特許 7407059 部品供給装置および部品実装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-20

(45)【発行日】2023-12-28

(54)【発明の名称】部品供給装置および部品実装装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/02 20060101AFI20231221BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20231221BHJP

   H01L 21/52 20060101ALI20231221BHJP

【ＦＩ】

H05K13/02 E

H05K13/04 A

H01L21/52 F

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020076840

(22)【出願日】2020-04-23

(65)【公開番号】P2021174850

(43)【公開日】2021-11-01

【審査請求日】2023-01-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000017

【氏名又は名称】弁理士法人アイテック国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉山 博之

(72)【発明者】

【氏名】中川 大和

【審査官】寺川 ゆりか

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１６／２０８０６９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－２２２０１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－００４０９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－３０１１９７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／０２

Ｈ０５Ｋ １３／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／５２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品供給用のパレットを搬送する搬送部と、該搬送部により部品の供給位置に搬送された前記パレットを保持する保持部とを備える部品供給装置であって、
供給対象の前記パレットが、ウエハ部品がシートに貼着されたウエハパレットとトレイ部品がトレイに載置されたトレイパレットとのいずれであるかを判定する判定部と、
供給対象の前記パレットが前記トレイパレットであると判定された場合には、前記ウエハパレットであると判定された場合よりも、前記搬送部による搬送動作と前記保持部による保持動作とが低速で行われるように前記搬送部と前記保持部とを制御する制御部と、
を備える部品供給装置。

【請求項2】

請求項１に記載の部品供給装置であって、
前記搬送部は、把持用のアクチュエータの駆動により前記パレットの端部を把持する把持部を備え、前記パレットを把持した前記把持部を引出用のアクチュエータの駆動により前記供給位置に向けて引き出すように構成されており、
前記保持部は、クランプ用のアクチュエータの駆動により前記パレットをクランプして保持するように構成されており、
前記制御部は、前記トレイパレットであると判定された場合には、前記ウエハパレットであると判定された場合よりも、低速で駆動するように前記各アクチュエータを制御する
部品供給装置。

【請求項3】

請求項２に記載の部品供給装置であって、
前記搬送部は、前記把持用のアクチュエータが流体圧により駆動するシリンダであり、該シリンダが高速で駆動するように流体を供給する第１状態と低速で駆動するように流体を供給する第２状態とを切り替える把持用の切替部を備え、
前記保持部は、前記クランプ用のアクチュエータが流体圧により駆動するシリンダであり、該シリンダが高速で駆動するように流体を供給する第１状態と低速で駆動するように流体を供給する第２状態とを切り替えるクランプ用の切替部を備え、
前記制御部からの共通の切替信号により、前記把持用の切替部と前記クランプ用の切替部とが、前記第１状態と前記第２状態とを切り替えるように構成されている
部品供給装置。

【請求項4】

請求項１ないし３のいずれか１項に記載の部品供給装置であって、
前記搬送部は、前記パレットの端部を把持する把持部を備え、前記把持部の高さを調整可能であると共に前記パレットを把持した前記把持部を前記供給位置に向けて引き出すように構成されており、
前記パレットの前記端部の高さ位置を検出するセンサを備え、
前記制御部は、前記センサにより検出された前記端部の高さ位置に基づいて前記把持部の高さを調整して把持するように前記搬送部を制御する
部品供給装置。

【請求項5】

請求項４に記載の部品供給装置と、
前記供給位置に供給された前記部品の上面に吸着部材を押し当てて、該吸着部材の吸着により前記部品を採取して基板に実装する実装部と、
を備え、
前記センサにより検出された前記端部の高さ位置に基づいて前記吸着部材の押し当て時の高さを調整する
部品実装装置。

【請求項6】

請求項１ないし４のいずれか１項に記載の部品供給装置と、
前記供給位置で前記パレットから前記部品を採取して基板に実装する実装部と、
を備える部品実装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、部品供給装置および部品実装装置を開示する。

【背景技術】

【0002】

従来、この種の部品供給装置としては、複数のウエハ部品がウエハシートに貼着されたウエハパレットと、複数の部品がトレイに収容されたトレイパレットとを供給可能なものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この装置では、パレットの種類を判別してパレットを移動させ、ウエハパレットであればウエハシートを延伸してウエハ部品を突き上げ可能な状態でウエハパレットを保持し、トレイパレットであればトレイから部品を供給可能な状態でトレイパレットを保持する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００７－１４２４５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した部品供給装置では、パレットの種類に応じてパレットを適切に保持することができるものの、パレットを移動させる際の動作速度については考慮されていない。このような部品供給装置では、生産効率を上げるために、できるだけ動作速度を高めて速やかに部品を供給することが求められる。しかしながら、トレイ内の部品は拘束されていないため、ウエハと同様に比較的速い動作速度で取り扱うと、トレイ内で部品が跳ねて姿勢不良が生じるおそれがあり、好ましくない。

