特許 7401219 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-11

(45)【発行日】2023-12-19

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20231212BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20231212BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 D

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2019141178

(22)【出願日】2019-07-31

(65)【公開番号】P2021027075

(43)【公開日】2021-02-22

【審査請求日】2022-07-05

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】細川 正己

(72)【発明者】

【氏名】小林 敏之

【審査官】井上 和俊

(56)【参考文献】

【文献】登録実用新案第３１６９４６０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００７－１１６０５９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ ９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、前記アーム支持部を昇降可能に保持する門型の門型フレームとを備え、
前記アームは、前記アーム支持部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに前記ハンドが先端側に回動可能に連結される第２アーム部とを備え、
水平方向のうちの所定の方向を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する方向を前後方向とすると、
前記門型フレームは、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を備え、
前記ハンドおよび前記アームは、左右方向において２本の前記支柱の間に配置され、
前記アーム支持部に対する前記第１アーム部の回動中心を第１回動中心とし、前記第１アーム部に対する前記第２アーム部の回動中心を第２回動中心とし、前記第２アーム部に対する前記ハンドの回動中心を第３回動中心とし、左右方向における２本の前記支柱の間の中心位置を支柱間中心とすると、
前記第１回動中心と前記第２回動中心との距離と、前記第２回動中心と前記第３回動中心との距離とは等しくなっており、
前記アーム支持部に対して前記第１アーム部が回動して前記第２回動中心が前後方向において前記第１回動中心と同じ位置に配置されるときに、前記第２回動中心は、前記支柱間中心よりも左右方向の一方側に配置され、
前記第１回動中心は、前記支柱間中心よりも左右方向の他方側に配置され、
前記ハンドは、縮んでいる状態の前記アームが伸びるときに前記ハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向の一方側に直線的に移動し、
前記門型フレームの前後方向の中心位置をフレーム中心とすると、
前記第１回動中心は、前記フレーム中心よりも前後方向の他方側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記ハンドの前後方向の長さは、前記第１アーム部の長さおよび前記第２アーム部の長さよりも長くなっていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

上下方向を回動の軸方向とする前記門型フレームの回動が可能となるように前記門型フレームが載置されるベース部材を備え、
前記ハンドは、前記アームの伸縮時に前記ハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動し、
前記ベース部材に対する前記門型フレームの回動中心を第４回動中心とし、前記ハンドの左右方向の中心位置をハンド中心とすると、
前記第１回動中心は、左右方向において前記第４回動中心とずれた位置に配置され、
前記ハンド中心は、左右方向において前記第４回動中心と同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送する搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送装置は、門型フレームと、門型フレームに昇降可能に保持される移動体とを備えている。門型フレームは、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２個の支柱と、２個の支柱の上下の両端部同士を繋ぐ２個の連結部とを備えている。移動体は、多関節アームである搬送アームと、搬送アームの先端側に回動可能に連結されるハンド（エンドエフェクタ）と、搬送アームの基端側が回動可能に連結される基台とを備えている。

【0003】

特許文献１に記載の搬送装置では、搬送アームは、基端側が基台に回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とから構成されている。ハンドは、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されている。ハンドには、半導体ウエハが搭載される。基台は、２個の支柱に昇降可能に取り付けられている。移動体は、左右方向において２個の支柱の間に配置されている。特許文献１に記載の搬送装置では、半導体ウエハの搬送時に、ハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢でハンドが前後方向に直線的に移動するようにアームが伸縮する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１３－１１８２２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載された搬送装置のような搬送装置では、第１アーム部および第２アーム部の長さを長くすれば、搬送アームが伸びているときの搬送アームの前後方向の長さを長くすることができるため、ハンドに搭載される半導体ウエハを前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能になる。一方で、この搬送装置の場合、第１アーム部および第２アーム部の長さを長くすると、伸びている搬送アームが縮まるときに、第１アーム部と第２アーム部との連結部分や第２アーム部とハンドとの連結部分が門型フレームの支柱に干渉するおそれが生じる。

