特許7405261IP Force 特許公報全文掲載

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半導体装置

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】 半導体装置100の上面図の一例である。
【図1B】 図1Aの領域Aに対応する半導体装置100の上面図の一例である。
【図1C】 図1Bにおけるb-b'断面の一例を示す図である。
【図1D】 図1Cのc-c'線の位置における、深さ方向のドーピング濃度分布の一例を示す図である。
【図1E】 図1Dにおけるフィールドストップ領域20およびコレクタ領域22の拡大図である。
【図1F】 第1の濃度ピークおよびコレクタ領域22における、深さ方向のネット・ドーピング濃度及び水素化学濃度の分布の一例を示す図である。
【図1G】 図1Aの領域Bに対応する半導体装置100の上面図の一例である。
【図1H】 図1Aにおけるa-a'断面の一例を示す図である。
【図2A】 半導体装置100のクランプ耐量試験時の回路の一例である。
【図2B】 半導体装置100のクランプエネルギを説明するための図である。
【図3A】 コレクタ領域22のドーピング濃度とクランプエネルギとの関係を示す。
【図3B】 コレクタ領域22のドーピング濃度と素子の耐圧との関係を示す。
【図4A】 実施例に係る半導体装置100の電流電圧特性の一例を示す。
【図4B】 比較例に係る半導体装置500の電流電圧特性の一例を示す。
【図5A】 コレクタ領域22の積分濃度と第1ピークP1の深さとの関係の例を示す。
【図5B】 コレクタ領域22の積分濃度と第1ピークP1の深さとの関係の他の例を示す。
【図5C】 コレクタ領域22の積分濃度と第1ピークP1の深さとの関係の他の例を示す。
【図6A】 コレクタ領域22の積分濃度と第1ピークP1の深さとの関係の他の例を示す。
【図6B】 コレクタ領域22の積分濃度と第1ピークP1の深さとの関係の他の例を示す。
【図6C】 コレクタ領域22の積分濃度と第1ピークP1の深さとの関係の他の例を示す。
【図6D】 コレクタ領域22の積分濃度と第1ピークP1の深さとの関係の他の例を示す。
【図6E】 コレクタ領域22の積分濃度と第1ピークP1の深さとの関係の他の例を示す。
【図6F】 コレクタ領域22の積分濃度と第1ピークP1の深さとの関係の他の例を示す。
【図7A】 コレクタ領域22の積分濃度と第2ピークP2の深さとの関係を示す。
【図7B】 コレクタ領域22の積分濃度と第2ピークP2の深さとの関係の他の例を示す。
【図7C】 コレクタ領域22の積分濃度と第2ピークP2の深さとの関係を示す。
【図8A】 浮遊インダクタンスLsとコレクタ電流減少率dIce/dtとの関係を説明するための図である。
【図8B】 比浮遊インダクタンスLs・Aと電流密度dJce/dtとの関係を説明するための図である。
【図9】 比浮遊インダクタンスLs・Aと比ゲート抵抗Rg・Aとの関係を説明するための図である。
10・・・半導体基板、12・・・エミッタ領域、14・・・ベース領域、15・・・コンタクト領域、16・・・蓄積領域、17・・・ウェル領域、18・・・ドリフト領域、20・・・フィールドストップ領域、21・・・おもて面、22・・・コレクタ領域、23・・・裏面、24・・・コレクタ電極、25・・・接続部、30・・・ダミートレンチ部、31・・・延伸部分、32・・・ダミー絶縁膜、33・・・接続部分、34・・・ダミー導電部、38・・・層間絶縁膜、39・・・酸化膜、40・・・ゲートトレンチ部、41・・・延伸部分、42・・・ゲート絶縁膜、43・・・接続部分、44・・・ゲート導電部、50・・・ゲート金属層、51・・・ゲートランナー、52・・・エミッタ電極、54・・・コンタクトホール、55・・・コンタクトホール、56・・・コンタクトホール、60・・・ダミートレンチ領域、61・・・メサ部、65・・・ウェルコンタクト領域、70・・・トランジスタ部、71・・・メサ部、76・・・温度センス部、80・・・ダイオード部、81・・・メサ部、82・・・カソード領域、90・・・境界部、91・・・メサ部、92・・・ガードリング部、94・・・電極層、96・・・チャネルストッパ領域、100・・・半導体装置、110・・・活性領域、120・・・外周領域、130・・・パッド領域、131・・・ゲートパッド、132・・・センスIGBT、133・・・センスエミッタパッド、134・・・アノードパッド、135・・・カソードパッド、500・・・半導体装置

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