【0005】

本開示は、ウエハパレットとトレイパレットとのそれぞれの供給動作を適切に行って効率よく部品を供給することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

【0007】

本開示の部品供給装置は、
部品供給用のパレットを搬送する搬送部と、該搬送部により部品の供給位置に搬送された前記パレットを保持する保持部とを備える部品供給装置であって、
供給対象の前記パレットが、ウエハ部品がシートに貼着されたウエハパレットとトレイ部品がトレイに載置されたトレイパレットとのいずれであるかを判定する判定部と、
供給対象の前記パレットが前記トレイパレットであると判定された場合には、前記ウエハパレットであると判定された場合よりも、前記搬送部による搬送動作と前記保持部による保持動作とが低速で行われるように前記搬送部と前記保持部とを制御する制御部と、
を備えることを要旨とする。

【0008】

本開示の部品供給装置は、供給対象のパレットがトレイパレットであると判定された場合には、ウエハパレットであると判定された場合よりも、搬送部による搬送動作と保持部による保持動作とが低速で行われるように制御する。これにより、トレイ部品が跳ねて姿勢不良となるのを抑えることができる。また、シートに貼着されるためにウエハ部品が跳ねるおそれのないウエハパレットは、供給動作を比較的高速で行うことになるから、速やかにウエハ部品を供給することができる。したがって、ウエハパレットとトレイパレットとのそれぞれの供給動作を適切に行って効率よく部品を供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】部品実装システム１０の構成の概略を示す斜視図。

【図2】部品実装システム１０の構成の概略を示す側面図。

【図3】ウエハパレットＷＰと把持部５２の斜視図。

【図4】トレイパレットＴＰの把持部５２の斜視図。

【図5】エア供給回路７０の一例を示す回路図。

【図6】保持装置６０の構成の概略を示す構成図。

【図7】部品実装システム１０の電気的な接続関係を示す説明図。

【図8】パレット供給処理の一例を示すフローチャート。

【図9】パレット部品実装処理の一例を示すフローチャート。

【図10】トレイパレットＴＰの変形の一例を示す説明図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

次に、本開示を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。図１は、部品実装システム１０の構成の概略を示す斜視図である。図２は、部品実装システム１０の構成の概略を示す側面図である。図３は、ウエハパレットＷＰと把持部５２の斜視図である。図４は、トレイパレットＴＰの把持部５２の斜視図である。図５は、エア供給回路７０の一例を示す回路図である。図６は、保持装置６０の構成の概略を示す構成図である。図７は、部品実装システム１０の電気的な接続関係を示す説明図である。なお、本実施形態において、図１の左右方向がＸ軸方向であり、前後方向がＹ軸方向であり、上下方向がＺ軸方向である。

【0011】

部品実装システム１０は、基板Ｓに部品を実装する部品実装装置２０と、システム全体を管理する管理装置８０とを備える。

【0012】

部品実装装置２０は、図１，図２，図７に示すように、基板搬送装置２２と、部品供給装置３０と、ヘッド２４と、移動装置２６と、実装制御装置２８とを備える。基板搬送装置２２は、左右方向（Ｘ軸方向）に基板Ｓの搬入、固定および搬出を行うものである。基板搬送装置２２は、前後方向（Ｙ軸方向）に間隔を空けて設けられ左右方向に架け渡された１対のコンベアベルトにより、基板Ｓを搬送する。ヘッド２４は、部品を採取して保持する１以上の吸着ノズル２３が下面に取り外し可能に装着されており、吸着ノズル２３を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸アクチュエータ２５（図７参照）を備える。吸着ノズル２３は、図示しない吸引ポンプと接続されており、部品の上面に押し当てられた状態で吸引ポンプからの負圧の作用で部品を吸着する。移動装置２６は、ヘッド２４が取り付けられたスライダをガイドレールに沿ってＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる。

【0013】

実装制御装置２８は、周知のＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭなどで構成されて管理装置８０と通信可能に接続され、部品実装装置２０の全体を制御する。実装制御装置２８は、生産情報に基づいて基板搬送装置２２やヘッド２４、移動装置２６などを制御する。

