特許 7401283 加速度センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-11

(45)【発行日】2023-12-19

(54)【発明の名称】加速度センサ

(51)【国際特許分類】

   G01P 15/08 20060101AFI20231212BHJP

   G01P 15/18 20130101ALI20231212BHJP

【ＦＩ】

G01P15/08 102Z

G01P15/18

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2019224381

(22)【出願日】2019-12-12

(65)【公開番号】P2021092492

(43)【公開日】2021-06-17

【審査請求日】2022-11-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100097113

【弁理士】

【氏名又は名称】堀 城之

(74)【代理人】

【識別番号】100162363

【弁理士】

【氏名又は名称】前島 幸彦

(74)【代理人】

【識別番号】100194283

【弁理士】

【氏名又は名称】村上 大勇

(72)【発明者】

【氏名】百瀬 正吾

【審査官】岡田 卓弥

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－１７４９１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１２－５１００７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２１７８３８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｐ１５／００－２１／０２

Ｇ０１Ｈ １／００－１７／００

Ｇ０１Ｃ ９／００－ ９／３６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

加速度を検知するセンサユニットが用いられる加速度センサであって、
前記センサユニットが内部に固定された本体と、
前記本体の第１の方向に沿った一方の側において、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って、前記本体から離間する側に向けて前記本体から延伸する第１支持部と、
前記第１支持部において前記第１の方向に沿った前記一方の側と反対側である他方の側、かつ前記第１の方向及び前記第２の方向と交差する第３の方向に沿った端部側において前記第１支持部と連結され、前記本体から離間する側かつ前記第１の方向に沿った前記他方の側に向けて前記本体から延伸する第２支持部と、
前記本体における前記第１の方向に沿った前記他方の側における面から当該他方の側に向けて引き出され、前記センサユニットの出力を外部に取り出すケーブル線と、
を具備し、
前記第１の方向に沿って前記第１支持部を貫通する第１固定用開口が前記第１支持部に、前記第３の方向に沿って前記第２支持部を貫通する第２固定用開口が前記第２支持部に、それぞれ設けられ、
前記第１支持部及び前記第２支持部を、前記本体の前記第２の方向における両側にそれぞれ具備し、
前記本体において、前記センサユニットは、前記第３の方向から見て両側の前記第２固定用開口を結ぶ直線上における両側の前記第２固定用開口の中間の位置にあり、かつ前記第１の方向から見て両側の前記第１固定用開口を結ぶ直線上における両側の前記第１固定用開口の中間の位置にあることを特徴とする加速度センサ。

【請求項2】

前記第１の方向に沿った前記一方の側において、両側の前記第１支持部の各々、前記本体、のうちの少なくともいずれか２つにおける前記一方の側の表面の一部同士によって共通の平面である第１の平面が構成され、
前記第３の方向に沿った前記端部側において、両側の前記第２支持部の各々、前記本体、のうちの少なくともいずれか２つの前記端部側の表面の一部同士によって共通の平面でありかつ前記第１の平面と交差する第２の平面が構成されることを特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。

【請求項3】

前記本体は、前記第１の方向、前記第２の方向、及び前記第３の方向に沿った辺を具備する略矩形体形状を呈し、前記第１の方向は前記本体の長手方向であることを特徴とする請求項２に記載の加速度センサ。

【請求項4】

前記センサユニットが搭載された、前記第１の方向及び前記第２の方向に沿って広がる板状のセンサ基板が前記本体の内部において固定されたことを特徴とする請求項３に記載の加速度センサ。

【請求項5】

前記センサ基板には、前記センサ基板を前記第３の方向に沿って貫通するセンサ基板固定用開口が２つ形成され、前記センサ基板は、前記センサ基板固定用開口に固定具を係合させることによって前記本体に対して固定され、
前記第３の方向からみて、前記センサユニットは、２つの前記センサ基板固定用開口の中間の位置に固定されたことを特徴とする請求項４に記載の加速度センサ。

