特許 7405105 ミラーモジュール及び測距装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-18

(45)【発行日】2023-12-26

(54)【発明の名称】ミラーモジュール及び測距装置

(51)【国際特許分類】

   G01S 7/481 20060101AFI20231219BHJP

   G02B 26/10 20060101ALI20231219BHJP

   G02B 26/08 20060101ALI20231219BHJP

   G01S 17/931 20200101ALI20231219BHJP

   G01C 3/06 20060101ALI20231219BHJP

【ＦＩ】

G01S7/481 A

G02B26/10 104Z

G02B26/08 E

G01S17/931

G01C3/06 120Q

G01C3/06 140

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2021025392

(22)【出願日】2021-02-19

(65)【公開番号】P2022127317

(43)【公開日】2022-08-31

【審査請求日】2022-12-08

(73)【特許権者】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(74)【代理人】

【識別番号】110000578

【氏名又は名称】名古屋国際弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】林 幸毅

(72)【発明者】

【氏名】林 邦彦

【審査官】仲野 一秀

(56)【参考文献】

【文献】特開２００７－２７９４４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－６４７４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００７／０２８５４８９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】韓国公開特許第１０－２００６－００３９６９０（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｓ ７／４８－７／５１

１７／００－１７／９５

Ｇ０２Ｂ ２６／１０－２６／１２

Ｇ０２Ｂ ６／３５

２６／００－２６／０８

Ｇ０１Ｃ ３／００－３／３２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

非可視光のレーザ光を偏向して走査を行うためのミラーモジュール（２１）であって、
可視光を透過させるとともに前記レーザ光を反射させる反射面を有する、偏向ミラー（２１１，２１２）と、
前記反射面の形状に対応する形状のミラー設置面（２２１，２２２）を有するミラー支持体（２１３）と、
前記ミラーモジュールに関する情報を視認可能な状態で表示する情報表示部（２１４，２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）と、
を備え、
前記情報表示部は、前記偏向ミラーと前記ミラー設置面との間に配置される、ミラーモジュール。

【請求項2】

請求項１に記載のミラーモジュールであって、
前記情報表示部は、前記ミラー支持体の一部であって、前記ミラー設置面に前記情報がレーザ印字された部分（２１４ｃ）である、ミラーモジュール。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載のミラーモジュールであって、
前記ミラー設置面は、前記偏向ミラーにおける前記反射面とは反対側の面に接して前記偏向ミラーを支持するための突出した部分である凸部（２２３，２２４）を有し、
前記ミラー支持体は、表面に反射防止層（２２５）が形成されており、
前記反射防止層は、少なくとも前記レーザ光の反射を抑制する層であり、
前記ミラー設置面は、前記反射防止層が形成されていない領域である非形成領域（２２６，２２７）を有し、
前記凸部は、前記非形成領域内に位置する、ミラーモジュール。

【請求項4】

請求項３に記載のミラーモジュールであって、
前記反射防止層は、少なくとも前記レーザ光及び可視光の反射を抑制する層であり、
前記情報表示部は、前記ミラー支持体の一部であって、前記ミラー設置面に前記情報が刻印された部分（２１４ｂ）及び前記ミラー設置面に前記情報が印字された部分（２１４ｃ）の少なくとも一方であり、
前記情報表示部は、前記ミラー設置面における前記非形成領域に位置する、ミラーモジュール。

【請求項5】

請求項４に記載のミラーモジュールであって、
前記情報表示部については、可視光における反射率について、
前記偏向ミラーの前記反射面における反射率 ＜ 前記情報表示部における反射率
の関係を有している、ミラーモジュール。

【請求項6】

レーザ光を偏向して走査を行うためのミラーモジュール（２１）であって、
前記レーザ光を反射させる反射面を有する偏向ミラー（２１１，２１２）と、
前記反射面の形状に対応する形状のミラー設置面（２２１，２２２）を有するミラー支持体（２１３）と、
を備え、
前記ミラー設置面は、前記偏向ミラーにおける前記反射面とは反対側の面に接して前記偏向ミラーを支持するための突出した部分である凸部（２２３，２２４）を有し、
前記ミラー支持体は、表面に反射防止層（２２５）が形成されており、
前記反射防止層は、少なくとも前記レーザ光の反射を抑制する層であり、
前記ミラー設置面は、前記反射防止層が形成されていない領域である非形成領域（２２６，２２７）を有し、
前記凸部は、前記非形成領域内に位置する、ミラーモジュール。

【請求項7】

請求項３から請求項６までのいずれか１項に記載のミラーモジュールであって、
前記反射防止層は、少なくとも前記ミラー支持体の側面を覆うように形成される、ミラーモジュール。

【請求項8】

請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載のミラーモジュールであって、
前記偏向ミラーは、誘電体多層膜ミラー又は金属ハーフミラーである、ミラーモジュール。

【請求項9】

請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載のミラーモジュールであって、
車両に搭載される測距装置（１）に用いられる、ミラーモジュール。

【請求項10】

請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載のミラーモジュールを備える測距装置であって、
前記ミラーモジュールを回転駆動させるように構成されるモータ（２４）を更に備える、測距装置。

【請求項11】

請求項１０に記載の測距装置であって、
前記モータはブラシレスＤＣモータである、測距装置。

【請求項12】

請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載のミラーモジュールを備える、非可視光の前記レーザ光を偏向して走査を行う測距装置であって、
開口部を有し、内部空間に前記ミラーモジュールを収容する筐体（１００）と、
前記筐体の前記開口部に設けられ、少なくとも前記レーザ光を透過可能な光学窓（２００）と、
を備え、
前記光学窓は、可視光の透過を抑制する機能を有する、測距装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ミラーモジュール及び測距装置に関する。

【背景技術】

【0002】

レーザ光を照射し、照射したレーザ光の物体からの反射光を検出して、その物体までの距離を検出する測距装置がある。この種の測距装置には、レーザ光を偏向して走査を行うために、回転駆動される偏向ミラーが用いられており、出力されたレーザ光は、偏向ミラーで反射され、偏向ミラーの回転角度に応じた方向に出射されることにより、あらかじめ設定された走査範囲内が走査される。