【0014】

部品供給装置３０は、図１，図２，図７に示すように、前方に扉３２が取り付けられた本体３１を備え、本体３１の内部にマガジン３４がセットされる。マガジン３４は、詳細な図示は省略するが、前後方向に開放した直方体形状の筐体内に複数段のスロットが形成されており、各スロットにパレットＰを前後方向に出し入れ可能となっている。本実施形態では、パレットＰとして、図３に示すウエハパレットＷＰと、図４に示すトレイパレットＴＰとを使用可能である。ウエハパレットＷＰは、複数のウエハ部品Ｃｗがシートに貼着されたウエハＷが上面に固定されたものである。トレイパレットＴＰは、複数の収容部内にトレイ部品Ｃｔが採取可能に収容されたトレイＴが上面に固定されたものである。トレイパレットＴＰとウエハパレットＷＰは、若干厚みが異なったり形状が異なる箇所があるなど、構成の一部が異なる。トレイパレットＴＰのトレイ部品Ｃｔは、ウエハパレットＷＰのウエハ部品Ｃｗのようにシートに貼着されるものに比して、振動により跳ねて姿勢が変化しやすいものとなる。

【0015】

また、部品供給装置３０は、昇降装置４０と、搬送装置５０と、保持装置６０と、剥離装置６５と、供給制御装置３８とを備える。昇降装置４０は、上下方向に延びる左右一対（図示省略）のボールネジ４２と、ボールネジ４２に取り付けられる保持台４４と、ボールネジ４２を回転させる昇降モータ４６とを備える。昇降装置４０は、昇降モータ４６の駆動により左右一対のボールネジ４２を同期をとりながら回転させることによって保持台４４を上下方向に移動させてマガジン３４を昇降させる。

【0016】

搬送装置５０は、マガジン３４内のパレットＰを引き出して部品実装装置２０の吸着ノズル２３が吸着可能な部品供給位置まで搬送するものである。この搬送装置５０は、把持部５２と、昇降モータ５５と、スライダ５６と、移動モータ５７と、スライドレール５８とを備える。把持部５２は、マガジン３４内のパレットＰの端部（後端部）を把持する一対の把持爪５３と、把持爪５３を上下方向に開閉動作させる把持シリンダ５４とを備える。把持爪５３は、図３，図４に示すように、パレットＰの端部のうち幅方向（左右方向，Ｘ軸方向）における中央位置を把持するように構成されている。把持部５２は、スライダ５６に搭載されており、昇降モータ５５によりスライダ５６に対して上下方向に昇降して把持位置を調整可能に構成されている。スライダ５６は、移動モータ５７の回転軸に接続され前後方向に延びる図示しないボールネジの回転によって前後方向に移動可能に構成されている。スライドレール５８は、左右方向にパレットＰを搬送可能な間隔を空けて設けられ、前後方向に延びる１対のレールにより構成されている。搬送装置５０は、パレットＰの端部を把持した把持部５２をスライダ５６で後方に移動させることで、マガジン３４内からパレットＰを引き出してスライドレール５８に沿って部品供給位置まで搬送する。

【0017】

保持装置６０は、部品供給位置に搬送されたパレットＰを保持するものであり、図６，図７に示すように、サイドクランプ６１と、クランプシリンダ６２とを備える。サイドクランプ６１は、クランプシリンダ６２の駆動により上下方向に昇降可能に構成されている。サイドクランプ６１は、部品供給位置の近傍で左右一対のスライドレール５８の上方に延在するように配置されており、クランプシリンダ６２の駆動で下降することによりスライドレール５８との間でパレットＰを挟持することで、パレットＰの左右方向の端部をクランプする。なお、図６では、反りなどの変形のないトレイパレットＴＰを例示する。部品実装装置２０は、このトレイパレットＴＰが保持装置６０で保持された状態でトレイ部品Ｃｔを吸着ノズル２３で吸着する場合、トレイ部品Ｃｔの厚みに応じた基準押し込み量Ｄ０で吸着ノズル２３を下降させ、トレイ部品Ｃｔの上面に押し当てて吸着を行う。

【0018】

剥離装置６５は、詳細な図示は省略するが、上下方向に昇降可能な押し上げピンを備え、部品供給位置にあるウエハパレットＷＰの下方から押し上げピンを上昇させる。剥離装置６５は、シートに貼着された複数のウエハ部品Ｃｗのうち吸着ノズル２３の吸着対象のウエハ部品Ｃｗを押し上げピンで押し上げることにより、吸着対象のウエハ部品Ｃｗをシートから剥離させる。

