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特許7404558ＭＥＭＳ気密シール装置および方法
発明の名称 ＭＥＭＳ気密シール装置および方法
出願人 エルビット システムズ オブ アメリカ，エルエルシー （識別番号 512169604）
特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7404558
公報発行日 2023年12月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7404558
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