(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-18
(45)【発行日】2023-12-26
(54)【発明の名称】脱脂炉
(51)【国際特許分類】
F27D 21/00 20060101AFI20231219BHJP
F27D 17/00 20060101ALI20231219BHJP
F27D 19/00 20060101ALI20231219BHJP
F27B 17/00 20060101ALI20231219BHJP
【ＦＩ】
F27D21/00 A
F27D17/00 104G
F27D19/00 A
F27B17/00 C
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2023505091
(86)(22)【出願日】2021-10-08
(86)【国際出願番号】 JP2021037382
(87)【国際公開番号】W WO2022190443
(87)【国際公開日】2022-09-15
【審査請求日】2023-01-26
(31)【優先権主張番号】P 2021038005
(32)【優先日】2021-03-10
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000001993
【氏名又は名称】株式会社島津製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100121441
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 竜平
(74)【代理人】
【識別番号】100154704
【弁理士】
【氏名又は名称】齊藤 真大
(74)【代理人】
【識別番号】100206151
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 惇志
(74)【代理人】
【識別番号】100218187
【弁理士】
【氏名又は名称】前田 治子
(74)【代理人】
【識別番号】100227673
【弁理士】
【氏名又は名称】福田 光起
(72)【発明者】
【氏名】田中 優
【審査官】村岡 一磨
(56)【参考文献】
【文献】特開２００４－１２３５２４（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１５／０３７３５６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００４－２３１４６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭６４－０４８５９７（ＪＰ，Ｕ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ２７Ｄ １７／００－９９／００
Ｆ２７Ｂ １７／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項5】
前記燃焼器にあるガスの種類に応じて前記ヒーターの温度を制御するヒーター制御部をさらに備える、請求項１～３のいずれかに記載の脱脂炉。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、脱脂炉に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、セラミックスからなる被脱脂物が脱脂炉で脱脂されている。たとえば、下記の特許文献１の脱脂炉は、被脱脂物を収納する炉本体、被脱脂物を加熱する加熱手段を備える。脱脂によって生じたガスは加熱され、分解されて二酸化炭素などのガスに変換される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】国際公開番号 WO２００５／０４７２０７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
脱脂状況を監視するために、脱脂によって生じたガスを計測することが考えられる。しかし、脱脂によって生じたガスが計測機器に固化して付着すると、ガスの計測ができなくなる。
【0005】
そこで本発明の目的は、脱脂時に被脱脂物から生じたガスを測定する際に、脱脂によって生じたガスが固化して付着することを抑制できる脱脂炉を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
以上の課題を解決すべく、本発明に係る脱脂炉は、以下に述べるような構成を有する。
