(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-15
(45)【発行日】2023-12-25
(54)【発明の名称】異方導電性シート
(51)【国際特許分類】
H01R 11/01 20060101AFI20231218BHJP
H01B 5/16 20060101ALI20231218BHJP
【ＦＩ】
H01R11/01 501H
H01B5/16
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2019042648
(22)【出願日】2019-03-08
(65)【公開番号】P2020145145
(43)【公開日】2020-09-10
【審査請求日】2022-02-21
(73)【特許権者】
【識別番号】000003964
【氏名又は名称】日東電工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100103517
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 寛之
(74)【代理人】
【識別番号】100149607
【弁理士】
【氏名又は名称】宇田 新一
(72)【発明者】
【氏名】坂倉 孝俊
【審査官】山下 寿信
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１８－１８６０６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１８／０６６５４１（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１１－２４９５９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１８６０６１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｒ １１／０１
Ｈ０１Ｂ ５／１６
Ｈ０５Ｋ １／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
厚み方向を貫通する貫通孔を有する絶縁層と、前記貫通孔に配置され、前記厚み方向に対向する一方面および他方面のそれぞれが前記厚み方向一方側および他方側のそれぞれに露出する異方導電部とを備え、
前記貫通孔は、前記厚み方向他方側部分に区画される第１開口部、および、前記第１開口部に連通し、前記厚み方向一方側部分に区画される第２開口部を有し、
前記絶縁層は、前記第２開口部の厚み方向他方側部分を区画する他方側周側面、および、前記他方側周側面の厚み方向一端縁から厚み方向に直交する面方向外側に延びる延出面を有し、
前記異方導電部は、前記第１開口部に配置される第１導体部と、前記第２開口部に配置される第２導体部とを備え、
前記第１導体部は、前記面方向に延びる略平板形状に形成され、
前記第１導体部において、
他方面が、前記厚み方向他方側に露出し、
一方面の周端部が、前記絶縁層に接触し、
一方面において前記周端部の内側に位置する内側部が、前記第２導体部に接触し、
前記第２導体部は、前記他方側周側面に接触し、
前記第２導体部において、
前記他方面が、前記内側部および前記延出面に接触し、
前記一方面が、前記厚み方向一方側に露出し、
前記第１導体部の前記一方面の前記周端部は、前記第１開口部の厚み方向他方側端縁から外側に延びるとともに、前記第１導体部は、前記絶縁層の前記第１開口部に埋め込まれ、
前記絶縁層には、前記第２導体部の他方面の周端部と、前記第１導体部の一方面の周端部とに挟まれる挟まれ部が形成されていることを特徴とする、異方導電性シート。
【請求項2】
前記第１導体部の前記厚み方向他方面は、前記絶縁層の厚み方向他方面と面一であることを特徴とする、請求項１に記載の異方導電性シート。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、異方導電性シートに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、貫通孔を有する絶縁層と、貫通孔に配置され、厚み方向両側に露出する異方導電部とを備える異方導電性シートが知られている（例えば、下記特許文献１参照。）。
【0003】
特許文献１の図１１で開示される異方導電性シートでは、異方導電部が、貫通孔内に配置される導体部と、導体部の厚み方向一方面に接触する第２めっき層とを備える。また、導体部は、平板状の中央部と、中央部の周端縁から、外側に向かうに従って厚み方向一方側に傾斜する傾斜部とを一体的に有する。傾斜部の外側部は、絶縁層に被覆されて固定されている。また、導体部の厚み方向一方面において、中央部、および、傾斜部の内側部が、第２めっき層に接触している。なお、第２めっき層は、ニッケルめっき層を含んでいる。