【請求項6】

前記第３の方向からみて、２つの前記センサ基板固定用開口を結ぶ方向は、前記第１の方向及び前記第２の方向と交差することを特徴とする請求項５に記載の加速度センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ロボットの動作の制御等に用いられる加速度センサの構造に関する。

【背景技術】

【0002】

様々な動作をするロボットを制御するために、ロボットにおいて駆動される各構成要素に加速度センサが設置されることによって、各動作が適正に認識され、認識された動作がフィードバックされて適正な制御が行われる。一般的に、加速度センサが検出する加速度の方向は予め定められているため、加速度センサが検出する加速度の方向と、制御のために検出すべき加速度の方向とが一致するように、加速度センサはロボットの各部に設置される。

【0003】

特許文献１に記載の技術においては、その中心軸方向の加速度が検出可能とされた円筒形状の加速度センサがハウジングの振動を検知するために用いられる。この加速度センサは、平面状のハウジングに対して、加速度センサの中心軸がこの平面の法線方向となるように、このハウジングに対して固定される。加速度センサのハウジングに対する固定は、中心軸（法線）方向に沿ったネジ等によって行われる。また、加速度センサからの出力を取り出すためのケーブル線等は中心軸と平行、あるいは垂直な方向において、ハウジングと干渉しないように引き出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０００－６９４７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

例えば多くの関節が用いられ複雑な動きをするロボットに対して加速度センサを装着する場合には、単純な平板状のハウジングの法線方向の動き（振動）を検知する特許文献１に記載された構成とは異なり、加速度センサあるいはその設置の態様に対して多くの制限が加わる。

【0006】

例えば、固定された加速度センサ自身やこれから取り出されるケーブル線は、ロボットの動きに対して悪影響を及ぼさないことが要求される。このためには、加速度センサが設置される箇所毎に、ケーブルの引き出し方向や加速度センサを固定するネジの方向は制限される。このため、多くの箇所にそれぞれ加速度センサを設置する場合、設置される箇所毎に異なる仕様の加速度センサを用いることが必要になった。これにより、加速度センサ（部品）の共通化を図ることが困難となり、このロボットが用いられる装置を安価とすることが困難となった。

【0007】

このため、状況に応じて様々な態様で設置が可能な加速度センサが望まれた。

【0008】

本発明は、このような状況に鑑みなされたもので、状況に応じて様々な態様で設置が可能な加速度センサを得ることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明に係る加速度センサは、加速度を検知するセンサユニットが用いられる加速度センサであって、前記センサユニットが内部に固定された本体と、前記本体の第１の方向に沿った一方の側において、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って、前記本体から離間する側に向けて前記本体から延伸する第１支持部と、前記第１支持部において前記第１の方向に沿った前記一方の側と反対側である他方の側、かつ前記第１の方向及び前記第２の方向と交差する第３の方向に沿った端部側において前記第１支持部と連結され、前記本体から離間する側かつ前記第１の方向に沿った前記他方の側に向けて前記本体から延伸する第２支持部と、前記本体における前記第１の方向に沿った前記他方の側における面から当該他方の側に向けて引き出され、前記センサユニットの出力を外部に取り出すケーブル線と、を具備し、前記第１の方向に沿って前記第１支持部を貫通する第１固定用開口が前記第１支持部に、前記第３の方向に沿って前記第２支持部を貫通する第２固定用開口が前記第２支持部に、それぞれ設けられ、前記第１支持部及び前記第２支持部を、前記本体の前記第２の方向における両側にそれぞれ具備し、前記本体において、前記センサユニットは、前記第３の方向から見て両側の前記第２固定用開口を結ぶ直線上における両側の前記第２固定用開口の中間の位置にあり、かつ前記第１の方向から見て両側の前記第１固定用開口を結ぶ直線上における両側の前記第１固定用開口の中間の位置にある。

