(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-22
(45)【発行日】2024-01-05
(54)【発明の名称】保護回路
(51)【国際特許分類】
H01L 21/822 20060101AFI20231225BHJP
H01L 27/04 20060101ALI20231225BHJP
H01L 21/8234 20060101ALI20231225BHJP
H01L 27/06 20060101ALI20231225BHJP
H03K 19/003 20060101ALI20231225BHJP
【FI】
H01L27/04 H
H01L27/06 102A
H01L27/06 311A
H01L27/06 311B
H03K19/003 230
(21)【出願番号】P 2021057050
(22)【出願日】2021-03-30
【審査請求日】2023-01-27
(73)【特許権者】
【識別番号】000003078
【氏名又は名称】株式会社東芝
(73)【特許権者】
【識別番号】317011920
【氏名又は名称】東芝デバイス&ストレージ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100111121
【氏名又は名称】原 拓実
(74)【代理人】
【識別番号】100200104
【氏名又は名称】渡邊 実
(72)【発明者】
【氏名】酒井 志徳
(72)【発明者】
【氏名】藤井 真二
【審査官】上田 智志
(56)【参考文献】
【文献】特開2010-283299(JP,A)
【文献】特開2009-081307(JP,A)
【文献】特開2006-128422(JP,A)
【文献】特表2019-517127(JP,A)
【文献】特開2010-239046(JP,A)
【文献】特開2000-012788(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
H01L 21/822
H01L 27/04、27/06
H01L 21/8234
H03K 19/003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1電源線と、
信号ラインと、
第2電源線と、
カソード側端部が前記第1電源線と、アノード側端部が前記信号ラインと接続された
第1ダイオードと、
カソード側端部が前記信号ラインと、アノード側端部が前記第2電源線と接続された
第2ダイオードと、
一端が前記第1電源線に接続された抵抗素子と、
前記抵抗素子の他端と前記第2電源線との間に接続された容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子の間に入力端子が接続された第1インバータと、
前記第1インバータの出力端子に入力端子が接続された第2インバータと、
前記第2インバータの出力端子に入力端子が接続された第3インバータと、
ゲートが前記第3インバータの出力端子に接続され、ドレインが前記第1電源線側に
接続され、ソースが前記第2電源線側に接続された第1トランジスタと、
カソード側端部が前記第1電源線側と、アノード側端部が前記第2電源線側と接続さ
れた第3ダイオードと、
を有する第1回路と、
ゲートに前記信号ラインが接続され、ボディが前記第1電源線に接続された第2トラ
ンジスタと、
ゲートに前記信号ラインが接続され、ドレインが前記第2トランジスタのドレインに
接続され、ボディが前記第2電源線に接続された第3トランジスタと、
ゲートが前記第1インバータの出力端子と第2インバータの入力端子の間に接続され
、ソースとボディが前記第1電源線に接続され、ドレインが前記第2トランジスタのソー
スと接続された第4トランジスタと、
ゲートが前記第2インバータの出力端子と第3インバータの入力端子の間に接続され
、ソースとボディが前記第2電源線に接続され、ドレインが前記第3トランジスタのソー
スと接続された第5トランジスタと、
を有する第2回路と、
を備えた保護回路。
【請求項2】
第1電源線と、
信号ラインと、
第2電源線と、
カソード側端部が前記第1電源線と、アノード側端部が前記信号ラインと接続された
第1ダイオードと、
カソード側端部が前記信号ラインと、アノード側端部が前記第2電源線と接続された
第2ダイオードと、
一端が前記第1電源線に接続された抵抗素子と、
前記抵抗素子の他端と前記第2電源線との間に接続された容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子の間に入力端子が接続された第1インバータと、
前記第1インバータの出力端子に入力端子が接続された第2インバータと、
前記第2インバータの出力端子に入力端子が接続された第3インバータと、
ゲートが前記第3インバータの出力端子に接続され、ドレインが前記第1電源線側に
