特許 7405932 液滴吐出装置およびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-18

(45)【発行日】2023-12-26

(54)【発明の名称】液滴吐出装置およびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/00 20060101AFI20231219BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20231219BHJP

【ＦＩ】

B05C5/00 101

B41J2/01 307

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2022164448

(22)【出願日】2022-10-13

(65)【公開番号】P2023099288

(43)【公開日】2023-07-12

【審査請求日】2022-10-13

(31)【優先権主張番号】10-2021-0192346

(32)【優先日】2021-12-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】598123150

【氏名又は名称】セメス株式会社

【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】７７，４ｓａｎｄａｎ ５－ｇｉｌ，Ｊｉｋｓａｎ－ｅｕｐ，Ｓｅｏｂｕｋ－ｇｕ，Ｃｈｅｏｎａｎ－ｓｉ，Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ－ｄｏ，３３１－８１４ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ

(74)【代理人】

【識別番号】110000671

【氏名又は名称】ＩＢＣ一番町弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ウー，ジャン ミ

(72)【発明者】

【氏名】チョイ，キ フーン

(72)【発明者】

【氏名】ジョン，ヨン フーン

(72)【発明者】

【氏名】キム，ミュン ジン

【審査官】市村 脩平

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／２０４１３５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０２１－１９４８６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１７－５１２６８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－１６７８９９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０５Ｃ５／００ー２１／００

Ｂ４１Ｊ２／０１－２／０１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

多数のヘッドが固定されるヘッド固定領域を含むベースと、
前記ベース上に位置し、前記ベースに設けられた前記多数のヘッドが貫通する開口部を含むパックホルダと、
前記パックホルダに設けられ、前記ベースに向かって突出したガイドピンと、
前記ベースに設けられ、前記ガイドピンと締結されるガイドホルダと、
前記パックホルダに設けられ、前記ベースに向かって突出した第１締結部と、
前記ベースに設けられ、前記第１締結部と締結される第２締結部を含み、
前記第１締結部または前記第２締結部のいずれか一つにロックエアーが供給され、前記第１締結部と前記第２締結部の締結が行われる、液滴吐出装置。

【請求項2】

前記第１締結部は前記ロックエアーの供給を受けるエアークランプであり、前記第２締結部は前記エアークランプと締結されるクランピングブロックである、請求項１に記載の液滴吐出装置。

【請求項3】

前記第１締結部は、
一側に形成された孔を含むボディと、前記ボディ内に位置し、支持領域と、前記支持領域と連結されて前記孔を貫通するロッド領域を含むピストンロッドと、
前記ボディ内に設けられ、前記ボディの内壁と前記支持領域の間に設けられたばねと、
前記ボディに設けられ、前記支持領域に前記ロックエアーを供給するためのロックポートを含み、
前記ロックポートを介して前記ロックエアーを供給し、前記ばねの弾性力が小さくなる方向に前記ピストンロッドを移動させることができる、請求項２に記載の液滴吐出装置。

【請求項4】

前記第１締結部は、
前記ボディに設けられ、前記支持領域にリリースエアーを供給するためのリリースポートをさらに含み、
前記リリースポートを介して前記ロックエアーを供給し、前記ばねの弾性力が大きくなる方向に前記ピストンロッドを移動させることができる、請求項３に記載の液滴吐出装置。

【請求項5】

前記ガイドホルダは、リリースボタンが設けられた圧力ラッチであり、前記リリースボタンを押して、前記締結されたガイドピンと前記ガイドホルダを分離する、請求項１に記載の液滴吐出装置。

【請求項6】

前記ガイドホルダは、前記リリースボタンが前記ベースの底面に露出するように設けられる、請求項５に記載の液滴吐出装置。

【請求項7】

前記ガイドホルダは多数個であり、前記ヘッド固定領域は長方形形状であり、前記多数のガイドホルダは前記第２締結部に比べて、前記ヘッド固定領域の頂点に近く設けられる、請求項１に記載の液滴吐出装置。

