特許 7404072 測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-15

(45)【発行日】2023-12-25

(54)【発明の名称】測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20231218BHJP

   G01R 31/00 20060101ALI20231218BHJP

   H05K 13/00 20060101ALI20231218BHJP

【ＦＩ】

G01R31/28 H

G01R31/00

H05K13/00 Z

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2019561417

(86)(22)【出願日】2017-12-26

(86)【国際出願番号】 JP2017046551

(87)【国際公開番号】W WO2019130411

(87)【国際公開日】2019-07-04

【審査請求日】2020-07-21

【審判番号】

【審判請求日】2023-01-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000969

【氏名又は名称】弁理士法人中部国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 明

(72)【発明者】

【氏名】川添 亜里沙

【合議体】

【審判長】石井 哲

【審判官】▲高▼見 重雄

【審判官】渡▲辺▼ 純也

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－２６３２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２５７３４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１０５２６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】登録実用新案第（ＪＰ，Ｕ）３１８８７６１

【文献】特開２００９－２２９０８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－２９４５８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１６３０６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０３５９９２５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

G01R31/28

G01R31/00

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品供給装置によって供給された部品を回路基板に装着する装着機に搭載され、
部品を保持する保持台と、
前記保持台を移動させる保持台移動装置と、
固定子と、前記固定子に対して接近・離間可能に設けられた可動子とを備えた一対の測定子と
を含み、前記一対の測定子が前記部品を挟むことにより、前記部品の電気的特性を測定し、前記部品の電気的特性を測定した後に、前記一対の測定子に対してエアが供給され、前記一対の測定子が互いに離間して放された前記部品を廃棄通路を経て廃棄する廃棄状態となる測定装置であって、
前記保持台が、前記部品が載置される部品載置部と、前記部品載置部を保持する載置部保持体とを含み、
前記保持台移動装置が、前記保持台を、当該測定装置の初期状態における位置である前進端位置と、当該測定装置の前記廃棄状態における位置である後退端位置との間で移動させるものであり、
前記保持台の前記後退端位置において、前記一対の測定子の間の空間が、前記廃棄通路の開口に連通した状態にあり、
前記初期状態において前記可動子が前記固定子から離間した状態にあり、前記部品載置部に部品が載置された場合に、前記可動子が前記固定子に接近して、前記部品載置部に載置された部品を把持し、その把持位置である測定位置において、前記可動子と前記固定子とにより、前記部品の電気的特性が測定され、
当該測定装置が、
前記一対の測定子のうちの前記固定子に接続され、２本の同軸ケーブルを有する同軸ケーブル部と、前記一対の測定子のうちの前記可動子に接続され、２本の同軸ケーブルを有する同軸ケーブル部とを備えた一対の同軸ケーブル部と、
前記一対の同軸ケーブル部に設けられ、前記一対の測定子の前記固定子に接続された前記同軸ケーブル部が有する前記２本の同軸ケーブルと、前記一対の測定子の前記可動子に接続された前記同軸ケーブル部が有する前記２本の同軸ケーブルとを含む４本の同軸ケーブルの各々の外部導体を互いに電気的に接続し、同一電位とする同一電位部と、
少なくとも前記保持台および前記一対の測定子を覆うシールドカバーと
を含み、
前記同一電位部において、前記４本の同軸ケーブルの各々が概して四角形の４つの頂点の各々にそれぞれ位置し、かつ、前記４本の同軸ケーブルのうち前記４つの頂点のうちの互いに隣接する２つずつの前記頂点に位置する２本ずつの同軸ケーブルの各々の前記外部導体同士がそれぞれ電気的に接続されることにより前記４本の同軸ケーブルの各々の前記外部導体が互いに電気的に接続され、
前記同一電位部が、前記可動子に接続された前記同軸ケーブル部の前記２本の同軸ケーブルの各々の、前記可動子への接続部から前記同一電位部までの長さが、前記固定子に接続された前記同軸ケーブル部の前記２本の同軸ケーブルの各々の、前記固定子への接続部から前記同一電位部までの長さより長くなる部分に設けられ、
前記シールドカバーの、前記保持台が前記前進端位置にある場合に前記部品載置部の上方、かつ、前記測定位置の上方、かつ、前記保持台が前記後退端位置にある場合に前記廃棄通路の開口の上方に位置する部分に貫通穴が設けられた測定装置。

【請求項2】

当該測定装置が、
前記保持台と前記一対の測定子とが設けられた測定台と、
その測定台を保持するベース部と
を含み、
前記保持台と前記測定台とが電気的に接続され、
前記測定台と前記ベース部とが電気的に接続され、
前記シールドカバーと前記ベース部とが電気的に接続された請求項１に記載の測定装置。