【0006】

そこで、本発明の課題は、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を有する門型の門型フレームを備える産業用ロボットにおいて、ハンドに搭載される搬送対象物を前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アームと支柱との干渉を防止することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、アーム支持部を昇降可能に保持する門型の門型フレームとを備え、アームは、アーム支持部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともにハンドが先端側に回動可能に連結される第２アーム部とを備え、水平方向のうちの所定の方向を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する方向を前後方向とすると、門型フレームは、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を備え、ハンドおよびアームは、左右方向において２本の支柱の間に配置され、アーム支持部に対する第１アーム部の回動中心を第１回動中心とし、第１アーム部に対する第２アーム部の回動中心を第２回動中心とし、第２アーム部に対するハンドの回動中心を第３回動中心とし、左右方向における２本の支柱の間の中心位置を支柱間中心とすると、第１回動中心と第２回動中心との距離と、第２回動中心と第３回動中心との距離とは等しくなっており、アーム支持部に対して第１アーム部が回動して第２回動中心が前後方向において第１回動中心と同じ位置に配置されるときに、第２回動中心は、支柱間中心よりも左右方向の一方側に配置され、第１回動中心は、支柱間中心よりも左右方向の他方側に配置され、ハンドは、縮んでいる状態のアームが伸びるときにハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向の一方側に直線的に移動し、門型フレームの前後方向の中心位置をフレーム中心とすると、第１回動中心は、フレーム中心よりも前後方向の他方側に配置されていることを特徴とする。

【0008】

本発明の産業用ロボットでは、アーム支持部に対する第１アーム部の回動中心を第１回動中心とし、第１アーム部に対する第２アーム部の回動中心を第２回動中心とし、第２アーム部に対するハンドの回動中心を第３回動中心とすると、第１回動中心と第２回動中心との距離と、第２回動中心と第３回動中心との距離とは等しくなっている。また、本発明では、左右方向における２本の支柱の間の中心位置を支柱間中心とすると、アーム支持部に対して第１アーム部が回動して第２回動中心が前後方向において第１回動中心と同じ位置に配置されるときに、第２回動中心が支柱間中心よりも左右方向の一方側に配置されている一方で、第１回動中心は、支柱間中心よりも左右方向の他方側に配置されている。

【0009】

そのため、本発明では、第１アーム部および第２アーム部の長さを長くして、アームが伸びているときのアームの前後方向の長さを長くしても、伸びているアームが縮まるときに、第１アーム部と第２アーム部との連結部分や第２アーム部とハンドとの連結部分が支柱に干渉するのを防止することが可能になる。したがって、本発明では、ハンドに搭載される搬送対象物を前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アームと支柱との干渉を防止することが可能になる。

【0010】

また、本発明では、ハンドは、縮んでいる状態のアームが伸びるときにハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向の一方側に直線的に移動し、門型フレームの前後方向の中心位置をフレーム中心とすると、第１回動中心は、フレーム中心よりも前後方向の他方側に配置されている。そのため、たとえば、産業用ロボットによって搬送対象物が搬送される所定の装置から、ハンドに搭載される搬送対象物およびハンドを前後方向においてより離れている位置まで退避させることが可能になる。

【0011】

本発明において、ハンドの前後方向の長さは、第１アーム部の長さおよび第２アーム部の長さよりも長くなっていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、産業用ロボットによって搬送対象物が搬送される所定の処理装置のカバーに、ハンドは出入りすることはできるが、アームは出入りすることはできない大きさの開口部が形成されている場合に、処理装置のカバーとアームとの干渉を防止しつつ、ハンドに搭載される搬送対象物を処理装置のより奥側まで搬送することが可能になる。

【0012】

本発明において、産業用ロボットは、上下方向を回動の軸方向とする門型フレームの回動が可能となるように門型フレームが載置されるベース部材を備え、ハンドは、アームの伸縮時にハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動し、ベース部材に対する門型フレームの回動中心を第４回動中心とし、ハンドの左右方向の中心位置をハンド中心とすると、第１回動中心は、左右方向において第４回動中心とずれた位置に配置され、ハンド中心は、左右方向において第４回動中心と同じ位置に配置されていることが好ましい。

【0013】

このように構成すると、ハンド中心が左右方向において第４回動中心と同じ位置に配置されているため、第１回動中心が左右方向において第４回動中心とずれた位置に配置されていても、たとえば、ハンド中心が左右方向において第１回動中心と同じ位置に配置されている場合と比較して、搬送対象物を搬送する際の産業用ロボットの制御が容易になる。

【発明の効果】

【0014】

以上のように、本発明では、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を有する門型の門型フレームを備える産業用ロボットにおいて、ハンドに搭載される搬送対象物を前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アームと支柱との干渉を防止することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの平面図である。