【請求項8】

前記第２締結部は前記ガイドホルダに比べて、前記ヘッド固定領域のエッジに近く設けられる、請求項７に記載の液滴吐出装置。

【請求項9】

前記ガイドホルダは２個であり、前記２個のガイドホルダは、前記ヘッド固定領域の４個の頂点のうち、対角方向に位置した２個の頂点に近く設けられる、請求項７に記載の液滴吐出装置。

【請求項10】

ヘッドフレームと、
前記ヘッドフレームに固定され、開口部を含むパックホルダと、
前記パックホルダの下に固定され、前記開口部を貫通する多数のヘッドが設けられるヘッド固定領域を含むベースと、
前記パックホルダに設けられ、前記ベースに向かって突出した多数のガイドピンと多数のエアークランプと、
前記ベースに設けられ、前記多数のガイドピンと締結される多数のガイドホルダと、前記多数のエアークランプと締結される多数のクランピングブロックを含み、
前記ヘッド固定領域は、長方形形状であり、
前記多数のガイドホルダは、前記クランピングブロックに比べて、前記ヘッド固定領域の頂点に近く設けられ、
前記多数のクランピングブロックは、前記ガイドホルダに比べて、前記ヘッド固定領域のエッジに近く設けられ、
前記エアークランプにロックエアーが供給され、前記エアークランプと前記クランピングブロックが締結され、
前記エアークランプにリリースエアーが供給され、前記エアークランプと前記クランピングブロックが分離される、液滴吐出装置。

【請求項11】

前記ガイドホルダは、リリースボタンが設けられた圧力ラッチであり、前記ガイドホルダは、前記リリースボタンが前記ベースの底面に露出するように設けられる、請求項１０に記載の液滴吐出装置。

【請求項12】

前記エアークランプは、
一側に形成された孔を含むボディと、
前記ボディ内に位置し、支持領域と、前記支持領域と連結されて前記孔を貫通するロッド領域を含むピストンロッドと、
前記ボディ内に設けられ、前記ボディの内壁と前記支持領域の間に設けられたばねと、
前記ボディに設けられ、前記支持領域に前記ロックエアーを供給するためのロックポートを含み、
前記ロックポートを介して前記ロックエアーを供給し、前記ばねの弾性力が小さくなる方向に前記ピストンロッドを移動させることができる、請求項１０に記載の液滴吐出装置。

【請求項13】

前記エアークランプは、
前記ボディに設けられ、前記支持領域にリリースエアーを供給するためのリリースポートをさらに含み、
前記リリースポートを介して前記ロックエアーを供給し、前記ばねの弾性力が大きくなる方向に前記ピストンロッドを移動させることができる、請求項１２に記載の液滴吐出装置。

【請求項14】

多数のヘッドを含むヘッドパックとパックホルダを準備し、前記ヘッドパックはベースのヘッド固定領域に固定され、前記ベースの前記ヘッド固定領域の周辺にはガイドホルダとクランピングブロックが設けられ、前記パックホルダには開口部と、前記開口部の周辺にガイドピンとエアークランプが設けられ、
前記パックホルダの下端に前記ヘッドパックを配置し、
前記ガイドピンと前記ガイドホルダを締結させ、かつ前記エアークランプと前記クランピングブロックを臨時に締結させ、
前記エアークランプにロックエアーを供給して、前記エアークランプと前記クランピングブロックを締結させて吐出モジュールを完成する、液滴吐出装置の製造方法。

【請求項15】

完成された前記吐出モジュールをヘッドフレームに設け、前記ベース上に前記パックホルダが配置されるようにすることをさらに含む、請求項１４に記載の液滴吐出装置の製造方法。

【請求項16】

前記ガイドホルダは、リリースボタンが設けられた圧力ラッチであり、前記ガイドホルダは、前記リリースボタンが前記ベースの底面に露出するように設けられる、請求項１４に記載の液滴吐出装置の製造方法。

【請求項17】

前記パックホルダをヘッドフレームに固定させることによって、完成された前記吐出モジュールをヘッドフレームに設け、前記ベース上に前記パックホルダが配置されるようにし、
前記パックホルダがヘッドフレームに固定された状態で、前記エアークランプにリリースエアーを供給して、前記エアークランプと前記クランピングブロックを分離し、
前記リリースボタンを押して前記ガイドピンと前記ガイドホルダを分離することによって、前記ベースを前記パックホルダから分離することをさらに含む、請求項１６に記載の液滴吐出装置の製造方法。