【0019】

ここで、搬送装置５０の昇降モータ５５や移動モータ５７は、例えばサーボモータが用いられる。また、搬送装置５０の把持シリンダ５４と保持装置６０のクランプシリンダ６２は、例えばエアシリンダが用いられる。部品供給装置３０は、把持シリンダ５４とクランプシリンダ６２にエアを供給するエア供給回路７０を備える。エア供給回路７０は、図５に示すように、供給路７０ａ～７０ｄと、スピードコントローラ（ＳＣ）７２ａ～７２ｄと、切替バルブ７４，７６とを備える。

【0020】

供給路７０ａ，７０ｂは、図示しないエア供給源からのエアを把持シリンダ５４に供給する流路であり、供給路７０ｃ，７０ｄは、エア供給源からのエアをクランプシリンダ６２に供給する流路である。スピードコントローラ７２ａ～７２ｄは、例えば可変オリフィスなどによりエアの流量を調整可能に構成され、それぞれ供給路７０ａ～７０ｄに設けられている。供給路７０ｂに設けられたスピードコントローラ７２ｂは、供給路７０ａに設けられたスピードコントローラ７２ａよりも、エアの流量を小さくするように設定されている。また、供給路７０ｄに設けられたスピードコントローラ７２ｄは、供給路７０ｃに設けられたスピードコントローラ７２ｃよりも、エアの流量を小さくするように設定されている。切替バルブ７４は、供給路７０ａと把持シリンダ５４とを接続して把持シリンダ５４が比較的高速の標準速度で駆動可能な第１状態と、供給路７０ｂと把持シリンダ５４とを接続して把持シリンダ５４が標準速度よりも遅い低速で駆動可能な第２状態とを切替可能に構成されている。切替バルブ７６は、供給路７０ｃとクランプシリンダ６２とを接続してクランプシリンダ６２が比較的高速の標準速度で駆動可能な第１状態と、供給路７０ｄとクランプシリンダ６２とを接続してクランプシリンダ６２が標準速度よりも遅い低速で駆動可能な第２状態とを切替可能に構成されている。切替バルブ７４，７６は、供給制御装置３８から送信される共通の切替信号により作動して、第１状態と第２状態とを切り替えるように構成されている。

【0021】

部品供給装置３０は、この他に、マガジン３４内の各スロットにおけるパレットＰの有無の検出やパレットＰの厚みや反りなどの測定をするためのパレットセンサ３６などを備える。パレットセンサ３６は、例えば、マガジン３４に対して一方側（例えば、後方側）に発光素子と受光素子とが設けられ、発光素子からマガジン３４に向けて発光し、パレットＰの幅方向（Ｘ軸方向）の中央部で反射した反射光を受光素子で受光可能に構成されている。パレットセンサ３６は、受光素子で受光した光量の変化からパレットＰの幅方向の中央部における下端位置と上端位置とを検出することで、パレットＰの有無の検出や厚みの測定が可能である。また、パレットセンサ３６は、反りなどないパレットＰが各スロットに収容されている際の基準位置に対する下端位置や上端位置の変位から、パレットＰの反りなどを測定可能である。なお、パレットセンサ３６が、マガジン３４を挟んで一方側と他方側（前方側と後方側）に一対の発光素子と受光素子とが設けられていてもよい。

【0022】

供給制御装置３８は、周知のＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭなどで構成されて管理装置８０と実装制御装置２８とに通信可能に接続され、部品供給装置３０の全体を制御する。この供給制御装置３８は、マガジン３４の各スロットに収容されている各パレットＰが供給可能な部品の情報をＲＡＭに記憶している。また、供給制御装置３８は、管理装置８０や実装制御装置２８からの指示に基づいて昇降装置４０や搬送装置５０、保持装置６０、剥離装置６５などを制御したり、パレットセンサ３６からの検出信号を入力したりする。

【0023】

管理装置８０は、周知のＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤなどで構成され、キーボードやマウスなどの入力デバイス８２と、ＬＣＤなどのディスプレイ８４とを備える。管理装置８０は、基板Ｓの生産プログラムや実装する部品の情報などを含む生産情報を記憶している。基板Ｓの生産プログラムは、どの基板Ｓにどの部品を実装するか、また、そのように実装した基板Ｓを何枚作製するかなどを定めたプログラムをいう。管理装置８０は、実装制御装置２８と供給制御装置３８とに通信可能に接続され、生産情報を送信する。