【0003】

特許文献１には、この種の測距装置において、発光部から出力され偏向ミラーで反射された光波が透過部材を透過して測距装置の外部に出射される際に、一部の光波が透過部材で反射され、反射された光波が再び偏向ミラーで反射されることにより、多重反射光（迷光、もしくは乱光という）が発生し得るという課題が記載されている。特許文献１に記載の装置は、偏向ミラーの反射面における透過部材側の端部に、光波の反射率が低い領域である低反射領域を備えることで、迷光の発生を抑制している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０２０－１１２７２２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、レーザ光を偏向走査する測距装置には、偏向ミラーと偏向ミラーが設置されるミラー支持体とを備えるミラーモジュールが用いられるものがある。発明者の詳細な検討の結果、このような測距装置において、以下の課題が見出された。

【0006】

ミラーモジュールの製造段階において、例えば識別番号や検査結果といったミラーモジュールに関する情報を視認可能なようにミラーモジュールに表示する必要が生じる場合がある。この場合、例えば当該情報を表示するラベルがミラーモジュールの外面に貼付されるなど、当該情報を表示する情報表示部がミラーモジュールの外面に配置される。しかしながら、ミラーモジュールの外面に情報表示部が配置されると、走査されるレーザ光が情報表示部で反射されることにより迷光が発生する可能性がある。また、ミラーモジュールの外面における偏向ミラー以外の部分に情報表示部を配置すると、ミラーモジュールが必要以上に大型化するという問題がある。したがって、ミラーモジュールが大型化することなく、視認可能な情報表示部をミラーモジュールに配置しつつ、迷光の発生を抑制することが求められる。

【0007】

本開示の一局面は、迷光の発生を抑制するための技術を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示の一態様は、非可視光（約３６０ｎｍ未満、もしくは８３０ｎｍよりも長い波長の光）のレーザ光を偏向して走査を行うためのミラーモジュール（２１）であって、偏向ミラー（２１１，２１２）と、ミラー支持体（２１３）と、情報表示部（２１４，２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ）と、を備える。偏向ミラーは、可視光（約３６０ｎｍ～約８３０ｎｍの波長の光）を透過させるとともにレーザ光を反射させる反射面を有する。ミラー支持体は、反射面の形状に対応する形状のミラー設置面（２２１，２２２）を有する。情報表示部は、ミラーモジュールに関する情報を視認可能な状態で表示する。また、情報表示部は、偏向ミラーとミラー設置面との間に配置される。

【0009】

このような構成によれば、ミラーモジュールが大型化することなく、情報表示部を視認可能なようにミラーモジュールの内部に配置することができる。よって、視認可能な情報表示部をミラーモジュールに配置しつつ、迷光の発生を抑制できる。

【0010】

本開示の別の態様は、レーザ光を偏向して走査を行うためのミラーモジュール（２１）であって、偏向ミラー（２１１，２１２）と、ミラー支持体（２１３）と、を備える。偏向ミラーは、レーザ光を反射させる反射面を有する。ミラー支持体は、反射面の形状に対応する形状のミラー設置面（２２１，２２２）を有する。ミラー設置面は、偏向ミラーにおける反射面とは反対側の面に接して偏向ミラーを支持するための突出した部分である凸部（２２３，２２４）を有する。ミラー支持体は、表面に反射防止層（２２５）が形成されている。反射防止層は、少なくともレーザ光の反射を抑制する層である。ミラー設置面は、反射防止層が形成されていない領域である非形成領域（２２６，２２７）を有する。凸部は、非形成領域内に位置する。

【0011】

レーザ光がミラー支持体で反射されることによる迷光の発生を抑制するためにミラー支持体の表面を反射防止層で覆うことが考えられるが、偏向ミラーと接する面に反射防止層が形成されるとミラー支持体への偏向ミラーの取付精度が悪化するという問題がある。これに対して、本開示の構成によれば、ミラー支持体への偏向ミラーの取付精度を大きく損なわないようにミラー支持体に反射防止層を設けることができるため、ミラー支持体への偏向ミラーの取付精度の悪化を防ぎつつ、迷光の発生を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】ライダ装置の外観を示す斜視図である。

【図2】ライダ装置の分解斜視図である。

【図3】ライダ装置の筐体内に収容される光検出モジュールの構成を示す斜視図である。

【図4】スキャン部におけるミラーモジュール、仕切板及びクリップの部分の分解斜視図である。

【図5】スキャン部におけるミラーモジュール、仕切板及びクリップの部分を、偏向ミラーの反射面に垂直かつ回転軸を通る面で切断した断面図である。

【図6】偏向ミラーの反射面側からミラーモジュールを見た図である。

【図7】図６とは反対側に設置される偏向ミラーの反射面側からミラーモジュールを見た図である。

【図8】ミラーモジュールを側面から見た図である。

【図9】戻り光が投光偏向部の反射面に入射した場合の光路を示す模式図である。

【図10】戻り光が投光偏向部の側面に入射した場合の光路を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本開示の例示的な実施形態について図面を参照しながら説明する。
［１．構成］
図１に示すライダ装置１は、レーザ光を出射し、出射したレーザ光の物体からの反射光を受光することによって、その物体との距離を測定する測距装置である。ライダ装置１は、車両に搭載して使用され、車両の前方に存在する様々な物体の検出に用いられる。ライダは、LiDARとも表記される。LiDARは、Light Detection and Rangingの略語である。本実施形態では、ライダ装置１は、非可視光のレーザ光を偏向して走査を行うように構成される。ライダ装置１は、レーザ光を走査することにより、距離だけでなく、位置も測定できる。以下、「レーザ光」と表記した場合、ライダ装置１で走査されるレーザ光を意味する。

【0014】

ライダ装置１は、図１に示すように、筐体１００と、光学窓２００と、を備える。筐体１００は、１面が開口された直方体状に形成された樹脂製の箱体である。
以下、筐体１００の略長方形を有した開口部の長手方向に沿った方向をＸ軸方向、開口部の短手方向に沿った方向をＹ軸方向、Ｘ－Ｙ平面に直交する方向をＺ軸方向とする。なお、Ｘ－Ｚ平面が水平となるようにライダ装置１を車両に設置した状態で筐体１００の開口部側から見て、Ｘ軸方向における左右及びＹ軸方向における上下を定義する。また、Ｚ軸方向における前後は、筐体１００の開口部側を前、奥行き側を後と定義する。