【請求項18】

前記ベースに設けられた多数のヘッドのうち少なくとも一部を補修または交換し、前記パックホルダがヘッドフレームに固定された状態で、前記補修または交換された多数のヘッドを含むベースを前記パックホルダに再び締結させることをさらに含む、請求項１７に記載の液滴吐出装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は液滴吐出装置およびその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ディスプレイ装置を製造する際には、配向膜やカラーフィルタを形成するためにインクジェット設備を用いてガラス基板上に液滴を吐出する。

【0003】

従来のインクジェット設備では、Ｕ字形状のベースに多数のヘッドが設けられてヘッドパック（ｈｅａｄ ｐａｃｋ）を構成する。ヘッドパックは上から下の方向にパックホルダ（ｐａｃｋ ｈｏｌｄｅｒ）の開口部に挿入されて固定される。しかし、多数のヘッド、ベースおよび／またはパックホルダの間の空間が非常に狭いので、前記空間で対流熱が停滞し得る。このような対流熱によって多数のヘッドのアライン（ａｌｉｇｎ）がずれてしまうことがある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明が解決しようとする課題は、多数のヘッドのミスアライン（ｍｉｓａｌｉｇｎ）を最小化できる液滴吐出装置を提供することにある。本発明が解決しようとする他の課題は、多数のヘッドのミスアラインを最小化できる液滴吐出装置の製造方法を提供することにある。

【0005】

本発明の課題は、以上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の課題は以下の記載から当業者に明確に理解されることができる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記課題を達成するための本発明の液滴吐出装置の一面（ａｓｐｅｃｔ）は、多数のヘッドが固定されるヘッド固定領域を含むベースと、前記ベース上に位置し、前記ベースに設けられた前記多数のヘッドが貫通する開口部を含むパックホルダと、前記パックホルダに設けられ、前記ベースに向かって突出したガイドピンと、前記ベースに設けられ、前記ガイドピンと締結されるガイドホルダと、前記パックホルダに設けられ、前記ベースに向かって突出した第１締結部と、前記ベースに設けられ、前記第１締結部と締結される第２締結部を含み、前記第１締結部または前記第２締結部のいずれか一つにロックエアーが供給され、前記第１締結部と前記第２締結部の締結が行われる。

【0007】

前記課題を達成するための本発明の液滴吐出装置の他の面は、ヘッドフレームと、前記ヘッドフレームに固定され、開口部を含むパックホルダと、前記パックホルダの下に固定され、前記開口部を貫通する多数のヘッドが設けられるヘッド固定領域を含むベースと、前記パックホルダに設けられ、前記ベースに向かって突出した多数のガイドピンと多数のエアークランプと、前記ベースに設けられ、前記多数のガイドピンと締結される多数のガイドホルダと、前記多数のエアークランプと締結される多数のクランピングブロックを含み、前記ヘッド固定領域は長方形形状であり、前記多数のガイドホルダは前記クランピングブロックに比べて、前記ヘッド固定領域の頂点に近く設けられ、前記多数のクランピングブロックは前記ガイドホルダに比べて、前記ヘッド固定領域のエッジに近く設けられ、前記エアークランプにロックエアーが供給され、前記エアークランプと前記クランピングブロックが締結され、前記エアークランプにリリースエアーが供給され、前記エアークランプと前記クランピングブロックが分離される。
前記他の課題を達成するための本発明の液滴吐出装置の製造方法の一面は、多数のヘッドを含むヘッドパックとパックホルダを準備し、前記ヘッドパックはベースのヘッド固定領域に固定され、前記ベースの前記ヘッド固定領域の周辺にはガイドホルダとクランピングブロックが設けられ、前記パックホルダには開口部と、前記開口部の周辺にガイドピンとエアークランプが設けられ、前記パックホルダの下端に前記ヘッドパックを配置し、前記ガイドピンと前記ガイドホルダを締結させ、かつ前記エアークランプと前記クランピングブロックを臨時に締結させ、前記エアークランプにロックエアーを供給して、前記エアークランプと前記クランピングブロックを締結させて吐出モジュールを完成する。
その他実施形態の具体的な内容は詳細な説明および図面に含まれている。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明のいくつかの実施形態による液滴吐出装置を説明するための図である。