【0010】

この構成においては、加速度を検出すべき対象となる部材に対して、第１支持部、第２支持部のうちのいずれかを選択して固定することによって、固定時の加速度センサの態様を選択することができる。これによって、同一の加速度センサを、様々な態様で様々な箇所に固定することができる。
また、この構成によれば、第１固定用開口に固定具（ビス）を挿通させる、あるいは第２固定用開口に固定具を挿通させることによって、第１支持部あるいは第２支持部を部材に対して容易に固定することができる。
また、この構成によれば、どちらの態様においても、加速度センサを部材に対して安定して強固に固定することができる。また、本体の内部に固定されたセンサユニットの振動を抑制することができるため、加速度の検出精度を高くすることもできる。
また、この構成においては、加速度センサの部材への固定に際して固定具が係止される２つの第２固定用開口、２つの第１固定用開口の中間の位置にセンサユニットが固定されるため、前記のどちらの態様においても、部材に対するセンサユニットの振動が抑制される。このため、加速度の検出精度を特に高くすることができる。

【0013】

また、前記第１の方向に沿った前記一方の側において、両側の前記第１支持部の各々、前記本体、のうちの少なくともいずれか２つにおける前記一方の側の表面の一部同士によって共通の平面である第１の平面が構成され、前記第３の方向に沿った前記端部側において、両側の前記第２支持部の各々、前記本体、のうちの少なくともいずれか２つの前記端部側の表面の一部同士によって共通の平面でありかつ前記第１の平面と交差する第２の平面が構成されていてもよい。
この構成によれば、どちらの態様においても、加速度センサ側の表面（第１の平面、第２の平面）と部材の表面とを密着させることができるため、加速度センサを特に安定して部材に設置することができる。

【0014】

また、前記本体は、前記第１の方向、前記第２の方向、及び前記第３の方向に沿った辺を具備する略矩形体形状を呈し、前記第１の方向は前記本体の長手方向であってもよい。
この構成においては、本体が単純な略矩形体形状とされるため、前記のように第１の平面、第２の平面を構成することが特に容易である。また、この場合には本体の長手方向を第１の方向とすることによって、前記の２つの態様における加速度センサの状態の差異が顕著となるため、特にこの２つの態様の使い分けをしやすくなる。

【0015】

また、前記センサユニットが搭載された、前記第１の方向及び前記第２の方向に沿って広がる板状のセンサ基板が前記本体の内部において固定されていてもよい。

【0016】

また、前記センサ基板には、前記センサ基板を前記第３の方向に沿って貫通するセンサ基板固定用開口が２つ形成され、前記センサ基板は、前記センサ基板固定用開口に固定具を係合させることによって前記本体に対して固定され、前記第３の方向からみて、前記センサユニットは、２つの前記センサ基板固定用開口の中間の位置に固定されていてもよい。
この構成においては、センサ基板の本体への固定に際して固定具が係止される２つのセンサ基板固定用開口の中間の位置にセンサユニットが固定されるため、本体に対するセンサユニットの振動が抑制される。このため、加速度の検出精度を特に高くすることができる。

【0017】

また、前記第３の方向からみて、２つの前記センサ基板固定用開口を結ぶ方向は、前記第１の方向及び前記第２の方向と交差してもよい。
センサ基板固定用開口をこうした構成とすることによって、特に略矩形体形状の本体の内部で、固定のための無駄なスペースを要することなく小型のセンサ基板を安定して固定することができる。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、状況に応じて様々な態様で設置が可能な加速度センサを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】実施形態に係る加速度センサの構成を示す上面図（ａ）、左側面図（ｂ）、正面図（ｃ）である。

【図2】実施形態に係る加速度センサが部材に対して固定される際の第１の態様を示す図である。

【図3】実施形態に係る加速度センサが部材に対して固定される際の第２の態様を示す図である。

【図4】実施形態に係る加速度センサが固定されて使用されるロボットの構成の例である。

【図5】実施形態に係る加速度センサの内部構造を示す透視図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。図１は本実施形態に係る加速度センサ１の構成を示す上面図（ａ）、左側面図（ｂ）、正面図（ｃ）である。ここで、後述するように、この加速度センサ１は、実際には様々な態様で設置が可能であるため、「上面」、「左側面」、「正面」はここで便宜上定められた方向からみたことを意味する。ここでは、各図に示されるようにｘ、ｙ、ｚ軸が設定され、ｘ軸の正方向からみた図を上面図、ｙ方向正側からみた図を左側面図、ｚ方向正側からみた図を正面図としている。