【0004】
特許文献１では、傾斜部の外側部が絶縁層に被覆されて固定されていることから、端子やプローブなどが厚み方向両側から異方導電部に対して加圧する場合でも、導体部が絶縁層から脱落することを抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】ＷＯ２０１８／０６６５４１のパンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかるに、異方導電性シートには、より一層優れた異方導電性が要求される。
【0007】
しかし、特許文献１に記載される異方導電性シートでは、第２めっき層は、無電解めっきにより形成されることから、厚みを厚くするには限界があり、そのため、異方導電部の異方導電性を十分に向上させることができないという不具合がある。
【0008】
本発明は、異方導電部の絶縁層からの脱落を抑制できながら、異方導電性に優れる異方導電部を備える異方導電性シートを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明（１）は、厚み方向を貫通する貫通孔を有する絶縁層と、前記貫通孔に配置され、前記厚み方向に対向する一方面および他方面のそれぞれが前記厚み方向一方側および他方側のそれぞれに露出する異方導電部とを備え、前記貫通孔は、前記厚み方向他方側部分に区画される第１開口部、および、前記第１開口部に連通し、前記厚み方向一方側部分に区画される第２開口部を有し、前記絶縁層は、前記第２開口部の厚み方向他方側部分を区画する他方側周側面、および、前記他方側周側面の厚み方向一端縁から厚み方向に直交する面方向外側に延びる延出面を有し、前記異方導電部は、前記第１開口部に配置される第１導体部と、前記第２開口部に配置される第２導体部とを備え、前記第１導体部は、前記面方向に延びる略平板形状に形成され、前記第１導体部において、他方面が、前記厚み方向他方側に露出し、一方面の周端部が、前記絶縁層に接触し、一方面において前記周端部の内側に位置する内側部が、前記第２導体部に接触し、前記第２導体部は、前記他方側周側面に接触し、前記第２導体部において、前記他方面が、前記内側部および前記延出面に接触し、前記一方面が、前記厚み方向一方側に露出する、異方導電性シートを含む。
【0010】
この異方導電性シートでは、第１導体部は、略平板形状に形成されるので、十分な厚みを確保し易く、そのため、異方導電部の異方導電性を確実に向上させることができる。
【0011】
また、第１導体部の周端部と、第２導体部において延出面に接触する部分とは、厚み方向において、絶縁層を挟んでいる。そのため、異方導電部の絶縁層からの脱落を抑制することができる。
【0012】
従って、この異方導電性シートは、異方導電部の絶縁層からの脱落の抑制と、異方導電部の優れた異方導電性とを両立することができる。
【0013】
本発明（２）は、前記第１導体部の前記厚み方向他方面は、前記絶縁層の厚み方向他方面と面一である、（１）に記載の異方導電性シートを含む。
【0014】
この異方導電性シートでは、第１導体部の厚み方向他方面は、絶縁層の厚み方向他方面と面一であるので、異方導電性シートの厚み方向他方面の平滑化を図ることができる。
【発明の効果】
【0015】
本発明の異方導電性シートは、異方導電部の絶縁層からの脱落の抑制と、異方導電部の優れた異方導電性とを両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図3】図３Ａ～図３Ｆは、図２に示す異方導電性シートの製造工程図であり、図３Ａが、基材シートを準備する工程、図３Ｂが、第１導体部を配置する工程、図３Ｃが、第１絶縁層を配置する工程、図３Ｄが、第２導体部を配置する工程、図３Ｅが、第２絶縁層を配置する工程、図３Ｆが、基材シートを除去する工程を示す。
【発明を実施するための形態】
【0017】
【0018】
図１～図２に示すように、異方導電性シート１は、厚み方向に直交する面方向に延びる。異方導電性シート１は、厚み方向に互いに対向する一方面および他方面を有する。この異方導電性シート１は、次に説明する異方導電部３において厚み方向（異方）に導電性（電気伝導性）を有しており、後述する半導体素子やフレキシブルプリント配線板の導通検査に使用される検査用シートである。
【0019】
異方導電性シート１は、絶縁層２と、絶縁層２に配置される複数の異方導電部３とを備える。好ましくは、異方導電性シート１は、単数の絶縁層２と、複数の異方導電部３とのみを備える。