【図2】図１に示すベースの平面図である。

【図3】図１に示すパックホルダの底面図である。

【図4】図１の液滴吐出装置の側面図である。

【図5】図１に示すガイドピンとガイドホルダの締結動作を説明するための図である。

【図6】図１に示すガイドピンとガイドホルダの締結動作を説明するための図である。

【図7】図１に示す第１締結部と第２締結部の締結動作を説明するための図である。

【図8】図１に示す第１締結部と第２締結部の締結動作を説明するための図である。

【図9】本発明の一実施形態による製造方法を説明するためのフローチャートである。

【図10】図９のＳ４５０段階を説明するための図である。

【図11】本発明の他の実施形態による製造方法を説明するためのフローチャートである。

【図12】図１１のＳ５２０段階を説明するための図である。

【図13】図１１のＳ５４０段階を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付する図面を参照して本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。本発明の利点および特徴、並びにこれらを達成する方法は添付する図面と共に詳細に後述する実施形態を参照すると明確になる。しかし、本発明は以下に開示される実施形態に限定されるものではなく互いに異なる多様な形態で実現することができ、本実施形態は単に本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供するものであり、本発明は請求項の範疇によってのみ定義される。明細書全体にわたって同一参照符号は同一構成要素を指すものとする。

【0010】

空間的に相対的な用語である「下（ｂｅｌｏｗ）」、「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」、「下部（ｌｏｗｅｒ）」、「上（ａｂｏｖｅ）」、「上部（ｕｐｐｅｒ）」などは図面に示されているように一つの素子または構成要素と他の素子または構成要素との相関関係を容易に記述するために使用される。空間的に相対的な用語は図面に示されている方向に加えて使用時または動作時の素子の互いに異なる方向を含む用語として理解されなければならない。例えば、図面に示されている素子をひっくり返す場合、他の素子の「下（ｂｅｌｏｗ）」または「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」と記述された素子は他の素子の「上（ａｂｏｖｅ）」に置かれ得る。したがって、例示的な用語の「下」は下と上の方向をすべて含むことができる。素子は他の方向に配向されてもよく、そのため空間的に相対的な用語は配向によって解釈されることができる。

【0011】

第１、第２などが多様な素子、構成要素および／またはセクションを叙述するために使われるが、これらの素子、構成要素および／またはセクションはこれらの用語によって制限されないのはもちろんである。これらの用語は単に一つの素子、構成要素またはセクションを他の素子、構成要素またはセクションと区別するために使用する。したがって、以下で言及される第１素子、第１構成要素または第１セクションは本発明の技術的思想内で第２素子、第２構成要素または第２セクションであり得るのはもちろんである。

【0012】

以下、添付する図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明し、添付図面を参照して説明するにあたり図面符号に関係なく同一であるかまたは対応する構成要素は同じ参照番号を付与し、これに係る重複する説明は省略する。

【0013】

図１は本発明のいくつかの実施形態による液滴吐出装置を説明するための図である。図２は図１に示すベースの平面図であり、図３は図１に示すパックホルダの底面図である。図４は図１の液滴吐出装置の側面図である。

【0014】

図１ないし図４を参照すると、本発明のいくつかの実施形態による液滴吐出装置（または吐出モジュール，１）は、多数のヘッド１０、ベース１００、パックホルダ２００、ガイドピン２１０ａ，２１０ｂ、ガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂ、第１締結部２２０ａ，２２０ｂおよび第２締結部１２０ａ，１２０ｂなどを含む。

【0015】

ベース１００は多数のヘッド１０を支持する部材である。ベース１００は例えば、実質的な長方形形状であり得る。図示のように、ベース１００の短辺は第１方向Ｘに沿って配置され、長辺は第２方向Ｙに沿って配置される。また、ベース１００はプレート（ｐｌａｔｅ）形状であり得る。

