この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の一つの半導体装置100の一例を示す上面図である。
【図2】
半導体装置100の他の構造例を示す上面図である。
【図3】
トランジスタ部70に電気的に接続されたゲートパッド112の近傍における、ダイオード部80およびトランジスタ部70の配置例を示す図である。
【図4】
図1および図2における領域Aの拡大図である。
【図5】
図4におけるb-b断面の一例を示す図である。
【図6】
図5のC-C線におけるドーピング濃度分布、結晶欠陥密度分布およびヘリウム濃度分布の一例を示す図である。
【図7】
半導体装置100の他の構造例を示す上面図である。
【図8】
活性部120におけるダイオード部80およびトランジスタ部70の他の配置例を示す図である。
【図9】
活性部120におけるダイオード部80およびトランジスタ部70の他の配置例を示す図である。
【図10】
活性部120の他の構造例を示す図である。
10・・・半導体基板、11・・・ウェル領域、12・・・エミッタ領域、14・・・ベース領域、15・・・コンタクト領域、16・・・蓄積領域、18・・・ドリフト領域、20・・・バッファ領域、21・・・上面、22・・・コレクタ領域、23・・・下面、24・・・コレクタ電極、25・・・濃度ピーク、29・・・直線部分、30・・・ダミートレンチ部、31・・・先端部、32・・・ダミー絶縁膜、34・・・ダミー導電部、38・・・層間絶縁膜、39・・・直線部分、40・・・ゲートトレンチ部、41・・・先端部、42・・・ゲート絶縁膜、44・・・ゲート導電部、52・・・エミッタ電極、56・・・コンタクトホール、60、61・・・メサ部、70・・・トランジスタ部、75・・・連結トランジスタ部、80・・・ダイオード部、81・・・延長領域、82・・・カソード領域、85・・・外周ダイオード部、90・・・エッジ終端構造部、92・・・上面側ライフタイム制御領域、93・・・欠陥密度ピーク、94・・・下面側ライフタイム制御領域、95・・・欠陥密度ピーク、96、97・・・濃度ピーク、100・・・半導体装置、102・・・端辺、104・・・中央位置、112・・・ゲートパッド、120・・・活性部、130・・・外周ゲート配線、131・・・活性側ゲート配線
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