特許 7407067 搬送装置、搬送方法および搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-20

(45)【発行日】2023-12-28

(54)【発明の名称】搬送装置、搬送方法および搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20231221BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20231221BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 D

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2020089231

(22)【出願日】2020-05-21

(65)【公開番号】P2021184426

(43)【公開日】2021-12-02

【審査請求日】2022-12-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000006622

【氏名又は名称】株式会社安川電機

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】小宮路 修

【審査官】三浦 みちる

(56)【参考文献】

【文献】韓国公開特許第１０－２００９－０１１６４３１（ＫＲ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２００９－００２０１６７（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２００２－２６１１４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－１９７７０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０２７９３６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ ９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送室の室内に固定され、基板が載置されるハンドと、少なくとも旋回動作によって前記ハンドを移動させるアームとをそれぞれ有する少なくとも４台のロボットと、
前記搬送室の室内に固定され、前記基板を少なくとも２枚載置可能であって前記少なくとも４台のロボットすべてが前記基板を授受可能な固定式バッファと
を備え、
前記少なくとも４台のロボットは、
上面視において、互いの前記旋回動作の旋回領域が重ならず、かつ、前記固定式バッファの周囲において前記基板を前記固定式バッファと授受可能な位置にそれぞれ配置されること
を特徴とする搬送装置。

【請求項2】

前記少なくとも４台のロボットは、
上面視において、時計回りに第１ロボット、第２ロボット、第３ロボットおよび第４ロボットの４台であり、
前記搬送室は、
上面視において矩形状であり、時計回りに第１側壁、第２側壁、第３側壁および第４側壁を有し、前記第１側壁の外側に前記第１ロボットおよび前記第２ロボットそれぞれの基板授受位置が、前記第２側壁の外側に前記第２ロボットおよび前記第３ロボットそれぞれの基板授受位置が、前記第３側壁の外側に前記第３ロボットおよび前記第４ロボットそれぞれの基板授受位置が、前記第４側壁の外側に前記第４ロボットおよび前記第１ロボットそれぞれの基板授受位置が、設けられること
を特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記基板授受位置は、
前記第４側壁の外側ではロードロック室の室内にあり、前記第１側壁、前記第２側壁および前記第３側壁の外側では前記基板の処理室の室内にそれぞれあること
を特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記固定式バッファは、
前記基板の載置中心が前記４台のロボットの各旋回領域で囲まれる領域の中心位置にあること
を特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項5】

前記４台のロボットは、
前記旋回領域の大きさが同じであること
を特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項6】

前記４台のロボットは、
鉛直向きに１自由度で水平向きに２自由度の３自由度のロボットであること
を特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項7】

前記４台のロボットは、
水平向きに２自由度の２自由度のロボットであり、
前記固定式バッファは、
前記基板の載置位置を昇降させる昇降機構を有すること
を特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項8】

前記固定式バッファは、
前記基板の載置領域が前記４台のロボットの各旋回領域の外側にあること
を特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項9】

前記固定式バッファは、
前記基板の載置領域の中心と前記４台のロボットの各旋回中心とをそれぞれ結ぶ線に沿って前記ハンドによって搬送される前記基板の移動軌跡の外側にバッファを支持する支柱を有すること
を特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項10】

前記固定式バッファは、
前記基板の載置領域および前記４台のロボットの各旋回領域の外側にバッファを支持する支柱を有すること
を特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項11】

前記固定式バッファは、
バッファにおける前記基板の載置領域と前記４台のロボットのうち隣り合うロボットの各旋回領域とに囲まれた外部領域にバッファを支持する支柱を有すること
を特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

【請求項12】

前記固定式バッファに載置される前記基板の有無を検出するセンサが対向する２つの側壁にそれぞれ設けられること
を特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項13】

前記固定式バッファは、
前記基板の載置領域の一部が、少なくともいずれか一つの前記ロボットの前記旋回領域と重なるように前記搬送室の上面に固定され、
前記ロボットは、
前記固定式バッファへの干渉を回避する非干渉動作を行うこと
を特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項14】

搬送室の室内に固定され、基板が載置されるハンドと、少なくとも旋回動作によって前記ハンドを移動させるアームとをそれぞれ有する少なくとも４台のロボットと、
前記搬送室の室内に固定され、前記基板を少なくとも２枚載置可能であって前記少なくとも４台のロボットすべてが前記基板を授受可能な固定式バッファと
を用い、
前記少なくとも４台のロボットは、
上面視において、互いの前記旋回動作の旋回領域が重ならず、かつ、前記固定式バッファの周囲において前記基板を前記固定式バッファと授受可能な位置にそれぞれ配置されており、
前記固定式バッファとの前記基板の授受をすべての前記ロボットに行わせること
を特徴とする搬送方法。

【請求項15】

搬送室と、
前記搬送室の室内に固定され、基板が載置されるハンドと、少なくとも旋回動作によって前記ハンドを移動させるアームとをそれぞれ有する少なくとも４台のロボットと、
前記搬送室の室内に固定され、前記基板を少なくとも２枚載置可能であって前記少なくとも４台のロボットすべてが前記基板を授受可能な固定式バッファと
を備え、
前記少なくとも４台のロボットは、
上面視において、互いの前記旋回動作の旋回領域が重ならず、かつ、前記固定式バッファの周囲において前記基板を前記固定式バッファと授受可能な位置にそれぞれ配置されること
を特徴とする搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

開示の実施形態は、搬送装置、搬送方法および搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板を搬送するロボットを、減圧雰囲気化された搬送室内に配置し、搬送室の側壁に設けられた処理室に対して基板を搬送する搬送装置が知られている。

【0003】

たとえば、搬送室の側壁に設けられた複数の処理室に対し、リニアモータによる駆動によって搬送室内を移動する移動式ロボットで基板を搬送する基板処理装置が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００８－０２８１７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記した従来技術には、ロボットを移動式とすることによるコストの増加や、移動機構の複雑化による可用性の低下が懸念される。可用性が低下すると結果的に基板の搬送効率が低下してしまうため、処理前の基板および処理後の基板の搬送効率を向上させる観点からは改善の余地がある。

【0006】

実施形態の一態様は、基板の搬送効率を向上させることができる搬送装置、搬送方法および搬送システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