【0016】

ベース１００の中心付近には多数のヘッド１０を固定するためのヘッド固定領域１０１が位置する。ヘッド固定領域１０１は例えば、実質的な長方形形状であり得る。図示のように、ヘッド固定領域１０１の短辺は第１方向Ｘに沿って配置され、長辺は第２方向Ｙに沿って配置される。ヘッド固定領域１０１には例えば、５個のヘッド１０が固定されるが、これに限定されない。４個以下のヘッド１０が固定されることもでき、６個以上のヘッド１０が固定されることもできる。

【0017】

パックホルダ２００はベース１００上に位置し、ベース１００とパックホルダ２００は互いに結合される。パックホルダ２００はヘッド固定領域１０１に対応する位置に形成された開口部２０１を含む。ベース１００とパックホルダ２００が結合されると、ベース１００（すなわち、ヘッド固定領域１０１）に固定された多数のヘッド１０は開口部２０１を貫通する（図４を参照）。

【0018】

パックホルダ２００の他面（例えば、上面）には位置調整部材３０１，３０２が設けられる。位置調整部材３０１，３０２はヘッドパックを第１方向Ｘの移動、第２方向Ｙの移動および／またはシータ（ｔｈｅｔａ）回転させる。

【0019】

ここで、ベース１００とパックホルダ２００の結合のために、パックホルダ２００にはガイドピン２１０ａ，２１０ｂおよび第１締結部２２０ａ，２２０ｂが設けられ、ベース１００にはガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂと第２締結部１２０ａ，１２０ｂが設けられる。

【0020】

具体的には、パックホルダ２００の一面（例えば、底面）にはベース１００に向かって突出するようにガイドピン２１０ａ，２１０ｂおよび第１締結部２２０ａ，２２０ｂが設けられる。ベース１００の一面（例えば、上面）にはパックホルダ２００に向かって突出してガイドピン２１０ａ，２１０ｂに対応する位置にガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂが設けられ、第１締結部２２０ａ，２２０ｂに対応する位置に第２締結部１２０ａ，１２０ｂが設けられる。ガイドピン２１０ａ，２１０ｂはガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂと締結され、第１締結部２２０ａ，２２０ｂは第２締結部１２０ａ，１２０ｂと締結される。

【0021】

図２に示すように、ベース１００には２個のガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂ、２個の第２締結部１２０ａ，１２０ｂが設けられる。例えば、第２締結部１２０ａ，１２０ｂはガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂと比較するとき、長方形形状のヘッド固定領域１０１のエッジ（すなわち、短辺）に近く設けられる。

【0022】

ガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂは第２締結部１２０ａ，１２０ｂと比較するとき、長方形形状のヘッド固定領域１０１の頂点に近く設けられる。具体的には、図示のように、２個のガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂがヘッド固定領域１０１の４個の頂点のうち、対角方向に位置した２個の頂点に近く設けられる。別に図示していないが、ガイドホルダが４個であり、４個のガイドホルダそれぞれがヘッド固定領域１０１の４個の頂点に近く設けられることもできる。

【0023】

図３に示すように、パックホルダ２００には２個のガイドピン２１０ａ，２１０ｂ、２個の第１締結部２２０ａ，２２０ｂが設けられる。例えば、第１締結部２２０ａ，２２０ｂはガイドピン２１０ａ，２１０ｂと比較するとき、長方形形状の開口部２０１のエッジ（すなわち、短辺）に近く設けられる。

【0024】

ガイドピン２１０ａ，２１０ｂは第１締結部２２０ａ，２２０ｂと比較するとき、長方形形状の開口部２０１の頂点に近く設けられる。具体的には、図示のように、２個のガイドピン２１０ａ，２１０ｂが開口部２０１の４個の頂点のうち、対角方向に位置した２個の頂点に近く設けられる。別に図示していないが、ガイドピンが４個であり、４個のガイドピンそれぞれが開口部２０１の４個の頂点に近く設けられることもできる。