接続され、ソースが前記第2電源線側に接続された第1トランジスタと、
カソード側端部が前記第1電源線側と、アノード側端部が前記第2電源線側と接続さ
れた第3ダイオードと、
を有する第1回路と、
前記信号ラインと接続された内部回路と、
ゲートが前記第1インバータの出力端子と第2インバータの入力端子の間に接続され
、ソースとボディが前記第1電源線に接続され、ドレインが前記内部回路と接続された第
4トランジスタと、
ゲートが前記第2インバータの出力端子と第3インバータの入力端子の間に接続され
、ソースとボディが前記第2電源線に接続され、ドレインが前記内部回路と接続された第
5トランジスタと、
を有する第2回路と、
を備えた保護回路。
【請求項3】
前記第1電源線と、前記第2電源線との間に並列に接続され、ゲートが前記第3インバ
ータの出力端子に接続され、ドレインが前記第1電源線側に接続され、ソースが前記第2
電源線側に接続されたトランジスタを複数有する請求項1または2に記載の保護回路。
【請求項4】
前記第1ダイオード、及び前記第2ダイオードはダイオード接続されたMOSトランジ
スタである請求項1乃至3いずれか1つに記載の保護回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、保護回路に関する。
【背景技術】
【0002】
電子回路には、電子回路を静電気放電(Electrostatic Dischar
ge;ESD)から保護するための保護回路が設けられている。
【0003】
ESD保護回路には、ESD耐量の向上が要求されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明が解決しようとする課題は、ESD耐量の向上を可能とする保護回路を提供する
ことである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
実施形態の保護回路は、第1電源線と、信号ラインと、第2電源線と、第1回路と、第
2回路と、を有する。第1回路は、第1ダイオードと、第2ダイオードと、抵抗素子と、
容量素子と、第1インバータと、第2インバータと、第3インバータと、第1トランジス
タと、第3ダイオードと、を有する。第1ダイオードは、カソード側端部が第1電源線と
、アノード側端部が信号ラインと接続される。第2ダイオードは、カソード側端部が信号
ラインと、アノード側端部が第2電源線と接続される。抵抗素子は、一端が前記第1電源
線に接続される。容量素子は、抵抗素子の他端と第2電源線の間に接続される。第1イン
バータは、抵抗素子と容量素子の間に入力端子が接続される。第2インバータの入力端子
は、第1インバータの出力端子に接続される。第3インバータの入力端子は、第2インバ
ータの出力端子に接続される。第1トランジスタは、ゲートが第3インバータの出力端子
に接続され、ドレインが第1電源線側に接続され、ソースが第2電源線側に接続される。
第3ダイオードは、カソード側端部が第1電源線側と、アノード側端部が第2電源線側と
接続される。第2回路は、第2トランジスタと、第3トランジスタと、第4トランジスタ
と、第5トランジスタと、を有する。第2トランジスタは、ゲートに信号ラインが接続さ
れ、ボディが第1電源線に接続される。第3トランジスタは、ゲートに信号ラインが接続
され、ドレインが第2トランジスタのドレインに接続され、ボディが第2電源線に接続さ
れる。第4トランジスタは、ゲートが第1インバータの出力端子と第2インバータの入力
端子の間に接続され、ソースとボディが第1電源線に接続され、ドレインが第2トランジ
スタのソースと接続される。第5トランジスタは、ゲートが第2インバータの出力端子と
第3インバータの入力端子の間に接続され、ソースとボディが第2電源線に接続され、ド
レインが第3トランジスタのソースと接続される。
【0007】
実施形態の保護回路は、第1電源線と、信号ラインと、第2電源線と、第1回路と、第
2回路と、を有する。第1回路は、第1ダイオードと、第2ダイオードと、抵抗素子と、
容量素子と、第1インバータと、第2インバータと、第3インバータと、第1トランジス
タと、第3ダイオードと、を有する。第1ダイオードは、カソード側端部が第1電源線と
、アノード側端部が信号ラインと接続される。第2ダイオードは、カソード側端部が信号
ラインと、アノード側端部が第2電源線と接続される。抵抗素子は、一端が前記第1電源
線に接続される。容量素子は、抵抗素子の他端と第2電源線の間に接続される。第1イン
バータは、抵抗素子と容量素子の間に入力端子が接続される。第2インバータの入力端子
は、第1インバータの出力端子に接続される。第3インバータの入力端子は、第2インバ
ータの出力端子に接続される。第1トランジスタは、ゲートが第3インバータの出力端子