実施形態の一態様に係る搬送装置は、少なくとも４台のロボットと、固定式バッファとを備える。少なくとも４台のロボットは、搬送室の室内に固定され、基板が載置されるハンドと、少なくとも旋回動作によって前記ハンドを移動させるアームとをそれぞれ有する。固定式バッファは、前記搬送室の室内に固定され、前記基板を少なくとも２枚載置可能であって前記少なくとも４台のロボットすべてが前記基板を授受可能である。前記少なくとも４台のロボットは、互いの前記旋回動作の旋回領域が重ならず、かつ、前記固定式バッファの周囲において前記基板を前記固定式バッファと授受可能な位置にそれぞれ配置される。

【0008】

実施形態の一態様に係る搬送方法は、少なくとも４台のロボットと、固定式バッファとを用い、前記固定式バッファとの基板の授受をすべての前記ロボットに行わせる。少なくとも４台のロボットは、搬送室の室内に固定され、基板が載置されるハンドと、少なくとも旋回動作によって前記ハンドを移動させるアームとをそれぞれ有する。固定式バッファは、前記搬送室の室内に固定され、前記基板を少なくとも２枚載置可能であって前記少なくとも４台のロボットすべてが前記基板を授受可能である。前記少なくとも４台のロボットは、上面視において、互いの前記旋回動作の旋回領域が重ならず、かつ、前記固定式バッファの周囲において前記基板を前記固定式バッファと授受可能な位置にそれぞれ配置される。

【0009】

実施形態の一態様に係る搬送システムは、搬送室と、少なくとも４台のロボットと、固定式バッファとを備える。少なくとも４台のロボットは、前記搬送室の室内に固定され、基板が載置されるハンドと、少なくとも旋回動作によって前記ハンドを移動させるアームとをそれぞれ有する。固定式バッファは、前記搬送室の室内に固定され、前記基板を少なくとも２枚載置可能であって前記少なくとも４台のロボットすべてが前記基板を授受可能である。前記少なくとも４台のロボットは、上面視において、互いの前記旋回動作の旋回領域が重ならず、かつ、前記固定式バッファの周囲において前記基板を前記固定式バッファと授受可能な位置にそれぞれ配置される。

【発明の効果】

【0010】

実施形態の一態様によれば、基板の搬送効率を向上させることができる搬送装置、搬送方法および搬送システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態に係る搬送システムの概要を示す上面模式図である。

【図2】図２は、搬送室の配置例を示す上面模式図である。

【図3A】図３Ａは、搬送装置の上面模式図である。

【図3B】図３Ｂは、搬送装置の側面模式図である。

【図4】図４は、昇降機構を有する固定式バッファの側面模式図である。

【図5A】図５Ａは、変形例に係る固定式バッファの上面模式図である。

【図5B】図５Ｂは、変形例に係る固定式バッファの側面模式図である。

【図6】図６は、基板を検出するセンサの配置例を示す上面模式図である。

【図7A】図７Ａは、ロボットの構成例その１を示す上面模式図である。

【図7B】図７Ｂは、ロボットの構成例その２を示す上面模式図である。

【図7C】図７Ｃは、ロボットの構成例その３を示す上面模式図である。

【図7D】図７Ｄは、ロボットの構成例その４を示す上面模式図である。

【図8】図８は、搬送装置の構成を示すブロック図である。

【図9】図９は、搬送装置が実行する処理手順を示すフローチャートである。

【図10】図１０は、双腕ロボットを配置した搬送室の上面模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送装置、搬送方法および搬送システムの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

【0013】

また、以下に示す実施形態では、「直交」、「水平」、「鉛直」、「中心」、あるいは「対称」といった表現を用いるが、厳密にこれらの状態を満たすことを要しない。すなわち、上記した各表現は、製造精度、設置精度、処理精度、検出精度などのずれを許容するものとする。

【0014】

まず、実施形態に係る搬送システム１の概要について図１を用いて説明する。図１は、実施形態に係る搬送システム１の概要を示す上面模式図である。なお、図１は、搬送システム１を上方からみた模式図に相当する。

【0015】

図１では、説明をわかりやすくするために、鉛直上向きを正方向とするＺ軸、搬送室１００における隣り合った側壁１００ｓｗにそれぞれ沿う向きをＸ軸およびＹ軸とする３次元の直交座標系を示している。かかる直交座標系は、以下の説明で用いる他の図面においても示す場合がある。なお、図１では、上面視において正方形状の搬送室１００を示しているが、Ｘ軸に沿う長さまたはＹ軸に沿う長さのいずれかが他方よりも大きい矩形状とすることとしてもよい。

【0016】

図１に示すように、搬送室１００の室内には、４台のロボット１０と、基板Ｗを載置可能な固定式バッファ１１０とがそれぞれ固定される。ここで、搬送室１００は、室内が減圧雰囲気である。また、以下では、ロボット１０と、固定式バッファ１１０とをまとめて搬送装置５と呼ぶことがある。

【0017】

ロボット１０は、固定式バッファ１１０等との間で基板Ｗの授受を行う基板搬送機構であり、たとえば、水平多関節ロボット（スカラロボット）である。具体的には、ロボット１０は、基板Ｗが載置されるハンド１２と、少なくとも旋回動作によってハンド１２を移動させるアーム１１とを備える。

【0018】

なお、本実施形態では、アーム１１が第１アーム１１ａと第２アーム１１ｂとを有する場合について説明するが、アーム１１を構成するアーム数は１つでもよいし、３つ以上であってもよい。また、本実施形態では、ロボット１０の台数が４台である場合について説明するが、ロボット１０の台数を５台以上としてもよい。

【0019】

ここで、ロボット１０は、搬送室１００の室内に固定される「固定式ロボット」であり、搬送室１００の室内を走行したり移動したりする「移動式ロボット」とは異なる。このように、ロボット１０は、搬送室１００の室内を移動しないので、ロボット１０に対する給電が容易であり、搬送室１００のクリーン化に寄与する。

【0020】

固定式バッファ１１０は、基板Ｗを一時的に保持するバッファである。固定式バッファ１１０は、少なくとも２枚の基板Ｗを載置することが可能であり、搬送室１００の室内におけるすべてのロボット１０との間で基板Ｗの授受が可能である。ここで、図１に示した固定式バッファ１１０には、基板授受位置ＷＡを併せて示している。なお、「基板授受位置」を基板Ｗの「載置領域」と呼ぶ場合がある。

【0021】

つまり、少なくとも２枚の基板Ｗは、基板授受位置ＷＡが重なるように多段で固定式バッファ１１０に保持される。ここで、「基板授受位置」とは、固定式バッファ１１０の正規位置で保持される基板Ｗの存在領域のことを指す。なお、本実施形態では、固定式バッファ１１０の段数が４段である場合について説明するが、段数は２段以上の任意の段数でよい。