【0007】
本発明の脱脂炉は、被脱脂物を収容する炉本体と、前記炉本体のガスを排気しながら燃焼させる燃焼器と、前記燃焼器にあるガスを検出するガスモニターと、前記燃焼器とガスモニターとをつなぐ配管と、前記ガスモニターおよび配管の少なくとも1つを加熱するヒ
ーターとを含む。
ーターとを含む。
【発明の効果】
【0008】
本発明によると、ガスモニターおよび配管がヒーターの少なくとも一方が加熱されることで、ガスが固化して付着することを抑制し、ガスモニターでガスが検出できなくなることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
本発明の脱脂炉および脱脂方法について図面を参照して説明する。複数の実施形態を説明するが、異なる実施形態であっても同じ手段には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。
【0011】
[実施形態１]
図１に示す本願の脱脂炉１０は、被脱脂物１２が収容される炉本体１４、飽和蒸気を発生させる飽和蒸気生成装置１８、過熱蒸気を生成する過熱器２０を備える。
図１に示す本願の脱脂炉１０は、被脱脂物１２が収容される炉本体１４、飽和蒸気を発生させる飽和蒸気生成装置１８、過熱蒸気を生成する過熱器２０を備える。
【0012】
[被脱脂物]
被脱脂物１２はセラミックス成形体を含む。セラミックスは窒化物系セラミックス（窒化アルミニウム、窒化ケイ素など）、炭化物系セラミックス（炭化ケイ素、炭化ホウ素など）、酸化物系セラミックス（アルミナ、ジルコニウムなど）を含む。被脱脂物１２にバインダーが含まれる。バインダーは被脱脂物１２を成形するときにセラミックスに混合されるものである。被脱脂物１２が昇温されることで、被脱脂物１２からバインダーがガスとして放出される。バインダーには樹脂としてポリブチルメタクリレート、ポリビニルアルコール、メチルセルロース、酢酸ビニル、ポリエチレングリコールなどが用いられ、その他滑剤、可塑剤、分散剤が用いられる。
被脱脂物１２はセラミックス成形体を含む。セラミックスは窒化物系セラミックス（窒化アルミニウム、窒化ケイ素など）、炭化物系セラミックス（炭化ケイ素、炭化ホウ素など）、酸化物系セラミックス（アルミナ、ジルコニウムなど）を含む。被脱脂物１２にバインダーが含まれる。バインダーは被脱脂物１２を成形するときにセラミックスに混合されるものである。被脱脂物１２が昇温されることで、被脱脂物１２からバインダーがガスとして放出される。バインダーには樹脂としてポリブチルメタクリレート、ポリビニルアルコール、メチルセルロース、酢酸ビニル、ポリエチレングリコールなどが用いられ、その他滑剤、可塑剤、分散剤が用いられる。
【0013】
[炉本体]
炉本体１４はＳＵＳ３１０ＳまたはＳＵＳ３１６Ｌなどの耐熱性材料で構成されている。炉本体１４は容器状になっており、その内部空間２２に被脱脂物１２が収容される。炉本体１４の任意の位置に扉が設けられており、被脱脂物１２の出し入れの時にその扉が開閉される。炉本体１４の内部空間２２に被脱脂物１２を配置するための棚２４を備えてもよい。炉本体１４は供給口２６および排気口２８が形成されている。過熱蒸気が供給口２６から炉本体１４の内部空間２２に供給される。炉本体１４のガスは排気口２８から排気され、そのガスには被脱脂物１２が脱脂された際に発生した成分が含まれる。
炉本体１４はＳＵＳ３１０ＳまたはＳＵＳ３１６Ｌなどの耐熱性材料で構成されている。炉本体１４は容器状になっており、その内部空間２２に被脱脂物１２が収容される。炉本体１４の任意の位置に扉が設けられており、被脱脂物１２の出し入れの時にその扉が開閉される。炉本体１４の内部空間２２に被脱脂物１２を配置するための棚２４を備えてもよい。炉本体１４は供給口２６および排気口２８が形成されている。過熱蒸気が供給口２６から炉本体１４の内部空間２２に供給される。炉本体１４のガスは排気口２８から排気され、そのガスには被脱脂物１２が脱脂された際に発生した成分が含まれる。
【0014】
[飽和蒸気生成装置]
過熱器２０に飽和蒸気を供給する飽和蒸気生成装置１８を備える。飽和蒸気生成装置１８は純水などの液体を沸騰させて飽和蒸気を生成するボイラーを含む。なお、沸騰させる液体はタンクなどの任意の容器に溜めておき、その液体を利用してもよいし、水道などを流れる液体を利用してもよいし、井戸などにある液体をフィルターでろ過して利用してもよい。