【0015】

光学窓２００は、筐体１００の開口部に設けられ、少なくともレーザ光を透過可能に構成される。本実施形態では、光学窓２００は、可視光の透過を抑制する機能を有する。具体的には、光学窓２００は、可視光カットフィルタを有する。可視光カットフィルタは、非可視光を透過させるとともに可視光の透過を抑制する機能を有する光学フィルタである。可視光カットフィルタは、光学窓２００の外面又は内面の全面を覆うように設けられる。あるいは、光学窓２００自体が、上記光学フィルタの機能を有する部材で形成されていてもよい。

【0016】

図２に示すように、筐体１００の内部空間には、光検出モジュール２が収容される。光検出モジュール２は、投光部１０と、スキャン部２０と、受光部３０と、を備える。
以下、光検出モジュール２の構成について詳細に説明する。

【0017】

［２．スキャン部］
図３に示すように、スキャン部２０は、ミラーモジュール２１と、一対の仕切板２２と、一対のクリップ２３と、モータ２４と、を備える。一対の仕切板２２は、一対のクリップ２３によりミラーモジュール２１に固定される。ミラーモジュール２１はモータ２４上に立設される。

【0018】

モータ２４は、ミラーモジュール２１を回転駆動させるように構成される。本実施形態では、モータ２４はブラシレスＤＣモータである。ミラーモジュール２１、一対の仕切板２２及び一対のクリップ２３は、図３において一点鎖線で示す回転軸を中心として、モータ２４の駆動に従って回転運動をする。

【0019】

［３．ミラーモジュール］
図４に示すように、ミラーモジュール２１は、一対の偏向ミラー２１１，２１２と、ミラー支持体２１３と、情報表示部２１４と、を備える。

【0020】

偏向ミラー２１１，２１２は、いずれも、レーザ光を反射させる反射面を有する平板状の部材である。本実施形態では、偏向ミラー２１１，２１２は、可視光を透過させるとともにレーザ光を反射させる反射面を有する。具体的には、偏向ミラー２１１，２１２は、少なくとも可視光を透過させる部材（例えば、ガラス等）で形成されたミラー基板をベースとし、可視光を透過させるとともにレーザ光を反射させる物質を反射面に蒸着することにより反射膜が形成されたものである。より具体的には、偏向ミラー２１１，２１２は、誘電体多層膜ミラーである。誘電体多層膜ミラーは、ガラス基板をベースとし、反射面に、可視光を透過させるとともに非可視光を反射させる誘電体多層膜が、蒸着により形成されたものである。あるいは、偏向ミラー２１１，２１２は、金属ハーフミラーであってもよい。金属ハーフミラーは、ガラス基板をベースとし、反射面に、非可視光よりも可視光の透過率が高い金属膜が、蒸着により形成されたものである。

【0021】

ミラー支持体２１３は、偏向ミラー２１１，２１２の反射面の形状に対応する形状のミラー設置面２２１，２２２を有している。偏向ミラー２１１，２１２は、反射面とは反対側の面がミラー支持体２１３により支持されるように、それぞれミラー設置面２２１，２２２に設置される。具体的には、図３及び図４に示すように、ミラー支持体２１３は、円板部２１３ａと、被設置部２１３ｂと、を備える。円板部２１３ａは、円形かつ板状の部位であり、その円の中心がモータ２４の回転軸に固定される。被設置部２１３ｂは、両面に一対の偏向ミラー２１１，２１２が設置される板状の部位であり、円板部２１３ａの円形面上に立設される。被設置部２１３ｂにおける一対の偏向ミラー２１１，２１２の設置面（すなわち、ミラー設置面２２１，２２２）の形状は、一対の偏向ミラー２１１，２１２の反射面の形状に対応する。

【0022】

なお、一対の偏向ミラー２１１，２１２は、長手方向の幅が異なる二つの長方形を一体化した形状を有する。具体的には、第１の長方形と、第１の長方形よりも長手方向の幅が長い第２の長方形とを、それぞれの長方形の短手方向に沿った中心軸を合わせて、その中心軸に沿って並べて一体化した形状を有する。以下、一対の偏向ミラー２１１，２１２において、第１の長方形に相当する部位を幅狭部、第２の長方形に相当する部位を幅広部という。

【0023】

被設置部２１３ｂを介して一体化された一対の偏向ミラー２１１，２１２は、幅広部を下にして、一体化された状態での中心軸の位置が円板部２１３ａの円の中心と一致するようにして円板部２１３ａに立設される。これにより、ミラーモジュール２１は、モータ２４の回転軸を中心とする回転運動をする。

【0024】

一対の仕切板２２は、一対の偏向ミラー２１１，２１２の幅広部の長手方向の幅と同じ直径を有する円形かつ板状の部材を、半円状の２つの部位に分割したものである。一対の仕切板２２は、一対の偏向ミラー２１１，２１２の幅狭部を両側から挟み込んだ状態、かつ、一対の偏向ミラー２１１，２１２の幅広部と幅狭部との段差部分に当接した状態で、ミラーモジュール２１に固定される。

【0025】

以下、一対の偏向ミラー２１１，２１２のうち、一対の仕切板２２よりも上側の部位、すなわち、幅狭部側の部位を投光偏向部２０ａ、一対の仕切板２２よりも下側の部位、すなわち、幅広部側の部位を受光偏向部２０ｂという。

【0026】

クリップ２３は、図４に示すように、基部２３ａと、基部２３ａから延出する一対の把持部２３ｂと、を有するＵ字状の形状をしている。図３及び図６～図７に示すように、一対のクリップ２３は、一対の偏向ミラー２１１，２１２の幅狭部における回転軸に直交する方向の両端部において、一対の把持部２３ｂで、一対の偏向ミラー２１１，２１２及びミラー支持体２１３を把持する。一対の偏向ミラー２１１，２１２及びミラー支持体２１３は、一対のクリップ２３により付勢され、一体化された状態で固定される。なお、一対の仕切板２２は、図４に示すようにクリップ２３に把持される部分であるガイド部２２ａを有しており、一対の偏向ミラー２１１，２１２及びミラー支持体２１３がクリップ２３に把持される際にガイド部２２ａも挟み込まれることにより、ミラーモジュール２１に固定される。