【0022】

ここで、固定式バッファ１１０は、搬送室１００の室内に固定される「固定式バッファ」であり、搬送室１００の室内を走行したり移動したりする「移動式バッファ」とは異なる。このように、固定式バッファ１１０は、搬送室１００の室内を移動しないので、搬送室１００のクリーン化に寄与する。

【0023】

ところで、図１では、説明をわかりやすくするために、上面視における固定式バッファ１１０の外形を円で示しているが、外形を限定するものではない。つまり、固定式バッファ１１０における基板授受位置ＷＡが図１に示した位置にあれば、固定式バッファ１１０の外形の形状は問わない。

【0024】

図１に示したように、各ロボット１０は、上面視において、互いの旋回動作の旋回領域１０ｒｔが重ならず、かつ、固定式バッファ１１０の周囲において、基板Ｗを固定式バッファ１１０と授受可能な位置にそれぞれ配置される。ここで、「授受可能な位置」とは、基板Ｗを保持するロボット１０が、固定式バッファ１１０の基板授受位置ＷＡへ基板Ｗを搬送することができる程度に固定式バッファ１１０に近い位置にあることを指す。

【0025】

図１に示した場合では、固定式バッファ１１０の基板授受位置ＷＡは、各ロボット１０の旋回領域１０ｒｔのいずれとも重ならない。なお、固定式バッファ１１０の基板授受位置ＷＡが、各ロボット１０の旋回領域１０ｒｔと重なりを有する場合については図５Ａ等を用いて後述することとする。

【0026】

また、図１に示した場合では、各ロボット１０の旋回領域１０ｒｔの大きさがすべて同じである。このように、すべてのロボット１０の旋回領域１０ｒｔの大きさを揃えることとすれば、同形式のロボットを用いることができるので、搬送装置５および搬送システム１のコストダウンを図ることが可能となる。なお、各ロボット１０の旋回領域１０ｒｔは、それぞれ異なっていてもよい。すなわち、各ロボット１０は、上面視において、互いの旋回領域１０ｒｔが重ならず、かつ、固定式バッファ１１０と基板Ｗの授受が可能であるという条件を満たせば、旋回領域１０ｒｔの大きさがすべて同じであることを要しない。

【0027】

また、図１に示した場合では、固定式バッファ１１０の基板授受位置ＷＡにおける基板Ｗの載置中心ＣＷ（図３Ａ参照）が、各ロボット１０における各旋回領域１０ｒｔで囲まれた領域の中心位置にある。すなわち、固定式バッファ１１０を取り囲む４つの旋回領域１０ｒｔの各中心と、固定式バッファ１１０の載置中心ＣＷとの距離は、それぞれ等しい。

【0028】

また、図１に示した場合では、各ロボット１０は、搬送室１００の対角線について対称な位置にそれぞれ配置されるとともに、搬送室１００の各辺を等分する線についても対称な位置にそれぞれ配置される。このように、ロボット１０および固定式バッファ１１０を配置することで、各ロボット１０の教示情報を共有化したり、転用したりすることが容易となり、ロボット１０の教示作業に要するコストを低減することが可能となる。

【0029】

このように、図１に示した搬送システム１および搬送装置５では、少なくとも４台のロボット１０を固定式バッファ１１０の周囲に配置し、すべてのロボット１０が固定式バッファ１１０と基板Ｗの授受を行うようにした。したがって、ロボットやバッファを、走行させたり移動させたりする場合に比べて搬送装置５の構成を簡略化することができるとともに、パーティクルの発生を抑制することができる。また、搬送室１００の小型化を図ることができるので、搬送システム１の低コスト化を図ることができる。

【0030】

以下では、搬送室１００とロボット１０との位置関係、ロボット１０と搬送室１００の外部に設けられる基板授受位置ＷＡとの位置関係についてさらに詳細に説明する。

【0031】

図１に示したように、搬送室１００の側壁１００ｓｗは、時計回りに第１側壁１００ｓｗ１、第２側壁１００ｓｗ２、第３側壁１００ｓｗ３および第４側壁１００ｓｗ４である。第１側壁１００ｓｗ１および第３側壁１００ｓｗ３は互いに対向し、第２側壁１００ｓｗ２および第４側壁１００ｓｗ４は互いに対向する。

【0032】

また、ロボット１０は、時計回りに第１ロボット１０－１、第２ロボット１０－２、第３ロボット１０－３および第４ロボット１０－４である。なお、第１ロボット１０－１および第２ロボット１０－２は第１側壁１００ｓｗ１に対向して配置され、第３ロボット１０－３および第４ロボット１０－４は第３側壁１００ｓｗ３に対向して配置される。また、第２ロボット１０－２および第３ロボット１０－３は第２側壁１００ｓｗ２に対向して配置され、第４ロボット１０－４および第１ロボット１０－１は第４側壁１００ｓｗ４に対向して配置される。

【0033】

また、各側壁１００ｓｗは、各ロボット１０に対向する位置に基板搬出入口に相当する開口１０１をそれぞれ有する。つまり、搬送室１００は、各側壁１００ｓｗあたり２つずつ、全体で計８つの開口１０１を有する。そして、各側壁１００ｓｗの室外側には、各ロボット１０が基板Ｗを授受する基板授受位置ＷＡがそれぞれ設けられる。

【0034】

以下では、第１側壁１００ｓｗ１の室外側にある第１ロボット１０－１の基板授受位置ＷＡを基板授受位置ＷＡ１１、第１側壁１００ｓｗ１の室外側にある第２ロボット１０－２の基板授受位置ＷＡを基板授受位置ＷＡ１２のように記載する。ここで、「ＷＡ１２」の「１」は側壁１００ｓｗの番号を、「２」はロボット１０の番号を、それぞれ示している。たとえば、第４側壁１００ｓｗ４の室外側にある第４ロボット１０－４の基板授受位置ＷＡは基板授受位置ＷＡ４４であり、第４側壁１００ｓｗ４の室外側にある第１ロボット１０－１の基板授受位置ＷＡは基板授受位置ＷＡ４１である。

【0035】

次に、図１に示した搬送システム１について、搬送室１００の室外に処理室ＰＣおよびロードロック室ＬＬを配置した場合について説明する。図２は、搬送室１００の配置例を示す上面模式図である。なお、図２では、図１と共通する構成については同一の符号を付し、既に説明した事項の説明を省略するか、簡単な説明にとどめることとする。また、図２では、処理室ＰＣやロードロック室ＬＬの正面に相当する中心線ＣＬを示している。中心線ＣＬは、側壁１００ｓｗの法線のうち、処理室ＰＣやロードロック室ＬＬにおける基板Ｗ（破線の円参照）の中心を通る線（図２では、Ｘ軸またはＹ軸に沿う線）に相当する。

