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特許7407232フォトレジスト下層用の組成物
発明の名称 フォトレジスト下層用の組成物
出願人 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド （識別番号 509266480）
特許公開件数ランキング 880 位（4件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 618 位（5件）（共同出願を含む）
出願人 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ，エル．エル．シー． （識別番号 591016862）
特許公開件数ランキング 2624 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 2057 位（2件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7407232
公報発行日 2023年12月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7407232
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