特許7404702IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

半導体装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

半導体装置においては、基板の中央部の温度が高くなりやすい。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するために、本発明の一つの態様においては、第1導電型のドリフト領域が設けられた半導体基板を備える半導体装置を提供する。半導体装置は、半導体基板の下面と接する第2導電型のコレクタ領域を有するトランジスタ部を備えてよい。半導体装置は、半導体基板の下面と接する第1導電型のカソード領域を有し、半導体基板の上面における配列方向に沿ってトランジスタ部と交互に配置されたダイオード部を備えてよ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の一つの半導体装置100の一例を示す上面図である。
【図2】 半導体装置100の他の構造例を示す上面図である。
【図3】 トランジスタ部70に電気的に接続されたゲートパッド112の近傍における、ダイオード部80およびトランジスタ部70の配置例を示す図である。
【図4】 図1および図2における領域Aの拡大図である。
【図5】 図4におけるb-b断面の一例を示す図である。
【図6】 図5のC-C線におけるドーピング濃度分布、結晶欠陥密度分布およびヘリウム濃度分布の一例を示す図である。
【図7】 半導体装置100の他の構造例を示す上面図である。
【図8】 活性部120におけるダイオード部80およびトランジスタ部70の他の配置例を示す図である。
【図9】 活性部120におけるダイオード部80およびトランジスタ部70の他の配置例を示す図である。
【図10】 活性部120の他の構造例を示す図である。

代表図 図1本件の代表的な図

10・・・半導体基板、11・・・ウェル領域、12・・・エミッタ領域、14・・・ベース領域、15・・・コンタクト領域、16・・・蓄積領域、18・・・ドリフト領域、20・・・バッファ領域、21・・・上面、22・・・コレクタ領域、23・・・下面、24・・・コレクタ電極、25・・・濃度ピーク、29・・・直線部分、30・・・ダミートレンチ部、31・・・先端部、32・・・ダミー絶縁膜、34・・・ダミー導電部、38・・・層間絶縁膜、39・・・直線部分、40・・・ゲートトレンチ部、41・・・先端部、42・・・ゲート絶縁膜、44・・・ゲート導電部、52・・・エミッタ電極、56・・・コンタクトホール、60、61・・・メサ部、70・・・トランジスタ部、75・・・連結トランジスタ部、80・・・ダイオード部、81・・・延長領域、82・・・カソード領域、85・・・外周ダイオード部、90・・・エッジ終端構造部、92・・・上面側ライフタイム制御領域、93・・・欠陥密度ピーク、94・・・下面側ライフタイム制御領域、95・・・欠陥密度ピーク、96、97・・・濃度ピーク、100・・・半導体装置、102・・・端辺、104・・・中央位置、112・・・ゲートパッド、120・・・活性部、130・・・外周ゲート配線、131・・・活性側ゲート配線

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