【0036】

図２に示すように、搬送室１００における第１側壁１００ｓｗ１、第２側壁１００ｓｗ２および第３側壁ｓｗ３の外側には、減圧雰囲気にて基板Ｗに対する処理を行う処理室ＰＣが２つずつ設けられる。ここで、処理室ＰＣが基板Ｗに対して行う処理としては、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）などの成膜処理や、エッチング処理などがある。なお、一般的に減圧雰囲気の環境を「真空」と呼ぶ場合もある。また、図２に示した処理室ＰＣにおける２重線の辺は、図１に示した開口１０１に対応する。

【0037】

また、搬送室１００における第４側壁１００ｓｗ４の外側には、ロードロック室ＬＬが２つ設けられる。ここで、ロードロック室ＬＬは、減圧雰囲気と大気圧雰囲気との間で内圧を変動可能であり、減圧雰囲気の搬送室１００における基板Ｗの出入口に相当する。

【0038】

このように、基板授受位置ＷＡ１１、基板授受位置ＷＡ１２、基板授受位置ＷＡ２２、基板授受位置ＷＡ２３、基板授受位置ＷＡ３３および基板授受位置ＷＡ３４は、各処理室ＰＣの室内にそれぞれある。また、基板授受位置ＷＡ４４および基板授受位置ＷＡ４１は、各ロードロック室ＬＬの室内にそれぞれある。

【0039】

また、各ロボット１０は、各処理室ＰＣあるいは各ロードロック室ＬＬの正面にそれぞれ配置される。たとえば、第１ロボット１０－１は処理室ＰＣ１１およびロードロック室ＬＬ２の正面に、第２ロボット１０－２は処理室ＰＣ１２および処理室ＰＣ２１の正面に、それぞれ配置される。また、第３ロボット１０－３は処理室ＰＣ２２および処理室ＰＣ３１の正面に、第４ロボット１０－４は処理室ＰＣ３２およびロードロック室ＬＬ１の正面に、それぞれ配置される。

【0040】

つまり、搬送室１００の第１側壁１００ｓｗ１側には、ロードロック室ＬＬ２、処理室ＰＣ１１、処理室ＰＣ１２、処理室ＰＣ２１、第１ロボット１０－１および第２ロボット１０－２が配置される。また、搬送室１００の第３側壁１００ｓｗ３側には、ロードロック室ＬＬ１、処理室ＰＣ３２、処理室ＰＣ３１、処理室ＰＣ２２、第４ロボット１０－４および第３ロボット１０－３が配置される。

【0041】

このように、搬送装置５は、搬送室１００の第１側壁１００ｓｗ１側と、第３側壁１００ｓｗ３側とで、基板Ｗの搬送経路を２系統としているので、基板搬送の可用性を高めることができる。つまり、第１側壁１００ｓｗ１側または第３側壁１００ｓｗ３側のいずれかのロボット１０が停止した場合であっても基板処理を継続することができる。また、ロードロック室ＬＬ１またはロードロック室ＬＬ２のいずれかが停止した場合であっても基板処理を継続することができる。

【0042】

次に、図１および図２に示した搬送装置５について図３Ａおよび図３Ｂを用いてさらに詳細に説明する。図３Ａは、搬送装置５の上面模式図であり、図３Ｂは、搬送装置５の側面模式図である。ここで、図３Ａおよび図３Ｂは、固定式バッファ１１０を床置き式とした場合に対応する。なお、固定式バッファ１１０を天吊り式とした場合については、図５Ａおよび図５Ｂを用いて後述することとする。

【0043】

また、図３Ａには、固定式バッファ１１０および４台のロボット１０について、それぞれの基板Ｗの載置中心ＣＷを併せて示している。なお、図３Ａに示した矢印Ｄ１は、側面図である図３Ｂの視点向きをあらわしている。

【0044】

図３Ａに示すように、固定式バッファ１１０は、４つの支柱１１１と、各支柱１１１から基板Ｗの載置中心ＣＷへ向かって水平向きにそれぞれ突出した保持部１１２とを有する。各保持部１１２は先端側にパッド１１２ａをそれぞれ有しており、パッド１１２ａを介して基板Ｗを保持する。なお、固定式バッファ１１０は多段式であるが、各段の保持部１１２をまとめてバッファ１１２と呼ぶ場合がある。ここで、隣り合う保持部１１２の先端同士は、ハンド１２が接触することなく昇降可能な程度に離れている。これにより、各ロボット１０は、保持した基板Ｗを固定式バッファ１１０の基板授受位置ＷＡへまっすぐに搬送し、基板Ｗを各バッファ１１２に載置することができる。

【0045】

各支柱１１１は、各ロボット１０の旋回領域１０ｒｔの外側に配置される。このため、各ロボット１０は、旋回動作を行っても支柱１１１には接触しない。また、各ロボット１０は、基板Ｗを固定式バッファ１１０との間で授受する動作を行っても支柱１１１には接触しない。たとえば、第１ロボット１０－１は、基板Ｗを固定式バッファ１１０に載置する場合には、支柱１１１－１および支柱１１１－４の保持部１１２同士で挟まれる空間にハンド１２を挿入したうえで、ハンド１２を下降させることによって、基板Ｗをバッファ１１２に載置する。

【0046】

図３Ｂに示すように、固定式バッファ１１０は、搬送室１００における床壁１００ｆの床面１００ｆｉに固定される。また、ロボット１０は、搬送室１００における床壁１００ｆの床面１００ｆｉに固定される。なお、固定式バッファ１１０は、図３Ａに示したすべてのロボット１０と基板Ｗの授受を行う。なお、図３Ｂに示したロボット１０は、図３Ａに示した第２ロボット１０－２および第４ロボット１０－４であり、第１ロボット１０－１および第３ロボット１０－３については記載を省略している。

【0047】

また、図３Ｂに示したように、固定式バッファ１１０は、多段式であり、各ロボット１０は、固定式バッファ１１０の各段に対して基板Ｗの授受を行う。なお、図３Ｂには段数が４段の固定式バッファ１１０を示している。このように、固定式バッファ１１０を多段式とすることで、複数の基板Ｗの保持が可能となるので、基板搬送の効率化を図ることができる。

【0048】

以下では、ロボット１０の構成についてさらに詳細に説明する。図３Ｂに示したように、ロボット１０は、第１アーム１１ａと、第２アーム１１ｂと、ハンド１２と、昇降機構１５と、フランジＦと、ベース部Ｂとを備える。