【0025】

一方、ガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂはリリースボタン１１５ａ，１１５ｂが設けられた圧力ラッチであり得る。ガイドピン２１０ａ，２１０ｂは圧力ラッチ内の孔に締結される。ユーザーがリリースボタン１１５ａ，１１５ｂを押して、ガイドピン２１０ａ，２１０ｂと圧力ラッチを分離することができる。ガイドピン２１０ａ，２１０ｂと圧力ラッチの結合／分離は図５および図６を参照して後述する。ガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂとガイドピン２１０ａ，２１０ｂの間の締結は、第１締結部２２０ａ，２２０ｂと第２締結部１２０ａ，１２０ｂが締結される前に、ベース１００とパックホルダ２００の位置を決定するためのものであり得る。図示のように、リリースボタン１１５ａ，１１５ｂはベース１００の底面に露出するように設けられている。したがって、作業者が露出したリリースボタン１１５ａ，１１５ｂを簡単に押して、ガイドピン２１０ａ，２１０ｂと圧力ラッチを分離することができる。

【0026】

また、ベース１００とパックホルダ２００は第１締結部２２０ａ，２２０ｂと第２締結部１２０ａ，１２０ｂによって堅固に結合される。第１締結部２２０ａ，２２０ｂまたは第２締結部１２０ａ，１２０ｂのいずれか一つにロックエアー（ｌｏｃｋ ａｉｒ）が供給され、第１締結部２２０ａ，２２０ｂと第２締結部１２０ａ，１２０ｂの締結が行われる。図面では、第１締結部２２０ａ，２２０ｂがロックエアーの供給を受けるエアークランプであり、第２締結部１２０ａ，１２０ｂがエアークランプと締結されるクランピングブロックである場合を示したが、これに限定されない。すなわち、第２締結部１２０ａ，１２０ｂがエアークランプであり、第１締結部２２０ａ，２２０ｂがクランピングブロックであってもよい。以下では、第１締結部２２０ａ，２２０ｂがエアークランプであり、第２締結部１２０ａ，１２０ｂがクランピングブロックである場合を基準に説明する。

【0027】

従来のインクジェット設備の場合は、Ｕ字形状のベースが多数のヘッド周辺を囲む形態を有するので、ベースを介して熱がヘッドに伝達される。また、対流熱がベースと多数のヘッドの間の空間に閉じ込められて外部に抜けて出ることができない。このような熱によって多数のヘッドのアラインがずれてしまうことがあった。

【0028】

しかし、本発明のいくつかの実施形態による液滴吐出装置（または吐出モジュール，１）では、ベースが多数のヘッド１０の周辺を囲まないため、ベースを介して熱がヘッドによく伝達されない。また、対流熱が周辺に簡単に抜け出ることができる。したがって、多数のヘッドのミスアライン発生を減らすことができる。

【0029】

図５および図６は図１に示すガイドピンとガイドホルダの締結動作を説明するための図である。

【0030】

まず図５を参照すると、ガイドピン２１０ａはパックホルダ２００に設けられ、ガイドホルダ１１０ａはベース１００に設けられる。

【0031】

ガイドホルダ１１０ａは圧力ラッチとして、ベース１００に固定されるホルダボディ１１４ａと、ホルダボディ１１４ａのチップ領域に設けられた孔１１７ａと、孔１１７ａの側壁（内周面）に設けられたボール１１８ａと、ホルダボディ１１４ａ内に設けられたロッド（ｒｏｄ，１１６ａ）、ロッド１１６ａと連結されたリリースボタン１１５ａなどを含む。

【0032】

ガイドピン２１０ａとガイドホルダ１１０ａの位置を合わせて、パックホルダ２００とベース１００を接近させる。図５ではベース１００をパックホルダ２００方向に移動させる場合を示しているが、これに限定されない。

【0033】

図６に示すように、ガイドピン２１０ａはガイドホルダ１１０ａの孔１１７ａ内に挿入され、孔１１７ａの内周面に設けられたボール１１８ａにより固定される。
図７および図８は図１に示す第１締結部と第２締結部の締結動作を説明するための図である。

【0034】

まず図７を参照すると、第１締結部２２０ａはパックホルダ２００に設けられ、第２締結部１２０ａはベース１００に設けられる。第１締結部２２０ａはエアークランプであり、第２締結部１２０ａはクランピングブロックであり得る。