【請求項3】

前記同一電位部が、前記４本の同軸ケーブルの各々の、前記可動子または前記固定子への接続部からの長さが２００ｍｍ以下の部分に設けられた請求項１または２に記載の測定装置。

【請求項4】

当該測定装置が、前記部品の電気的特性を検出する電気的特性検出部を含み、
前記４本の同軸ケーブルの各々が、一端部である測定子側接続部において前記固定子または可動子に接続され、他端部である検出部側接続部において前記電気的特性検出部に接続され、
前記４本の同軸ケーブルの各々の、前記測定子側接続部と前記同一電位部との間の長さが、前記測定子側接続部と前記検出部側接続部との間の長さの１０％以下とされた請求項１ないし３のいずれか１つに記載の測定装置。

【請求項5】

当該測定装置が、
前記保持台と前記一対の測定子とが設けられた測定台と、
その測定台を保持するベース部と
を含み、
前記保持台と前記測定台とが電気的に接続され、
前記測定台と前記ベース部とがアース線によって接続された請求項１ないし４のいずれか１つに記載の測定装置。

【請求項6】

少なくとも前記測定台と前記保持台とについて、同じ導電性材料によって表面処理が施された請求項２または５に記載の測定装置。

【請求項7】

前記同一電位部において、前記４本の同軸ケーブルの各々の前記外部導体が、まとめて、導電性のテープによって巻かれるとともに、前記４本の同軸ケーブルのうち前記互いに隣接する２つずつの頂点に位置する２本ずつの同軸ケーブルの前記外部導体同士がそれぞれはんだで接続された請求項１ないし６のいずれか１つに記載の測定装置。

【請求項8】

前記同一電位部において、前記４本の同軸ケーブルの各々の前記外部導体が、前記導電性のテープの外側から保護チューブによって覆われた請求項７に記載の測定装置。

【請求項9】

前記同一電位部において、前記４本の同軸ケーブルのうちの前記外部導体に流れる電流の向きが互いに逆である２本の同軸ケーブルの各々が、前記互いに隣接する２つの頂点の各々に位置する請求項１ないし８のいずれか１つに記載の測定装置。

【請求項10】

前記同一電位部において、前記４本の同軸ケーブルのうちの前記一対の測定子のうちの一方に接続された前記同軸ケーブル部に属する前記２本の同軸ケーブルの各々が、前記互いに隣接する２つの頂点の各々に位置する請求項１ないし９のいずれか１つに記載の測定装置。

【請求項11】

部品供給装置によって供給された部品を回路基板に装着する装着機に搭載され、
部品を保持する保持台と、
前記保持台を移動させる保持台移動装置と、
固定子と、前記固定子に対して接近・離間可能に設けられた可動子とを備えた一対の測定子と
を含み、前記一対の測定子が前記部品を挟むことにより、前記部品の電気的特性を測定し、前記部品の電気的特性を測定した後に、前記一対の測定子に対してエアが供給され、前記一対の測定子が互いに離間して放された前記部品を廃棄通路を経て廃棄する廃棄状態となる測定装置であって、
前記保持台が、前記部品が載置される部品載置部と、前記部品載置部を保持する載置部保持体とを含み、
前記保持台移動装置が、前記保持台を、当該測定装置の初期状態における位置である前進端位置と、当該測定装置の前記廃棄状態における位置である後退端位置との間で移動させるものであり、
前記保持台の前記後退端位置において、前記一対の測定子の間の空間が、前記廃棄通路の開口に連通した状態にあり、
前記初期状態において前記可動子が前記固定子から離間した状態にあり、前記部品載置部に部品が載置された場合に、前記可動子が前記固定子に接近して、前記部品載置部に載置された部品を把持し、その把持位置である測定位置において、前記可動子と前記固定子とにより、前記部品の電気的特性が測定され、
当該測定装置が、
前記一対の測定子のうちの一方に接続され、２本の同軸ケーブルを有する同軸ケーブル部と、前記一対の測定子のうちの他方に接続され、２本の同軸ケーブルを有する同軸ケーブル部とを備えた一対の同軸ケーブル部と、
前記一対の同軸ケーブル部に設けられ、前記一対の測定子の一方に接続された前記同軸ケーブル部が有する前記２本の同軸ケーブルと、前記一対の測定子の他方に接続された前記同軸ケーブル部が有する前記２本の同軸ケーブルとを含む４本の同軸ケーブルの各々の外部導体を互いに電気的に接続し、同一電位とする同一電位部と、
少なくとも前記保持台および前記一対の測定子を覆うシールドカバーと
を含み、
前記同一電位部において、前記４本の同軸ケーブルの各々が概して四角形の４つの頂点の各々にそれぞれ位置し、かつ、前記４本の同軸ケーブルのうち前記４つの頂点のうちの互いに隣接する２つずつの前記頂点に位置する２本ずつの同軸ケーブルの各々の前記外部導体同士がそれぞれ電気的に接続されることにより前記４本の同軸ケーブルの各々の前記外部導体が互いに電気的に接続され、かつ、前記４本の同軸ケーブルのうちの前記外部導体に流れる電流の向きが互いに逆である２本の同軸ケーブルの各々が、前記互いに隣接する２つの頂点の各々に位置し、
前記シールドカバーの、前記保持台が前記前進端位置にある場合に前記部品載置部の上方、かつ、前記測定位置の上方、かつ、前記保持台が前記後退端位置にある場合に前記廃棄通路の開口の上方に位置する部分に貫通穴が設けられた測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、回路基板に装着される部品の検査を行う測定装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に搭載された測定装置であって、(a)部品を保持可能な保持台と、(b)互いに接近・離間可能に設けられ、部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子とを含むものが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－２６３２５号公報