【0020】
絶縁層２は、面方向に延びるシート形状を有する。絶縁層２は、厚み方向一方面である絶縁第１面２１と、絶縁第１面２１と厚み方向他方側に対向する厚み方向他方面である絶縁第２面２２とを有する。
【0021】
絶縁第１面２１は、異方導電性シート１の厚み方向一方面を形成する。
【0022】
絶縁第２面２２は、異方導電性シート１の厚み方向他方面を形成する。
【0023】
また、絶縁層２には、複数の貫通孔６が形成されている。
【0024】
複数の貫通孔６は、複数の異方導電部３に対応して設けられる。つまり、複数の貫通孔６は、複数の異方導電部３と１対１対応で形成されている。複数の貫通孔６のそれぞれは、絶縁層２の厚み方向を貫通する。貫通孔６は、第１開口部６０および第２開口部７０を備える。
【0025】
第１開口部６０は、貫通孔６における厚み方向他方側部分（領域）に区画されている。第１開口部６０は、後述する第１導体部４に対応する形状を有する。具体的には、第１開口部６０は、断面視略矩形状を有する。第１開口部６０は、絶縁第２面２２から厚み方向一方側に向かって凹む形状を有する。具体的には、第１開口部６０は、絶縁層２における第１周側面６１および第１一方面６２によって、区画されている。
【0026】
第１周側面６１は、第１開口部６０の面方向外側面を区画する。第１周側面６１は、絶縁第２面２２から厚み方向一方側に延びる略筒形状（具体的には、円筒形状）を有する。
【0027】
第１一方面６２は、第１開口部６０の厚み方向一方面を区画する。第１一方面６２は、第１周側面６１の厚み方向一端縁から面方向内側に向かって延びる。第１一方面６２は、底面視略円環（リング）形状を有する。なお、第１一方面６２の内側部分においては、第１開口部６０が第２開口部７０と連通する。第１一方面６２は、第１周側面６１と直交する。
【0028】
第２開口部７０は、第１開口部６０に連通しており、貫通孔６における厚み方向一方側部分（領域）に区画されている。つまり、第２開口部７０は、第１開口部６０の厚み方向一方側に位置する。第２開口部７０は、後述する第２導体部５に対応する形状を一部に含む。第２開口部７０は、絶縁層２の第２周側面８、延出面７および対向面３７によって、区画されている。
【0029】
第２周側面８は、厚み方向に延びる形状を有する。第２周側面８は、厚み方向に投影したときに、例えば、第１周側面６１の内側に配置されており、また、第１一方面６２に包含される。第２周側面８は、厚み方向に投影したときに、複数（具体的には、３つ）に分割されている。複数の第２周側面８は、面方向に投影したときに、連続する一方、例えば、厚み方向に投影したときに、互いに間隔を隔てて位置する。
【0030】
具体的には、第２周側面８は、他方側周側面の一例としての第３周側面４３、第４周側面４４および第５周側面４５を含む。第２周側面８は、好ましくは、第３周側面４３、第４周側面４４および第５周側面４５のみを含む。第３周側面４３は、第２開口部７０の厚み方向他方側部分を区画する。
【0031】
第３周側面４３は、第２周側面８における厚み方向他端部に位置する。第３周側面４３は、第１一方面６２の内端縁から厚み方向一方側に向かう形状を有する。第３周側面４３は、テーパ面９を含む。第３周側面４３は、好ましくは、テーパ面９のみを含む。
【0032】
テーパ面９は、例えば、面方向に沿う断面積（正断面積）が、第１一方面６２の内端縁から厚み方向一方側に向かって次第に大きくなる略錐台形状（具体的には、略円錐台形状）を有する。つまり、テーパ面９は、厚み方向に沿う断面視において、厚み方向一方側に向かって、面方向において互いに対向する対向距離が次第に長くなる傾斜面である。
【0033】
テーパ面９と、第１一方面６２とのなす角度αは、例えば、鋭角であり、好ましくは、７５度以下、より好ましくは、６０度以下であり、また、例えば、１５度以上、好ましくは、３０度以上である。
【0034】
第４周側面４４は、第２周側面８における厚み方向中間部に位置する。第４周側面４４は、厚み方向に投影したときに、第３周側面４３の外側に配置されており、より具体的には、第３周側面４３の外端縁（具体的には、テーパ面９の厚み方向一端縁）に対して面方向外側に間隔を隔てて配置されている。第４周側面４４は、厚み方向に延びる略筒形状（具体的には、円筒形状）を有する。第４周側面４４は、テーパ面９に対して、傾斜する。また、第４周側面４４は、断面視において、第１周側面６１に平行し、また、第１一方面６２に直交する。
【0035】