【図3】図１に示す産業用ロボットのアームが縮んでいる状態の平面図である。

【図4】図１に示す産業用ロボットのアームの伸縮動作の途中の状態の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0017】

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１のアーム４が縮んでいる状態の平面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１のアーム４の伸縮動作の途中の状態の平面図である。

【0018】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための水平多関節型のロボットである。ロボット１は、たとえば、ウエハ２に対して所定の処理を行う処理装置（図示省略）からのウエハ２の搬出および処理装置へのウエハ２の搬入を行う。ウエハ２は、円板状に形成されている。

【0019】

ロボット１は、ウエハ２が搭載されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアーム４と、アーム４の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部５と、アーム支持部５を昇降可能に保持する門型の門型フレーム６と、上下方向（図１等のＺ方向）を回動の軸方向とする門型フレーム６の回動が可能となるように門型フレーム６が載置されるベース部材７とを備えている。また、ロボット１は、アーム支持部５に対してアーム４を伸縮させるとともにアーム４に対してハンド３を回動させる駆動機構（図示省略）と、門型フレーム６に対してアーム支持部５を昇降させる昇降機構（図示省略）と、ベース部材７に対して門型フレーム６を回動させる回動機構（図示省略）とを備えている。

【0020】

アーム４は、第１アーム部１０と第２アーム部１１とから構成されている。第１アーム部１０の基端側は、アーム支持部５に回動可能に連結されている。第２アーム部１１の基端側は、第１アーム部１０の先端側に回動可能に連結されている。第２アーム部１１の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。ハンド３は、ウエハ２が搭載されるハンドフォーク部１２と、アーム４に連結されるハンド基部１３とから構成されている。

【0021】

ハンドフォーク部１２は、二股状に形成されており、ハンド３は、全体として略Ｙ形状に形成されている。ハンドフォーク部１２の基端部は、ハンド基部１３の先端部に固定されている。ハンド基部１３の基端側は、第２アーム部１１の先端側に回動可能に連結されている。ハンド３、第２アーム部１１および第１アーム部１０は、上側からこの順番で配置されている。アーム支持部５は、中空のブロック状に形成されている。第１アーム部１０の基端側は、アーム支持部５の上面に回動可能に連結されている。

【0022】

上述のように、ロボット１は、アーム支持部５に対してアーム４を伸縮させるとともにアーム４に対してハンド３を回動させる駆動機構を備えている。駆動機構は、アーム支持部５の内部に配置されるモータと、モータの動力をアーム４およびハンド３に伝達する動力伝達機構とを備えている。モータは、アーム支持部５と第１アーム部１０との連結部分の下側に配置されている。動力伝達機構は、たとえば、アーム支持部５の内部に配置される減速機と、アーム４の内部に配置されるベルトおよびプーリとを備えている。

【0023】

駆動機構は、アーム支持部５に対して第１アーム部１０を回動させ、かつ、第１アーム部１０に対して第２アーム部１１を回動させるとともに、第２アーム部１１に対してハンド３を回動させる。また、駆動機構は、ハンド３が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム４を伸縮させる。

【0024】

以下の説明では、水平方向のうちの、ハンド３の往復移動方向（図１等のＸ方向）を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する図１等のＹ方向を左右方向とする。また、以下の説明では、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、前後方向の他方側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とし、左右方向の一方側である図１等のＹ２方向側を「左」側とし、左右方向の他方側である図１等のＹ１方向側を「右」側とする。

【0025】

本形態では、ハンド３は、アーム４の伸縮時にハンド３の先端（すなわち、ハンドフォーク部１２の先端）が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動する。具体的には、ハンド３は、縮んでいる状態のアーム４（図３参照）が伸びるときにハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前側に直線的に移動し、伸びている状態のハンド３（図２参照）が縮むときにハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で後ろ側に直線的に移動する。

【0026】

なお、図２では、アーム４が最も伸びてハンド３が最も前側まで移動している状態が図示されている。ウエハ２に対して所定の処理を行う処理装置は、ロボット１の前側に配置されており、図２に示す状態では、ハンド３は、処理装置の中に配置されている。また、図３では、アーム４が縮んでハンド３が最も後ろ側まで移動している状態が図示されている。本形態では、この状態で、ベース部材７に対して門型フレーム６が回動する。すなわち、この状態で、ロボット１が旋回する。また、この状態のときに、ロボット１の旋回半径が最も小さくなる。