【概要】

【0004】

【課題】

【0005】

本開示の課題は、部品の電気的特性を自動で測定可能な測定装置において、電気的特性を安定的に検出可能とすることである。

【課題を解決するための手段、作用および効果】

【0006】

本開示に係る測定装置は、装着機に搭載され、部品を保持する保持台と、互いに接近・離間可能に設けられた一対の測定子とを含み、一対の測定子が部品を挟むことにより部品の電気的特性を測定する測定装置であって、一対の測定子の各々にそれぞれ接続された一対の同軸ケーブル部と、それら一対の同軸ケーブル部に設けられ、一対の同軸ケーブル部を構成する複数の同軸ケーブルの各々の外部導体が互いに電気的に接続されて、同一電位とされた同一電位部とを含むものとされる。このように、複数の同軸ケーブルの各々の外部導体が同一のグランド電位とされるため、ノイズを低減させることが可能となり、部品の電気的特性を安定的に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本開示の一実施形態である測定装置を含む装着機の斜視図である。

【図2】上記測定装置の要部の斜視図である。

【図3】上記測定装置の要部の断面図である。

【図4】上記測定装置の一部平面図である。

【図5】上記測定装置に含まれるエア回路図である。

【図6】上記測定装置に用いられる同軸ケーブルを概念的に示す図である。

【図7】上記同軸ケーブルに設けられた同一電位部の断面図である。

【図8】上記同一電位部を分解した図である。

【図9】上記同軸ケーブルの測定子側接続部の周辺を示す図である。

【図10】上記測定装置の同軸ケーブルの接続状態を概念的に示す図である。

【図11】上記測定装置の全体を示す斜視図である。

【図12】上記測定装置の制御装置の周辺を概念的に表すブロック図である。

【図13】上記制御装置の記憶部に記憶された電気的特性測定プログラムを表すフローチャートである。

【図14】図１４Ａは上記測定装置の初期状態を示す図であり、図１４Ｂはクランプ状態を示す図であり、図１４Ｃは測定状態を示す図であり、図１４Ｄは廃棄状態を示す図である。

【実施形態】

【0008】

以下、本開示の一実施形態である測定装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。

【実施例】

【0009】

図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。
回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向、ｚ方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持してｘ、ｙ、ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品ｓを吸着して保持する吸着ノズル１８を有する。

【0010】

符号２０はカメラを示す。カメラ２０は、吸着ノズル１８によって保持された部品ｓを撮像するものであり、カメラ２０によって撮像された画像に基づいて、部品ｓが回路基板Ｐに装着される予定のものであるか否かが判定される。符号２２は測定装置を示す。測定装置２２は、部品ｓの電気的特性を測定するものである。部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、測定装置２２によってこれらのうちの１つ以上が測定される。

【0011】

測定装置２２は、ごみ箱２６を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。ごみ箱２６と測定装置２２との間に廃棄通路２８が設けられ、電気的特性が測定された部品ｓが、廃棄通路２８を経てごみ箱２６に収容される。測定装置２２は、ごみ箱２６に高さ調整可能に設けられる。図２，１１に示すように、ごみ箱２６には、昇降可能にベース部３０が係合させられ、ベース部３０に測定台２９が、例えば、ボルトおよびナット等を含む締結部（以下、締結部とは、広く２部材を締結する部材を含むものをいう）３１（図３，４参照）によって着脱可能に保持される。これらベース部３０および測定台２９は一体的に昇降可能とされる。また、測定台２９、ベース部３０には、それぞれ、廃棄通路２８と連通可能な貫通穴２９ａ、３０ａが設けられる（図３，４参照）。