第５周側面４５は、第２周側面８における厚み方向一端部に位置する。第５周側面４５は、厚み方向に投影したときに、第３周側面４３および第４周側面４４の間に配置されており、具体的には、第３周側面４３および第４周側面４４と間隔が隔てられており、より具体的には、第３周側面４３の外端縁（具体的には、テーパ面９の厚み方向一端縁）と、第４周側面４４との間に位置する。第５周側面４５は、厚み方向に延びる略筒形状（具体的には、円筒形状）を有する。第５周側面４５は、断面視において、第４周側面４４に平行する。
【0036】
延出面７は、第３周側面４３および第４周側面４４を面方向に連結する連結面である。具体的には、延出面７は、第３周側面４３の厚み方向一端縁（具体的には、テーパ面９の面方向外端縁）から、面方向外側に延び、第４周側面４４の厚み方向他端縁に至る形状を有する。延出面７は、平坦面である。延出面７は、平面視略円環（リング）形状を有する。延出面７は、厚み方向に投影したときに、例えば、第１一方面６２に包含される。延出面７は、断面視において、テーパ面９に傾斜し、第１周側面６１および第４周側面４４に直交し、また、第１一方面６２に平行する。
【0037】
対向面３７は、延出面７の厚み方向一方側に間隔を隔てて対向配置されている。対向面３７は、第４周側面４４および第５周側面４５を連結しており、具体的には、第４周側面４４の厚み方向一端縁および第５周側面４５の厚み方向他端縁を連結する。対向面３７は、底面視略円環（リング）形状を有する。対向面３７は、断面視において、第１一方面６２および延出面７に平行し、第１周側面６１、第４周側面４４および第５周側面４５に直交し、テーパ面９に傾斜する。
【0038】
絶縁層２は、第１一方面６２、第３周側面４３および延出面７によって仕切られる挟まれ部４０を有する。挟まれ部４０は、断面視略台形形状を含んでおり、略円環（リング）形状を有する。挟まれ部４０は、その内側端部において、断面視略鋭角三角形状の尖り部４６を含む。尖り部４６は、テーパ面９に対向する領域であって、厚み方向に投影したときに、第１一方面６２に重複するが、延出面７より内側にずれる。
【0039】
絶縁層２の材料として、例えば、ポリイミドなどの樹脂が挙げられる。
【0040】
絶縁層２の寸法は、その用途および応じて適宜設定される。絶縁層２の厚みは、例えば、５μｍ以上、例えば、１００μｍ以下である。
【0041】
第１開口部６０の面方向における最大長さＬ１は、断面視において面方向に対向する第１周側面６１間の最大距離であり、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上、より好ましくは、２０μｍ以上、さらに好ましくは、３０μｍ以上であり、また、例えば、１，０００μｍ以下である。また、第１開口部６０の開口断面積は、例えば、５０μｍ２以上、好ましくは、３００μｍ２以上、より好ましくは、７００μｍ２以上であり、また、例えば、８００，０００μｍ２以下である。
【0042】
第１開口部６０の深さ（厚み方向長さ）Ｔは、第１周側面６１の厚み方向長さであり、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上、より好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。絶縁層２の厚みに対する第１開口部６０の深さの比は、例えば、０．１以上、好ましくは、０．２以上であり、また、例えば、０．９以下、好ましくは、０．８以下である。
【0043】
第３周側面４３の厚み方向長さ（テーパ面９の厚み方向長さに相当）Ｌ２は、例えば、２μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、４５μｍ以下、好ましくは、２５μｍ以下である。第３周側面４３の面方向長さ（テーパ面９の面方向長さに相当）Ｌ３は、例えば、２μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、４５μｍ以下、好ましくは、２５μｍ以下である。
【0044】
第４周側面４４の厚み方向長さは、後述する第２導体部５の厚みと同一である。
【0045】
第５周側面４５の厚み方向長さは、例えば、２μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、４５μｍ以下、好ましくは、２５μｍ以下である。
【0046】
延出面７の面方向長さ（延出長さ）Ｌ４は、例えば、３μｍ以上、好ましくは、７μｍ以上、より好ましくは、１５μｍ以上、さらに好ましくは、３０μｍ以上であり、また、例えば、１，０００μｍ以下、好ましくは、５００μｍ以下である。
【0047】