【0027】

門型フレーム６は、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱１６を備えている。支柱１６は、上下方向を長手方向とする柱状に形成されている。ハンド３およびアーム４は、左右方向において２本の支柱１６の間に配置されている。また、門型フレーム６は、２本の支柱１６の上端部同士を繋ぐ連結部１７と、２本の支柱１６の下端部が固定されるとともに門型フレーム６の下端部を構成するフレーム下部１８とを備えている。ベース部材７は、ロボット１の下端部を構成している。ベース部材７は、平板状に形成されている。フレーム下部１８は、ベース部材７の上面に回動可能に連結されている。

【0028】

上述のように、ロボット１は、門型フレーム６に対してアーム支持部５を昇降させる昇降機構を備えている。昇降機構は、モータと、モータの動力をアーム支持部５に伝達する動力伝達機構と、アーム支持部５を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。昇降機構の動力伝達機構は、たとえば、支柱１６の内部に配置されるボールねじを備えている。あるいは、昇降機構の動力伝達機構は、支柱１６の内部に配置されるベルトおよびプーリを備えている。ガイド機構は、支柱１６に沿って配置されるガイドレールと、ガイドレールに係合するとともにアーム支持部５に固定されるガイドブロックとを備えている。

【0029】

また、上述のように、ロボット１は、ベース部材７に対して門型フレーム６を回動させる回動機構を備えている。回動機構は、モータと、モータの動力をフレーム下部１８に伝達する動力伝達機構とを備えている。回動機構の動力伝達機構は、たとえば、フレーム下部１８の内部に配置されるベルトおよびプーリを備えている。

【0030】

本形態では、アーム支持部５に対する第１アーム部１０の回動中心Ｃ１と第１アーム部１０に対する第２アーム部１１の回動中心Ｃ２との距離Ｌ１（図２参照）と、第２アーム部１１に対するハンド３の回動中心Ｃ３と回動中心Ｃ２との距離Ｌ２（図２参照）とが等しくなっている。本形態の回動中心Ｃ１は第１回動中心であり、回動中心Ｃ２は第２回動中心であり、回動中心Ｃ３は第３回動中心である。

【0031】

また、本形態では、上述のように、ハンド３は、アーム４の伸縮時にハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動するため、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ３とは、左右方向において常に同じ位置に配置されている。また、本形態では、第１アーム部１０の長さと第２アーム部１１の長さとが等しくなっている。また、アーム４の伸縮時にハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動するハンド３の前後方向の長さは、第１アーム部１０の長さおよび第２アーム部１１の長さよりも長くなっている。

【0032】

アーム支持部５に対して第１アーム部１０が回動すると、回動中心Ｃ２は、図４に示すように、上下方向から見たときに、回動中心Ｃ１を曲率中心にするとともに左側に向かって膨らむ半円弧状の仮想線ＶＬ上を通過する。左右方向における２本の支柱１６の間の中心位置を支柱間中心ＣＬ１とすると、図４に示すように、アーム支持部５に対して第１アーム部１０が回動して回動中心Ｃ２が前後方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されるときに、回動中心Ｃ２は、支柱間中心ＣＬ１よりも左側に配置されている。すなわち、回動中心Ｃ２が前後方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されるときには、第１アーム部１０と第２アーム部１１との連結部分が支柱間中心ＣＬ１よりも左側に配置されるようにアーム４が縮んでいる。なお、このときには、上下方向から見たときに、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ３とが重なっている。

【0033】

また、回動中心Ｃ１は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されている。すなわち、アーム支持部５と第１アーム部１０との連結部分は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されている。また、図２に示すように、門型フレーム６の前後方向の中心位置をフレーム中心ＣＬ２とすると、回動中心Ｃ１は、フレーム中心ＣＬ２よりも後ろ側に配置されている。また、回動中心Ｃ１は、左右方向において、ベース部材７に対する門型フレーム６の回動中心Ｃ４とずれた位置に配置されている。具体的には、回動中心Ｃ１は、回動中心Ｃ４よりも右側に配置されている。また、回動中心Ｃ１は、回動中心Ｃ４よりも後ろ側に配置されている。回動中心Ｃ４は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されるとともに、フレーム中心ＣＬ２よりも後ろ側に配置されている。本形態の回動中心Ｃ４は、第４回動中心である。