【0021】

この加速度センサ１は、後述するような、加速度を実際に検知するセンサユニットが形成されたセンサ基板を内部に有する略矩形体形状の本体１０を具備する。本体１０を構成する略矩形体の各辺はｘ、ｙ、ｚ軸のいずれかに平行とされる。この矩形体の各辺の長さは、ｘ方向に沿った全長、ｙ方向に沿った全長、ｚ方向に沿った全長をそれぞれＬｘ、Ｌｙ、Ｌｚとすると、Ｌｘ＞Ｌｙ＞Ｌｚとされる。

【0022】

図１（ａ）～（ｃ）に示されるように、この加速度センサ１には、ｘ方向（第１の方向）の正側（一方の側）端部において、ｘ方向を厚さ方向とする板状の第１支持部１１が、本体１０からｙ方向（第２の方向）の両端側に向けてそれぞれ突出するように設けられている。各第１支持部１１には、これをｘ方向で貫通する円形状の第１固定用開口１１Ａがそれぞれ形成されている。また、図１（ｂ）（ｃ）に示されるように、第１支持部１１のｘ方向の負側（他方の側）、かつｚ方向（第３の方向）の負側（端部側）において第１支持部１１と連結されて、ｚ方向を厚さ方向とする板状の第２支持部１２が、本体１０からｙ方向の両端側に向けてそれぞれ突出するように設けられている。各第２支持部１２には、これをｚ方向で貫通する円形状の第２固定用開口１２Ａがそれぞれ形成されている。実際には、ｙ方向における両端側のそれぞれにおいて、第１支持部１１、これに隣接する第２支持部１２、及び本体１０は一体化されて構成されている。Ｌｘ、Ｌｙ、Ｌｚの大小関係は前記の通りであるため、第１支持部１１、第２支持部１２は、本体１０における長手方向における一端側に形成される。

【0023】

また、加速度センサ１から出力が取り出されるケーブル線２０は、図１（ｂ）（ｃ）に示されるように、本体１０におけるｘ方向負側の表面からｘ方向負側に向けて取り出される。

【0024】

この加速度センサ１は、平面状の表面を具備する部材に対して異なる２つの態様で固定することができる。図２は、このうちの第１の態様を示す。図２は、第１支持部１１をビス（固定具）１００を用いて部材Ｏに対して固定することによって加速度センサ１を固定する場合のビス１００のある箇所におけるｘ方向に沿った断面図（ａ）、ｙ方向に沿った断面図（ｂ）である。

【0025】

図２においては、ビス１００が２つの第１固定用開口１１Ａをそれぞれｘ方向の負側から正側に向けて挿通した状態で、ビス１００のｘ方向正側の端部が部材Ｏに設けられた孔部に螺合することによって、加速度センサ１が固定される。この加速度センサ１においては、第１支持部１１のｘ方向正側の表面と本体１０のｘ方向正側の表面は、共通の平面（第１の平面Ｐ１）を構成する。このため、部材Ｏの表面をこの第１の平面Ｐ１とした状態で、図２に示されるように、加速度センサ１を安定して部材Ｏに固定することができる。

【0026】

一方、図３は、もう一つの態様を示す。図３は、第２支持部１２をビス１００を用いて部材Ｏに対して固定することによって加速度センサ１を固定する場合のビス１００がある箇所におけるｘ方向に沿った断面図（ａ）、ｙ方向に沿った断面図（ｂ）である。この場合には、図２の場合とは加速度センサ１の部材Ｏの表面に対する角度（姿勢）が９０°異なる。

【0027】

図３においては、ビス１００が２つの第２固定用開口１２Ａをそれぞれｚ方向の正側から負側に向けて挿通した状態で、ビス１００のｚ方向負側の端部が部材Ｏに設けられた孔部に螺合することによって、加速度センサ１が固定される。この加速度センサ１においては、第２支持部１２のｚ方向負側の表面と本体１０の一部のｚ方向負側の表面は、共通の平面（第２の平面Ｐ２）を構成する。このため、部材Ｏの表面をこの第２の平面Ｐ２とした状態で、図３に示されるように、加速度センサ１を安定して部材Ｏに固定することができる。第２の平面Ｐ２は第１の平面Ｐ１とは直交関係にある。