【0027】

［３－１．凸部及び反射防止層］
図４及び図５に示すように、ミラー設置面２２１は、偏向ミラー２１１における反射面とは反対側の面（以下、「裏面」という。）に接して偏向ミラー２１１を支持するための突出した部分である凸部２２３を有する。具体的には、凸部２２３は、ミラー設置面２２１から偏向ミラー２１１側に突出した部分であって、偏向ミラー２１１の裏面に接する上面を有する部分である。本実施形態では、凸部２２３は、ミラー設置面２２１から四角錐台状に偏向ミラー２１１側に突出する部分であり、ミラー設置面２２１に２つ設けられている。

【0028】

ミラー設置面２２２は、被設置部２１３ｂにおけるミラー設置面２２１とは反対側の面であり、偏向ミラー２１２の裏面に接して偏向ミラー２１２を支持するための突出した部分である凸部２２４を有する。ミラー設置面２２２は、ミラー設置面２２１と同一の形状である。すなわち、ミラー設置面２２２にも、ミラー設置面２２１と同様、２つの凸部２２４が設けられている。

【0029】

本実施形態では、図５～図７に示すように、凸部２２３，２２４は、ミラー設置面２２１，２２２における回転軸方向の中央部分に位置する。具体的には、凸部２２３，２２４は、クリップ２３により付勢される部分に位置する。なお、図６及び図７は、それぞれ偏向ミラー２１１，２１２の反射面側からミラーモジュール２１を見た図であり、偏向ミラー２１１，２１２越しに見えるミラー設置面２２１，２２２の構造も記載されている。

【0030】

図４、図６～図７において幅狭の斜線部分で示すように、ミラー支持体２１３は、表面に反射防止層２２５が形成されている。反射防止層２２５は、少なくともレーザ光の反射を抑制する層である。本実施形態では、反射防止層２２５は、非可視光及び可視光の全波長領域の反射を抑制する層である。具体的には、反射防止層２２５は、黒色の塗膜である。

【0031】

ミラー設置面２２１は、反射防止層２２５が形成されていない領域である非形成領域２２６を有する。また、ミラー設置面２２２は、反射防止層２２５が形成されていない領域である非形成領域２２７を有する。

【0032】

凸部２２３は、非形成領域２２６に位置する。また、凸部２２４は、非形成領域２２７に位置する。すなわち、反射防止層２２５が少なくとも凸部２２３，２２４の表面には形成されないようにして、ミラー支持体２１３の表面に反射防止層２２５が形成される。本実施形態では、ミラー設置面２２１，２２２における凸部２２３，２２４を含む所定の領域がマスキングされて黒色塗装が行われるため、ミラー設置面２２１，２２２における凸部２２３，２２４を含む所定の領域が非形成領域２２６，２２７となる。しかし、ミラー設置面２２１，２２２全体が非形成領域２２６，２２７となる構成でもよい。あるいは、凸部２２３，２２４の表面のみが非形成領域２２６，２２７となる構成でもよい。

【0033】

反射防止層２２５は、少なくともミラー支持体２１３の側面を覆うように形成される。換言すれば、ミラー支持体２１３の側面については、全面が反射防止層２２５で覆われている。ミラー支持体２１３の側面とは、ミラー支持体２１３の表面のうちミラー設置面２２１，２２２ではない部分である。すなわち、少なくともミラー支持体２１３の表面のうち偏向ミラー２１１，２１２で覆われていない部分、換言すれば、露出している部分については、反射防止層２２５が形成される。なお、図示しないが、一対の仕切板２２及び一対のクリップ２３の表面も、全面が反射防止層で覆われている。当該反射防止層は、具体的には、黒色の塗膜である。

【0034】

［３－２．情報表示部］
図４～図７に示すように、ミラーモジュール２１は、ミラーモジュール２１に関する情報を視認可能な状態で表示する情報表示部２１４を有する。ミラーモジュール２１に関する情報とは、例えば、識別番号等を示す識別情報、出荷日や組立日時等を示す日時情報、製品検査結果を示す検査情報、金型番号等の製造工程で必要となる情報を示す製造情報がある。

【0035】

情報表示部２１４は、偏向ミラー２１１，２１２とミラー設置面２２１，２２２との間に配置される。情報表示部２１４が偏向ミラー２１１，２１２とミラー設置面２２１，２２２との間に配置されるとは、次の（１）～（３）の場合を含む。

【0036】

（１）情報表示部が偏向ミラー及びミラー支持体とは別体として構成された部分であり、当該部分が偏向ミラーとミラー設置面との間に配置される場合
図５及び図６に示すように、情報表示部２１４は、偏向ミラー２１１とミラー設置面２２１との間に配置される、偏向ミラー２１１及びミラー支持体２１３とは別体として構成された部分２１４ａであってもよい。例えば、偏向ミラー２１１及びミラー支持体２１３とは別体として構成された部分２１４ａは、偏向ミラー２１１とミラー設置面２２１との間に配置されるラベル２１４ａである。本実施形態では、情報表示部２１４として偏向ミラー２１１とミラー設置面２２１との間にラベル２１４ａが設けられており、ラベル２１４ａはミラー設置面２２１に貼付されている。なお、ラベル２１４ａは、偏向ミラー２１１の裏面に貼付されていてもよい。