【0012】

測定装置２２は、図２～４，１１に示すように、(i)上記測定台２９およびベース部３０、(ii)部品ｓを保持可能な保持台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)保持台３２を移動させる保持台移動装置４０、(v)可動子３６を固定子３４に対して接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性取得部としての電気的特性検出部４２等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端部に電極を有し、一対の測定子３７によって把持可能なものであり、例えば、角チップとすることができる。

【0013】

保持台３２は、部品載置部４４と、部品載置部４４を保持する載置部保持体４６とを含む。部品載置部４４にはＶ溝４４ｃが形成され、部品ｓが載せられる。部品載置部４４は載置部保持体４６に当接し、かつ、締結部４７によって固定される。また、載置部保持体４６が測定台２９にストッパ９０（図３参照）を介して当接し、上述のように、測定台２９がベース部３０に締結部３１によって固定される。そして、部品載置部４４、載置部保持体４６、ストッパ９０、測定台２９、ベース部３０、締結部３１、４７等は導電性を有する材料である導電性材料で製造されたものである。また、ベース部３０はアースされている。以上により、部品載置部４４は接地される。また、それにより、部品載置部４４に載置させられた部品ｓについては、除電を行うことができる。

【0014】

固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持される。固定子３４は固定子保持体５５に保持され、固定子保持体５５が測定台２９に固定される。可動子３６は可動子保持体５６に一体的に移動可能に保持され、可動子保持体５６が測定台２９に対して移動可能に設けられる。それにより、可動子３６が固定子３４に対して接近・離間可能とされる。

【0015】

固定子保持体５５には、図２，４等に示すように、Ｌ字形ブラケット５７を介して同軸ケーブル部５８が接続され、可動子保持体５６には、Ｌ字形ブラケット５９を介して同軸ケーブル部６０が接続される。Ｌ字形ブラケット５７，５９は、互いにほぼ直交する第１側部と第２側部とを有する形状を成す。固定子保持体５５、固定子３４、可動子保持体５６、可動子３６、ブラケット５７，５９は、いずれも導電性材料で製造されたものであるため、固定子３４、可動子３６と同軸ケーブル部５８，６０とが電気的に接続されることになる。また、これら固定子３４，可動子３６等と、同軸ケーブル部５８，６０、電気的特性検出部４２等とにより、電気的特性測定回路６１が形成される。

【0016】

保持台３２にはカバー部６２が取り付けられる。カバー部６２は、測定時に、部品の周辺を覆うものである。また、カバー部６２は、エアの拡散を防止するとともに、エアの噴出によって落下させられた部品ｓの飛散を防止する機能を果たす。

【0017】

図３に示すように、固定子側の部材｛例えば、固定子３４の上部、固定子保持体５５の固定子３４の上方の部分、測定台２９のうちの１つ以上｝には、エア通路７０が形成され、エアシリンダ７２，７４に接続される。エア通路７０の開口７０ａは可動子３６の対向面３６ｆに対向して形成される。また、エア通路７０にはイオナイザ７６が設けられる。イオナイザ７６は、コロナ放電を生起させてエアをイオン化するものである。

【0018】

図５に示すように、エアシリンダ７２は保持台移動装置４０の駆動源であり、エアシリンダ７２のピストンロッド７２ｐ（図５参照）には載置部保持体４６が連結される。エアシリンダ７２の２つのエア室７２ａ，７２ｂ、エア源７８、エア通路７０、フィルタ（大気）の間に電磁弁装置８０が設けられる。電磁弁装置８０の制御により載置部保持体４６（保持台３２）の移動等が制御される。

【0019】

エアシリンダ７４は可動子移動装置４１の駆動源であり、ピストンロッド７４ｐには可動子保持体５６が連結される。エアシリンダ７４のエア室７４ａ，７４ｂには、電磁弁装置８２を介して、エア源７８、エア通路７０、フィルタ（大気）が接続される。電磁弁装置８２の制御により、可動子保持体５６（可動子３６）の移動等が制御される。また、保持台３２の前進時、可動子３６の後退時には、エアシリンダ７２，７４からエア通路７０にエアが供給され、可動子３６の対向面３６ｆに供給される。