第２開口部７０の深さ（厚み方向長さ）は、複数の第２周側面８の厚み方向長さの合計であり、つまり、第３周側面４３の厚み方向長さ、第４周側面４４の厚み方向長さ、および、第５周側面４５の厚み方向長さの合計である。第２開口部７０の深さ（厚み方向長さ）は、例えば、３μｍ以上、例えば、１００μｍ以下である。絶縁層２の厚みに対する第２開口部７０の深さの比は、例えば、０．１以上、好ましくは、０．２以上であり、また、例えば、０．９以下、好ましくは、０．８以下である。
【0048】
絶縁層２の寸法が上記した範囲にあれば、異方導電部の異方導電性が向上する。
【0049】
複数の異方導電部３のそれぞれは、複数の貫通孔６のそれぞれに配置されている。異方導電部３は、第１開口部６０と、第２開口部７０の一部とに充填されており、それらに対応する形状を有する。
【0050】
異方導電部３は、第１開口部６０に配置される第１導体部４と、第２開口部７０に配置される第２導体部５とを備える。好ましくは、この異方導電部３は、第１導体部４および第２導体部５のみを備える。
【0051】
第１導体部４は、第１開口部６０の全部に充填されている。これにより、第１導体部４は、第１開口部６０と同一形状を有する。具体的には、第１導体部４は、面方向に延びる略平板形状を有する。第１導体部４は、厚み方向一方面である第１面３１と、第１面３１と厚み方向他方側に対向する他方面である第２面３２と、第１面３１の周端縁および第２面３２の周端縁を連結する第３面３３とを一体的に有する。
【0052】
第１面３１は、面方向に沿う平坦面である。第１面３１は、周端部１２と、周端部１２の内側に位置する内側部１１とに区画される。
【0053】
周端部１２は、絶縁層２の第１一方面６２に面する。具体的には、周端部１２は、第１面３１において、第１一方面６２に接触する領域である。周端部１２は、平面視において、第１一方面６２と同一形状を有する。
【0054】
内側部１１は、第１面３１において、周端部１２より内側に位置する領域である。内側部１１は、後述する第２導体部５に接触する。
【0055】
第２面３２は、第１面３１に平行する平坦面である。第２面３２は、絶縁層２から露出する。第２面３２は、異方導電部３において厚み方向他方側に露出する厚み方向他方面の一例である。具体的には、第２面３２は、絶縁層２の絶縁第２面２２から、厚み方向他方側に向かって露出する。また、第２面３２は、絶縁第２面２２と面一である。第２面３２の外端縁は、絶縁第２面２２の内端縁と連続する。
【0056】
第３面３３は、第１導体部４の側面（周側面）である。第３面３３は、第１周側面６１に接触する。第３面３３は、厚み方向に沿って延びており、断面視において、ストレート形状を有する。
【0057】
この第１導体部４では、第１面３１の周端部１２と、第３面３３とが、絶縁層２に接触する。なお、第１面３１の周端部１２は、挟まれ部４０と接触する。
【0058】
一方、第２面３２の全面は、絶縁層２から露出している。
【0059】
第２導体部５は、第２開口部７０に配置されている。具体的には、第２導体部５は、第２開口部７０の厚み方向他方側部分を充填している。第２導体部５は、厚み方向一方側に向かって開放される略ハット形状を有する。
【0060】
第２導体部５は、略同一厚みで延びる形状を有しており、厚み方向一方面である第４面３４と、第４面３４と厚み方向他方側に対向する他方面である第５面３５と、第４面３４の周端縁および第５面３５の周端縁を連結する第６面３６とを一体的に有する。
【0061】
第５面３５は、第１導体部４の内側部１１と、絶縁層２の第３周側面４３および延出面７とに接触する。第５面３５において、絶縁層２において第３周側面４３および延出面７に接触する部分は、挟まれ部４０を、第１導体部４の第１面３１の周端部１２とともに、厚み方向に挟む（サンドイッチ構造を形成する）。
【0062】
第４面３４の周端部は、絶縁層２の対向面３７に接触する。
【0063】
一方、第４面３４において周端部の内側部分は、厚み方向一方側に露出しており、異方導電部３において厚み方向一方側に露出する厚み方向一方面の一例である。第４面３４は、第５面３５と面方向にわたって同一間隔（厚み方向距離）が隔てられている。
【0064】
第６面３６は、第４周側面４４に接触する。第６面３６は、厚み方向に沿って延びる略筒形状（具体的には、円筒形状）を有する。
【0065】
これにより、第２導体部５は、第１導体部４における第１面３１の内側部１１と、絶縁層２における第３周側面４３、延出面７、第４周側面４４および対向面３７とに接触する。
【0066】