【0037】

（２）ミラー設置面自体によって情報が表示され、ミラー設置面における情報が表示される部分が情報表示部である場合
図５及び図７に示すように、ミラー設置面２２２自体によってミラーモジュール２１に関する情報が表示されていてもよく、この場合、ミラー設置面２２２における当該情報が表示される部分２１４ｂ，２１４ｃが情報表示部２１４となる。具体的には、情報表示部２１４は、ミラー支持体２１３の一部であって、ミラー設置面２２２に当該情報が刻印された部分２１４ｂ及びミラー設置面２２２に当該情報が印字された部分２１４ｃの少なくとも一方であってもよい。ミラー支持体２１３の一部であって、ミラー設置面２２２に当該情報が刻印された部分２１４ｂとは、換言すれば、ミラー設置面２２２における刻印が施された部分２１４ｂである。また、ミラー支持体２１３の一部であって、ミラー設置面２２２に当該情報が印字された部分２１４ｃとは、換言すれば、ミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃである。本実施形態では、上述したラベル２１４ａに加え、ミラー設置面２２２における刻印が施された部分２１４ｂ及びミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃが、情報表示部２１４として設けられている。

【0038】

（３）偏向ミラーの裏面自体によって情報が表示され、偏向ミラーの裏面における情報が表示される部分が情報表示部である場合
偏向ミラーの裏面自体によってミラーモジュール２１に関する情報が表示されていてもよく、この場合、偏向ミラーの裏面における当該情報が表示される部分が情報表示部２１４となる。具体的には、図示されないが、情報表示部２１４は、偏向ミラーの一部であって、偏向ミラーの裏面に当該情報が印字された部分であってもよい。換言すれば、情報表示部２１４は、偏向ミラーの裏面における印字が施された部分であってもよい。

【0039】

本実施形態では、情報表示部２１４（具体的には、ラベル２１４ａ、ミラー設置面２２２における刻印が施された部分２１４ｂ及びミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃ）は、すべて投光偏向部２０ａ側に配置されている。しかし、情報表示部２１４は、受光偏向部２０ｂ側に配置されていてもよいし、投光偏向部２０ａ側と受光偏向部２０ｂ側との両方に配置されていてもよい。

【0040】

ミラー設置面２２２における刻印が施された部分２１４ｂ及びミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃは、ミラー設置面２２２における非形成領域２２７に位置する。なお、偏向ミラー２１１及びミラー支持体２１３とは別体として構成された部分２１４ａは、本実施形態では非形成領域２２６に位置するが、偏向ミラー２１１とミラー設置面２２１との間であれば、任意の位置に配置できる。また、偏向ミラーの裏面における印字が施された部分は、偏向ミラーの裏面の任意の部分に位置することができる。
情報表示部２１４は、可視光における反射率について、以下の関係を有している。
偏向ミラー２１１，２１２の反射面における反射率 ＜ 情報表示部２１４における反射率
情報表示部２１４における反射率は、情報表示部２１４のうちミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃについては、文字等の情報を表す部分及びその周辺の部分の少なくとも一方の反射率である。例えば、白の下地に黒の文字が印字されている場合や、黒の下地に白の文字が印字されている場合など、文字等の情報を表す部分及びその周辺の部分の一方のみの反射率が偏向ミラー２１１，２１２の反射面における反射率よりも大きい場合も含む。

【0041】

［３－３．ミラー設置面へのレーザ印字］
情報表示部２１４がミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃである場合、ミラー設置面２２２への印字はレーザ加工により行われてもよい。換言すれば、情報表示部２１４は、ミラー支持体２１３の一部であって、ミラー設置面２２２に当該情報がレーザ印字された部分２１４ｃであってもよい。

【0042】

レーザ印字は、ミラー支持体２１３に偏向ミラー２１２を設置した状態、すなわち、ミラーモジュール２１を組み立てた状態で行うことができる。具体的には、ミラー支持体２１３に偏向ミラー２１２を設置した状態で、偏向ミラー２１２越しにミラー設置面２２２に可視光のレーザビームを照射することにより、ミラー設置面２２２に印字する。偏向ミラー２１２は可視光を透過させるため、可視光レーザを用いることにより、偏向ミラー２１２越しにミラー設置面２２２に印字することができる。

【0043】

本実施形態では、ミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃの印字は、上記の方法によるレーザ印字で行われる。
［４．投光部］
図３に示すように、投光部１０は、一対の発光モジュール１１，１２を備える。投光部１０は、投光折返ミラー１５を備えてもよい。

【0044】

発光モジュール１１は、光源１１１と、発光レンズ１１２と、を備え、両者は対向して配置される。光源１１１には、半導体レーザが用いられる。本実施形態では、光源１１１は、非可視光のレーザ光を発生させるように構成される。具体的には、光源１１１は、赤外光のレーザ光を発生させる赤外半導体レーザである。発光レンズ１１２は、光源１１１から発せられるレーザ光のビーム幅を絞るレンズである。同様に、発光モジュール１２は、光源１２１と、発光レンズ１２２と、を有する。発光モジュール１２は発光モジュール１１と同様であるため、説明を省略する。

【0045】

投光折返ミラー１５は、レーザ光の進行方向を変化させるミラーである。
発光モジュール１１は、当該発光モジュール１１から出力されるレーザ光が、直接、投光偏向部２０ａに入射されるように配置される。

【0046】

発光モジュール１２は、当該発光モジュール１２から出力されるレーザ光が、投光折返ミラー１５にて略９０°進行方向が曲げられて、投光偏向部２０ａに入射されるように配置される。

【0047】

ここでは、発光モジュール１１は、Ｘ軸方向の左から右に向けてレーザ光を出力するように配置され、発光モジュール１２は、Ｚ軸方向の後から前に向けてレーザ光を出力するように配置される。また、投光折返ミラー１５は、発光モジュール１１から投光偏向部２０ａに向かうレーザ光の経路を遮ることがないように配置される。

【0048】

［５．受光部］
受光部３０は、受光素子３１を備える。受光部３０は、受光レンズ３２と、受光折返ミラー３３と、を備えてもよい。

【0049】

受光素子３１は、投光部により出力されたレーザ光の物体からの反射光を受光するように構成される。具体的には、受光素子３１は、複数のＡＰＤを１列に配置したＡＰＤアレイを有する。ＡＰＤは、アバランシェフォトダイオードである。