過熱器２０に飽和蒸気を供給する飽和蒸気生成装置１８を備える。飽和蒸気生成装置１８は純水などの液体を沸騰させて飽和蒸気を生成するボイラーを含む。なお、沸騰させる液体はタンクなどの任意の容器に溜めておき、その液体を利用してもよいし、水道などを流れる液体を利用してもよいし、井戸などにある液体をフィルターでろ過して利用してもよい。
【0015】
[過熱器]
過熱器（superheater）２０は飽和蒸気から過熱蒸気を生成するための装置である。過
熱器２０として接触過熱器、放射過熱器、つり下げ過熱器、板形過熱器、横置き過熱器などが挙げられる。過熱器２０は長管を備え、その中を飽和蒸気が流れる。長管の中を流れる飽和蒸気が加熱され、過熱蒸気となる。生成された過熱蒸気が炉本体１４に供給される。この時の過熱蒸気は常圧で１００℃の飽和蒸気をさらに高温にした無色透明の水（Ｈ２Ｏ）からなる気体である。過熱蒸気の温度は２００度以上、好ましくは５００℃以上、さらに好ましくは６００～１２００℃である。
過熱器（superheater）２０は飽和蒸気から過熱蒸気を生成するための装置である。過
熱器２０として接触過熱器、放射過熱器、つり下げ過熱器、板形過熱器、横置き過熱器などが挙げられる。過熱器２０は長管を備え、その中を飽和蒸気が流れる。長管の中を流れる飽和蒸気が加熱され、過熱蒸気となる。生成された過熱蒸気が炉本体１４に供給される。この時の過熱蒸気は常圧で１００℃の飽和蒸気をさらに高温にした無色透明の水（Ｈ２Ｏ）からなる気体である。過熱蒸気の温度は２００度以上、好ましくは５００℃以上、さらに好ましくは６００～１２００℃である。
【0016】
炉本体１４と過熱器２０、飽和蒸気発生装置１８と過熱器２０は配管３０、３２で接続されている。配管３０に高温の過熱蒸気が流れるため、配管３０は耐熱材で構成されることが好ましい。各配管３０、３２にバルブを取り付け、バルブの開閉によって飽和蒸気および過熱蒸気の流量を制御してもよい。
【0017】
[温度計]
本願は炉本体１４の内部空間２２の雰囲気温度を計測するための温度計３６を備える。温度計３６は熱電対温度計を利用する。炉本体１４のいずれの位置の温度を計測するかは設計によって決定され、それに応じて温度計３６の数が決定される。計測された温度によって、過熱蒸気の炉本体１４への供給が制御される。そのため、本願は過熱器２０および飽和蒸気生成装置１８を制御するための制御装置３８を備える。
本願は炉本体１４の内部空間２２の雰囲気温度を計測するための温度計３６を備える。温度計３６は熱電対温度計を利用する。炉本体１４のいずれの位置の温度を計測するかは設計によって決定され、それに応じて温度計３６の数が決定される。計測された温度によって、過熱蒸気の炉本体１４への供給が制御される。そのため、本願は過熱器２０および飽和蒸気生成装置１８を制御するための制御装置３８を備える。
【0018】
[制御装置]
温度計３６の温度が入力され、炉本体１４に供給する過熱蒸気の供給量および過熱蒸気の温度を制御する制御装置３８を備える。制御装置３８はＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＰＬＣ（Programmable Logic Controller）などの演算回路が含まれる。制御装置３８は飽和蒸気生成装置１８および過熱器２０を制御したり、配管３０、３２のバルブを制御したりする。
温度計３６の温度が入力され、炉本体１４に供給する過熱蒸気の供給量および過熱蒸気の温度を制御する制御装置３８を備える。制御装置３８はＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＰＬＣ（Programmable Logic Controller）などの演算回路が含まれる。制御装置３８は飽和蒸気生成装置１８および過熱器２０を制御したり、配管３０、３２のバルブを制御したりする。
【0019】
[燃焼器]
本願の脱脂炉１０は炉本体１４のガスの通路になっており、ガスを燃焼する燃焼器４０を備える。燃焼器４０が炉本体１４の排気口２８に接続されている。燃焼器４０は断熱体４２で形成された通路４４および加熱装置（図示省略）を備える。その加熱装置は、電気ヒーター、ガスバーナーまたは重油バーナーなどである。被脱脂物１２から放出されたガスが炉本体１４から通路４４に入り、通路４４を通過する。加熱装置がそのガスを加熱し、分解または二酸化炭素などのガスに変換する。通路４４を通過したガスは排気口４８から排気される。
