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公報発行日 2023年12月20
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【課題】被処理物の温度の上昇を抑制しながら熱処理能力を向上する。
【解決手段】熱処理炉は、搬入口と搬出口と処理室とを備える炉体と、搬入口から搬出口まで架け渡されるシート状の被処理物Wを搬送する搬送装置と、搬送装置によって処理室内を搬送される被処理物Wを加熱する加熱装置を備えている。加熱装置は、被処理物Wに赤外領域の電磁波を放射する発熱部27を備える1又は複数のヒータ(26a,26b、28)を備えている。1又は複数のヒータは、被処理物Wの搬送経路に沿って配置されている。発熱部27は、被処理物Wの表面又は裏面と平行に配置されると共に、搬送経路と直交する被処理物Wの幅方向(Y方向)に伸びている。被処理物Wの幅方向の寸法をWdとし、発熱部27の幅方向の寸法をHdとすると、Wd/Hdが0.20~0.80の範囲となる。
【選択図】図2
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