【0035】

第１締結部２２０ａはボディ２２８ａ、ピストンロッド２２９ａ、ばね２２６ａ、ロックポート２２１ａ、リリースポート２２２ａなどを含む。

【0036】

ボディ２２８ａは一側に形成された孔２２４ａが形成されている。ピストンロッド２２９ａはボディ２２８ａ内に位置し、支持領域２２９１と、支持領域２２９１と連結されて前記孔２２４ａを貫通するロッド領域２２９２を含む。ロッド領域２２９２には溝２２９３が形成されている。ボディ２２８ａには（すなわち、孔２２４ａの近くに）鋼球２２５ａが設けられ、ピストンロッド２２９ａの位置に応じて鋼球２２５ａの位置が変更されることができる。ばね２２６ａはボディ２２８ａ内に設けられ、ボディ２２８ａの内壁と支持領域２２９１の間に設けられる。ロックポート２２１ａはボディ２２８ａに設けられ、支持領域２２９１にロックエアーを供給するためのものである。また、リリースポート２２２ａはボディ２２８ａに設けられ、支持領域２２９１にリリースエアーを供給するためのものである。

【0037】

一方、前述したように、ガイドピン２１０ａ，２１０ｂとガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂの位置を合わせて、パックホルダ２００とベース１００を接近させると、ガイドピン２１０ａ，２１０ｂとガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂは締結される。この時、図７に示すように、第１締結部２２０ａと第２締結部１２０ａは臨時に締結される。臨時に締結時、ピストンロッド２２９ａのロッド領域２２９２が鋼球２２５ａを外側方向に押し出して、鋼球２２５ａは第２締結部１２０ａの着座面１２１ａに接触する。しかし、鋼球２２５ａと着座面１２１ａの間には適当な隙間があり得る。

【0038】

図８を参照すると、ロックポート２２１ａを介してロックエアーＬＡが供給されると、ロックエアーＬＡの圧力とばね２２６ａによる圧力によってピストンロッド２２９ａが下降し（図面符号２９９を参照）、鋼球２２５ａが着座面１２１ａに密着する。ばねの弾性力が小さくなる方向にピストンロッド２２９ａが移動する。このような方式で第１締結部２２０ａと第２締結部１２０ａが締結される。

【0039】

図９は本発明の一実施形態による製造方法を説明するためのフローチャートである。図１０は図９のＳ４５０段階を説明するための図である。以下では第１締結部がエアークランプであり、第２締結部がクランピングブロックであると説明する。

【0040】

図９を参照すると、アラインされたヘッドパックと、パックホルダ２００を準備する（Ｓ４１０）。

【0041】

具体的には、図１ないし図３を用いて説明したように、アラインされた多数のヘッド１０を含むヘッドパックはベース１００のヘッド固定領域１０１に固定され、ベース１００のヘッド固定領域１０１の周辺にはガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂとクランピングブロック１２０ａ，１２０ｂが設けられる。パックホルダ２００には開口部２０１と、開口部２０１の周辺にガイドピン２１０ａ，２１０ｂとエアークランプ２２０ａ，２２０ｂが設けられる。

【0042】

次に、パックホルダ２００の下端にヘッドパックを配置する（Ｓ４２０）。

【0043】

次に、ガイドピン２１０ａ，２１０ｂとガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂを締結させ、かつエアークランプ２２０ａ，２２０ｂとクランピングブロック１２０ａ，１２０ｂを（手動で）臨時に締結させる（Ｓ４３０）。

【0044】

具体的には、図５および図６を用いて説明したように、ガイドピン（例えば、２１０ａ）はガイドホルダ（例えば、１１０ａ）の孔１１７ａの内周面に設けられたボール１１８ａにより固定される。図７を用いて説明したように、ガイドピン２１０ａがガイドホルダ１１０ａと締結されるとき、エアークランプ（例えば、２２０ａ）のロッド領域２２９２が鋼球２２５ａを外側方向に押し出して、鋼球２２５ａはクランピングブロック（例えば、１２０ａ）の着座面１２１ａに接触する。