【0028】

図２の態様においては、加速度センサ１における部材Ｏからみた全高は高くなるが、部材Ｏと接する部分の幅を小さくすることができる。一方、図３の態様においては、加速度センサ１における部材Ｏと接する部分の幅は大きくなるが、部材Ｏからみた全高を低くすることができる。図２、３のどちらの態様においても、ケーブル線２０は部材Ｏとは干渉しない。このため、どちらの態様によっても、加速度センサ１によって部材Ｏの加速度を検知することができる。この際、前記のようにセンサユニットがｘ、ｙ、ｚ軸の全ての方向に沿った加速度を検知することができるため、部材Ｏの表面の法線方向、あるいは表面の面内方向における加速度を検知することができる。

【0029】

図４は、この加速度センサ１が使用される例であるロボット２００の構成を簡略化して示す図である。ここで、このロボット２００は、基台部２０１側からみて、回転軸Ａ１～Ａ４と、これらの各回転軸周りで駆動されるアーム２０２～２０５を具備する。例えば回転軸Ａ２周りの回転動作は、回転軸Ａ２を中心軸としたプーリ２０６に対して掛け渡されたベルト２０７を駆動することによって行われる。プーリ２０６、ベルト２０７等は、長手方向（図中左右方向）に沿った断面積が小さく設定され回転軸Ａ１によって駆動されるアーム２０２の内部に設けられる。また、回転軸Ａ１、Ａ２はそれぞれベアリング２０８、２０９によって回転自在に支持される。図示は省略されているが、他のアームの内部も同様の構造を具備する。

【0030】

上記の加速度センサ１をこのロボット２００において使用する際に、例えば図４におけるＢの箇所（アーム２０２とアーム２０３が上下方向で近接する箇所）においてアーム２０２に固定する際には、加速度センサ１は、図中の下方側でアーム２０２に対して固定される。この際には、加速度センサ１の全高が上側でアーム２０３と干渉しないように低く設定されることが好ましい。この場合には、アーム２０２を図３における部材Ｏとして図３の態様とすることによって、アーム２０２からみた加速度センサ１の全高を低くすることができる。

【0031】

一方、例えば図４におけるＣの箇所（ベアリング２０８）においてベアリング２０８の外周部分に加速度センサ１を固定する場合には、加速度センサ１は、ベアリング２０８の側方に対して固定される。この場合においても、加速度センサ１がアーム２０２と干渉することを抑制するためには、図４において加速度センサ１の上下方向の幅を小さくすることが好ましい。この場合には、ベアリング２０８側を図２における部材Ｏとして図２の態様とすることによって、加速度センサ１の幅を小さくすることができる。

【0032】

上記のどちらの場合においても、共通の加速度センサ１を用いることができる。この際、ケーブル線２０を、第１支持部１１、第２支持部１２が設けられた側（ｚ方向正側）と反対側（ｚ方向負側）から取り出される構成とすることによって、上記のどちらの場合においても、アーム２０４とケーブル線２０とが干渉することも抑制される。

【0033】

次に、加速度センサ１（本体１０）の内部の構造について説明する。ここで使用されるセンサユニットはセンサ基板に搭載され、このセンサ基板が本体１０の内部に固定されることによって、センサユニットが本体１０に対して固定される。図５は、この状態を示したｚ方向正側からみた加速度センサ１の透視図（ａ）、ｘ方向負側からみた透視図である。ここでは、特にセンサ基板３０と、これに搭載されたセンサユニット３１の本体１０内における位置が記載されている。なお、図５（ｂ）においては、ケーブル線２０の記載は省略されている。