【0050】

受光レンズ３２は、受光偏向部２０ｂから到来する光を絞るレンズである。
受光折返ミラー３３は、受光レンズ３２のＸ軸方向における左側に配置され、光の進行方向を変化させるミラーである。受光素子３１は、受光折返ミラー３３の下部に配置される。

【0051】

受光折返ミラー３３は、受光偏向部２０ｂから、受光レンズ３２を介して入射する光が受光素子３１に到達するように、光の経路を下方に略９０°屈曲させるように配置される。
受光レンズ３２は、受光偏向部２０ｂと受光折返ミラー３３との間に配置される。受光レンズ３２は、受光素子３１に入射する光ビームのビーム径が、ＡＰＤの素子幅程度となるように絞る。

【0052】

［６．光検出モジュールの動作］
発光モジュール１１から出力されたレーザ光は、投光偏向部２０ａに入射される。また、発光モジュール１２から出力されたレーザ光は、投光折返ミラー１５で進行方向が略９０°曲げられて投光偏向部２０ａに入射される。投光偏向部２０ａに入射されたレーザ光は、光学窓２００を介して、ミラーモジュール２１の回転角度に応じた方向に向けて出射される。ミラーモジュール２１を介してレーザ光が照射される範囲が走査範囲である。例えば、Ｚ軸に沿った前方向を０度としてＸ軸方向に沿って広がる±６０°の範囲を走査範囲とできる。

【0053】

ミラーモジュール２１の回転位置に応じた所定方向、すなわち、投光偏向部２０ａからのレーザ光の出射方向に位置する被検物からの反射光は、光学窓２００を透過し、受光偏向部２０ｂで反射し、受光レンズ３２及び受光折返ミラー３３を介して受光素子３１で受光される。

【0054】

［７．遮蔽部及び低反射部］
［７－１．遮蔽部］
上述のように、偏向ミラー２１１，２１２は、ガラス基板をベースとし、反射面にレーザ光を反射する物質を蒸着することにより反射膜が形成されたものである。偏向ミラー２１１，２１２の反射面は反射膜を有するためレーザ光を反射するが、側面は反射膜を有さないためレーザ光が透過する。

【0055】

図８において斜線部分で示すように、偏向ミラー２１１，２１２の一部の側面には、少なくともレーザ光を透過しにくい部分である遮蔽部２１５ａ，２１５ｂが形成される。遮蔽部２１５ａ，２１５ｂは、例えば、ミラー基板の表面に黒色のインクを印刷することで構成される。なお、図８～図１０には、反射防止層２２５は示していない。

【0056】

遮蔽部２１５ａ，２１５ｂが形成される位置について図９及び図１０を用いて説明する。図９及び図１０は、筐体１００の内部において光検出モジュール２が収容される空間をＹ軸方向における上側から見た模式図である。なお、図９及び図１０では、当該空間のうちＹ軸方向における上側の空間に位置する投光部１０及び投光偏向部２０ａが図示されており、下側の空間に位置する受光部３０及び受光偏向部２０ｂは図示されない。図９及び図１０では、偏向ミラー２１１の反射面が投光部１０及び受光部３０が位置する方向に向いている状態である。

【0057】

遮蔽部２１５ａは、偏向ミラー２１１，２１２のそれぞれにおいて、投光偏向部２０ａにおける回転軸を挟む両側の側面のうち反射面が投光部１０に向いている状態で光学窓２００に近い方の側面に形成される。図９及び図１０において、偏向ミラー２１１，２１２のそれぞれにおける遮蔽部２１５ａは、投光偏向部２０ａの側面における斜線部分で示される。

【0058】

遮蔽部２１５ｂは、偏向ミラー２１１，２１２のそれぞれにおいて、受光偏向部２０ｂにおける回転軸を挟む両側の側面のうち反射面が受光部３０に向いている状態で光学窓２００から遠い方の側面に形成される。図９及び図１０では図示されないが、偏向ミラー２１１，２１２のそれぞれにおける遮蔽部２１５ｂは、遮蔽部２１５ａがある側面と反対側の受光偏向部２０ｂの側面に位置する。

【0059】

［７－２．低反射部］
図６及び図７において幅広の斜線部分で示すように、偏向ミラー２１１，２１２の反射面の一部には、少なくともレーザ光を反射しにくい部分である低反射部２１６が形成される。低反射部２１６は、例えば、遮蔽部２１５ａ，２１５ｂと同一の黒色のインクを反射膜上に印刷することで構成される。

【0060】

低反射部２１６が形成される位置について図９及び図１０を用いて説明する。低反射部２１６は、偏向ミラー２１１，２１２のそれぞれにおいて、反射面が投光部１０に向いている状態で光学窓２００側となる投光偏向部２０ａにおける反射面の端部に形成される。図９及び図１０において、偏向ミラー２１１，２１２のそれぞれにおける低反射部２１６は、投光偏向部２０ａの反射面における斜線部分で示される。すなわち、低反射部２１６は、投光偏向部２０ａにおいて遮蔽部２１５ａがある側面と同じ側の端部に位置する。遮蔽部２１５ａ，２１５ｂ及び低反射部２１６が同一の黒色のインクを用いて形成される場合、遮蔽部２１５ａ及び低反射部２１６は連続的に形成される。

【0061】

［７－３．戻り光の光路に対する遮蔽部及び低反射部の位置］
本実施形態のライダ装置１のように、光学窓２００を備え、回転駆動される偏向ミラー２１１，２１２を用いてレーザ光を走査する構成では、図９及び図１０に示すように、投光偏向部２０ａで反射されたレーザ光が光学窓２００を通過する際に、レーザ光の一部が光学窓２００で更に反射されて戻り光ＲＬとなり、筐体１００外に出射されずに投光偏向部２０ａへと戻ってくる場合がある。なお、偏向ミラー２１１の投光偏向部２０ａで反射されて出射されるレーザ光の本来の光路Ｂを実線で、戻り光ＲＬの光路を破線で示す。図１０においては、発生する戻り光ＲＬのうち偏向ミラー２１１の投光偏向部２０ａにおける光学窓２００側の側面に入射する戻り光ＲＬのみを破線で示しており、光学窓２００で反射されて当該戻り光ＲＬとなるレーザ光を二重線で示している。