本願の脱脂炉１０は炉本体１４のガスの通路になっており、ガスを燃焼する燃焼器４０を備える。燃焼器４０が炉本体１４の排気口２８に接続されている。燃焼器４０は断熱体４２で形成された通路４４および加熱装置（図示省略）を備える。その加熱装置は、電気ヒーター、ガスバーナーまたは重油バーナーなどである。被脱脂物１２から放出されたガスが炉本体１４から通路４４に入り、通路４４を通過する。加熱装置がそのガスを加熱し、分解または二酸化炭素などのガスに変換する。通路４４を通過したガスは排気口４８から排気される。
【0020】
[ガスモニター]
燃焼器４０の通路４４にあるガスを検出するガスモニター５０を備える。ガスモニター５０はＦＴＩＲ（フーリエ変換赤外分光度計）、GC（ガスクロマトグラフ）、FID（水素
炎イオン化検出器）、TOC計（全有機炭素計）などである。ガスモニター５０が所定のガ
スの有無を検出することで、脱脂の進行状況を求めることができる。所定のガスが検出されると脱脂されており、その後にガスが検出されなくなれば脱脂が終了している。
燃焼器４０の通路４４にあるガスを検出するガスモニター５０を備える。ガスモニター５０はＦＴＩＲ（フーリエ変換赤外分光度計）、GC（ガスクロマトグラフ）、FID（水素
炎イオン化検出器）、TOC計（全有機炭素計）などである。ガスモニター５０が所定のガ
スの有無を検出することで、脱脂の進行状況を求めることができる。所定のガスが検出されると脱脂されており、その後にガスが検出されなくなれば脱脂が終了している。
【0021】
[配管]
燃焼器４０とガスモニター５０は配管５２、５４でつなげられる。配管は第１配管５２と第２配管５４を備える。第１配管５２は燃焼器４０の通路４４からガスモニター５０にガスを流すための通路であり、第２配管５４はガスモニター５０から燃焼器４０の通路４４にガスを流すための通路である。燃焼器４０の通路４４にあるガスは、第１配管５２、ガスモニター５０および第２配管５４の順番に流れ、再び燃焼器４０の通路４４に戻る。
燃焼器４０とガスモニター５０は配管５２、５４でつなげられる。配管は第１配管５２と第２配管５４を備える。第１配管５２は燃焼器４０の通路４４からガスモニター５０にガスを流すための通路であり、第２配管５４はガスモニター５０から燃焼器４０の通路４４にガスを流すための通路である。燃焼器４０の通路４４にあるガスは、第１配管５２、ガスモニター５０および第２配管５４の順番に流れ、再び燃焼器４０の通路４４に戻る。
【0022】
炉本体１４の内部空間２２のガスをガスモニター５０で検出しようとした場合、炉本体１４の内部空間２２の温度変化が大きく、ガスモニター５０を損傷させるおそれがある。燃焼器４０の通路４４では一定の温度でガスを燃焼させるための予備加熱をしており、ガスモニター５０に入るガスの温度を制御しやすい。ガスモニター５０は正確にガスを検知しやすくなる。
【0023】
[ヒーター]
第１配管５２および第２配管５４を加熱するヒーター５６、５８が備えられる。ヒーター５６、５８は第１配管５２および第２配管５８の外部に配置された電熱線などである。ヒーター５６、５８は第１配管５２と第２配管５４を加熱し、第１配管５２および第２配管５４を通過するガスを一定温度以下にならないようにする。ガスが第１配管５２および第２配管５４の内面に付着し、固化することが防止され得る。
第１配管５２および第２配管５４を加熱するヒーター５６、５８が備えられる。ヒーター５６、５８は第１配管５２および第２配管５８の外部に配置された電熱線などである。ヒーター５６、５８は第１配管５２と第２配管５４を加熱し、第１配管５２および第２配管５４を通過するガスを一定温度以下にならないようにする。ガスが第１配管５２および第２配管５４の内面に付着し、固化することが防止され得る。
【0024】
ガスモニター５０にもヒーター６０が備えられる。ガスモニター５０の中でガスが流れる配管およびガスを測定する部分６２にヒーター６０が取り付けられる。それらをヒーター６０で加熱することでガスモニター５０の中でガスが付着し、固化することが防止すされ得る。
【0025】
ヒーター５６、５８、６０によって、ガスの温度が所定値以上に制御される。特に限定されないが、ヒーター５６、５８、６０を制御するための図示しない制御部を備え、ガスの種類に対応づけてガスが固化しないためのヒーター５６、５８、６０の温度が記憶されており、制御部は、被脱脂物１２から放出されるガスの種類に応じてヒーター５６、５８、６０の温度を変更するようにしてもよい。たとえば、配管５２、５４およびガスを測定する部分６２の温度を約３００℃になるようにする。
【0026】
[脱脂方法]
次に脱脂炉１０を用いた脱脂方法について説明する。（１）被脱脂物１２が炉本体１４の内部空間２２に収容される。たとえば被脱脂物１２は窒化物系セラミックスからなる成形品である。