【0034】

センサ基板３０は、ｘｙ方向に広がる表面を具備する板状であり、その中心付近にセンサユニット３１が形成されている。センサユニット３１は、例えば特開２００７－１０７９３４号公報等に記載されたＭＥＭＳ加速度センサとして知られるものであり、ｘ、ｙ、ｚそれぞれの方向の加速度を検知して電気的出力をする。この出力はケーブル線２０を介して加速度センサ１の外部に取り出される。図５（ａ）において、このセンサ基板３０には、センサユニット３１の左下と右上にそれぞれｚ方向でセンサ基板３０を貫通するセンサ基板固定用開口３０Ａが形成されている。このため、図２において第１支持部１１、第２支持部１２を部材Ｏに対して固定した場合と同様に、小型のビス（固定具）１０１を用いてセンサ基板３０を本体１０に対して固定することができる。

【0035】

ここで、加速度センサ１はこれが固定された部材Ｏの加速度を検知するために用いられるため、図５において、センサユニット３１が部材Ｏ、あるいは本体１０に対して振動することは好ましくない。このためには、上記の構造において、センサユニット３１の振動を発生しにくくする必要がある。

【0036】

このため、ｘ方向からみた図５（ｂ）において、センサユニット３１は、２つの第１固定用開口１１Ａの中間の位置にあり、かつｚ方向からみた図５（ａ）において、センサユニット３１は、２つの第１固定用開口１２Ａの中間の位置にあるように設定される。加速度センサ１は、図２の場合には第１固定用開口１１Ａのある２箇所で部材Ｏに対して固定され、図３の場合には第２固定用開口１２Ａのある２箇所で部材Ｏに対して固定されるため、こうした構成とすることによって、どちらの場合にもセンサユニット３１が部材Ｏに対して振動することが抑制される。

【0037】

また、ｚ方向からみた図５（ａ）において、センサユニット３１は、２つのセンサ基板固定用開口３０Ａの中間の位置にあるように設定される。これによって、センサユニット３１が本体１０に対して振動することも抑制される。この際、２つのセンサ基板固定用開口３０Ａを結ぶ直線は、ｘ方向、ｙ方向（すなわち、略矩形体形状の本体１０を構成する辺の方向）のどちらとも交差する方向となる。センサ基板３０、センサユニット３１は小型であるのに対して、センサ基板３０を本体１０内に安定して固定するに際しては２つのセンサ基板固定用開口３０Ａの間隔を広くとることが好ましいが、こうした構成によって、小型のセンサ基板３０を略矩形体形状の本体１０内で安定して固定することができる。この際、固定のために余計なスペースを設けることも不要となる。

【0038】

上記の例においては、本体１０は矩形体形状とされたが、本体１０の形状は任意である。ただし、少なくとも図２、図３のどちらの場合においても、部材Ｏと当接する側の表面は略平面形状とされることが加速度センサを安定して設置するためには好ましい。また、前記の例ではＬｘ（ｘ方向に沿った長さ）＞Ｌｙ（ｙ方向に沿った長さ）＞Ｌｚ（ｚ方向に沿った長さ）とされたが、このような形態も適宜設定される。ただし、図２、図３に示される態様を使い分けることの効果を顕著とするためには、設置時における加速度センサの部材Ｏの表面からの突出量が図２、図３において大きく異なることが好ましい。このためには、前記のｘ方向（第１支持部、第２支持部がその一端側に形成され、かつケーブル線がその他端側に設けられた方向）が本体の長手方向であることが特に好ましい。

【0039】

また、上記の例では、第１支持部１１における第１固定用開口１１Ａ、第２支持部１２における第２固定用開口１２Ａにビス１００を係合させることによって加速度センサ１が部材Ｏに対して固定される構成とされたが、第１支持部、第２支持部を部材に対して固定する手法として、他の周知の手法を用いることもできる。また、加速度センサが部材に対して安定して固定される限りにおいて、ｙ方向における一方の側のみに第１支持部、第２支持部が設けられていてもよい。この場合、第１支持部と第２支持部を異なる側に設けることもできるが、これらを同一の側に設けることによってこれらを連結させて一体化することによって、第１支持部及び第２支持部の機械的強度を高めることができる。ただし、前記のようにセンサユニットの振動を抑制する観点からは、第１支持部、第２支持部を両側に設けた上記の構成が特に好ましい。