に接続され、ドレインが第1電源線側に接続され、ソースが第2電源線側に接続される。
第3ダイオードは、カソード側端部が第1電源線側と、アノード側端部が第2電源線側と
接続される。第2回路は、内部回路と、第4トランジスタと、第5トランジスタと、を有
する。内部回路は、信号ラインと接続される。第4トランジスタは、ゲートが第1インバ
ータの出力端子と第2インバータの入力端子の間に接続され、ソースとボディが第1電源
線に接続され、ドレインが内部回路と接続される。第5トランジスタは、ゲートが第2イ
ンバータの出力端子と第3インバータの入力端子の間に接続され、ソースとボディが第2
電源線に接続され、ドレインが内部回路と接続される。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【
図1】第1の実施形態に係る保護回路100の回路構成の一例を示す回路図。
【
図2】第1の実施形態の変形例に係る保護回路101の回路構成の一例を示す回路図。
【
図3】第1の実施形態に係る保護回路100の動作を説明するためのテーブル。
【
図4】比較例に係る保護回路200の回路構成の一例を示す回路図。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。この説明に際し、全
図にわたり、共通する部分には共通する符号を付す。また、図面の寸法比率は、図示の比
率に限定されるものではない。なお、本実施形態は、本発明を限定するものではない。
【0010】
[第1の実施形態]
(保護回路100の構造)
第1の実施形態に係る保護回路100について、
図1を参照して説明する。
図1は第1
の実施形態に係る保護回路100の回路構成の一例を示す回路図である。
【0011】
保護回路100は、第1電源線PW1と、信号ラインSL1と、第2電源線GW1と、
保護回路11(第1回路)と、被保護回路12(第2回路)と、を有する。
【0012】
第1電源線PW1は、第1電源(不図示)に接続され、第1電源電圧Vddが印加され
る。信号ラインSL1は、信号入力端子(不図示)と接続されている。第2電源線GW1
は、第2電源(不図示)に接続され、第2電源電圧Vssが印加される。第1電源電圧V
ddは、例えば5Vである。第2電源電圧Vssは、第1電源電圧Vddよりも低い電圧
である。本実施形態において、第2電源電圧Vssは接地電位GNDとして説明する。
【0013】
保護回路11は、第1ダイオード21と、第2ダイオード22と、抵抗素子31と、容
量素子32と、第1インバータ41と、第2インバータ42と、第3インバータ43と、
第1トランジスタ51と、第3ダイオード23と、を有する。
【0014】
第1ダイオード21は、カソード側端部が第1電源線PW1と接続され、アノード側端
部が信号ラインSL1と接続される。第2ダイオード22は、カソード側端部が信号ライ
ンSL1と、アノード側端部が第2電源線GW1と接続される。第1ダイオード21、及
び第2ダイオード22の代わりに、ダイオード接続されたMOSトランジスタを設けても
よい。
【0015】
抵抗素子31は、一端が第1電源線PW1に接続される。容量素子32は、抵抗素子3
1の他端と第2電源線GW1の間に接続される。すなわち、抵抗素子31、及び容量素子
32は、第1電源線PW1と第2電源線GW1の間に直列に接続される。抵抗素子31が
有する抵抗値をR1、容量素子32が有する容量をC2とする。
【0016】
第1インバータ41の入力端子は、抵抗素子31と容量素子32との間に接続される。
第2インバータ42の入力端子は、第1インバータ41の出力端子と接続される。第3イ
ンバータ43の入力端子は、第2インバータ42の出力端子と接続され、第3インバータ
43の出力端子は、第1トランジスタ51のゲートと接続されている。すなわち、第1イ
ンバータ41乃至第3インバータ43は、抵抗素子31と容量素子32との間と、第1ト
ランジスタ51のゲートとの間に直列に接続されている。
【0017】
第1トランジスタ51は、ゲートが第3インバータ43の出力端子に接続され、ドレイ
ンが第1電源線PW1に接続され、ソースが第2電源線GW1に接続される。第1トラン
ジスタ51は、例えば、nチャネルMOSトランジスタである。
図1において、第1トラ
ンジスタ51は、第1電源線PW1と第2電源線GW1との間に1つ設けられているよう
に示したが、ゲートが第3インバータ43の出力端子に接続され、ドレインが第1電源線
PW1に接続され、ソースが第2電源線GW1に接続されたトランジスタが複数個、並列
接続されていてもよい。
【0018】
第3ダイオード23は、カソード側端部が第1電源線PW1と、アノード側端部が第2
電源線GW1と接続される。
【0019】
被保護回路12は、第2トランジスタ52と、第3トランジスタ53と、第4トランジ
スタ54と、第5トランジスタ55と、を有する。