異方導電部３の材料は、特に限定されず、例えば、銅、クロム、ニッケル、金などの金属が挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。第１導体部４の材料として、好ましくは、銅が挙げられる。第２導体部５の材料として、好ましくは、ニッケル、金が挙げられる。なお、第１導体部４および第２導体部５のそれぞれは、厚み方向に複数の層が積層された積層体であってもよい。
【0067】
異方導電部３の寸法は、その用途および応じて適宜設定される。異方導電部３の厚みは、内側部１１における第１導体部４の厚みＴと、内側部１１に面する第２導体部５の厚みとの合計として、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。第２面３２および第４面２３間の距離は、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、２０μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下である。
【0068】
第１導体部４の寸法は、第１開口部６０の寸法と同一の寸法を有する。第２面３２の面積（第１導体部４の底面積）は、第１開口部６０の開口断面積と同一である。なお、異方導電部３の厚みに対する第１導体部４の厚みＴの割合は、例えば、２０％以上、好ましくは、４０％以上であり、また、例えば、９０％以下、好ましくは、７０％以下である。
【0069】
第２導体部５の厚みは、例えば、２μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。異方導電部３の厚みに対する第２導体部５の厚みの割合は、例えば、１０％以上、好ましくは、３０％以上であり、また、例えば、８０％以下、好ましくは、６０％以下である。第１導体部４の厚みＴに対する第２導体部５の厚みの比は、例えば、０．１以上、好ましくは、０．２以上であり、また、例えば、５以下、好ましくは、２以下である。
【0070】
異方導電部３の寸法が上記した範囲にあれば、異方導電部３の異方導電性が向上する。
【0071】
【0072】
まず、図３Ａに示すように、基材シート２０を準備する。
【0073】
基材シート２０は、面方向に延びるシート形状を有する。基材シート２０は、例えば、ステンレスなどの金属からなる金属層（図示せず）と、金属層の厚み方向一方面に配置され、例えば、ポリイミドなどの樹脂からなる樹脂層とを備える。
【0074】
次いで、図３Ｂに示すように、複数の第１導体部４（図１参照）を基材シート２０の厚み方向一方面に配置する。例えば、アディティブ法やサブトラクティブ法などのパターンニング法により、複数の第１導体部４を、基材シート２０の厚み方向一方面に、面方向に互いに間隔を隔てて形成する。
【0075】
次いで、図３Ｃに示すように、第１絶縁層２３を、基材シート２０の厚み方向一方面に、複数の第１導体部４の内側部１１を露出するように、配置する。
【0076】
第１絶縁層２３は、絶縁層２（図２参照）の厚み方向他方側部分に相当する。第１絶縁層２３は、第１周側面６１、第１一方面６２、第３周側面４３および延出面７を形成する。
【0077】
第１絶縁層２３を形成するには、例えば、感光性の樹脂のワニスを、基材シート２０の一方面に、複数の第１導体部４の第１面３１および第３面３３を被覆するように塗布し、続いて、露光および現像により、複数の第３周側面４３を形成する。これにより、複数の内側部１１を露出する第１絶縁層２３を形成する。
【0078】
次いで、図３Ｄに示すように、第２導体部５を、第１絶縁層２３の第３周側面４３および延出面７と、第１導体部４の内側部１１とに配置する。
【0079】
複数の第２導体部５を配置する方法としては、例えば、上記した金属を含有するめっき浴を用いるめっき、例えば、上記した金属からなる粒子を含有するペースト組成物の塗布などが挙げられ、好ましくは、めっき、より好ましくは、電解めっきが挙げられる。
【0080】
これにより、複数の第２導体部５のそれぞれを、複数の第１導体部４のそれぞれに対応するように、配置する。
【0081】
次いで、図３Ｅに示すように、第２絶縁層２４を、第１絶縁層２３の延出面７に、第２導体部５の第４面３４の周端部および第６面３６を接触するように、配置する。
【0082】
第２絶縁層２４は、絶縁層２（図２参照）の厚み方向一方側部分に相当する。第２絶縁層２４は、第４周側面４４、対向面３７および第５周側面４５を形成する。
【0083】
第２絶縁層２４の形成方法は、第１絶縁層２３のそれと同様である。
【0084】
第１絶縁層２３および第２絶縁層２４によって、第２開口部７０が形成される。
【0085】
これによって、第１開口部６０および第２開口部７０を有する複数の貫通孔６を有し、第１絶縁層２３および第２絶縁層２４を備える絶縁層２が形成される。