【0020】

保持台３２と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド８６，８７が設けられ、可動子保持体５６と測定台２９との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド８８，８９が設けられ、これらガイドロッド８６，８７、８８，８９（図２参照）により保持台３２と可動子３６とは測定台２９に対して、ｙ方向に互いに相対移動可能とされるとともに、保持台３２と可動子３６とは互いにｙ方向に相対移動可能とされる。

【0021】

また、図３に示すように、可動子保持体５６の固定子側にはストッパ９２が設けられ、測定台２９の固定子保持体５５を保持する部分にはストッパ９０が設けられる。ストッパ９２は、可動子保持体５６と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものであり、ストッパ９０は、固定子３４（測定台２９）と保持台３２との接近限度を規定するものである。

【0022】

一方、図４、１１に示すように、測定台２９の表面２９ｆとベース部３０の表面３０ｆとは、アース線１３２によって接続される。アース線１３２の一端部はＬ字形ブラケット１３０の第１側部に締結部１３１によって取り付けられ、アース線１３２の他端部はベース部３０の表面３０ｆに締結部１３３によって取り付けられる。Ｌ字形ブラケット１３０の第２側部は測定台２９の表面２９ｆに締結部１３４によって取り付けられる。また、Ｌ字形ブラケット１３０、締結部１３１，１３３，１３４は導電性材料によって製造されたものである。そのため、測定台２９とベース部３０とは、アース線１３２によって電気的に接続される。なお、ベース部３０の下端部３０ｄにもアース線１３６が締結部１３７によって取り付けられる。それにより、測定装置２２の全体の除電が図られる。

【0023】

電気的特性測定回路６１において、図４，１０に示すように、同軸ケーブル部５８，６０は、それぞれ、２本ずつの同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、同軸ケーブル６０ａ，６０ｂを含む。同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂは、それぞれ、同じ構造を成すものであり、図６に示すように、同軸状に設けられた、内部導体１４０、絶縁体（誘電体）１４２、外部導体１４４、保護被膜１４６等を含む。外部導体１４４は銅線を網状に編み込んだ網組銅線で形成されることが多く、かつ、グランドに接続されるのが普通である。外部導体１４４を設けることにより、伝達される信号の外部への漏れが抑制される。このことから、外部導体１４４の銅線をシールド線と称することができる。また、これら内部導体１４０、絶縁体１４２、外部導体１４４は保護被膜１４６により覆われる。

【0024】

本実施例においては、部品ｓの電気的特性が自動平衡ブリッジ法により測定され、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂが４端子対測定法により接続される。なお、部品ｓの電気的特性の測定方法、同軸ケーブル部５８，６０の接続方法は、自動平衡ブリッジ法、４端子対測定法に限らない。

【0025】

図７～１０に示すように、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂの内部導体１４０は、それぞれ、１つの（同一の）測定子側接続部５８ｃに接続され、測定子側接続部５８ｃがＬ字形ブラケット５７の第１側部に締結部５７ａによって取り付けられる。同軸ケーブル６０ａ，６０ｂの内部導体１４０も１つの測定子側接続部６０ｃに接続され、測定子側接続部６０ｃがＬ字形ブラケット５９の第１側部に締結部５９ａによって取り付けられる。本実施例において、測定子側接続部５８ｃ、６０ｃが、それぞれ、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、同軸ケーブル６０ａ、６０ｂの各々の共通の一端部とされる。

【0026】

また、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々の他端部である検出部側接続部５８ｐ，５８ｑ、６０ｐ，６０ｑは、図４，１０に示すように、それぞれ、電気的特性検出部４２の端子Ｈｃ，Ｈｐ，Ｌｃ，Ｌｐに接続される。なお、Ｌ字形ブラケット５７，５９は、それぞれ、第２側部において、固定子保持体５５、可動子保持体５６に、締結部５７ｂ、５９ｂによって取り付けられる。

【0027】

図１０に概念的に示すように、端子Ｈｃにおいて、同軸ケーブル５８ａの内部導体１４０に交流電源の出力が供給され、外部導体１４４を経て戻される。端子Ｈｐにおいては、同軸ケーブル５８ｂの内部導体１４０と外部導体１４４との間の電位差が部品ｓに加えられる電圧値として検出される。端子Ｌｃにおいて、同軸ケーブル６０ａの内部導体１４０と外部導体１４４との間に流れる電流が部品ｓを流れる電流値として取得される。厳密には、内部導体１４０と外部導体１４４との間に設けられた図示しない抵抗値ｘの抵抗Ｒの電位差が取得され、その電位差と抵抗値ｘとに基づいて、抵抗Ｒに流れる電流が取得される。端子Ｌｐにおいて、内部導体１４０と外部導体１４４との電位差が検出され、検出された電位差が０となるように、図示しない電気的特性検出部４２の構成要素（発振器等）が制御される。それにより、上述の抵抗Ｒに流れる電流と部品ｓに流れる電流とが同じとなり、その状態で端子Ｌｃにおいて取得された抵抗Ｒに流れる電流が部品ｓを流れる電流値とされるのである。