【0062】

戻り光ＲＬが偏向ミラー２１１の投光偏向部２０ａの反射面に入射した場合を図９に示す。仮に低反射部２１６がない場合、戻り光ＲＬは再び投光偏向部２０ａの反射面で反射され、破線で示すように、本来出射されるべき方向とは異なる方向に出射される光である迷光ＳＬとなる。迷光ＳＬは、物体で反射されると、出射された経路と同一の経路を逆方向に戻り、受光部３０で受光される。これにより、実際には存在しないにもかかわらず検出される物体であるゴーストが発生する。投光部１０から出力されたレーザ光は投光偏向部２０ａの反射面の中央付近で反射されるが、戻り光ＲＬは当該レーザ光よりも光学窓２００側で反射される。

【0063】

本実施形態では、投光偏向部２０ａの反射面における戻り光ＲＬが反射される領域に低反射部２１６が形成されるため、戻り光ＲＬの反射が抑制され、迷光ＳＬの光量が低減される。よって、戻り光ＲＬを原因とするゴーストの発生を低減できる。なお、低反射部２１６は、レーザ光が反射される領域である投光偏向部２０ａの反射面の中央部よりも光学窓２００側に形成されるため、レーザ光の反射への影響は少ない。

【0064】

また、戻り光ＲＬが偏向ミラー２１１の投光偏向部２０ａにおける光学窓２００側の側面に入射した場合を図１０に示す。仮に遮蔽部２１５ａがない場合、戻り光ＲＬは当該側面から偏向ミラー２１１の内部へと入り込み、破線で示すように、反射を繰り返しながら偏向ミラー２１１の内部を投光偏向部２０ａから受光偏向部２０ｂへと通り抜ける。偏向ミラー２１１の内部を通過して受光偏向部２０ｂにおける受光部３０側の側面に到達した戻り光ＲＬは、仮に遮蔽部２１５ｂがない場合、当該側面から偏向ミラー２１１外に出て、受光部３０で受光される。これにより、ゴーストが発生する。

【0065】

本実施形態では、戻り光ＲＬが偏向ミラー２１１，２１２の内部へ入る際の入口となる投光偏向部２０ａの側面に遮蔽部２１５ａが形成される。また、偏向ミラー２１１，２１２の内部を通過した戻り光ＲＬの出口となる受光偏向部２０ｂの側面に遮蔽部２１５ｂが形成される。これにより、偏向ミラー２１１，２１２の内部を通過して受光部３０で受光される戻り光ＲＬの光量が低減されるため、戻り光ＲＬを原因とするゴーストの発生を低減できる。

【0066】

［８．効果］
以上詳述した実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（８ａ）非可視光のレーザ光を偏向して走査を行うためのミラーモジュール２１は、偏向ミラー２１１，２１２と、ミラー設置面２２１，２２２を有するミラー支持体２１３と、情報表示部２１４と、を備える。偏向ミラー２１１，２１２は、可視光を透過させるとともにレーザ光を反射させる反射面を有する。情報表示部２１４は、ミラーモジュール２１に関する情報を視認可能な状態で表示する。また、情報表示部２１４は、偏向ミラー２１１，２１２とミラー設置面２２１，２２２との間に配置される。このような構成によれば、情報表示部２１４を視認可能なようにミラーモジュール２１の内部に配置することができる。偏向ミラー２１１，２１２は可視光を透過させるため、情報表示部２１４を偏向ミラー２１１，２１２越しに視認できるが、非可視光のレーザ光は偏向ミラー２１１，２１２の反射面で反射される。すなわち、情報表示部２１４は、レーザ光を反射しない位置に配置されている。このため、情報表示部２１４がミラーモジュール２１の外面に配置される場合と比較して、レーザ光が情報表示部２１４で反射されることにより迷光が発生することを抑制できる。したがって、視認可能な情報表示部２１４をミラーモジュール２１に配置しつつ、迷光の発生を抑制できる。

【0067】

（８ｂ）情報表示部２１４のうちミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃについては、ミラー設置面２２２への印字はレーザ印字で行われる。このような構成によれば、ミラーモジュール２１を組み立てた状態でミラー設置面２２２にレーザ印字できるため、ミラーモジュール２１の製造の最終段階で印字を行うことができる。これにより、例えば、ミラーモジュール２１の組付工程後に行われる検査工程において基準を満たした製品のみにレーザ印字を行うといったことが可能となる。すなわち、例えば情報表示部２１４が連番の識別番号を表示する場合、ラベル等のように情報表示部２１４が組付工程以前に配置されると、組付工程後の検査工程で基準を満たさない製品がはじかれた場合、識別番号に欠番が生じてしまう。本実施形態のように、ミラーモジュール２１の製造の最終段階でレーザ印字を行うと、識別番号に欠番が生じない。

【0068】

（８ｃ）ミラー設置面２２１，２２２は、偏向ミラー２１１，２１２の裏面に接して偏向ミラー２１１，２１２を支持する凸部２２３，２２４を有する。ミラー支持体２１３は、表面に反射防止層２２５が形成されている。ミラー設置面２２１，２２２は、反射防止層２２５が形成されていない領域である非形成領域２２６，２２７を有しており、凸部２２３，２２４は非形成領域２２６，２２７内に位置する。このような構成によれば、ミラー支持体２１３への偏向ミラー２１１，２１２の取付精度の悪化を防ぎつつ、迷光の発生を抑制できる。より詳細に説明すると、本実施形態の構成により、以下の課題を解決できる。

【0069】

偏向ミラーとミラー支持体とを備えるミラーモジュールを用いてレーザ光を偏向走査する測距装置においては、レーザ光がミラー支持体で反射されることにより迷光が発生する可能性がある。迷光の発生を抑制するために、ミラー支持体の表面をレーザ光の反射を低減させる反射防止層で覆うことが考えられるが、偏向ミラーと接する面に反射防止層が形成されていると、ミラー支持体への偏向ミラーの取付精度が悪化するという問題がある。したがって、ミラー支持体への偏向ミラーの取付精度の悪化を防ぎつつ、迷光の発生を抑制することが求められる。