【0024】

以下は、こうして構成された部品実装システム１０の動作の説明である。図８はパレット供給処理の一例を示すフローチャートである。この処理は、実装対象の部品を供給するためにパレットＰを部品供給位置に移動させる際に供給制御装置３８により実行される。この処理では、供給制御装置３８は、まず、処理対象のパレットＰをパレットセンサ３６で検知してパレットＰの厚みや反りを測定すると共に（Ｓ１００）、パレットＰの種類を識別する（Ｓ１０５）。なお、上述したようにトレイパレットＴＰとウエハパレットＷＰは構成の一部が異なるため、供給制御装置３８は、パレットセンサ３６による厚みの測定結果からパレットＰの種類を識別可能である。次に、供給制御装置３８は、識別したパレットＰの種類がウエハパレットＷＰかトレイパレットＴＰかを判定する（Ｓ１１０）。

【0025】

供給制御装置３８は、Ｓ１１０でウエハパレットＷＰであると判定すると、把持シリンダ５４とクランプシリンダ６２とをそれぞれ高速で駆動させるため、切替バルブ７４，７６をそれぞれ第１状態とする切替信号をエア供給回路７０に出力する（Ｓ１１５）。これにより、把持シリンダ５４とクランプシリンダ６２とがそれぞれ高速の標準速度で駆動可能となる。次に、供給制御装置３８は、把持部５２の把持爪５３がウエハパレットＷＰを高速で把持するように把持シリンダ５４を制御し（Ｓ１２０）、把持部５２を高速で移動させてウエハパレットＷＰをマガジン３４内から引き出して搬送するように移動モータ５７を制御する（Ｓ１２５）。ウエハパレットＷＰが部品供給位置まで搬送されると、供給制御装置３８は、把持部５２による把持を解除し、サイドクランプ６１によりウエハパレットＷＰを高速でクランプするようにクランプシリンダ６２を制御して（Ｓ１３０）、パレット供給処理を終了する。

【0026】

一方、供給制御装置３８は、Ｓ１１０でウエハパレットＷＰでなくトレイパレットＴＰであると判定すると、把持シリンダ５４とクランプシリンダ６２とをそれぞれ低速で駆動させるため、切替バルブ７４，７６をそれぞれ第２状態とする切替信号をエア供給回路７０に出力する（Ｓ１３５）。これにより、把持シリンダ５４とクランプシリンダ６２とが標準速度よりも低速で駆動可能となる。また、供給制御装置３８は、Ｓ１００の測定結果に基づいてパレットＰを把持する高さ位置を調整するように昇降モータ５５を制御する（Ｓ１４０）。Ｓ１４０では、供給制御装置３８は、把持部５２が把持する中心高さと、パレットＰの端部の中心高さとが一致するように、把持部５２の高さを昇降モータ５５で調整する。これにより、把持部５２がパレットＰを把持する際に、パレットＰの端部の中心高さとのずれによって、トレイパレットＴＰに与える衝撃を低減することができる。

【0027】

次に、供給制御装置３８は、把持部５２の把持爪５３がトレイパレットＴＰを低速で把持するように把持シリンダ５４を制御し（Ｓ１４５）、低速で把持部５２を移動させてトレイパレットＴＰをマガジン３４内から引き出して搬送するように移動モータ５７を制御する（Ｓ１５０）。トレイパレットＴＰが部品供給位置まで搬送されると、供給制御装置３８は、把持部５２による把持を解除し、サイドクランプ６１によりトレイパレットＴＰを低速でクランプするようにクランプシリンダ６２を制御して（Ｓ１５５）、パレット供給処理を終了する。このように、供給制御装置３８は、把持爪５３がトレイパレットＴＰを把持する際の把持シリンダ５４の駆動速度と、スライダ５６がトレイパレットＴＰを搬送する際の移動モータ５７の回転速度と、サイドクランプ６１がトレイパレットＴＰをクランプする際のクランプシリンダ６２の駆動速度をそれぞれ低速とする。このため、部品供給装置３０は、トレイパレットＴＰに与える衝撃を低減することができるから、トレイＴ内のトレイ部品Ｃｔが跳ねて姿勢不良となるのを抑えることができる。