【0045】

次に、エアークランプ２２０ａ，２２０ｂにロックエアーを供給して、エアークランプ２２０ａ，２２０ｂとクランピングブロック１２０ａ，１２０ｂを完全に締結させて精密度が確保された吐出モジュールを完成する（Ｓ４４０）。

【0046】

具体的には、図８を用いて説明したように、ロックポート２２１ａを介してロックエアーＬＡが供給されると、ロックエアーＬＡの圧力とばね２２６ａによる圧力によってピストンロッド２２９ａが移動して（図面符号２９９を参照）、鋼球２２５ａが着座面１２１ａに密着する。

【0047】

次に、吐出モジュールをヘッドフレームに設置する（Ｓ４５０）。図１０に示すように、吐出モジュールはヘッドフレーム６００の下で固定される。ベース１００上にパックホルダ２００が位置するようになる。特に、ガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂのリリースボタン（図１の１１５ａ、１１５ｂを参照）がベース１００の底面に露出するようになる。

【0048】

図１１は本発明の他の実施形態による製造方法を説明するためのフローチャートである。図１１は多数のパックに対する維持補修の動作時、ベースおよびパックホルダの分離および再結合動作を説明するためのものである。図１２は図１１のＳ５２０段階を説明するための図である。図１３は図１１のＳ５４０段階を説明するための図である。

【0049】

まず図１１を参照すると、多数のパックに対する維持補修が必要であれば、ユーザーはエアークランプ２２０ａ，２２０ｂにリリースエアーＲＡを供給してエアークランプ２２０ａ，２２０ｂとクランピングブロック１２０ａ，１２０ｂを分離する（Ｓ５１０）。

【0050】

具体的には、図１２に示すように、エアークランプ２２０ａにはリリースポート２２２ａが設けられている。リリースポート２２２ａにリリースエアーＲＡを供給すると、リリースエアーＲＡはピストンロッド２２９ａを移動させる（図面符号２９８を参照）。ピストンロッド２２９ａが移動すると、鋼球２２５ａはクランピングブロック１２０ａの着座面１２１ａから離脱して、ピストンロッド２２９ａの溝２２９３に安着する。そのため、エアークランプ２２０ａとクランピングブロック１２０ａは完全に分離される。

【0051】

次に、ベース１００の底面に露出したリリースボタン１１５ａ，１１５ｂを押して、ガイドピン２１０ａ，２１０ｂとガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂを分離する（Ｓ５２０）。

【0052】

次に、ベース１００に設けられた多数のヘッドのうち少なくとも一部を補修または交換する（Ｓ５３０）。

【0053】

次に、パックホルダ２００がヘッドフレーム６００に固定された状態で、補修された多数のヘッド１０を含むベース１００をパックホルダ２００に再び締結させる（Ｓ５４０）。

【0054】

具体的には、図１３に示すように、維持補修期間の間、パックホルダ２００はヘッドフレーム６００から分離されない。ヘッド１０が固定されているベース１００のみ、パックホルダ２００から分離して補修することができる。

【0055】

補修された多数のヘッド１０を含むベース１００をパックホルダ２００に再び締結するときにも、ガイドピン２１０ａ，２１０ｂとガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂを締結させ、かつエアークランプ２２０ａ，２２０ｂとクランピングブロック１２０ａ，１２０ｂを臨時に締結し、エアークランプ２２０ａ，２２０ｂにロックエアーを供給してエアークランプ２２０ａ，２２０ｂとクランピングブロック１２０ａ，１２０ｂを完全に締結させる。

【0056】

このようにガイドピン２１０ａ，２１０ｂとガイドホルダ１１０ａ，１１０ｂ、エアークランプ２２０ａ，２２０ｂとクランピングブロック１２０ａ，１２０ｂを使用すると、作業者の熟練度に関係なく精密度を維持することができる。また、維持補修するとき、パックホルダ２００は分離せずベース１００のみ分離すれば良いので、維持補修期間が短くなる。

【0057】

以上、添付する図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明がその技術的思想や必須の特徴を変更せず他の具体的な形態で実施できることを理解することができる。したがって、上記一実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】