【0034】

アーム４の伸縮時にハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動するハンド３の左右方向の中心位置をハンド中心ＣＬ３とすると、ハンド中心ＣＬ３は、左右方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されている。すなわち、アーム４の伸縮時に上下方向から見ると、ハンド中心ＣＬ３は、回動中心Ｃ４上を通過していく。

【0035】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ２との距離Ｌ１と、回動中心Ｃ２と回動中心Ｃ３との距離Ｌ２とが等しくなっている。また、本形態では、アーム支持部５に対して第１アーム部１０が回動して回動中心Ｃ２が前後方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されるときに、回動中心Ｃ２は、支柱間中心ＣＬ１よりも左側に配置されている一方で、回動中心Ｃ１は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されている。

【0036】

そのため、本形態では、第１アーム部１０および第２アーム部１１の長さを長くして、アーム４が伸びているときのアーム４の前後方向の長さを長くしても、伸びているアーム４が縮まるときに、第１アーム部１０と第２アーム部１１との連結部分や第２アーム部１１とハンド３との連結部分が２本の支柱１６に干渉するのを防止することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド３に搭載されるウエハ２を前側に向かって門型フレーム６からより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アーム４と支柱１６との干渉を防止することが可能になる。

【0037】

本形態では、回動中心Ｃ１は、フレーム中心ＣＬ２よりも後ろ側に配置されている。そのため、本形態では、図３に示す状態までアーム４を縮めたときに、ロボット１の前側に配置される処理装置から、ハンド３に搭載されるウエハ２およびハンド３を前後方向においてより離れている位置まで退避させることが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１が旋回するときに、ウエハ２およびハンド３と、処理装置との干渉を防止しやすくなる。

【0038】

本形態では、ハンド３の前後方向の長さは、第１アーム部１０の長さおよび第２アーム部１１の長さよりも長くなっている。そのため、本形態では、たとえば、処理装置の後面を構成するカバーに、ハンド３は出入りすることはできるが、アーム４は出入りすることはできない大きさの開口部が形成されている場合に、処理装置のカバーとアーム４との干渉を防止しつつ、ハンド３に搭載されるウエハ２を処理装置のより奥側（前側）まで搬送することが可能になる。

【0039】

本形態では、ハンド中心ＣＬ３は、左右方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されている。そのため、本形態では、回動中心Ｃ１が左右方向において回動中心Ｃ４とずれた位置に配置されていても、たとえば、ハンド中心ＣＬ３が左右方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されている場合と比較して、ウエハ２を搬送する際のロボット１の制御が容易になる。

【0040】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0041】

上述した形態において、回動中心Ｃ１は、前後方向においてフレーム中心ＣＬ２と同じ位置に配置されていても良いし、フレーム中心ＣＬ２より前側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ハンド３の前後方向の長さは、第１アーム部１０、第２アーム部１１の長さと同じであっても良いし、第１アーム部１０、第２アーム部１１の長さより短くなっていても良い。

【0042】

上述した形態において、回動中心Ｃ１は、左右方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されていても良いし、回動中心Ｃ４より左側に配置されていても良い。また、回動中心Ｃ１は、前後方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されていても良いし、回動中心Ｃ４より前側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ハンド中心ＣＬ３は、左右方向において回動中心Ｃ４とずれた位置に配置されていても良い。

【0043】

上述した形態において、回動中心Ｃ４は、左右方向において支柱間中心ＣＬ１と同じ位置に配置されていても良いし、前後方向においてフレーム中心ＣＬ２と同じ位置に配置されていても良い。また、上述した形態において、回動中心Ｃ４は、支柱間中心ＣＬ１より左側に配置されていても良いし、フレーム中心ＣＬ２より前側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ウエハ２以外の搬送対象物がロボット１で搬送されても良い。たとえば、ガラス基板がロボット１で搬送されても良い。

【符号の説明】

【0044】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
３ ハンド
４ アーム
５ アーム支持部
６ 門型フレーム
７ ベース部材
１０ 第１アーム部
１１ 第２アーム部
１６ 支柱
Ｃ１ 回動中心（第１回動中心）
Ｃ２ 回動中心（第２回動中心）
Ｃ３ 回動中心（第３回動中心）
Ｃ４ 回動中心（第４回動中心）
ＣＬ１ 支柱間中心
ＣＬ２ フレーム中心
ＣＬ３ ハンド中心
Ｌ１ 第１回動中心と第２回動中心との距離
Ｌ２ 第２回動中心と第３回動中心との距離
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向
Ｚ 上下方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】