【0049】

なお、ロボット１０のベース部Ｂは、搬送室１００における床壁１００ｆを貫通して搬送室１００の室外へ突出している。また、フランジＦは、床壁１００ｆの上面である床面１００ｆｉでロボット１０を支持するとともに、搬送室１００の気密性を保持する。このように、ロボット１０のベース部Ｂを搬送室１００から突出させることで、搬送室１００の容積を削減することができる。また、搬送室１００の室外からのロボット１０への給電や、メンテナンス等のアクセスを容易に行うことができる。

【0050】

昇降機構１５は、第１アーム１１ａの基端側を第１回転軸ＡＨ１まわりに回転可能に支持するとともに、昇降軸ＡＶに沿って昇降する。なお、昇降機構１５自体を第１回転軸ＡＨ１まわりに回転させることとしてもよい。第１アーム１１ａは、第２アーム１１ｂの基端部を第２回転軸ＡＨ２まわりに回転可能に先端部で支持する。

【0051】

第２アーム１１ｂは、ハンド１２の基端部を第３回転軸ＡＨ３まわりに回転可能に先端部で支持する。ハンド１２は、たとえば、図１や図２に示したように、先端側が二股にわかれたフォーク部を有しており、上面側で基板Ｗを支持する。なお、ハンド１２が複数の基板Ｗを多段に保持することとしてもよく、たとえば、同軸でそれぞれ旋回するハンド１２を複数設けることとしてもよい。

【0052】

ここで、水平アームに相当する第１アーム１１ａ、第２アーム１１ｂおよびハンド１２は、第１回転軸ＡＨ１、第２回転軸ＡＨ２および第３回転軸ＡＨ３まわりにそれぞれ独立して旋回することとしてもよい。また、第１回転軸ＡＨ１まわりの第１アーム１１ａの旋回に従動して第２アーム１１ｂおよびハンド１２が旋回することとしてもよい。

【0053】

それぞれ独立して旋回する場合の駆動源（アクチュエータ）は３つであり、従動して旋回する場合の駆動源は１つまたは２つとなる。なお、ロボット１０は、昇降機構１５の昇降用にもう１つの駆動源を要する。ここで、ロボット１０の軸構成にはバリエーションがあるが、詳細については、図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃおよび図７Ｄを用いて後述する。

【0054】

ところで、図３Ａおよび図３Ｂでは、固定式バッファ１１０の高さが固定で、ロボット１０がハンド１２を昇降させる場合について説明した。しかしながら、ロボット１０のハンド１２を昇降させる代わりに固定式バッファ１１０を昇降させることとしてもよい。そこで、以下では、固定式バッファ１１０を昇降させる場合について図４を用いて説明することとする。

【0055】

図４は、昇降機構を有する固定式バッファ１１０の側面模式図である。なお、図４は、図３Ｂと同じ方向視の側面模式図に相当する。図４に示すように、固定式バッファ１１０の各支柱１１１は、昇降機構によって昇降する。なお、昇降機構としては図３Ｂに示したロボット１０の昇降機構１５と同様の機構を用いることができる。また、固定式バッファ１１０に昇降機構を設けたことに伴い、ロボット１０の昇降機構１５は省略される。なお、ロボット１０の昇降機構１５を省略せずにロボット１０および固定式バッファ１１０の双方がそれぞれ昇降することとしてもよい。

【0056】

たとえば、第１ロボット１０－１が基板Ｗを固定式バッファ１１０に載置する場合には、支柱１１１－１および支柱１１１－４の保持部１１２同士の隙間にハンド１２を挿入した後に、固定式バッファ１１０が上昇することで基板Ｗをすくい取る。これにより、基板Ｗがバッファ１１２に載置される。なお、固定式バッファ１１０の異なる段に基板Ｗを載置する場合には、各段に対応するバッファ１１２の高さが各ロボット１０のハンド１２の高さに対応するように固定式バッファ１１０を昇降させればよい。

【0057】

次に、上面視において、固定式バッファ１１０の基板授受位置ＷＡと、各ロボット１０の旋回領域１０ｒｔとが重なりを有する場合について、図５Ａおよび図５Ｂを用いて説明する。図５Ａは、変形例に係る搬送装置５の上面模式図であり、図５Ｂは、変形例に係る搬送装置５の側面模式図である。ここで、図５Ａおよび図５Ｂは、固定式バッファ１１０を天吊り式とした場合に対応する。

【0058】

このように、固定式バッファ１１０を天吊り式とすることで、固定式バッファ１１０は、各ロボット１０と干渉しにくい。このため、上面視において、固定式バッファ１１０の基板授受位置ＷＡと、各ロボット１０の旋回領域１０ｒｔとが重なりを有していても構わない。したがって、図３Ａおよび図３Ｂに示した場合と比べて搬送室１００のフットプリントを小さくすることができる。なお、以下の説明では、図３Ａおよび図３Ｂで既に説明した事項については省略するか、簡単な説明にとどめることとする。

【0059】

図５Ａに示すように、固定式バッファ１１０の基板授受位置ＷＡと、４台のロボット１０の旋回領域１０ｒｔとは、それぞれ重なりを有している。つまり、各ロボット１０は、図３Ａに示した場合よりも固定式バッファ１１０の載置中心ＣＷに近づいている。このように、図５Ａに示した搬送装置５では、４台のロボット１０をコンパクトに配置することができるので、搬送室１００のフットプリントを小さくすることができる。

【0060】

図５Ｂに示すように、固定式バッファ１１０は、搬送室１００における上壁１００ｃの上面１００ｃｉから吊り下げられる。一方、ロボット１０は、床壁１００ｆの床面１００ｆｉに固定されるので、昇降機構１５を下降させることによってハンド１２を最も低くした場合には、そもそも固定式バッファ１１０とは干渉しない。

【0061】

なお、昇降機構１５を上昇させることによってハンド１２を固定式バッファ１１０と干渉する高さとした場合には、ハンド１２を固定式バッファ１１０から離れる向きにスライドさせる非干渉動作を行うことで、固定式バッファ１１０との干渉を回避することができる。

【0062】

次に、固定式バッファ１１０に載置される基板Ｗを検出するセンサの配置例について、図６を用いて説明する。図６は、基板Ｗを検出するセンサＳの配置例を示す上面模式図である。なお、図６に示すセンサＳの配置例は、固定式バッファ１１０が床置き式の場合であっても（図３Ｂ参照）、天吊り式である場合であっても（図５Ｂ参照）、搬送室１００におけるセンサＳの取り付け高さを変更することで、容易に対応することができる。