【0028】

図９はパレット部品実装処理の一例を示すフローチャートである。この処理は、パレットＰが部品供給位置で保持されるなど実装の準備が整った状態で実装制御装置２８により実行される。実装制御装置２８は、まず、部品供給位置に搬送されたパレットＰがウエハパレットＷＰであるか否かを判定する（Ｓ２００）。実装制御装置２８は、パレットＰがウエハパレットＷＰであると判定すると、所定の押し込み量で吸着ノズル２３を下降させてウエハ部品Ｃｗを吸着するようにヘッド２４（Ｚ軸アクチュエータ２５）を制御する（Ｓ２０５）。続いて、実装制御装置２８は、吸着ノズル２３に吸着したウエハ部品Ｃｗを基板Ｓに実装するようにヘッド２４と移動装置２６とを制御する（Ｓ２１０）。なお、吸着ノズル２３がウエハ部品Ｃｗを吸着する際には、上述したように、剥離装置６５の押し上げピンにより吸着対象のウエハ部品Ｃｗが押し上げられる。所定の押し込み量は、押し上げられたウエハ部品Ｃｗの上面に吸着ノズル２３を押し当てることができるように定められている。そして、実装制御装置２８は、ウエハパレットＷＰから実装すべき次のウエハ部品Ｃｗがあるか否かを判定し（Ｓ２１５）、次のウエハ部品Ｃｗがあると判定すると、Ｓ２０５に戻って処理を行い、次のウエハ部品Ｃｗがないと判定すると、パレット部品実装処理を終了する。

【0029】

一方、実装制御装置２８は、Ｓ２００でパレットＰがウエハパレットＷＰでなくトレイパレットＴＰであると判定すると、パレット供給処理のＳ１００の測定結果に基づいて吸着ノズル２３による押し込み量Ｄを補正する（Ｓ２２０）。ここで、上述したように、トレイパレットＴＰに反りが生じてなければ、基準押し込み量Ｄ０で吸着ノズル２３を押し込むようにＺ軸アクチュエータ２５が制御される。しかし、トレイパレットＴＰに反りなどの変形が生じている場合がある。

【0030】

図１０は、トレイパレットＴＰの変形の一例を示す説明図である。図１０では、トレイパレットＴＰが下側に凸状に反るように変形し、幅方向（左右方向）の中央部で変形量δが生じている場合を示す。部品供給装置３０は、ウエハパレットＷＰとトレイパレットＴＰとを使用するために、剥離装置６５による押し上げが可能に構成する必要があるから、保持装置６０でトレイパレットＴＰの幅方向の端部を保持し、下面全体を支持することはない。このため、トレイパレットＴＰの反りの影響でトレイＴ内のトレイ部品Ｃｔの高さも基準よりも下がるから、基準押し込み量Ｄ０で吸着ノズル２３が押し込まれても、吸着不良が生じるおそれがある。そこで、実装制御装置２８は、Ｓ２２０では、測定結果の変形量δに基づいて押し込み量Ｄが大きくなる方向に補正する。例えば、実装制御装置２８は、測定位置からトレイ部品Ｃｔの各吸着位置までの距離と、変形量δとに基づいて、各吸着位置における変形量を推定して押し込み量Ｄ即ち吸着時の吸着ノズル２３の高さを補正する。図１０の例では、押し込み量Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３の順に補正量が大きくなって大きな押し込み量となる。これにより、吸着ノズル２３の押し込み不足による吸着不良を防止することができる。なお、トレイパレットＴＰが上側に凸状に反るように変形している場合、実装制御装置２８は、測定結果の変形量δに基づいて押し込み量Ｄが小さくなる方向に補正する。これにより、吸着ノズル２３の押し込み過ぎにより、トレイパレットＴＰの反発に伴うトレイ部品Ｃｔの跳ねを抑えることができる。

【0031】

次に、実装制御装置２８は、補正した押し込み量Ｄで吸着ノズル２３を下降させてトレイ部品Ｃｔを吸着するようにヘッド２４（Ｚ軸アクチュエータ２５）を制御する（Ｓ２２５）。続いて、実装制御装置２８は、吸着したトレイ部品Ｃｔを基板Ｓに実装するようにヘッド２４と移動装置２６とを制御する（Ｓ２３０）。そして、実装制御装置２８は、トレイパレットＴＰから実装すべき次のトレイ部品Ｃｔがあるか否かを判定し、次のトレイ部品Ｃｔがあると判定すると、Ｓ２２５に戻って処理を行い、次のトレイ部品Ｃｔがないと判定すると、部品実装処理を終了する。

【0032】

ここで、本実施形態の構成要素と本開示の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の搬送装置５０が搬送部に相当し、保持装置６０が保持部に相当し、部品供給装置３０が部品供給装置に相当し、パレット供給処理のＳ１００，Ｓ１１０を実行する供給制御装置３８が判定部に相当し、パレット供給処理のＳ１１５～Ｓ１５５を実行する供給制御装置３８が制御部に相当する。把持シリンダ５４が把持用のアクチュエータ（シリンダ）に相当し、移動モータ５７が引出用のアクチュエータに相当し、クランプシリンダ６２がクランプ用のアクチュエータ（シリンダ）に相当する。切替バルブ７４が把持用の切替部に相当し、切替バルブ７６がクランプ用の切替部に相当する。パレットセンサ３６がセンサに相当する。吸着ノズル２３が吸着部材に相当し、ヘッド２４が実装部に相当し、部品実装装置２０が部品実装装置に相当する。