【0040】

また、前記の加速度センサ１においては、図２に示されたように、ｘ方向正側において、第１支持部１１の表面と本体１０の表面が、共通の平面である第１の平面Ｐ１を構成し、かつ図３に示されたように、ｚ方向負側において、第２支持部１２のｚ表面と本体１０の一部の表面は、共通の平面である第２の平面Ｐ２を構成した。この際、第１の平面Ｐ１と第２の平面Ｐ２とは直交するものとされたが、これらが厳密に直交する必要はなく、交差すれば同様の効果を奏することは明らかである。

【0041】

また、上記のようにｘ方向正側における両側の第１支持部の表面と本体の表面、ｚ方向負側における両側の第２支持部の表面と本体の表面のそれぞれの全体が第１の平面、第２の平面を構成する必要はなく、各々の一部によって第１の平面、第２の平面が形成されることによって図２、３に示された形態で加速度センサを設置することができればよい。このためには、例えば第１の平面について、両側の第１支持部の各々の表面の一部同士でのみ第１の平面が形成され本体の表面はこの第１の平面上になくともよい。あるいは、一方の第１支持部のみの表面の一部と本体の表面の一部とで第１の平面が形成されていてもよい。第２の平面についても同様である。すなわち、ｘ方向正側においては、両側の第１支持部の各々、本体、のうちの少なくともいずれか２つにおけるｘ方向正側の表面の一部同士によって第１の平面が構成されればよい。同様に、ｚ方向負側においては、両側の第２支持部の各々、本体、のうちの少なくともいずれか２つにおけるｚ方向負側の表面の一部同士によって第２の表面が構成されればよい。これによって、図２、３と同様に加速度センサを安定して設置することができる。

【0042】

また、上記の例ではセンサユニット３１はｘ、ｙ、ｚの３方向の加速度を検知するものとしたが、少なくとも目的に応じた一方向の加速度が検出されればよい。ただし、図２、３のどちらの態様でも部材Ｏにおける同じ方向の加速度を検知するためには、２方向以上の加速度が検知されることが特に好ましい。

【0043】

（本形態の主な特徴）
本実施形態の特徴を簡単に纏めると次の通りである。
（１）この加速度センサ１は、
加速度を検知するセンサユニット３１が用いられ、センサユニット３１が内部に固定された本体１０と、本体１０のｘ方向（第１の方向）に沿った正側（一方の側）において、ｙ方向（第２の方向）に沿って、本体１０から離間する側に向けて本体１０から延伸する第１支持部１１と、第１支持部１１においてｘ方向に沿った負側（他方の側）、かつｚ方向（第３の方向）に沿った負側（端部側）において第１支持部１１と連結され、本体１０から離間する側かつｘ方向に沿った負側に向けて本体１０から延伸する第２支持部１２と、本体１０におけるｘ方向に沿った負側における面からこの負側に向けて引き出され、センサユニット３１の出力を外部に取り出すケーブル線２０と、を具備する。

【0044】

この構成においては、加速度を検出すべき対象となる部材Ｏに対して、第１支持部１１、第２支持部１２のうちのいずれかを選択して固定することによって、固定時の加速度センサ１の態様を選択することができる。これによって、同一の加速度センサ１を、様々な態様で様々な箇所に固定することができる。

【0045】

（２）ｘ方向に沿って第１支持部１１を貫通する第１固定用開口１１Ａが第１支持部１１に、ｚ方向に沿って第２支持部１２を貫通する第２固定用開口１２Ａが第２支持部１２に、それぞれ設けられている。
この構成によれば、第１固定用開口１１Ａに固定具（ビス）１００を挿通させる、あるいは第２固定用開口１２Ａに固定具１００を挿通させることによって、第１支持部１１あるいは第２支持部１２を部材Ｏに対して容易に固定することができる。

【0046】

（３）第１支持部１１及び第２支持部１２を、本体１０のｙ方向における両側にそれぞれ具備する。
この構成によれば、どちらの態様においても、加速度センサ１を部材Ｏに対して安定して強固に固定することができる。また、本体１０の内部に固定されたセンサユニット３１の振動を抑制することができるため、加速度の検出精度を高くすることもできる。