【0086】
【0087】
これによって、絶縁層２と、複数の異方導電部３とを備える異方導電性シート１を、基材シート２０の厚み方向一方面に製造する。
【0088】
その後、図３Ｆに示すように、基材シート２０を除去する。例えば、エッチングなどによって、金属層および樹脂層を、厚み方向他方側から順次除去する。
【0089】
これにより、第２面３２および絶縁第２面２２が、厚み方向他方側に露出する。
【0090】
これによって、絶縁層２と複数の異方導電部３とを備える異方導電性シート１を製造する。
【0091】
次に、異方導電性シート１を用いて導通検査を実施する方法を、図３Ｅを参照して説明する。
【0092】
まず、図３Ｆの仮想線で示すように、異方導電性シート１の厚み方向一方側に、複数の第１端子４１を配置する。併せて、異方導電性シート１の厚み方向他方側に、複数の第２端子４２を配置する。
【0093】
複数の第１端子４１としては、例えば、被検査用端子、具体的には、半導体素子の端子、フレキシブルプリント配線板の端子などが挙げられる。複数の第２端子４２としては、例えば、検査用端子などが挙げられ、具体的には、テスタープローブなどが挙げられる。
【0094】
続いて、図３Ｆの実線で示すように、複数の第１端子４１のそれぞれの先端、および、複数の第２端子４２のそれぞれの先端を、異方導電部３の複数の第４面３４の内側部分のそれぞれ、および、複数の第２面３２のそれぞれに接触させる。その後、第２端子４２が備えられる検査装置（具体的には、テスター）の駆動に基づいて、第１端子４１が備えられる半導体素子やフレキシブルプリント配線板を導通検査する。
【0095】
そして、この異方導電性シート１では、第１導体部４は、略平板形状に形成されるので、十分な厚みＴを確保し易く、そのため、異方導電部３の異方導電性を確実に向上させることができる。
【0096】
また、第１導体部４の周端部と、第２導体部５において延出面７に接触する部分とは、厚み方向において、絶縁層２の挟まれ部４０を挟んでいる。そのため、異方導電部３の絶縁層２からの脱落を抑制することができる。
【0097】
従って、この異方導電性シート１は、異方導電部３の絶縁層２からの脱落の抑制と、異方導電部３の優れた異方導電性とを両立することができる。
【0098】
＜変形例＞
変形例において、一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態およびその変形例を適宜組み合わせることができる。
変形例において、一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態およびその変形例を適宜組み合わせることができる。
【0099】
【0100】
図４の変形例における導体本体部５１は、一実施形態の第２導体部５に相当する。この変形例では、導体本体部５１は、第２導体部５の厚み方向他方側部分に相当する。
【0101】
導体補助部５２は、導体本体部５１の厚み方向一方面に配置されている。導体補助部５２は、第２導体部５の厚み方向一方側部分に相当する。導体補助部５２は、第５周側面４５に接触している。導体補助部５２の厚み方向一方面は、第２導体部５の第４面３４に相当する。導体補助部５２の厚みは、例えば、０．０１μｍ以上、また、１μｍ以下である。
【0102】
また、この異方導電性シート１は、第３導体部４８をさらに備える。
【0103】
第３導体部４８は、第１導体部４の第２面３２と、第１導体部４の周囲（外側近傍）に位置する絶縁層２の絶縁第２面２２とに接触している。第３導体部４８は、底面視において、第１導体部４を包含しており、第１導体部４よりやや大きい寸法（面方向長さ）を有する。
【0104】
第３導体部４８の材料および厚みは、導体補助部５２のそれらと同様である。
【0105】
一実施形態の製造方法では、２つの絶縁層（第１絶縁層２３および第２絶縁層２４）から絶縁層２を形成しているが、例えば、図５Ａ～図５Ｇに示すように、３つの絶縁層（第３絶縁層２５、第４絶縁層２６および第５絶縁層２７）から絶縁層２を形成することもできる。
【0106】
この変形例では、図５Ａに示すように、まず、基材シート２０を準備し、次いで、図５Ｂに示すように、第３絶縁層２５を、基材シート２０の厚み方向一方面に配置する。第３絶縁層２５を、第１導体部４の逆パターンで、基材シート２０の厚み方向一方面に形成する。第３絶縁層２５は、絶縁層２（図２参照）における絶縁第２面２２および第１周側面６１を形成する。
【0107】
次いで、図５Ｃに示すように、第１導体部４を、基材シート２において第３絶縁層２５から露出する厚み方向一方面（露出面）に形成し、次いで、図５Ｄに示すように、第４絶縁層２６を、第３絶縁層２５および第１導体部４に対して配置する。