【0033】

以上説明した実施形態の部品供給装置３０は、パレットＰがトレイパレットＴＰの場合には、ウエハパレットＷＰの場合よりも搬送動作と保持動作とを低速で行う。これにより、部品供給装置３０は、トレイパレットＴＰに与える衝撃を低減して、トレイ部品Ｃｔが跳ねて姿勢不良となるのを抑えることができる。また、ウエハパレットＷＰの場合には、搬送動作と保持動作とを比較的高速の標準速度で行うから、速やかにウエハ部品Ｃｗを供給することができる。

【0034】

また、供給制御装置３８からの共通の切替信号の送信により、切替バルブ７４，７６が把持シリンダ５４とクランプシリンダ６２の駆動速度をまとめて切り替えるから、簡易な回路構成で適切な供給動作を行うことができる。

【0035】

また、部品供給装置３０は、パレットＰの高さ位置に基づいて把持部５２の高さを調整するから、パレットＰの変形により端部の高さが変化してもパレットＰを適切に把持して、トレイパレットＴＰに与える衝撃をより低減することができる。

【0036】

また、部品供給装置３０は、パレットＰの高さ位置に基づいて吸着ノズル２３の押し込み量Ｄを調整するから、トレイパレットＴＰに変形が生じていてもトレイ部品Ｃｔを吸着ノズル２３に適切に吸着させることができる。

【0037】

なお、本開示は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本開示の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

【0038】

例えば、上述した実施形態では、パレットＰの高さ位置に基づいて吸着ノズル２３の押し込み量Ｄを調整したが、これに限られず、押し込み量Ｄを調整しなくてもよい。

【0039】

上述した実施形態では、パレットＰの高さ位置に基づいて把持部５２の高さを調整したが、これに限られず、把持部５２の高さを調整することなく一定の高さ位置で把持してもよい。このようにする場合、昇降モータ５５を備えない構成としてもよい。

【0040】

上述した実施形態では、供給制御装置３８から切替バルブ７４，７６へ共通の切替信号が送信されたが、これに限られず、別々の切替信号が送信されるものとしてもよい。

【0041】

上述した実施形態では、把持爪５３がトレイパレットＴＰを把持する際の把持シリンダ５４の駆動速度と、スライダ５６がトレイパレットＴＰを搬送する際の移動モータ５７の回転速度と、サイドクランプ６１がトレイパレットＴＰをクランプする際のクランプシリンダ６２の駆動速度をそれぞれ低速としたが、これに限られるものではない。例えば、把持シリンダ５４の駆動速度と、移動モータ５７の回転速度とのうちいずれか一方のみを低速としてもよい。また、把持シリンダ５４やクランプシリンダ６２をエアシリンダとし移動モータ５７をサーボモータとしたが、これに限られず、エアシリンダや油圧シリンダ、各種モータなど如何なるアクチュエータを用いてもよい。また、マガジン３４からパレットＰを引き出したがパレットＰを押し出してもよいし、パレットＰの後端部を掴んだが、パレットＰの左右いずれかの側端部を掴んでもよい。パレットＰを部品供給位置まで搬送して保持する構成であれば、如何なる構成としてもよく、搬送時に把持するものと部品供給位置で保持するものを共通の構成などとしてもよい。

【0042】

上述した実施形態では、パレットセンサ３６の検知によりパレットＰの種類を判定したが、これに限られるものではない。例えば、パレットＰに種類の情報を示す識別情報（コードなど）が付されており、その識別情報を読み出してパレットＰの種類を判定してもよい。あるいは、供給制御装置３８は、マガジン３４にパレットＰが挿入された際に、スロットの位置とパレットＰの種類の情報とを対応付けてＲＡＭなどに記憶しておき、記憶した情報に基づいてパレットＰの種類を判定してもよい。

【0043】

上述した実施形態では、実装制御装置２８と供給制御装置３８とを別々の制御装置としたが、これに限られず、共通の制御装置としてもよい。

【0044】

ここで、本開示の部品供給装置は、以下のように構成してもよい。例えば、本開示の部品供給装置において、前記搬送部は、把持用のアクチュエータの駆動により前記パレットの端部を把持する把持部を備え、前記パレットを把持した前記把持部を引出用のアクチュエータの駆動により前記供給位置に向けて引き出すように構成されており、前記保持部は、クランプ用のアクチュエータの駆動により前記パレットをクランプして保持するように構成されており、前記制御部は、前記トレイパレットであると判定された場合には、前記ウエハパレットであると判定された場合よりも、低速で駆動するように前記各アクチュエータを制御するものとしてもよい。こうすれば、トレイパレットの把持や引き出し、クランプする際に、それぞれのアクチュエータの速度を抑えてより適切な供給動作を行うことができる。