次に脱脂炉１０を用いた脱脂方法について説明する。（１）被脱脂物１２が炉本体１４の内部空間２２に収容される。たとえば被脱脂物１２は窒化物系セラミックスからなる成形品である。
【0027】
（２）飽和蒸気生成装置１８は、液体を加熱して飽和蒸気を生成し、その飽和蒸気を過熱器２０に供給する。過熱器２０は、飽和蒸気から過熱蒸気を生成する。過熱蒸気は炉本体１４に供給される。過熱蒸気によって被脱脂物１２が脱脂される。
【0028】
（３）被脱脂物１２を脱脂した際に生じたガスは、排気口２８から燃焼器４０に供給され、燃焼されて二酸化炭素などに変化する。燃焼されたガスは排気される。
【0029】
（４）上記（３）の途中で、一部のガスは第１配管５２からガスモニター５０に流れる。ガスモニター５０でガスに含まれる成分が検出された後、ガスが第２配管５４を通って燃焼器４０に戻される。第１配管５２、ガスモニター５０のガスの通路、検知する部分６２および第２配管５８はヒーター５６、５８、６０で加熱される。従って、ガスの温度が下がり、第１配管５２、ガスモニター５０のガスの通路、検知する部分６２および第２配管５４にガスに含まれる成分が付着し固化することを防止することができる。ガスモニター５０から第２配管５４を通って燃焼器４０に戻ったガスは、燃焼されて二酸化炭素などに変化する。
【0030】
（５）ガスモニター５０で検出されたガスのデータは制御装置３８に送られる。制御装置３８は、そのデータから過熱器２０を制御して、炉本体１４の内部空間２２の温度を調節してもよい。被脱脂物１２に対する脱脂をコントロールしてもよい。たとえば図２は、ガスモニター５０がフーリエ変換赤外分光度計（ＦＴＩＲ）であり、ガスの中にメタクリル酸エチルが含まれる場合の検出結果である。ガスに含まれる官能基によって波数が決まっているため、設定した波数の強度によってガスが発生しているかどうかを検出していることがわかる。脱脂が終了するとガスが検出されなくなる。ガスモニター５０でのガスの検出によって脱脂の終了を判断できる。
【0031】
以上のように、本実施形態によると、配管５２、５４およびガスモニター５０にガスに含まれる成分が付着することを防止でき、ガスモニター５０によるガスの検出をより正確に行うことができる。ガスモニター５０でガスを正確に検出することできるので、脱脂をより正確に制御できる。
【0032】
[実施形態２]
配管５２、５４およびガスモニター５０のうち、いずれか１つのみ、又は、任意の２つの組み合わせをヒーターで加熱するようにしてもよい。たとえば、ガスモニター５０におけるガスの流路が短く、ガスの温度が下がりにくい場合、ガスモニター５０でガスを加熱しなくてもよい。
配管５２、５４およびガスモニター５０のうち、いずれか１つのみ、又は、任意の２つの組み合わせをヒーターで加熱するようにしてもよい。たとえば、ガスモニター５０におけるガスの流路が短く、ガスの温度が下がりにくい場合、ガスモニター５０でガスを加熱しなくてもよい。
【0033】
[実施形態３]
上記実施形態では過熱蒸気を利用した脱脂炉であったが、本願の脱脂炉１０は過熱蒸気を利用する構成に限定されない。たとえば、炉本体１４に過熱蒸気を入れる前に不活性ガスを炉本体に入れ、予備加熱できる構成であってもよい。そのため、不活性ガスのガス源を備え、不活性ガスが過熱器２０で温度上昇されるようにしてもよい。不活性ガスで被脱脂物１２の温度上昇させた後、過熱蒸気を炉本体１４に入れる。脱脂当初、被脱脂物１２の温度が低いため、最初に過熱蒸気を入れると被脱脂物１２の表面が結露し、被脱脂物１２を劣化させるおそれがある。過熱蒸気の前に温度上昇した不活性ガスを炉本体１４に入れて被脱脂物１２を予備加熱しておくことで、過熱蒸気を入れたときに被脱脂物１２の表面が結露せず、所望の脱脂がおこなえる。
上記実施形態では過熱蒸気を利用した脱脂炉であったが、本願の脱脂炉１０は過熱蒸気を利用する構成に限定されない。たとえば、炉本体１４に過熱蒸気を入れる前に不活性ガスを炉本体に入れ、予備加熱できる構成であってもよい。そのため、不活性ガスのガス源を備え、不活性ガスが過熱器２０で温度上昇されるようにしてもよい。不活性ガスで被脱脂物１２の温度上昇させた後、過熱蒸気を炉本体１４に入れる。脱脂当初、被脱脂物１２の温度が低いため、最初に過熱蒸気を入れると被脱脂物１２の表面が結露し、被脱脂物１２を劣化させるおそれがある。過熱蒸気の前に温度上昇した不活性ガスを炉本体１４に入れて被脱脂物１２を予備加熱しておくことで、過熱蒸気を入れたときに被脱脂物１２の表面が結露せず、所望の脱脂がおこなえる。