【0020】
第2トランジスタ52は、ゲートに信号ラインSL1が接続され、ボディが第1電源線
PW1に接続される。第3トランジスタ53は、ゲートに信号ラインSL1が接続され、
ドレインが第2トランジスタ52のドレインに接続され、ボディが第2電源線GW1に接
続される。第4トランジスタ54は、ゲートが第1インバータ41の出力端子と第2イン
バータ42の入力端子の間に接続され、ソースとボディとが第1電源線PW1に接続され
、ドレインが第2トランジスタ52のソースと接続される。第5トランジスタ55は、ゲ
ートが第2インバータ42の出力端子と第3インバータ43の入力端子の間に接続され、
ソースとボディが第2電源線GW1に接続され、ドレインが第3トランジスタ53のソー
スと接続される。第2トランジスタ52、及び第4トランジスタ54は、例えば、pチャ
ネルMOSトランジスタである。第1トランジスタ51、第3トランジスタ53、及び第
5トランジスタ55は、例えば、nチャネルMOSトランジスタである。本実施形態にお
いて、被保護回路12のうち第2トランジスタ52と、第3トランジスタ53とがインバ
ータを形成しているように示したが、
図2のように、内部回路13として示す部分に他の
論理回路が形成されていてもよい。
【0021】
(保護回路100の動作)
第1の実施形態に係る保護回路100の動作について、
図3を参照して説明する。
図3
は、第1の実施形態に係る保護回路100の動作を説明するためのテーブルを示している
。
【0022】
信号入力端子(不図示)より、信号ラインSL1にESDによる正の電圧が印加される
と、サージ電流は第1ダイオード21を通過し、第1電源線PW1へ到達する。第1電源
線PW1の電荷量が大きくなり、第1電源線PW1の電位が上がる。ここで、抵抗素子3
1の抵抗値R1、及び容量素子32の容量C2の積R1×C2(RC時定数)よりもES
Dで生じる瞬間的なサージ電流流入の時間よりも十分長くなるように、R1とC2の値が
定められている。RC時定数の時間内では、抵抗素子31と容量素子32の間の電位は、
第1電源線PW1の電位よりも低くなる。そのため、第1インバータ41の入力端子には
Lレベルが入力され、Hレベルが出力される。第2インバータ42の入力端子にはHレベ
ルが入力され、Lレベルが出力される。第3インバータ43の入力端子にはLレベルが入
力され、Hレベルが出力される。これにより、第1トランジスタ51のゲートに電圧がか
かり、第1トランジスタ51がオン状態になる。これにより、サージ電流は第1電源線P
W1から第1トランジスタ51へ流れ、第2電源線GW1に到達したのち、第2電源(不
図示)へ排出される。また、第2インバータ42の出力端はLレベルであるため、第2イ
ンバータ42の出力端と接続された第5トランジスタ55のゲートには電圧が印加されな
い。そのため、ESDによる電圧印加時において、第5トランジスタ55はオフ状態を維
持する。
【0023】
信号ラインSL1にESDによるサージ電流が入力されたことにより、信号ラインSL
1と、第2電源線GW1の間に生じる電圧差をクランプ電圧という。
【0024】
一方、信号ラインSL1にESDによる電圧が印加されない通常動作時においては、第
1電源電圧Vddは一定の値を維持する。そのため、容量素子32には電荷が蓄積され、
抵抗素子31と容量素子32の間の電位は、第1電源線PW1の電位よりも高くなる。第
1インバータ41の入力端子にはHレベルが入力され、Lレベルが出力される。第2イン
バータ42の入力端子にはLレベルが入力され、Hレベルが出力される。第3インバータ
43の入力端子にはHレベルが入力され、Lレベルが出力される。これにより、第1トラ
ンジスタ51のゲートには電圧が印加されず、第1トランジスタ51オフ状態を維持する
。また、第2インバータ42の出力端はHレベルであるため、第2インバータ42の出力
端と接続された第5トランジスタ55のゲートには電圧が印加される。そのため、通常動
作時において、第5トランジスタ55はオン状態を維持する。
【0025】
また、本実施形態において、第2電源電圧Vssは、第1電源電圧Vddよりも電圧が
低い。しかし、第2電源電圧Vssの方が第1電源電圧Vddよりも電圧が低くなった場
合、第2電源(不図示)から入力された電流は、第2電源線GW1、第3ダイオード23
、第1電源線PW1の順に通過し、第1電源(不図示)へ排出される。
【0026】
なお、通常動作時に信号ラインSL1に信号が入力される場合、信号は第2トランジス
タ52と第3トランジスタ53とが形成している共通のドレインと接続された回路(不図
示)へ伝わる。
【0027】
(第1の実施形態の効果)
第1の実施形態に係る保護回路100の効果について、比較例に係る保護回路200を
用いて説明する。
図4は、比較例に係る保護回路200の回路構成の一例を示す回路図で