【0063】

図６に示すように、センサＳは、搬送室１００における対向する２つの側壁１００ｓｗにそれぞれ設けられる。ここで、センサＳは、たとえば、投光センサと受光センサとの組であり、一方のセンサＳと、他方のセンサＳとが対向する側壁１００ｓｗにそれぞれ設けられる。なお、図６には一方のセンサＳから他方のセンサＳへ向かう矢印を示したが、かかる矢印は、光の向きをあらわしている。図６に示したように、センサＳは、センサＳからの光が遮られないように、固定式バッファ１１０の支柱１１１や、ロボット１０の旋回領域１０ｒｔを避けた位置に設けられる。

【0064】

また、図６では、第２側壁１００ｓｗ２および第４側壁１００ｓｗ４にセンサＳがそれぞれ設けられる場合を示したが、第１側壁１００ｓｗ１および第３側壁１００ｓｗ３にセンサＳをそれぞれ設けることとしてもよい。また、第２側壁１００ｓｗ２および第４側壁１００ｓｗ４と、第１側壁１００ｓｗ１および第３側壁１００ｓｗ３とに、それぞれ一組のセンサＳを設けることとしてもよい。また、図６では、第２側壁１００ｓｗ２に投光センサを、第４側壁１００ｓｗ４に受光センサをそれぞれ設ける場合を示したが、投光センサおよび受光センサを逆にしてもよい。

【0065】

ここで、センサＳは、多段式である固定式バッファ１１０の各段における基板Ｗの有無をそれぞれ検出する。このようにするためには、たとえば、固定式バッファ１１０の各段における基板Ｗの高さに投光センサと受光センサとの組をそれぞれ配置することとすればよい。

【0066】

次に、ロボット１０の構成例について、図７Ａ～図７Ｄを用いて説明する。図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃおよび図７Ｄは、ロボット１０の構成例その１、その２、その３およびその４を示す上面模式図である。

【0067】

図７Ａに示したロボット１０は、鉛直向きに１自由度で水平向きに２自由度の３自由度のロボットであるＲθＺロボット１０Ａである。なお、図７Ａでは、昇降軸ＡＶと、第１回転軸ＡＨ１とを同軸として示しているが、同軸でなくてもよい。水平アームである第１アーム１１ａ、第２アーム１１ｂおよびハンド１２は、ハンド１２の姿勢を保持したまま載置中心ＣＷが第１回転軸ＡＨ１の放射方向に移動するように協調動作する。

【0068】

つまり、第１アーム１１ａを第１回転軸ＡＨ１まわりに旋回させる駆動力と伝達機構とによって、第２アーム１１ｂは第２回転軸ＡＨ２まわりに、ハンド１２は第３回転軸ＡＨ３まわりに、それぞれ従動して旋回する。なお、伝達機構としては、ベルト、ギア、リンク機構などがある。また、「載置中心ＣＷ」とは、ハンド１２が正規位置で基板Ｗを保持した場合の基板Ｗの中心位置を指す。

【0069】

このように、ＲθＺロボット１０Ａは、第１回転軸ＡＨ１、第３回転軸ＡＨ３および載置中心ＣＷを通る直線の角度θを一定に保ったまま、第１回転軸ＡＨ１から載置中心ＣＷまでの距離ｒを変化させる。ここで、角度θは、任意の角度とすることができる。このように、ＲθＺロボット１０Ａは、鉛直向きに１自由度で水平向きに２自由度の３自由度のロボット１０である。なお、以下では、ＲθＺロボット１０Ａを単に「ＲθＺロボット」と呼ぶ場合がある。

【0070】

ＲθＺロボット１０Ａをロボット１０として用いることで、ロボット１０を４自由度以上とする場合よりも、ロボット１０の低コスト化を図ることができる。なお、ロボット１０としてＲθＺロボット１０Ａを用いる場合には、ＲθＺロボット１０Ａは、処理室ＰＣやロードロック室ＬＬの正面に配置される。言い換えれば、ロボット１０を処理室ＰＣやロードロック室ＬＬの正面に配置することで、ロボット１０を３自由度のＲθＺロボットとすることができる。

【0071】

図７Ｂに示したロボット１０は、鉛直向きに１自由度で水平向きに３自由度以上の４自由度以上のロボットである多自由度ロボット１０Ｂである。なお、図７Ｂでは、昇降軸ＡＶと、第１回転軸ＡＨ１とを同軸として示しているが、同軸でなくてもよい。水平アームである第１アーム１１ａ、第２アーム１１ｂおよびハンド１２は、図７Ａに示したＲθＺロボット１０Ａとは異なり、第１回転軸ＡＨ１、第２回転軸ＡＨ２および第３回転軸ＡＨ３まわりにそれぞれ独立して旋回する。

【0072】

このように、多自由度ロボット１０Ｂは、水平向きについて少なくとも１つの冗長軸を有しているので、載置中心ＣＷを任意の経路で移動させることができる。したがって、ロボット１０として多自由度ロボット１０Ｂを用いる場合には、多自由度ロボット１０Ｂは、処理室ＰＣやロードロック室ＬＬの正面に配置されることを要しない。言い換えれば、ロボット１０を処理室ＰＣやロードロック室ＬＬの正面に配置しなくとも、複数の処理室ＰＣや複数のロードロック室ＬＬに対して基板Ｗの授受を行うことができる。

【0073】

つまり、多自由度ロボット１０Ｂをロボット１０に含めることとすれば、搬送室１００の各側壁１００ｓｗに設けられる処理室ＰＣの数よりも少なくしたり、ロードロック室ＬＬの数よりも少なくしたりすることができる。

【0074】

図７Ｃに示したロボット１０は、図７Ａに示したＲθＺロボット１０Ａの水平アームを双腕とする双腕ロボット１０Ｃである。つまり、双腕ロボット１０Ｃは、水平向きに２自由度のアームを双腕とし、さらに、鉛直向きに１自由度を有する。

【0075】

具体的には、２つの第１アーム１１ａの基端側は台座Ｐによって支持され、台座Ｐは、昇降軸ＡＶに沿って昇降するとともに、回転軸ＡＨ０まわりに回転する。なお、図７Ｃには、図７Ａに示したＲθＺロボット１０Ａの水平アームを双腕とする場合を示したが、図７Ｂに示した多自由度ロボット１０Ｂの水平アームを双腕とすることとしてもよい。