【0045】

本開示の部品供給装置において、前記搬送部は、前記把持用のアクチュエータが流体圧により駆動するシリンダであり、該シリンダが高速で駆動するように流体を供給する第１状態と低速で駆動するように流体を供給する第２状態とを切り替える把持用の切替部を備え、前記保持部は、前記クランプ用のアクチュエータが流体圧により駆動するシリンダであり、該シリンダが高速で駆動するように流体を供給する第１状態と低速で駆動するように流体を供給する第２状態とを切り替えるクランプ用の切替部を備え、前記制御部からの共通の切替信号により、前記把持用の切替部と前記クランプ用の切替部とが、前記第１状態と前記第２状態とを切り替えるように構成されているものとしてもよい。こうすれば、簡易な回路構成で適切な供給動作を行うことができる。

【0046】

本開示の部品供給装置において、前記搬送部は、前記パレットの端部を把持する把持部を備え、前記把持部の高さを調整可能であると共に前記パレットを把持した前記把持部を前記供給位置に向けて引き出すように構成されており、前記パレットの前記端部の高さ位置を検出するセンサを備え、前記制御部は、前記センサにより検出された前記端部の高さ位置に基づいて前記把持部の高さを調整して把持するように前記搬送部を制御するものとしてもよい。こうすれば、パレットの反りなどの変形によりパレットの端部の高さが変化しても、それに応じた位置でパレットを把持することができる。このため、端部を把持する際に、トレイパレットに与える衝撃をより低減することができる。

【0047】

本開示の第１の部品実装装置は、上述した構成の部品供給装置と、前記供給位置に供給された前記部品の上面に吸着部材を押し当てて、該吸着部材の吸着により前記部品を採取して基板に実装する実装部と、を備え、前記センサにより検出された前記端部の高さ位置に基づいて前記吸着部材の押し当て時の高さを調整することを要旨とする。本開示の第１の部品実装装置は、パレットの反りなどの変形によりパレットの端部の高さが変化しても、センサにより検出された端部の高さ位置に基づいて吸着部材の押し当て時の高さを調整することができる。このため、吸着部材の押し込み不足による吸着不良や、吸着部材の押し込み過ぎによるトレイパレットの反発に伴う部品の跳ねを抑えることができる。

【0048】

本開示の第２の部品実装装置は、上述したいずれかの構成の部品供給装置と、前記供給位置で前記パレットから前記部品を採取して基板に実装する実装部と、を備えることを要旨とする。本開示の第２の部品実装装置は、上述したいずれかの構成の部品供給装置を備えるから、上述した部品供給装置と同様に、ウエハパレットとトレイパレットとのそれぞれの供給動作を適切に行って効率よく部品を供給する効果を奏するものとなる。

【産業上の利用可能性】

【0049】

本開示は、部品供給装置や部品実装装置の製造産業などに利用可能である。

【符号の説明】

【0050】

１０ 部品実装システム、２０ 部品実装装置、２２ 基板搬送装置、２３ 吸着ノズル、２４ ヘッド、２５ Ｚ軸アクチュエータ、２６ 移動装置、２８ 実装制御装置、３０ 部品供給装置、３１ 本体、３２ 扉、３４ マガジン、３６ パレットセンサ、３８ 供給制御装置、４０ 昇降装置、４２ ボールネジ、４４ 保持台、４６ 昇降モータ、５０ 搬送装置、５２ 把持部、５３ 把持爪、５４ 把持シリンダ、５５ 昇降モータ、５６ スライダ、５７ 移動モータ、５８ スライドレール、６０ 保持装置、６１ サイドクランプ、６２ クランプシリンダ、６５ 剥離装置、７０ エア供給回路、７０ａ～７０ｄ 供給路、７２ａ～７２ｄ スピードコントローラ（ＳＣ）、７４，７６ 切替バルブ、８０ 管理装置、８２ 入力デバイス、８４ ディスプレイ、Ｃｔ トレイ部品、Ｃｗ ウエハ部品、Ｄ０～Ｄ４ 押し込み量、Ｐ パレット、Ｓ 基板、Ｔ トレイ、ＴＰ トレイパレット、Ｗ ウエハ、ＷＰ ウエハパレット。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】