【0028】

同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々には同一電位部１５０が設けられ、同一電位部１５０において、同軸ケーブル５８ａ、５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々の外部導体１４４が互いに電気的に接続される。図７，８に示すように、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ，６０ａ，６０ｂの各々について保護被膜１４６が剥がされて、露出された外部導体１４４に銅箔のテープ１５２が巻かれ、はんだ１５４が付けられるのである。また、保護被膜１４６が剥がされた部分等は保護チューブ１５６によって覆われる。

【0029】

このように、同一電位部１５０において、図１０に示すように、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々の外部導体１４４を互いに通電可能とすることができ、各々の外部導体１４４の電位を同一とすることができる。

【0030】

同一電位部１５０は、図４，９に示すように、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々の測定子側接続部５８ｃ、６０ｃからの長さが１５０ｍｍ以下の部分に取り付けられる。換言すると、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々の測定子側接続部５８ｃ、６０ｃと同一電位部１５０との間の長さＬｘは、測定子側接続部５８ｃ、６０ｃと検出部側接続部５８ｐ、５８ｑ、６０ｐ、６０ｑとの間の長さＬａの５％以下とされる。このように、同一電位部１５０は、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々の一対の測定子３７への接続部である測定子側接続部５８ｃ、６０ｃの近傍に設けられるのであり、一対の測定子３７の近傍において、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々の外部導体１４４が同一のグランド電位とされるのである。なお、同軸ケーブル５８ａ、５８ｂと同軸ケーブル６０ａ、６０ｂとで、測定子側接続部５８ｃ、６０ｃと同一電位部１５０との間の長さは同じとは限らない。例えば、可動子保持体５６に接続される同軸ケーブル６０ａ、６０ｂについては、固定子保持体５５に接続される同軸ケーブル５８ａ、５８ｂより、測定子側接続部６０ｃと同一電位部１５０との間の長さが長くされる場合がある。

【0031】

このように４端子対測定法により同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂが接続される場合には、部品ｓに流れる電流と、部品ｓに加えられた電圧とが別個の回路で測定されるため、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々の残留インピーダンスの影響を減らすことができる。また、内部導体１４０と外部導体１４４とで、それぞれを流れる電流が逆向きとされるため、内部導体１４０、外部導体１４４の各々の磁束の発生を抑制することができる。そのため、部品ｓに流れる電流、電圧を精度よく測定することができる。

【0032】

一方、図１１に示すように、ベース部３０には、測定台２９に保持された保持台３２、一対の測定子３７等を覆う状態で、シールドカバー１８０が取り付けられる。シールドカバー１８０は、概して、中空の直方体状を成すものであり、ベース部３０に設けられた締結部１８２，１８４によって取り付けられる。締結部１８２，１８４は、導電性材料で製造されたものであるため、シールドカバー１８０は、ベース部３０に電気的に接続される。また、シールドカバー１８０の上面の部品載置部４４に対応する部分には貫通穴１９０が形成される。貫通穴１９０は部品ｓをシールドカバー１８０の外部からＶ溝４４ｃに載せるためのものである。

【0033】

また、導電性材料で製造された部材、例えば、ベース部３０、測定台２９、これらベース部３０、測定台２９に保持された部材（保持台３２、可動子移動体５６、Ｌ字形ブラケット５７、５９、１３０、締結部３１、１３１、５７ａ，５９ｂ、５９ａ，５９ｂ、１８２，１８４、シールドカバー１８０等、ただし、固定子３４、可動子３６の対向面３４ｆ、３６ｆを除く）には、同じ導電性材料、例えば、無電解ニッケルにより表面処理が施される。それにより、導通性が向上する。

【0034】

当該装着機は制御装置２００を含む。制御装置２００は、図１２に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ２０２と、複数の駆動回路２０４とを含む。コントローラ２０２は、実行部２１０、記憶部２１２、入出力部２１４等を含み、入出力部２１４には、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路２０４を介して接続されるとともに、可動子移動装置４１、保持台移動装置４０の電磁弁装置８０，８２等が接続される。また、電気的特性検出部４２、ディスプレイ２１６、可動子位置センサ２１８、保持台位置センサ２２０、ノズル高さセンサ２２２等が接続される。