【0076】

ここで、双腕における各腕のハンド１２は、Ｚ軸に沿う方向視で重なっている。各腕は、回転軸ＡＨ０、第３回転軸ＡＨ３および載置中心ＣＷを通る直線の角度θを一定に保ったまま、回転軸ＡＨ０から載置中心ＣＷまでの距離ｒを変化させる。なお、図７Ｃに示した双腕における各腕の上下関係を逆にすることとしてもよい。

【0077】

図７Ｄに示した双腕ロボット１０Ｄは、図７Ｃに示した双腕ロボット１０Ｃの変形例である。図７Ｄに示した双腕ロボット１０Ｄは、昇降軸ＡＶと、双腕における２つの第１回転軸ＡＨ１とを同軸とした点、台座Ｐを省略した点で、図７Ｃに示した双腕ロボット１０Ｃとは異なる。

【0078】

ここで、双腕における各腕は、第１回転軸ＡＨ１、第３回転軸ＡＨ３および載置中心ＣＷを通る直線の角度θを一定に保ったまま、回転軸ＡＨ０から載置中心ＣＷまでの距離ｒを変化させる。このように、２つの第１回転軸ＡＨ１を同軸とし、台座Ｐを省略することで、双腕ロボット１０Ｄのコンパクト化を図ることができ、搬送室１００の容積を低減することが可能となる。なお、図７Ｄに示した双腕における各腕の上下関係を逆にすることとしてもよい。

【0079】

次に、図１に示した搬送装置５の構成について図８を用いて説明する。図８は、搬送装置５の構成を示すブロック図である。図８に示すように、搬送装置５は、ロボット１０と、固定式バッファ１１０と、コントローラ２０とを備える。また、ロボット１０および固定式バッファ１１０は、コントローラ２０に接続されている。なお、ロードロック室ＬＬおよび処理室ＰＣもコントローラ２０に接続されており情報のやり取りが可能である。

【0080】

コントローラ２０は、制御部２１と、記憶部２２とを備える。制御部２１は、取得部２１ａと、動作制御部２１ｂとを備える。記憶部２２は、教示情報２２ａを記憶する。なお、図８には、説明を簡略化するために、１台のコントローラ２０を示したが、複数台のコントローラ２０を用いることとしてもよい。この場合、各コントローラを束ねる上位のコントローラを設けることとしてもよい。たとえば、ロボット１０が接続されるコントローラと、固定式バッファ１１０が接続されるコントローラとを別体とし、各コントローラを束ねる上位のコントローラを設けることとしてもよい。

【0081】

ここで、コントローラ２０は、たとえば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、入出力ポートなどを有するコンピュータや各種の回路を含む。コンピュータのＣＰＵは、たとえば、ＲＯＭに記憶されたプログラムを読み出して実行することによって、制御部２１の取得部２１ａおよび動作制御部２１ｂとして機能する。

【0082】

また、取得部２１ａおよび動作制御部２１ｂの少なくともいずれか一つまたは全部をＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等のハードウェアで構成することもできる。

【0083】

また、記憶部２２は、たとえば、ＲＡＭやＨＤＤに対応する。ＲＡＭやＨＤＤは、教示情報２２ａを記憶することができる。なお、コントローラ２０は、有線や無線のネットワークで接続された他のコンピュータや可搬型記録媒体を介して上記したプログラムや各種情報を取得することとしてもよい。さらに、上記したように、コントローラ２０を複数台のお互いに通信可能な装置として構成してもよく、上位または下位の装置と通信可能な階層式の装置として構成してもよい。

【0084】

制御部２１は、ロードロック室ＬＬや処理室ＰＣからアクセス要求などのトリガ情報を取得するとともに、ロボット１０の動作制御を行う。なお、固定式バッファ１１０が昇降機構を有する場合には、固定式バッファ１１０の動作制御も行う。以下の説明において、固定式バッファ１１０の動作制御を行う旨の記載は、固定式バッファ１１０が昇降機構を有している場合における昇降動作の動作制御のことを指す。なお、コントローラ２０が複数台で構成される場合には、制御部２１は、複数のコントローラ２０間の同期をとる処理を併せて行うこととしてもよい。

【0085】

取得部２１ａは、ロードロック室ＬＬや処理室ＰＣからアクセス要求などのトリガ情報を取得する。そして、取得部２１ａは、取得した情報に基づき、ロボット１０および固定式バッファ１１０の動作タイミングや動作内容を決定し、決定した動作タイミングや動作内容を動作制御部２１ｂへ通知する。

【0086】

たとえば、取得部２１ａは、ロードロック室ＬＬに外部から基板Ｗが搬入されたタイミングを取得し、取得したタイミングに基づいてロボット１０および固定式バッファ１１０を協調動作させるように動作制御部２１ｂへ指示する。また、取得部２１ａは、基板Ｗに対する処理が完了するタイミングを処理室ＰＣから取得し、取得したタイミングに基づいてロボット１０および固定式バッファ１１０を協調動作させるように動作制御部２１ｂへ指示する。

【0087】

動作制御部２１ｂは、取得部２１ａからの指示および教示情報２２ａに基づいてロボット１０および固定式バッファ１１０を動作させる。また、動作制御部２１ｂは、ロボット１０および固定式バッファ１１０の動力源である回転式モータやリニアモータ等のアクチュエータにおけるエンコーダ値を用いつつフィードバック制御を行うなどしてロボット１０および固定式バッファ１１０の動作精度を向上させる。

【0088】

教示情報２２ａは、ロボット１０および固定式バッファ１１０へ動作を教示するティーチング段階で作成され、ロボット１０等の動作経路を規定するプログラムを含んだ情報である。なお、図２等に示したように、線対称などの規則的な位置に各ロボット１０を配置する場合には、教示データを共用したり、反転利用したりすることが可能となる。したがって、搬送装置５によれば、かかる教示データを含んだ教示情報２２ａの生成の手間とコストとを抑制することができる。

【0089】

次に、図１に示した搬送装置５が実行する処理手順の一例について図９を用いて説明する。図９は、搬送装置５が実行する処理手順を示すフローチャートである。なお、図９では、説明をわかりやすくするために、ロボット１０として第１ロボット１０－１および第２ロボット１０－２を例にあげて説明しているが、実際には４台のロボット１０が固定式バッファ１１０へアクセスしつつ、それぞれ並行して動作することになる。

【0090】

図９に示すように、コントローラ２０の動作制御部２１ｂによって動作制御される第１ロボット１０－１は、ロードロック室ＬＬ２から処理前の基板Ｗを取得すると（ステップＳ１０１）、取得した処理前の基板Ｗを固定式バッファ１１０へ搬送する（ステップＳ１０２）。また、コントローラ２０の取得部２１ａが処理室ＰＣ１２における基板Ｗに対する処理の完了通知を取得すると（ステップＳ１０３）、コントローラ２０の動作制御部２１ｂによって動作制御される第２ロボット１０－２は、処理後の基板Ｗを処理室ＰＣ１２から搬送室１００へ搬入する（ステップＳ１０４）。