ある。第1の実施形態に係る保護回路100と同じ部分については、同一の符号を付して
いる。
【0028】
比較例に係る保護回路200において、第4トランジスタ54のゲートは第2電源線G
W1に接続され、第5トランジスタ55のゲートは第1電源線PW1に接続されている点
で第1の実施形態の保護回路100と異なる。
【0029】
信号ラインSL1にESDによる正の電圧が印加されると、クランプ電圧が上昇する。
クランプ電圧が上昇すると、第2トランジスタ52、及び第3トランジスタ53のソース
・ゲート間に電圧が印加される。この時、第5トランジスタ55がない場合、クランプ電
圧が第2トランジスタ52、及び第3トランジスタ53のソース・ゲート間耐圧を超える
と、第2トランジスタ52、及び第3トランジスタ53が破壊されてしまう。
【0030】
比較例に係る保護回路200においては、第5トランジスタ55が、第2トランジスタ
52、及び第3トランジスタ53と直列に接続されている。これにより、第2トランジス
タ52、及び第3トランジスタ53のソース・ゲート間にかかる電圧は、第5トランジス
タ55のソース・ドレイン間電圧の値分だけ小さくなる。すなわち、第5トランジスタ5
5のソース・ドレイン間電圧の値分だけクランプ電圧に対する第3トランジスタ53の耐
圧性が上昇する。
【0031】
比較例に係る保護回路200において、通常時に信号ラインSL1に信号が入力される
場合、第2トランジスタ52、及び第3トランジスタ53が形成するインバータを機能さ
せるため、第4トランジスタ54、及び第5トランジスタ55はオン状態である。さらに
、信号ラインSL1にESDによる正の電圧が印加された場合であっても、第4トランジ
スタ54のゲートは第2電源線GW1に接続され、第5トランジスタ55のゲートは第1
電源線PW1に接続されているため、第5トランジスタ55はオン状態である。
【0032】
しかし、トランジスタはオン状態よりもオフ状態の時の方が、第5トランジスタ55の
ソース・ドレイン間耐圧が大きくなるため、クランプ電圧に対する第3トランジスタ53
の耐圧性が上昇する。そのため、信号ラインSL1にESDによる正の電圧が印加された
場合、第5トランジスタ55はオフ状態となることが望ましい。
【0033】
一方、第1の実施形態に係る保護回路100は、第4トランジスタ54のゲートが、第
1インバータ41の出力端と第2インバータ42の入力端との間と接続され、第5トラン
ジスタ55のゲートが、第2インバータ42の出力端と第3インバータ43の入力端との
間と接続されている。
【0034】
通常時に信号ラインSL1に信号が入力される場合、第2インバータ42の出力端には
Hレベルが出力される。そのため、第5トランジスタ55のゲートに電圧が印加され、第
5トランジスタ55はオン状態となる。
【0035】
信号ラインSL1にESDによる正の電圧が印加された場合、第2インバータ42の出
力端にはLレベルが出力される。そのため、第5トランジスタ55のゲートには電圧が印
加されず、第5トランジスタ55はオフ状態となる。これにより、比較例に係る保護回路
200と比較すると、第5トランジスタ55のソース・ドレイン間電圧の値が大きくなり
、トランジスタの耐圧性が上昇する。
【0036】
さらに、比較例に係る保護回路200と比較して第5トランジスタ55のソース・ドレ
イン間電圧の値が大きくなり、トランジスタの耐圧性が上昇したことにより、第1ダイオ
ード21に流れる単位時間当たりの電流値の上限を小さくすることができる。すなわち、
第1ダイオード21の面積を小さくすることができる。
【0037】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したも
のであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その
他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の
省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や
要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる
。
【符号の説明】
【0038】
100、101、200 保護回路
11 保護回路(第1回路)
12 被保護回路(第2回路)
13 内部回路
21 第1ダイオード
22 第2ダイオード
23 第3ダイオード
31 抵抗素子
32 容量素子
41 第1インバータ
42 第2インバータ
43 第3インバータ
51 第1トランジスタ
52 第2トランジスタ
53 第3トランジスタ
54 第4トランジスタ
55 第5トランジスタ
PW1 第1電源線
SL1 信号ライン
GW1 第2電源線