【0034】
[実施形態４]
制御装置３８に入力された温度計３６の温度、制御装置３８がおこなう過熱器２０などの制御状況のデータなどをネットワークを介して所定のコンピュータに送信してもよい。脱脂の状況を遠隔で確認することができる。また、制御装置３８から送信されたデータをサーバーに記録してもよい。
制御装置３８に入力された温度計３６の温度、制御装置３８がおこなう過熱器２０などの制御状況のデータなどをネットワークを介して所定のコンピュータに送信してもよい。脱脂の状況を遠隔で確認することができる。また、制御装置３８から送信されたデータをサーバーに記録してもよい。
【0035】
（第１項）一態様に係る脱脂炉は、被脱脂物を収容する炉本体と、前記炉本体のガスを排気しながら燃焼させる燃焼器と、前記燃焼器にあるガスを検出するガスモニターと、前記燃焼器とガスモニターとをつなぐ配管と、前記ガスモニターおよび配管の少なくとも1
つを加熱するヒーターとを含む。
つを加熱するヒーターとを含む。
【0036】
第１項に記載の脱脂炉によれば、ガスモニターおよび配管の少なくとも１つがヒーターで加熱されることで、ガスが固化して付着しガスモニターでガスを検出できなくなることを防止できる。
【0037】
（第２項） 前記配管が、前記燃焼器からのガスを前記ガスモニターに供給する第１の配管と、前記ガスモニターからのガスを前記燃焼器に戻す第２の配管とを含み、前記ヒーターが、前記第１の配管を加熱するヒーターを有する。
【0038】
第２項に記載の脱脂炉によれば、燃焼器からのガスをガスモニターに供給する第１の配管の内部にガスが固化して付着することが抑制される。従って、より確実に、燃焼器からのガスが、第１の配管を通ってガスの状態のままでガスモニターに供給され得るので、より確実にガスモニターによってガスの成分を測定することができる。
【0039】
（第３項）前記ヒーターが、前記第２の配管を加熱するヒーターをさらに有する。
【0040】
第３項に記載の脱脂炉によれば、ガスモニターからのガスを燃焼器に戻す第２の配管の内部にガスが固化して付着することが抑制される。従って、より確実に燃焼器にガスを戻すことができ、第２の配管のつまりを防止することができる。
【0041】
（第４項）前記ヒーターが、前記ガスモニターの内部に設けられたガスが通過する配管、および、ガスを測定する測定部の少なくとも一方を加熱するヒーターをさらに有する。
【0042】
第４項に記載の脱脂炉によれば、ガスモニター内部の配管にガスが固化して付着することを抑制でき、より確実にガスモニターによってガスの成分を測定することができる。あるいは、ガスモニターの測定部にガスが固化して付着することを抑制でき、より確実にガスモニターによってガスの成分を測定することができ、かつ、測定部の故障を防止できる。
【0043】
（第５項）前記燃焼器にあるガスの種類に応じて前記ヒーターの温度を制御するヒーター制御部をさらに備える。
【0044】
第５項に記載の脱脂炉によれば、ガスの種類に応じて固化しない温度にヒーターの温度を設定する事ができるので、より確実にガスが固化して付着することを抑制できる。
【0045】
その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。説明した各実施形態は独立したものではなく、当業者の知識に基づき適宜組み合わせて実施できるものである。
【産業上の利用可能性】
【0046】
本発明によれば、脱脂時に被脱脂物から生じたガスを測定する際に、脱脂によって生じたガスが固化して付着することを抑制できる脱脂炉を提供することができる。
【符号の説明】
【0047】
１０：脱脂炉
１２：被脱脂物
１４：炉本体
１８：飽和蒸気発生装置
２０：過熱器
２２：炉本体の内部空間
２４：棚
２６：供給口
２８：排気口
３０、３２：配管
３６：温度計
３８：制御装置
４０：燃焼器
４２：断熱体
４４：通路
４８：燃焼器の排気口
５０：ガスモニター
５２、５４：配管
５６，５８、６０：ヒーター
６２：ガスモニターのガスを検知する部分
１２：被脱脂物
１４：炉本体
１８：飽和蒸気発生装置
２０：過熱器
２２：炉本体の内部空間
２４：棚
２６：供給口
２８：排気口
３０、３２：配管
３６：温度計
３８：制御装置
４０：燃焼器
４２：断熱体
４４：通路
４８：燃焼器の排気口
５０：ガスモニター
５２、５４：配管
５６，５８、６０：ヒーター
６２：ガスモニターのガスを検知する部分
【図1】
【図2】