【0108】
第３絶縁層２５および第４絶縁層２６は、上記した変形例における第１絶縁層２３（図３Ｃ参照）に相当し、具体的には、第１絶縁層２３と同一の形状を有する。第４絶縁層２６は、第１一方面６２、第３周側面４３および延出面７を形成する。
【0109】
次いで、図５Ｅに示すように、第２導体部５を形成し、続いて、図５Ｆに示すように、第５絶縁層２７を形成する。第５絶縁層２７は、上記した変形例における第２絶縁層２４（図３Ｅ参照）に相当し、具体的には、第２絶縁層２４と同一の形状を有する。第５絶縁層２７は、第４周側面４４、対向面３７および第５周側面４５を形成する。これにより、第３絶縁層２５、第４絶縁層２６および第５絶縁層２７からなる絶縁層２を形成する。
【0110】
その後、図５Ｇに示すように、基材シート２０を除去する。
【0111】
図６に示すように、この変形例では、第３周側面４３は、テーパ面９と、縦面１０とを含む。
【0112】
テーパ面９は、第３周側面４３における厚み方向他方側部分に相当する。
【0113】
縦面１０は、テーパ面９の厚み方向一方側に配置される。つまり、縦面１０は、第３周側面４３における厚み方向一方側部分に相当する。具体的には、縦面１０は、テーパ面９の厚み方向一端縁から、厚み方向一方側に延び、延出面７に連続する。縦面１０は、厚み方向に延びる略筒形状（具体的には、テーパ面９の錐台形状と軸線を共有する略円筒形状または略角筒形状）を有する。縦面１０は、断面視において、ストレート面である。具体的には、断面視において、面方向に対向する２つの縦面１０の対向距離は、同一である。
【0114】
一方、図７に示すように、この変形例では、第２周側面４３は、テーパ面９を含まず、縦面１０を含む。具体的には、第２周側面４３は、縦面１０のみを含む。
【0115】
また、一実施形態では、第１導体部４の第２面３２は、絶縁層２の絶縁第２面２２と面一であったが、図８に示すように、絶縁層２の絶縁第２面２２より、厚み方向他方側に位置してもよい。
【0116】
この変形例では、図８に示すように、第１導体部４は、その厚み方向他方側部分が、面方向に投影したときに、絶縁層２の絶縁第２面２２から厚み方向他方側に突出している。具体的には、第１導体部４の第３面３３は、その厚み方向一方側部分が絶縁層２に被覆される一方、その厚み方向他方側部分が絶縁層２から露出する。
【0117】
なお、図８に示す変形例より、図２に示す一実施形態、図６および図７に示す変形例が、好適である。図２に示す一実施形態、図６および図７に示す変形例は、第２面３２が絶縁第２面２２と面一であるので、第２面３２が絶縁第２面２２より厚み方向一方側に突出する図８に示す変形例より、異方導電性シート１の厚み方向他方面の平滑化を図ることができる。
【0118】
図９に示すように、第２周側面４３が、テーパ面９および縦面１０を含み、かつ、第２面３２が絶縁第２面２２より厚み方向一方側に突出することもできる。
【0119】
図１０に示すように、第２周側面４３が、テーパ面９を含まず、縦面１０のみを含み、かつ、第２面３２が絶縁第２面２２より厚み方向一方側に突出することもできる。
【0120】
さらには、図１１に示すように、第２導体部５の第４面３４の周端部が、厚み方向一方側に露出することもできる。
【0121】
第２導体部５の第６面３６は、絶縁層２の第４周側面４４と間隔が隔てられる。
【0122】
第２周側面８は、第５周側面４５を含まず、第３周側面４３および第４周側面４４のみを備える。第４周側面４４の厚み方向一端縁は、絶縁第１面２１に連続する。
【0123】
【0124】
また、一実施形態では、第１導体部４は、平面視において、第２導体部５より大きいが、例えば、図示しないが、同一寸法またはそれより小さい寸法を有することができる。なお、この変形例でも、絶縁層２は、挟まれ部４０を有する。
【符号の説明】
【0125】
１ 異方導電性シート
２ 絶縁層
３ 異方導電部
４ 第１導体部
５ 第２導体部
６ 開口部
７ 延出面
８ 周側面
９ テーパ面
１１ 内側部分
１２ 周端部
２２ 絶縁第２面
３１ 第１面（第１導体層）
３２ 第２面（第１導体層）
４３ 第２周側面（周側面の一例）
２ 絶縁層
３ 異方導電部
４ 第１導体部
５ 第２導体部
６ 開口部
７ 延出面
８ 周側面
９ テーパ面
１１ 内側部分
１２ 周端部
２２ 絶縁第２面
３１ 第１面（第１導体層）
３２ 第２面（第１導体層）
４３ 第２周側面（周側面の一例）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】