特許7408330縦型拡散炉

発明の名称　縦型拡散炉

出願人　セイコーＮＰＣ株式会社　（識別番号 390009667）

　　　　特許公開件数ランキング 1310 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1389 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7408330

公報発行日　2024年1月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7408330

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