【0035】

部品ｓの電気的特性は、図１３のフローチャートで表される電気的特性測定プログラムの実行により測定される。電磁弁装置８０，８２は、可動子位置センサ２１８、保持台位置センサ２２０の出力信号等に基づいて制御される。測定結果は、ディスプレイ２１６に表示されるようにすることができる。測定装置２２は、常には、図１４Ａに示す初期状態にある。可動子３６は後退端位置にあり、保持台３２は前進端位置、すなわち、ストッパ９０に当接した位置にある。

【0036】

ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。例えば、段取り替えが行われる場合等、部品ｓの電気的特性の測定指令が出された場合には、判定がＹＥＳとなり、Ｓ２において、装着ヘッド１６が移動させられる。装着ヘッド１６がＶ溝４４ｃ上に到達し、吸着ノズル１８が下降させられ、部品ｓが開放され、部品ｓがＶ溝４４ｃに載置させられる。

【0037】

Ｓ３において、電磁弁装置８２の制御により可動子３６が前進させられ、図１４Ｂに示すように、可動子３６と固定子３４とにより部品ｓがクランプされる。Ｓ４において、図１４Ｃに示すように、電磁弁装置８０の制御により保持台３２がストッパ９２に当接するまで後退させられる。保持台３２は、部品ｓおよび可動子３６と接触しない位置に達する。

【0038】

Ｓ５において、吸着ノズル１８により部品ｓが開放され、Ｖ溝４４ｃに載せられた時から、設定時間である除電時間が経過するのが待たれる。除電時間は、部品ｓに帯電していた静電気が除去される時間であり、予め決められている。経過時間が除電時間に達すると、Ｓ５の判定がＹＥＳとなり、Ｓ６において部品ｓの電気的特性が測定される。そして、部品ｓの電気的特性の検出が終了した後に、Ｓ７において、可動子３６が後退させられ、可動子３６と固定子３４との間に把持されていた部品ｓが開放される。また、可動子３６の後退に伴って、エアが開口７０ａから可動子３６の対向面３６ｆに斜め上方から供給される。それにより、仮に、対向面３６ｆから部品ｓを、良好に落下させることができる。

【0039】

Ｓ８において、図１４Ｄが示すように、保持台３２が後退させられる。可動子３６と固定子３４との間の空間は、廃棄通路２８に連通させられるため、部品ｓをごみ箱２６へ廃棄することができる。そして、保持台３２がストッパ９２に当接するまで後退させられた後、Ｓ９において、保持台３２が前進させられ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間に位置する。Ｖ溝４４ｃの上方が空間とされ、部品ｓが載置可能とされ、図４Ａに示す初期状態に戻される。また、保持台３２の前進に伴って、イオンを含むエアが可動子３６の対向面３６ｆに供給されるため、対向面３６ｆの除電を図ることもできる。

【0040】

以上のように、本実施例においては、同一電位部１５０が一対の測定子３７の近傍に設けられるため、同軸ケーブル５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂの各々の測定子３７の近傍においてノイズを低減することができる。また、シールドカバー１８０が設けられるため、外部から測定台２９上に供給されるノイズを遮断することができる。さらに、測定台２９とベース部３０とがアース線１３２によって接続され、測定台２９に保持された部材、ベース部３０、シールドカバー１８０等には、同じ導電性材料により表面処理が施される。それにより、保持台３２、一対の測定子３７等の測定台２９に設けられた部材の電荷を速やかに、かつ、良好に除去することができる。
以上により、本実施例に係る測定装置２２においては、部品ｓの電気的特性を精度よく測定することができるのであり、仮に、インピーダンスが小さい部品ｓであっても、その部品ｓのインピーダンスを精度よく測定することができる。

【0041】

以上、実施形態に記載の態様の他、本開示は、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。

【符号の説明】

【0042】

２２：測定装置 ２９：測定台 ３０：ベース部 ３１：締結部 ３２：保持台 ３４：固定子 ３６：可動子 ４２：ＬＣＲ検出部 ４４：部品載置部 ５７，５９：ブラケット ５８、６０：同軸ケーブル部 ５８ａ，５８ｂ、６０ａ，６０ｂ：同軸ケーブル １３２:アース線 １４０：内部導体 １４２：誘電体 １４４：外部導体 １４６：外部被膜 １５０：同一電位部 １５２：銅箔 １５４：はんだ １８０：カバー