【0091】

つづいて、第２ロボット１０－２は、搬送室１００へ搬入した処理後の基板Ｗを固定式バッファ１１０へ搬送する（ステップＳ１０５）。また、第２ロボット１０－２は、ステップＳ１０２において固定式バッファ１１０へ載置された処理前の基板Ｗを取得し（ステップＳ１０６）、取得した処理前の基板Ｗを搬送室１００から処理室ＰＣ１２へ搬出する（ステップＳ１０７）。これにより、処理室ＰＣ１２における基板Ｗの入れ替えが完了する。

【0092】

また、第１ロボット１０－１は、第２ロボット１０－２によって固定式バッファ１１０に載置された処理後の基板Ｗを固定式バッファ１１０から取得するとともに（ステップＳ１０８）、処理後の基板Ｗを搬送室１００からロードロック室ＬＬ２へ搬出し（ステップＳ１０９）、処理を終了する。

【0093】

なお、図９では、説明をわかりやすくするために、各処理が直列的に実行される場合を示したが、各ロボット１０と、固定式バッファ１１０の各段との干渉が発生しない範囲で、各処理を並列的に行うこととしてもよい。

【0094】

次に、図２に示した搬送室１００に配置される各ロボット１０を双腕ロボットとした場合について図１０を用いて説明する。図１０は、双腕ロボットを配置した搬送室１００の上面模式図である。なお、図１０では、図２と共通する構成については同一の符号を付し、既に説明した事項の説明を省略するか、簡単な説明にとどめることとする。なお、図１０では、各ロボット１０が固定式バッファ１１０へ向かう姿勢をとった場合を示している。

【0095】

図１０に示すように、第１ロボット１０－１、第２ロボット１０－２、第３ロボット１０－３および第４ロボット１０－４は、図７Ｄに示した双腕ロボット１０Ｄである。双腕ロボット１０Ｄは、各ロードロック室ＬＬ、各搬送室ＰＣ、および固定式バッファ１１０に対して２枚の基板Ｗの授受が可能となる。

【0096】

たとえば、第１ロボット１０－１や第４ロボット１０－４は、双腕における一方の腕でロードロック室ＬＬから基板Ｗを取得するとともに、他方の腕でロードロック室ＬＬへ基板Ｗを渡すことができる。また、各ロボット１０は、双腕における一方の腕で処理室ＰＣから処理後の基板Ｗを取得するとともに、他方の腕で処理室ＰＣへ処理前の基板Ｗを渡すことができる。また、各ロボット１０は、双腕における一方の腕で固定式バッファ１１０から基板Ｗを取得するとともに、他方の腕で固定式バッファ１１０へ基板Ｗを渡すことができる。

【0097】

なお、図１０では、４台のロボット１０すべてを双腕ロボット１０Ｄとする場合について示したが、４台のうち少なくとも１台を双腕ロボット１０Ｄとし、その他は単腕ロボットとすることとしてもよい。また、ロードロック室ＬＬへアクセスする第１ロボット１０－１および第４ロボット１０－４を双腕ロボット１０Ｄとし、第２ロボット１０－２および第３ロボット１０－３を単腕ロボットとすることとしてもよい。

【0098】

上述してきたように、実施形態に係る搬送装置５は、少なくとも４台のロボット１０と、固定式バッファ１１０とを備える。少なくとも４台のロボット１０は、搬送室１００の室内に固定され、基板Ｗが載置されるハンド１２と、少なくとも旋回動作によってハンド１２を移動させるアーム１１とをそれぞれ有する。固定式バッファ１１０は、搬送室１００の室内に固定され、基板Ｗを少なくとも２枚載置可能であって少なくとも４台のロボット１０すべてが基板Ｗを授受可能である。また、少なくとも４台のロボット１０は、上面視において、互いの旋回動作の旋回領域１０ｒｔが重ならず、かつ、固定式バッファ１１０の周囲において基板Ｗを固定式バッファ１１０と授受可能な位置にそれぞれ配置される。

【0099】

このように、搬送装置では、少なくとも４台のロボットと、固定式バッファとを搬送室の室内に固定し、すべてのロボットがそれぞれ固定式バッファへアクセスしつつ、基板の搬送処理を行うこととした。このように、ロボットおよびバッファの双方を固定式とすることで、搬送装置の構成を簡略化することができるとともに、移動に伴うパーティクルの発生を抑制することができる。また、各ロボットの旋回領域が重ならないように各ロボットを配置するとともに、すべてのロボットがアクセス可能な位置に固定式バッファを配置することで、ロボットの非干渉動作を低減することができ、基板の搬送効率を向上させることが可能となる。

【0100】

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

【符号の説明】

【0101】

１ 搬送システム
５ 搬送装置
１０ ロボット
１０－１ 第１ロボット
１０－２ 第２ロボット
１０－３ 第３ロボット
１０－４ 第４ロボット
１０Ａ ＲθＺロボット
１０Ｂ 多自由度ロボット
１０Ｃ 双腕ロボット
１０Ｄ 双腕ロボット
１０ｒｔ 旋回領域
１１ アーム
１１ａ 第１アーム
１１ｂ 第２アーム
１２ ハンド
１５ 昇降機構
２０ コントローラ
２１ 制御部
２１ａ 取得部
２１ｂ 動作制御部
２２ 記憶部
２２ａ 教示情報
１００ 搬送室
１００ｃ 上壁
１００ｃｉ 上面
１００ｆ 床壁
１００ｆｉ 床面
１００ｓｗ 側壁
１００ｓｗ１ 第１側壁
１００ｓｗ２ 第２側壁
１００ｓｗ３ 第３側壁
１００ｓｗ４ 第４側壁
１０１ 開口
１１０ 固定式バッファ
１１１ 支柱
１１２ 保持部（バッファ）
１１２ａ パッド
ＡＨ１ 第１回転軸
ＡＨ２ 第２回転軸
ＡＨ３ 第３回転軸
ＡＶ 昇降軸
Ｂ ベース部
ＣＬ 中心線
ＣＷ 載置中心
Ｆ フランジ
ＬＬ ロードロック室
ＰＣ 処理室
Ｓ センサ
Ｗ 基板
ＷＡ 基板授受位置（載置領域）

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図7D】

【図8】

【図9】

【図10】