりも高い第３補助走行面７４（第２走行面）とを含む。搬送車６が一般走行面７１及び第２補助走行面７３上を走行する走行状態Ｓ１，Ｓ２（第１走行状態）から、前側の右の内輪４１Ｂが第３補助走行面７４上を転動する走行状態Ｓ３（第２走行状態）へと変わったときに、スプリング６０は、ストッパ６４に対して上昇した車輪フレーム５６と下面部１５ａとの間に介在されて上下方向に更に圧縮される。

【0045】

本実施形態の搬送車６によれば、通常の走行時には、スプリング６０は、ストッパ６４に当接する車輪フレーム５６と下面部１５ａとの間に介在され、圧縮されている。圧縮（プリロード）されたスプリング６０は、容易には縮まないため、通常の走行時においては、加減速時等のようにある程度（所定量以下）の力が加わった際においても車輪フレーム５６はまったく或いはほとんど上下動せず、走行車本体１５は上下方向の姿勢を変える（前後方向において傾く）ことなく安定した状態で走行する。一方、あるレールから他のレールに内輪４１（又は内輪４３のいずれか）が乗り移る場合等に、内輪４１（又は内輪４３のいずれか）に所定量以上の衝撃が加わる場合がある。このような場合、この衝撃力によって、車輪フレーム５６と下面部１５ａとの間のスプリング６０が更に圧縮される。よって、内輪４１（又は内輪４３のいずれか）に加わる所定量以上の衝撃が、圧縮されるスプリング６０によって好適に緩和（吸収）され、その結果として搬送車６全体の振動を抑制することができる。

【0046】

搬送車６は、走行車本体１５の走行方向に直交するＹ方向に移動する横移載機構７と、走行車本体１５に取り付けられ、レール４ａ上を転動して走行車本体１５を支持する外輪４２，４４とを備える。よって、横移載時に、スプリング６０が偏荷重を受けて圧縮されることがあっても、リジッドな外輪４２，４４が走行車本体１５を支持する。よって、横移載時の偏荷重により走行車本体１５が横方向において傾くのを防止することができる。

【0047】

車輪フレーム５６は、シャフト部材５０を介して走行車本体１５に取り付けられており、シャフト部材５０の揺動軸線ＬＡを中心に上下方向に揺動自在である。これにより、上下動自在な車輪フレーム５６が簡易な構成で実現されている。

【0048】

搬送車６の走行状態が一般走行面７１及び第２補助走行面７３上を前側の右の外輪４２Ｂが転動する走行状態Ｓ１，Ｓ２（第１走行状態）から、第３補助走行面７４上を前側の右の内輪４１Ｂが転動する走行状態Ｓ３（第２走行状態）へと変わったときに、スプリング６０は、車輪フレーム５６と下面部１５ａとの間に介在されて上下方向に更に圧縮される。レール４ａにおいて段差又は高さの変化が存在する場合でも、そのような部分を通過して走行状態が変わる際の搬送車６全体の振動が抑制される。

【0049】

さらに、図１１に示される後側のユニット１００のように、ユニット１００では、Ｘ方向に関して１８０°向きを変えて走行車本体１５に取り付けることが可能となっており、部品が共有化されている。すなわち、後側のユニット１００では、取付部６５にシャフト部材５０が取り付けられ、取付部５５にストッパ６４が取り付けられている。搬送車６では、走行方向である＋Ｘ方向において、シャフト部材５０すなわち揺動軸線ＬＡの後側に内輪４１，４３すなわち内輪軸線Ｌ１が位置する。この位置関係は、図９（ａ）に示されるような車輪フレーム５６及びスプリング６０による振動低減には有効である。

【0050】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られない。たとえば、車輪フレームは、車輪フレーム５６のようにアーム部５８を備える形態に限られず、走行車本体１５に対して上下動自在な他の形態を採ってもよい。弾性体は、コイルばねからなる場合に限られず、ゴム等の他の弾性部材からなってもよい。

【0051】

内輪４１，４３が走行車本体１５にリジッドに取り付けられ、外輪４２，４４にユニット１００と同様の機構が備えられてもよい。或いは、内輪４１，４３のユニット１００に加えて、外輪４２，４４にユニット１００と同様の機構が備えられてもよい。

【0052】

前側のユニット１００又は後側のユニット１００のいずれか一方が省略されてもよい。搬送車６が、４つのみの車輪（すなわち一対の内輪４１と一対の外輪４２）を備えてもよい。走行車本体１５に対してリジッドな車輪（上記実施形態における外輪４２，４４）が省略され、振動低減（衝撃吸収）のための車輪のみが設けられてもよい。

【符号の説明】

【0053】

１…天井搬送車システム、４ａ…レール、７…横移載機構、１５…走行車本体、１５ａ…下面部、４１…内輪、４２…外輪、４３…内輪、４４…外輪、５０…シャフト部材、５６…車輪フレーム、６０…スプリング（弾性体）、６４…ストッパ、ＬＡ…揺動軸線（シャフト部材５０の軸線）、１００…サスペンションユニット。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】