【請求可能な態様】

【0043】

（１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に搭載され、部品を保持する保持台と、互いに接近・離間可能に設けられた一対の測定子とを含み、前記一対の測定子が前記部品を挟むことにより、前記部品の電気的特性を測定する測定装置であって、
前記一対の測定子の各々にそれぞれ接続された一対の同軸ケーブル部と、
それら一対の同軸ケーブル部に設けられ、前記一対の同軸ケーブル部に含まれる複数の同軸ケーブルの各々の外部導体を互いに電気的に接続し、同一電位とする同一電位部と
を含む測定装置。
同軸ケーブル部の各々は、１本の同軸ケーブルを含むものであっても２本の同軸ケーブルを含むものであってもよい。

【0044】

（２）前記同一電位部が、前記複数の同軸ケーブルの各々の、前記一対の測定子への接続部である測定子側接続部からの長さが２００ｍｍ以下の部分に設けられた(1)項に記載の測定装置。
同軸ケーブルの各々の、測定子側接続部と同一電位部との間の長さは、１７０ｍｍ以下、１５０ｍｍ以下、１３０ｍｍ以下、１１０ｍｍ以下、８０ｍｍ以下、５０ｍｍ以下、３０ｍｍ以下とすることができる。同一電位部は、測定子側接続部の近傍に設けられる。近傍とは、外部導体が同一電位とされることにより、測定子の周辺においてノイズを低減し、部品の電気的特性を精度よく検出し得る部分である。

【0045】

（３）当該測定装置が、前記複数の同軸ケーブルの各々から入力された信号に基づいて前記部品の電気的特性を検出する電気的特性検出部を含み、
前記複数の同軸ケーブルの各々が、一端部である測定子側接続部において前記一対の測定子に接続され、他端部である検出部側接続部において前記電気的特性取得部に接続され、
前記複数の同軸ケーブルの各々の前記測定子側接続部と前記同一電位部との間の長さが、前記測定子側接続部と前記検出部側接続部との間の長さの１０％以下とされた(1)項または(2)項に記載の測定装置。
同軸ケーブルの各々の測定子側接続部と同一電位部との間の長さは、測定子側接続部と検出部側接続部との間の長さの７％以下、５％以下、３％以下、２％以下、１％以下等とすることができる。

【0046】

（４）前記一対の同軸ケーブル部の各々が、それぞれ、２本ずつの同軸ケーブルから構成され、
前記２本ずつの同軸ケーブルが、４端子対測定法により接続された(1)項ないし(3)項のいずれか１つに記載の測定装置。

【0047】

（５）当該測定装置が、少なくとも前記保持台および前記一対の測定子を覆うシールドカバーを含む(1)項ないし(4)項のいずれか１つに記載の測定装置。

【0048】

（６）前記シールドカバーの、前記保持台の前記部品を保持する部分に対応する部分に、貫通穴が形成された(5)項に記載の測定装置。
部品は、シールドカバーの外部から、貫通穴を通って保持台に載せられる。

【0049】

（７）当該測定装置が、
前記保持台と前記一対の測定子とが設けられた測定台と、
その測定台を保持するベース部と
を含み、
前記シールドカバーと前記ベース部とが電気的に接続された(5)項または(6)項に記載の測定装置。
シールドカバーとベース部とは、アース線を介して電気的に接続されるようにしたり、締結部を介して電気的に接続されるようにしたりすること等ができる。

【0050】

（８）当該測定装置が、
前記保持台と前記一対の測定子とが設けられた測定台と、
その測定台を保持するベース部と
を含み、
前記測定台と前記ベース部とがアース線によって接続された請求項１ないし６のいずれか１つに記載の測定装置。
ベース部と測定台とは、メンテナンスの都合上、別部材とされ、測定台はベース部に着脱可能に取り付けられる場合があり、その場合に、測定台とベース部とはアース線によって接続されることが望ましい。

【0051】

（９）少なくとも前記測定台と前記保持台とについて、同じ導電性材料によって表面処理が施された(7)項または(8)項に記載の測定装置。

【0052】

（１０）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に搭載され、部品を保持する保持台と、互いに接近・離間可能に設けられた一対の測定子とを含み、前記一対の測定子が前記部品を挟むことにより、前記部品の電気的特性を測定する測定装置であって、
少なくとも前記保持台と前記一対の測定子とを覆うシールドカバーを含む測定装置。
本項に記載の測定装置には、(1)項ないし(9)項のいずれかに記載の技術的特徴を採用することができる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】