【0070】

本実施形態の構成によれば、ミラー支持体２１３への偏向ミラー２１１，２１２の取付精度を大きく損なわないようにミラー支持体２１３に反射防止層２１５を設けることができる。したがって、ミラー支持体２１３への偏向ミラー２１１，２１２の取付精度の悪化を防ぎつつ、ミラー支持体２１３に反射防止層２２５を設けない場合と比較して、迷光の発生を抑制できる。

【0071】

（８ｄ）情報表示部２１４のうちミラー設置面２２２における刻印が施された部分２１４ｂ及びミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃは、ミラー設置面２２２における非形成領域２２７に位置する。このような構成によれば、ミラー設置面２２２における刻印が施された部分２１４ｂ及びミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃが反射防止層２２５と重ならないため、情報表示部２１４を視認しやすくなる。

【0072】

（８ｅ）反射防止層２２５は、少なくともミラー支持体２１３の側面を覆うように形成される。このような構成によれば、レーザ光がミラー支持体２１３の側面で反射されることにより迷光が発生することを抑制できる。

【0073】

（８ｆ）偏向ミラー２１１，２１２は、誘電体多層膜ミラー又は金属ハーフミラーである。このような構成によれば、可視光を透過させるとともにレーザ光を反射させる反射面を有する偏向ミラー２１１，２１２を容易に実現することができる。

【0074】

（８ｇ）車両に搭載して使用されるライダ装置１は、上述した迷光の発生を抑制する機能を有するミラーモジュール２１を備える。このような構成によれば、高い測距精度が求められる車載用の測距装置において、測距精度を向上させることができる。

【0075】

（８ｈ）非可視光のレーザ光を偏向して走査を行うライダ装置１において、ミラーモジュール２１を収容する筐体１００の開口部には、少なくともレーザ光を透過可能な光学窓２００が設けられ、光学窓２００は可視光の透過を抑制する機能を有する。このような構成によれば、可視光が光学窓２００を透過して筐体１００内部に入り込むことを抑制できるため、特に近赤外線で測距を行う場合などに、測距の際の可視光による影響を抑制でき、測距精度を向上させることができる。

【0076】

［９．他の実施形態］
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定されることなく、種々の形態を採り得ることは言うまでもない。

【0077】

（９ａ）上記実施形態では、情報表示部２１４として、偏向ミラー２１１及びミラー支持体２１３とは別体のもの（具体的には、ラベル２１４ａ）と、ミラー支持体２１３の一部であるもの（具体的には、ミラー設置面２２２における刻印が施された部分２１４ｂ及びミラー設置面２２２における印字が施された部分２１４ｃ）と、を例示したが、情報表示部２１４は偏向ミラーの一部（具体的には、偏向ミラーの裏面における印字が施された部分）であってもよい。また、情報表示部２１４として、偏向ミラー２１１及びミラー支持体２１３とは別体のもの、ミラー支持体２１３の一部であるもの、及び偏向ミラーの一部であるもののいずれかが単独で設けられてもよいし、これらが適宜組み合わされて設けられてもよい。

【0078】

（９ｂ）上記実施形態では、ミラー設置面２２１，２２２それぞれに２つの凸部２２３，２２４が設けられているが、凸部の個数はこれに限定されない。例えば、ミラー設置面に３つ以上の凸部が設けられていてもよいし、ミラー設置面に１つの凸部が設けられていてもよい。なお、凸部の形状についても、偏向ミラーの裏面に接して偏向ミラーを支持するための突出した部分であれば、本実施形態に示す形状に限定されず、任意の形状とできる。

【0079】

（９ｃ）上記実施形態では、ミラー設置面２２１，２２２は凸部２２３，２２４を有しており、ミラー支持体２１３の表面に反射防止層２２５が形成されているが、ミラー支持体２１３の構成はこれに限定されない。例えば、ミラー支持体は、凸部を有していなくてもよいし、表面に反射防止層が形成されていなくてもよい。

【0080】

（９ｄ）上記実施形態では、偏向ミラー２１１，２１２として誘電体多層膜ミラー又は金属ハーフミラーを用いる構成を例示したが、誘電体多層膜ミラー又は金属ハーフミラー以外のミラーが用いられてもよい。

【0081】

（９ｅ）上記実施形態では、ライダ装置１は車載用として使用されるが、ライダ装置１は車載用以外の用途で使用されてもよい。
（９ｆ）上記実施形態では、モータ２４としてブラシレスＤＣモータを用いる構成を例示したが、ブラシレスＤＣモータ以外のモータが用いられてもよい。

【0082】

（９ｇ）上記実施形態では、光学窓２００が可視光の透過を抑制する機能を有するが、光学窓がこのような機能を有しない構成でもよい。
（９ｈ）上記実施形態では、ライダ装置１は非可視光のレーザ光を偏向して走査を行うように構成されるが、ライダ装置は可視光のレーザ光を偏向して走査を行う構成でもよい。

【0083】

（９ｉ）上記実施形態では、偏向ミラー２１１，２１２は、可視光を透過させるとともに非可視光のレーザ光を反射させる反射面を有するが、偏向ミラーの構成はこれに限定されない。例えば、偏向ミラーは、レーザ光を反射させる反射面を有していれば、可視光を透過させない構成でもよい。

【0084】

（９ｊ）上記実施形態では、偏向ミラー２１１，２１２とミラー設置面２２１，２２２との間に情報表示部２１４が配置されるが、ミラーモジュールは情報表示部を備えない構成でもよい。

【0085】

（９ｋ）上記実施形態における１つの構成要素が有する機能を複数の構成要素として分散させたり、複数の構成要素が有する機能を１つの構成要素に統合したりしてもよい。また、上記実施形態の構成の一部を省略してもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の上記実施形態の構成に対して付加、置換等してもよい。

【符号の説明】

【0086】

２１…ミラーモジュール、２１１，２１２…偏向ミラー、２１３…ミラー支持体、２１４，２１４ａ，２１４ｂ，２１４ｃ…情報表示部、２２１，２２２…ミラー設置面、２２３，２２４…凸部、２２５…反射防止層、２２６，２２７…非形成領域。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】