【0047】

（４）ｘ方向に沿った正側において、両側の第１支持部１１の各々、本体１０、のうちの少なくともいずれか２つにおけるｘ方向に沿った正側の表面の一部同士によって共通の平面である第１の平面Ｐ１が構成され、ｚ方向に沿った負側において、両側の第２支持部１２の各々、本体１０、のうちの少なくともいずれか２つのｚ方向に沿った負側の表面の一部同士によって共通の平面でありかつ第１の平面Ｐ１と交差する第２の平面Ｐ２が構成される。
この構成によれば、どちらの態様においても、加速度センサ１側の表面（第１の平面Ｐ１、第２の平面Ｐ２）と部材Ｏの表面とを密着させることができるため、加速度センサ１を特に安定して部材に設置することができる。

【0048】

（５）本体１０は、ｘ方向、ｙ方向、及びｚ方向に沿った辺を具備する略矩形体形状を呈し、ｘ方向は本体１０の長手方向とされる。
この構成においては、本体１０が単純な略矩形体形状とされるため、前記のように第１の平面Ｐ１、第２の平面Ｐ２を構成することが特に容易である。また、この場合には本体１０の長手方向をｘ方向とすることによって前記の２つの態様における加速度センサ１の状態の差異が顕著となるため、特にこの２つの態様の使い分けをしやすくなる。

【0049】

（６）センサユニット３１が搭載された、ｘ方向及びｙ方向に沿って広がる板状のセンサ基板３０が本体１０の内部において固定され、本体１０において、センサユニット３１は、ｚ方向から見て両側の第２固定用開口１２Ａの中間の位置であり、かつｘ方向から見て両側の第１固定用開口１１Ａの中間の位置に、固定されている。
この構成においては、加速度センサ１の部材Ｏへの固定に際して固定具１００が係止される２つの第２固定用開口１２Ａ、２つの第１固定用開口１１Ａの中間の位置にセンサユニット３１が固定されるため、前記のどちらの態様においても、部材Ｏに対するセンサユニット３１の振動が抑制される。このため、加速度の検出精度を特に高くすることができる。

【0050】

（７）センサ基板３０には、センサ基板３０をｚ方向に沿って貫通するセンサ基板固定用開口３０Ａが２つ形成され、センサ基板３０は、センサ基板固定用開口３０Ａに固定具１０１を係合させることによって本体１０に対して固定され、ｚ方向からみて、センサユニット３１は、２つのセンサ基板固定用開口３０Ａの中間の位置に固定されている。
この構成においては、センサ基板３０の本体１０への固定に際して固定具１０１が係止される２つのセンサ基板固定用開口３０Ａの中間の位置にセンサユニット３１が固定されるため、本体１０に対するセンサユニット３１の振動が抑制される。このため、加速度の検出精度を特に高くすることができる。

【0051】

（８）ｚ方向からみて、２つのセンサ基板固定用開口３０Ａを結ぶ方向は、ｘ方向及びｙ方向と交差する。
センサ基板固定用開口３０Ａをこうした構成とすることによって、特に略矩形体形状の本体１０の内部で、固定のための無駄なスペースを要することなく小型のセンサ基板３０を安定して固定することができる。

【0052】

本発明を、実施形態及びその変形例をもとに説明したが、この実施形態は例示であり、それらの各構成要素の組み合わせ等にいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。

【符号の説明】

【0053】

１ 加速度センサ
１０ 本体
１１ 第１支持部
１１Ａ 第１固定用開口
１２ 第２支持部
１２Ａ 第２固定用開口
２０ ケーブル線
３０ センサ基板
３０Ａ センサ基板固定用開口
３１ センサユニット
１００、１０１ ビス（固定具）
２００ ロボット
２０１ 基台部
２０２～２０５ アーム
２０６ プーリ
２０７ ベルト
２０８、２０９ ベアリング
Ｏ 部材
Ａ１～Ａ４ 回転軸
Ｐ１ 第１の平面
Ｐ２ 第２の平面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】